JPH02247834A - 光ヘッド - Google Patents

光ヘッド

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JPH02247834A
JPH02247834A JP1066196A JP6619689A JPH02247834A JP H02247834 A JPH02247834 A JP H02247834A JP 1066196 A JP1066196 A JP 1066196A JP 6619689 A JP6619689 A JP 6619689A JP H02247834 A JPH02247834 A JP H02247834A
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optical head
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waveguide
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    • G11B7/123Integrated head arrangements, e.g. with source and detectors mounted on the same substrate
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光情報媒体の情翰読み取りや書き込みを行う
光情報処理装置t(−例として、光デイスク装置、光カ
ード読み取りあるいは絖み書き装置)およびそれに用い
るに好適な光ヘッドに関する。
〔従来の技術) 一般に、光情報処理装置の光ヘッドの光ピツクアップ群
を集積化することはよく知られている。
例えば、特開昭59−69732号、特開昭61−23
2424号には光ピツクアップ部の集積化構造が示され
ている。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところで、従来のこの種のものは、光源として半導体レ
ーザーを用いており、かつ、光情報媒体(ここでは光磁
気ディスク)からの反射光を、3つのフォーカシンググ
レーティングカップラーを用いて導波路を伝播する光と
していた。
このような構成において、半導体レーザーが環境温度変
化、戻り光等の影響で波長が変動した場合、フォーカシ
ンググレーティングカップラーで光を導波光を伝播する
光に変換することができなくなり、素子の光学的特性が
劣化するという問題点があった。
本発明は、半導体レーザーの波長が変動しても、常に安
定して所定の光学性能を維持する光学的構成を提供する
ことを目的としている。
また、本発明は、半導体レーザーの波長が変動しても、
常に安定して所定の集光機能を有した導波路レンズを提
供することを目的としている。
また1本発明は、基板内部を伝播する不要光を除去し、
光検出器で検出される信号のS/N比を向上させ、光情
報媒体からの信号読み取りや書き込み動作の安定化及び
信頼性向上を計る手段を提供することにある。
また、本発明は、レーザーノイズを低減するため、マル
チモードレーザーを用いる手法や、高周波重畳による手
法を、前記従来例にも適用できる構成を提供し、光検出
器からの信号のS/Nを向上させ、装置の信頼性向上を
図ることを目的としている。
また、本発明は、半導体レーザーの取り付け手法、光学
基板のアライメントを簡単に調整できる構成、を提供す
ることを目的とする。
また、本発明は、フォーカシング、トラッキングの具体
的手法を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するため。
光源から射出した光を、グレーティングカップラーに光
が入射する以前に光を回折する回折格子を設けたことを
特徴とする。
また、前記グレーティングカップラー及び第2の回折格
子とは別に、 光源から射出した光を、グレーティングカップラーに光
が入射する以前に回折する、第3の回折格子を設けたこ
とを特徴とする。
また、上記目的を達成するため、 導波路を伝播する光を順次通過させる複数の導波路レン
ズを設けている。
また、上記目的を達成するため、 光情報媒体とグレーティングカップラーとの間の光の通
過部分以外で、基板の導波路の設置された側の裏面に、
前記導波路と平行でない傾斜部分を設けている。
また、上記目的を達成するため、 先願に注入する直流電流に、高周波の交流を重畳する高
周波発振器を設けている。
また、上記目的を達成するため。
一端が前記ハウジングに取り付けられた第1のホルダー
と、前記基板に取り付けられた第2のホルダーとを設け
さらに、第1及び第2のホルダーが、柔軟部分で連結さ
れている端造としたことを特徴とする。
また、第1のホルダーと第2のホルダーが一体で作られ
かつ前記柔軟部分が、一体化されたホルダーのくびれ部
分で構成されているようにしたものである。
また、前記基板のうち、前記第2のホルダーの設置され
ていない部分に第3のホルダーを設け。
かつ、第3のホルダーに複数の穴を設け、かつ、前記複
数の穴に複数のねじ穴を通し。
かつ、前記ねじをばねを介して前記ハウジングに締め付
ける構成としている。
そして、上記目的を達成するため、 前記ハウジングを、移動可能なレール機構の上に搭載し
、 かつ前記ハウジングにレールの移動方向に推力を発生す
るアクチュエータを設けたことを特徴とする。
〔作用〕
回折格子における回折角度は、光の波長に依存している
。また、グレーティングカップラーにおける光の結合角
度(導波路外部の光を導波光に変換することのできる角
度)も、光の波長に依存している。
今、回折格子で回折した光をグレーティングカップラー
に入射することを考える。これより、光の波長が変動す
ると、グレーティングカップラーに入射する光の角度が
変わる0回折格子の配置。
ピッチ、グレーティングカップラーのピッチ等。
設計パラメーターを適当に取ることにより、波長が変動
しても、グレーティングカップラーに入射する光の入射
角度を、正しく結合角度に追随させる。すなわち、回折
格子を用いて、グレーティングカップラーに入射する光
の角度を、波長に依存して自動的に調整する。このよう
な構成により、波長が変動したことによる。光学的性能
の劣化を防止、常に所定の光学性能を維持する光学的構
成を得る。
また、グレーティングカップラーに入射する光の角度を
、波長に依存して自動的に調整する際に、グレーティン
グカップラー以外の回折格子を複数設けて、グレーティ
ングカップラーに入射する光の角度を、より広い波長変
動の範囲にわたり、正しく結合角度にあわせることがで
きる。
導波路を伝播する光を集光する導波路レンズは。
N、A、 (Numerical Apertureレ
ンズの集光能力を示すレンズの定数の一定である。)を
大きくすると、収差が発生しやすく、また、光利用効率
が低下する。このため、複数のN、A、の小さいレンズ
を組み合わせ、全体として所定のN、A、のを有するレ
ンズ群を構成することにより、収差の少ない、光利用効
率の高いレンズを構成することができる。
基板の導波路の設置された側の裏面に設置された、導波
路と平行でない傾斜部分は、基板内を伝播する不要な光
の進行方向を変え光検出器に不要な光を入射させないと
いう効果がある。さらに。
傾斜部に入射する不要光の入射角度を、より垂直に近い
角度とするため、透過率高く不要光を基板外部に排除す
ることができる。これにより、不要な光が光検出器に入
射して、光検出器での検出信号に不要な信号が重畳する
ことを防止する。
高周波重畳法や、マルチモードレーザーを用いることで
、レーザーノイズを低減できる。さらに。
このような方法により光の波長帯例が広がっても、波長
帯域の全域にわたり、正しい結合をグレーティングカッ
プラーで得ることができる。これより、光学的性能を劣
化させずに、レーザーノイズの低減手法を実施すること
ができ、光学的性能が向上する。
基板のアライメントのうち、グレーテイングカツプラー
で高性能な結合が得られるために、特に光源に対する基
板傾きの調整を精密に行なうことが重要である。そこで
、基板の両端にそれぞれホルダーを設け1片方のホルダ
ーは蝶番の動作を行ない、かつもう片方のホルダーは、
傾きの調整を行なえつるばねとねじの機構を設けた。こ
れにより、基板のアライメントを簡単にm整できる単純
な機構を得た。
また、蝶番部分の構成として、ホルダーのくびれ部分を
利用することにより、簡単な構成で所定の蝶番機構を有
する構成を得た。
これまでのべた光学的構成を光情報媒体の情報の読み取
り装置や、書き込み装置、読み書き装置として構成する
ため、レンズアクチュエーターを設けた。このため、単
純な構成で所定のトラッキングとフォーカシング機能を
有する光ヘッドを実現できる。
光学素子、レンズアクチュエーター、その他を有したハ
ウジングをアクチュエーターでレールの上を移動するこ
とにより、光情報媒体上の任意の位置に存在する情報に
、あるいは情報を書き込むべき位置に、ハウジングを移
動する。これにより、アクセス時間の短い、かつ簡単な
構成の光情報読み取り装置、あるいは、光情報書き込み
装置、あるいは光情報読み書き装置を実現できる。
〔実施例〕
以下5本発明の実施例を第1図から第29図により説明
する。
まず、第1図及び第2図を用いて、本実施例の光学的な
基本的動作状況につき説明する。第1図は実施例の斜視
図、第2図は光の伝播状況を示すための実施例の横断面
図となっている。
半導体レーザー5から射出した光は、レンズ3aにより
平行光とされる。この光の一部は基板lを通過し、レン
ズ3bにより集光され、光情報媒体20に焦点を形成す
る。この光情報媒体20には、情報ビット21が形成さ
れている。このビットにより、光情報媒体20で反射し
た反射光の偏光面が変化する。
反射光はレンズ3bにより平行光とされ、この平行光の
うち一部は回折格子12a、12b。
12cにより回折される。回折された光は誘電体多層反
射膜7aで反射し、基板底面で全反射する。
回折格子12aで回折された光は、グレーティングカッ
プラー11aに入射し、また、回折格子12bで回折さ
れた光は、グレーティングカップラー11bに入射し、
回折格子12cで回折された光は、グレーティングカッ
プラー11cに入射する。おのおののグレーティングカ
ップラーに入射する光は、グレーティングカップラーの
回折の作用で、導波路2を伝搬する光へと結合される。
(ここでは、導波路内部の光を導波路外部の光に変換し
たり、その逆の変換をすることを、結合する、と称する
ことにする。)レンズ10aおよび10bは、グレーテ
ィングカップラー11aで結合した光を、隣接して設置
された光検出器6aと6bの境界近傍に焦点を形成させ
ながら、双方の光検出器に光を入射させる。また、レン
ズ10cおよびlodは、グレーティングカップラー1
1bで結合した光を光検出1116cに入射させる。ま
た、レンズ10eおよび10fは、グレーティングカッ
プラーlieで結合した光を、隣接して設置された光検
出器6dと60の境界近傍に焦点を形成させながら、双
方の光検出器に光を入射させる。
光検出器で検出された光は信号処理装置に送られ、光情
報媒体20上の情報ビット21を読み出し、フォーカス
エラー量を検出し、トラックエラー量を検出する。
ここで、グレーティングカップラー118゜11b、l
lcのおのおので結合した光を光検出器68〜68に集
光させる際に、レンズ10aと10b、10cとlod
、10eと10fというように、集光機能を2つの凸レ
ンズの組み合わせで実現しているものとして、実施例の
図面が描かれている。このように2つ以上の導波路型凸
レンズを組み合わせることで、合成した焦点距離が短い
導波路用の組み合せレンズを得ることができ。
基板1の大きさを小さくすることが可能とする。
それに伴い全体を小型化できるという効果が得られる。
このような小型化が必ずしも必要でない時は、ここで示
したレンズ10a、fobの機能を単独の導波路レンズ
で構成する。こうすると、導波路上の光学構成がよりシ
ンプルとなり、導波路上の光学系を製造する際の工程が
簡略化できる。
また、ここでは光を集光する際のレンズとして、2つの
凸レンズの組み合わせの例を図に開示しであるが、1つ
以上の導波路用凸レンズと1つ以上の導波路用凹レンズ
を組み合わせて、全体として集光機能を有するレンズ群
を構成することも考えられる。この場合11通常の色消
しレンズのように、半導体レザー5の発振波長が変化し
ても1色収差の少ない導波路レンズを構成することがで
きる。
特に、この効果は、性能の波長依存性が比較的高い、回
折格子型の導波路レンズを用いたときに有効である。こ
こで、おのおのの導波路レンズについては、西原 浩他
の著書に係る[光集積回路」(オーム社発行、1985
年)及び、応用物理学会、光学懇話会編による「光集積
回路(基礎と応用)」(朝倉書店発行、1988年)に
詳細に記載されている。
光情報媒体20で反射し、レンズ3bで平行光とされた
光が、回折格子12a〜12cで回折され、グレーティ
ングカップラー11a〜llcで導波光に結合される状
況をより詳細に第3図に示す。第3図は第1図の基板1
の横断面図の一部であり、回折格子12b及びグレーテ
ィングカップラー11bが含まれた断面での断面図であ
る。
本実施例においては、光源として第1図に示したように
半導体レーザー5を用いているので、環境温度、半導体
レーザーに注入する電流の強度。
もどり光、その他の影響で半導体レーザーの発振波長は
実動作中に変化してしまうことがある。このような場合
、グレーティングカップラーでの光の結合条件が変動す
ることにより、グレーティングカップラーにおいて効率
よく光を結合することができなくなるという問題点があ
る。すなわち、第3B図に示すピッチ八りのグレーティ
ングカップラー11bにおける光の結合条件を考えたと
き、光の結合角度は、上記文献「光集積回路」の記載よ
り、(1)式が導ける。
λ      Aし    λ ns :基板屈折率 λ :先の波長 Lpニゲレーティングカッブラー11bへの光の入射角
(光線と導波路面がなす角)AL ニゲレーティングカ
ップラー11bのピッチ N :導波路等価屈折率 (1)式をλについて微分すると、次式が得られる。
・・・(2) ここで、(2)式より分かることは、波長が変化したと
きには、それに応じてグレーティングカップラーにおけ
る結合角度が変化するということである。この結合角度
の変化が生じると、常に一定な角度でグレーティングカ
ップラーに光を入射させているときには、光を正しく結
合することができなくなる。そこで、第2式におけるd
 ?/dλをOにして、結合角Tの波長依存性をなくす
るために、(2)式右辺の括弧内を0とするような屈折
率の波長分散(dns/dλ、dN/dλ)を有した基
板材料を用いることを考える。このような材料を使用す
ることにより、波長変動が生じた場合でも常に一定の結
合角度を有し、常に安定して光を結合できるグレーティ
ングカップラーを構成できるという効果がある。
通常のガラス等を考えた場合、このような波長分散を有
する材料を得ることは難しい場合がある。
つまり屈折率の波長分散が小さいため、d’f/dλを
0とすることが困難である場合である。このように、通
常のガラス等を用いた場合でも、常に安定して光を結合
する構成を考える。この場合は、波長の変化に応じてグ
レーティングカップラーに対する入射角を変化させてや
り、常に正しい結合が生じるようにすればよい。
第3B図において、第1図における光情報媒体20で反
射光し、第1図におけるレンズ3bで平行光とされた光
100が、回折格子12bに入射して、一部は回折した
光101となる。この際の回折角度は、(3)式で示し
た角度となる。
nsAgsinβ1=−(noAg 5inal+mλ
)・・・(3) 八s  :回折格子12bのピッチ αl、βl:第3b図で定義した角度 m  :回折次数 なお、おのおのの記号の意味は第3B図に示しである。
(3)式を波長で微分することにより、(4)式が得ら
れる。
α2=π−β1−θ             ・・・
(5)0:第3b図で定義された角度 これを波長で微分して、次の式を得る。
次に、誘電体多層反射膜での反射を考える。これは、「
光波電子工学」、小山 等著、コロナ社発行、1978
年、第87頁から第132頁を参考に、(7)式のよう
に表わすことができる。ただし、ここでは式の単純化だ
けの目的で、誘電体多層反射膜の構成要素であるおのお
のの膜の屈折率と、基板の屈折率との相違を無視してい
る。
回折した光101の回折角度は、波長により変動するこ
とが分かる0次に、回折した光は、導波路平面と角度O
をなす斜面に設けられた誘電体多層反射膜7aに入射す
る。この際の入射角度α2は、おのおのの配置の幾何学
的関係より、(5)式%式% α2.n2:第3b図で定義された角度Am :誘を体
多層反射膜の膜ピッチ すなわち、屈折率nsの基板に屈折率nlとnz  (
あるいは多層)の材料が順にくりかえし重なり、誘電体
多層反射膜が構成されているが、l n5−n1l<n
s、I n5−nxl(nsと仮定している。
(7)式を波長λで微分すると次式が得られる。
・・・(8) 次に、誘電体多層反射膜からの光102は、基板底面で
反射し、反射光103となる。基板底面に入射する際の
入射角度は、幾何学的関係から、(9)式のようになる
αδ=θ−β2            ・・・(9)
これを波長で微分すると、次式となる。
反射において、入射角度と反射角度の関係は、(11)
式のようになる。
β5=as               ・・・(1
1)αδ、βa:第3b図で定義された角度これを波長
で微分すると次式のようになる。
最後に、回折格子12bで回折し、誘電体多層反射膜7
aで反射し、基板底面で反射した光が、グレーティング
カップラー11bに入射する際の入射角度φは、幾何学
的関係から、(13)式のようになる。
π φ=−−β3                 ・・
・(13)この入射角度は、(13)式を微分して、(
14)式のような波長依存性を有している。
グレーディングカップラーに入射する光103がグレー
ディングカップラー11bで結合するためには、(15
)式のような関係が必要である。このような関係が、波
長が変化した場合でも恒等的に成立することが、常に安
定して光を結合することに重要であるが、実用的には、
使用する光源の波長の変動範囲内で近似的に(15)式
が成立すればよ%N。
T=φ                      
・・・(15)ここでは、このような近似を得る手法を
提示する。すなわち、光源波長の使用範囲(1λ−λ0
〈Δλただし、λ0は中心波長、Δλは波長の変動範[
)において、 (16)式のような関係を得ることが目
的である。 (16)式は、波長λが変化して、結合角
度に変化(右辺のd’t’)が生じても、入射角度に変
化(左辺のdφ)が生じて結合角度の変動に追随し、入
射角度と結合角度の差(左辺)が、常に結合角度の変化
電より小さくなる(補正する)ということを表わしてい
る。このような自動的な結合角度の補正を行なうことで
、常に安定して光の結合を表現するという効果がある。
ld<P−dφl<ldψ1     ・・・(16)
ただし、1λ−λof<Δλ 今、さらに(17)式のような関係が成立する場合を考
える。これは、光源の設計波長λ0においては、波長が
変動することによる結合角度の変動に、グレーティング
カップラーに対する入射角度の変動が完全に追随してい
ることを示している。このような場合、結合角度の補正
が完全に行なわれる他、λ0の近傍では実用上十分に結
合角度の補正が行なわれ、広い範囲にわたり高い結合性
能を実現できる。
(tl’)    =(dφ)、:、。     ・・
・(17)λ:λ0 では、(16)式及び(17)式のような関係をどのよ
うに実現するかを考える。(1)式から(17)式の関
係を見れば分かるように、(16)式及び(17)式は
、すべて光学素子の各部分の設計パラメーター(−例と
して、基板屈折率ng 、基板外部屈折率not光源波
長の中心値λ02回折格子に入射する光の入射角度αL
1回折格子のピッチA#、導波路面と誘電体多層反射膜
との角度θ、多層反射膜の各層のピッチΔ1及び屈折率
、グレーディングカップラーのピンチΔL、その他が考
えられる。)を(16)式あるいはさらに(17)式を
成立させるように設定すればよい、おのおののパラメー
ターの数は解くべき式の数より多く、ピッチが負となる
ような現実に有り得ない解を除いても、解は無数にある
。そこで、さまざまな設計パラメーターの最適化を試み
る6例えば、下記のような見地からの最適化がある。た
だしこれは−例であり、実用的には、なんらかの評価関
数を用意してそれに応じて最適化をすることがより好ま
しい。
1、なるべく広い波長範囲で結合が行なわれるようにす
る。すなわち、結合の際に許容される、ψとφの相違角
度をDとした場合、(18)式。
(19)式を成立させつつ、1λ−λo1 を最大にす
るように、各設計パラメーターを最適化する。
φλ・λ。=Tλ・λo−(18) IT、−ψ、l<D        ・・・(19)D
:許容されるψとφの相異角度 2、部品低減のため、基板底面に光が入射する際の角度
α6を、基板底面で全反射を生じるように選ぶ、これよ
り、基板底面に特別な反射膜を形成する必要がなくなる
3、回折格子や、グレーティングカップラーの生産性を
向上するため、各子ピッチをなるべく大きくとれるよう
にする。
4、基板の厚みをなるべく薄くできるようにする。
すなhち、第3図に示したおのおのの角度と、回折格子
12bの位置と、基板の厚みから、グレーティングカッ
プラー1.Lbを配置すべき位置が決まる6回折格子1
2bとグレーティングカップラー11bとが、同一の位
置をしめないように、基板の厚みを決定するが、この厚
みをなるべく小さくするようにする。
5、回折格子12bとグレーティングカップラー11b
とを同一のピッチとなるように設計する。
これにより、格子作成の際の製造プロセス簡略化を計る
6.5に加え、基板の厚みを調整して、回折格子12b
とグレーティングカップラー11bとを同一の位置に配
置するようにする。これにより。
回折格子12bとグレーティングカップラー11bの2
つの機能を、一つの回折格子にまとめることができる。
すなわち、光100に対しては光101を発生する回折
格子として、光103に対しては導波光104を発生す
るグレーティングカップラーとして機能する複合機能を
有した単独の回折格子を構成できる。
第3A図、第3B図を用いて波長変動の補正を行なう説
明を行なった際、第1図における回折格子12bで回折
し、グレーティングカップラー11bで結合する光を代
表に選んで説明した。このことは回折格子12a、12
cでおのおの回折し、グレーティングカップラー11a
、llbのおのおので結合する光についても同様である
。ただし1回折格子12a、12b、12cのおのおの
は、必ずしも互いに異なったピッチを有しているとは限
らず、隣どうし同一のピッチであるため、領域の境界が
判別できない場合がある。この場合でも、グレーティン
グカップラー11aに光を送る部分が回折格子12a、
グレーティングカップラー11bに光を送る部分が回折
格子12b、グレーティングカップラーlieに光を送
る部分が回折格子12c、というように論理的に分類し
て考える。
光101,102を反射する部分に、誘電体多層反射膜
7aを用いている。これは反射型回折格子として用いて
いる。このような誘電体多層反射膜を用いることで、所
定の反射角度の波長依存性を有した回折格子を容易に製
造でき、反射効率を高くすることができる。光101,
102の反射部分にブレーズ化された反射回折格子を用
いることもできる。
vI電体多層反射膜7aが存在する面は、回折格子12
bの存在する面と垂直とならず、所定の角度を持ってい
るように実施例の図に開示しである。
これは、′グレーティングカップラー11bにおける結
合条件をより正確に成立させるためのものである。この
ようにすることにより、波長が変動してもより安定して
光学性能を維持できるという効果がある。また、誘電体
多層反射膜7aが存在する面と、回折格子12bの存在
する面とを、互いに垂直となるように設置してもよい、
このようにすることで、基板加工がより容易になるとい
う効果がある。このことも、前述の各設計パラメーター
の最適化の一例である。
光103及び104の反射を、基板1底面の全反射を利
用することができる。基板底面に対する全反射条件を満
たすように、回折格子12b及び7aの形状を決定する
。このようにすることで、光103及び104は特別な
反射物質を必要とせずに高い反射率で反射し、構造の簡
略化を計ることができるという効果がある。また、全反
射を利用しないこともできる。この際は、基板底面に光
103及び104のための反射膜を設置する。このよう
にすることで、光学系設計に際しての設計条件を単純化
することができ、より設計の自由度を向上して光学性能
のよい光学系を設計することができるという効果がある
以上の、波長変動に対する光学性能の安定化については
、上記では回折格子12bとグレーティングカップラー
11bを用いて説明した。このことは、回折格子12a
で回折しグレーティングカップラー11aで結合する光
についても、回折格子12cで回折しグレーティングカ
ップラー11cで結合する光についても同様である。
グレーティングカップラーで光が結合する条件は、グレ
ーティングカップラーに入射する光がグレーティングカ
ップラーに対しS波がp波がで異なってくる。これは、
導波路内を光が伝播する際、導波光がS波かp波かで光
の伝播速度が異なる(導波路の実効屈折率が異なる)こ
とにより生じる現象である0例えばグレーティングカッ
プラー11bをS波が結合するよう設計した際、グレー
ティングカップラー11bに入射する光のうち、S波成
分のみが選択的に結合し、p波成分は結合しない、この
ことは、逆に結合した導波光の強度から、グレーティン
グカップラー11bに入射する光のうちのS波成分のみ
の強度が判明するということでもある。同様に、グレー
ティングカップラー11bをp波が結合するよう設計し
た際、グレーティングカップラー11bに入射する光の
うち、p波成分のみが選択的に結合し、S波成分は結合
しない、このことは、逆に、結合した導波光の強度から
、グレーティングカップラー11bに入射する光のうち
のp波成分のみの強度が判明するということでもある。
そこで、第1図において、グレ−ティングカップラー1
1a、llb、lieの中にS波結合のものとp波結合
のものを用意し、導波光強度を検出する光検出器68〜
6θの強度のうち、S波結合した導波光を検出する光検
出器からの出力と、p波結合した導波光を検出する光検
出器からの出力を比較することにより、光情報媒体20
での反射光の中のS波成分とp波成分を独立に検出して
、反射光の偏光面を検出することができる。これにより
、光情報媒体20にある情報ビット21で偏光が変化し
たか否かを検出することができ、情報の読み出しができ
る。例えばグレーティングカップラー11bと1.1 
cはS波結合とし、グレーティングカップラー11bは
p波結合とする。そして、光検出器6a、6b、6d、
6a、の4つの光検出器からの出力の和と、光検出器6
Cからの出力を比較することで、情報の読みだし信号を
得る。逆に、グレーティングカップラー11aと11c
はp波結合として、グレーティングカップラー11bは
S波結合としても同様である。
本実施例では、基板1の上の導波路2を使用しているが
、導波路そのものについては、光集積回路、西原 浩等
著、オーム社、1985年、及び、光集積回路(基礎と
応用)、応用物理学会、光学懇話会編、朝倉書店198
8年、に詳細に記載されている。
本実施例では、光の結合用にグレーティングカップラー
を使用しているが、グレーティングカップラーそのもの
については、光集積回路、西原浩等著、オーム社発行)
、1.985年、及び、光集積回路(基礎と応用)、応
用物理学会、光学懇話会編(朝食書店発行)、1988
年、に詳細に記載されている。
本実施例では1回折格子12a〜12c及びグレーティ
ングカップラー118〜lieは、おのおの、格子が直
線で構成されたものを使用している。すなわち、回折格
子12 a ” 12 cは、直線の格子を有する回折
格子(リニアグレーディングと称することにする。)で
あり、グレーティングカップラー11a〜11Cは、直
線の格子を有するグレーティングカップラー(リニアグ
レーティングカップラーと称する。)である。リニアグ
レーディングの場合、入射する光の波長が変化した際、
主に変化するのは回折角度であり1回折した光の収束状
況(光が平行光であるか、収束光であるか、発散光であ
るか、及びそれらの散がどの程度かを述べるのに収束状
況というイ葉をここでは用いる。)、及び回折した光の
波面収差に対する影響はほとんど無い。同様に、リニア
グレーティングカップラーの場合、入射する光の波長が
変化すると、その結果変化するのは結合角度及び結合効
率であり、結合した光の収束状況、及び結合した光の波
面収差にはほとんど影響が無い。これより、第3図にお
いて、リニアグレーディングで回折し、その後リニアク
レーティングカップラーで導波光になった光は、上記の
理由から、波長が変動してもその波面の特性が変化しな
い、このように、回折格子にリニアグレーディングを用
い、グレーティングカップラーにリニアグレーティング
カップラーを用いることで、波長が変動しても導波光に
結合した光の収差や収束状況が変化せず、常に安定した
光学性能を有する光学系を構成することができるという
効果がある。ただし、波長変動により生じる。導波光の
波面収差の量や収束状況が実用上無視できる時は、回折
格子に曲線状の格子を有する回折格子を用いたり、グレ
ーティングカップラーに曲線状の格子を有するグレーテ
ィングカップラー(いねゆるフォーカシングレーティン
グカップラー)を用いても良い、このようにすると、レ
ンズ3aやレンズ3bの機能を回折格子12a〜1.2
 cに盛り込んだり、レンズ10a〜]、 Ofの機能
をグレーティングカップラー11a〜]、 1 cに盛
り込むことができる。これについては別に実施例を開示
する。このようにすると、光学要素の数を減らすことが
でき、部品数の低減。
製造の安易化ができるという効果がある。
次に、第4図、第5図、第6図、及び第7図を用いて、
基板内部を伝搬する不要な光を減衰させ、光検出器から
の出力のSlN比を向上させる手法について説明する。
第4図、第5図、第6図、及び第7図は、第1図におけ
る光検出器6c、グレーティングカップラ−11b9回
折格子12bを含んだ断面における断面図となっている
。また、以下の論議は、断面位置を変え、第1図におけ
る光検出器6a、6b、グレーティングカップラ−1]
a2回折格子12aを含んだ断面、及び第1図における
光検出器6d、6a、グレーティングカップラー110
2回折格子12cを含んだ断面でも同様に成り立つ。
第4図において、回折格子12bに入射する光110は
、回折格子12bによりその一部が回折され1回折光1
12となる。また1回折されなかった光は非回折光11
1になり、基板1の外部に射出する0回折光112は誘
電体多層反射膜7aにより反射され、光113となる。
これは基板1の底面で全反射を起こし、光114となっ
て、グレーティングカップラー11bに入射する。この
光114のうち一部は導波路2に結合して導波光(導波
路内部を伝搬する光)115となる。また、結合しなか
った光は、導波路表面で反射し、基板内部を伝搬する不
要な光116となる。この不要な光116は、基板表面
及び底面で常に全反射を起こしながら基板内部を伝搬す
る。この光は、減衰が少ない上に、多数回反射して、つ
いにはその一部が光検出器6Cに入射して1本来光検出
器6cに入射するべき導波光115に重畳して信号のS
/Nを劣化させるという問題が生じる。
第4図におけるグレーティングカップラー11bの結合
効率を完全に1. OOパーセントにすることは、現実
的には不可能であり、不要な光116の発生はまぬがれ
えない。この不要光によろS/Hの劣化が、素子の光学
的特性を劣化させる事を防止するために、第5図に示し
たように、基板底面に斜面30を設ける。このようにす
ることで、斜面30に入射する不要な光116は、斜面
においては全反射条件を保持しなくなり、一部は透過光
117として出てゆく。斜面30で反射した光は、導波
路表面に対する入射角度が浅くなり(反射面に対し、垂
直に近い角度で入射することを、入射角度が浅いと称す
ることにする。)全反射条件を保持しなくなり、一部は
透過光117として基板外部へと出てゆく、このように
斜面30の部分で反射を繰り返すたびに不要な光116
の強度は減衰し、さらに反射するたびに斜面30や導波
路表面に対する入射角度は浅くなって反射率が小さくな
ることもあり、この不要な光を有効に減衰させることが
できる。このように、斜面30を設けることにより、光
検出器で検出される信号のS/N比を向上させることが
できるという効果がある。
不要な光によるS/Nの劣化が、素子の光学的特性を劣
化させる事を防止する別の手段に、第6図に示したよう
に、基板端面に反射防止膜7Cを設ける手段がある。こ
のようにすることで、不要な光116は端面において反
射する事無く、効率的に透過光117として基板外部に
射出し、不要な光を有効に減衰させることができる。こ
のように、反射防止膜7cを設けることにより、光検出
器で検出される信号のS/N比を向上させることができ
るという効果がある。
不要な光によるS/Nの劣化が、素子の光学的特性を劣
化させる事を防止する別の手段に、第7図に示したよう
に、基板底面に反射膜7dを設ける手段がある。これは
、これまでの構成では、部品数の低減のため、誘電体多
層反射膜7aで反射した光をグレーティングカップラー
11bに導くために、基板底面での全反射を利用してい
た。このことが、第4図から第6図における不要な光1
16が基板内で全反射を続け、光量の減衰を妨げて、結
局はこの不要な光が多量に光検出器に入射してしまうこ
とが生じ得る。そこで、第7図においては、誘電体多層
反射膜7aで反射した光をグレーティングカップラー1
1bに導くために、基板底面での全反射を利用しない、
基板底面における全反射を利用するか否かは、回折格子
12bやM電体多層反射膜7aの設計形状、配置等で基
板底面に対する光の入射角度を調整することで、あらか
じめ決定できる。
!Wttt体多層反体膜層反射膜7aた光は、基板底面
にある反射膜7dの作用で反射され、グレーティングカ
ップラー11bに入射する。入射光は、一部は結合して
導波光115に、一部は反射して不要な光116に、一
部は透過して透過光117になる1反射した不要な光1
16は基板の裏面と、導波路表面で反射を繰り返し伝播
してゆく0反射のたびに光の一部は透過光117として
基板外部に出てゆくため、この不要な光116は効率よ
く減少してゆく。これより、光検出器に重畳してしまう
不要な光を少なくすることができ、光検出器で検出され
る信号のS/N比を向上させることができるという効果
がある。
ここで、反射膜7dには金属反射膜を用いることができ
る。このようにした場合、製造が容易となり、かつ光検
出器で検出される信号のS/N比を向上させることがで
きるという効果がある。ただし、第2図において、半導
体レーザー5から射出した光が光情報媒体20に到達す
る光線経路(光の通過する部分)の中に、第7図の反射
膜7dが存在すると、光情報媒体20に到達する光の一
部が遮られて、光情報媒体20に照射される光の量が減
少してしまう。これより、反射膜7dの設置位置に注意
を要する。
また1反射膜7dに誘電体多層反射膜を用いることがで
きる。誘電体多層反射膜は、光波電子工学、小山次部等
著、コロナ社、1978年、第132頁2表4.1に見
るように、反射型回折格子として機能することができる
。反射が生じるのは、ブラッグ角近傍のみである。誘電
体多層反射膜を、光113が反射するように、光113
の入射角がブラッグ角となるように設計する。この場合
、第2図の半導体レーザー5から射出し光情報媒体20
に至る光は、m電体多層薄膜に対する入射角がブラッグ
角と大幅に異なったものなる。すなわち、第2図の半導
体レーザー5から射出し光情報媒体20に至る光は、こ
の誘電体多層反射膜7dで、反射や回折の影響を受ける
事が無い。このようにすると、第2図における半導体レ
ーザー5から射出した光が光情報媒体20に到達する光
線経路の中に、反射膜7dが存在しても、光情報媒体2
0に到達する光が遮られることがなく、光を有効に利用
できる、反射膜7dの設置位置の自由度が上がり、基板
1の大きさを小さくできるという効果がある。
また、反射膜7dをまったく用いない方法もある。この
場合、光113が反射する際の反射率が低いために、光
114の光量が少なく、これゆえグレーティングカップ
ラー11bで結合し光検出器6cで検出される光の量が
低下してしまうが。
構造が簡単で、かつ光検出器で検出される信号のS/N
比を向上させることができるという効果がある。
光検出器に入射する不要光の電が実用上問題とならない
範囲であれば、特に第4図から第7図で説明する手法を
省略できる。この場合は、構造が簡単になり、製造が容
易になるという効果がある。
次に、第8図及び第9図を用いて、基板内部を伝搬する
不要な光を防止して、光検出器からの出力のS/N比を
向上させる手法について説明する。
第8図及び第9図は、第1図における光検出器6c、グ
レーティングカップラ−11b1回折格子12bを含ん
だ断面における断面図となっている。また、以下の論議
は、断面位置を変え、第1図における光検出器6a、6
b、グレーティングカップラー1182回折格子12a
を含んだ断面、及び第1図における光検出器6d、6a
、グレーティングカップラー1102回折格子12cを
含んだ断面でも同様に成り立つ。
第8図及び第9図において、回折格子12bに入射する
光110は、回折格子12bにより回折され、回折光1
12となる。また、回折格子12bで回折されなかった
光122は、一部は基板底面を透過して光111となり
、また、一部は基板底面で反射して光120となり、不
要な光として基板1内部を伝播する。この光120自身
は、基板底面及び導波路に対し浅い角度で入射するので
、光検出器6Cに入射する以前に十分減衰すると考えら
れる。しかし、この光120が、導波路表面に設置され
た回折格子12b及びにllbに入射すると1回折格子
により回折され、基板内部を伝播する不要な光121と
なる。この先121は、基板内部を伝播し、光検出器6
cに入射して、光検出器6cで検出する信号のS/N比
を悪化させる原因となる。このような性能劣化を防止す
るため、基板底面に反射防止膜7bを設置する。この反
射防止膜7bは、回折格子12bで回折されなかった光
122が、基板底面で反射光120を発生することを防
止する。このようにすることで、不要な光120が発生
せず、それゆえ不要な光121をも防止することができ
る。これより、光検出器6cで検出する信号のS/N比
の悪化を防止し、常に安定して高い光学性能を維持する
という効果がある0以上のような反射防止膜7bを用い
た不要な光の防止方法の他、第611における反射光1
20が回折格子12b及びグレーティングカップラー1
1bに入射しないように、おのおのの素子の配置を決定
することで、不要光を防止する方法もある。この手法は
、基板の厚み、おのおのの光学素子の配置面の寸法、角
度等を適当に設定することで実現できる。この際には、
反射防止膜7bが不要となり、構造を簡略化できるとい
う効果がある。
次に、第10図及び第11図を用いて、光の利用効率の
向上方法につき説明する。
第10図及び第11図は、第1図における回折格子12
bを含んだ断面における断面図となっている。また、以
下の論議は、断面位置を変え、第1図における回折格子
12aを含んだ断面、及び第1図における回折格子12
cを含んだ断面でもそれぞれ同様に成り立つ。
第10図において、第1図における半導体レーザー5か
ら射出し、第1図におけるレンズ3aにより平行光とさ
れた光125は、基板1を通過し、回折格子12bに入
射して、これを透過し、光126となって、第1図にお
けるレンズ3bにより集光されて、第1図における光情
報媒体20に至る。光125が回折格子12bを透過す
る際。
回折格子の設計条件によっては1回折光127゜128
が発生する0回折光127,128の発生により、光情
報媒体に至る光126の光量が減じられ、半導体レーザ
ーから射出した光を十分に効率よく光情報媒体に照射す
ることができないことがある。これらの回折光127,
128の発生を抑える事ができれば、光の利用効率を向
上させる事ができる。
回折光127,128の発生を抑えるための手法につき
説明する。第12図には、光を伝播する2つの媒体の境
界に存在する回折格子に入射した光が、回折格子からど
のような角度で射出するかを示したものである。第12
図を第10図に適用するためには、第12図における第
1図の媒体を第10図における基板に、第12図におけ
る第2の媒体を第10図における基板外部の空間(通常
は空気)にすれば良い、ここで、1次回折光及び−1回
折光を含み、任意のm次の回折光(m=±1.±2.±
3.±4.・・・)が発生しないようにするには、第1
2図の式4及び弐6を含み、第8式が成立するようにす
れば良い、これらの式が成立するように、おのおのの設
計パラメーターを決定することにより、任意のm次の回
折光の発生を防止することができて、第10図の回折光
126及び128の発生を防止することができる。なお
、第10図には1次回折光及び−1次回折光のみ記載さ
れているが、−船釣にm次の回折光についても同様のこ
とがいえる0以上のように、おのおのの構造を決定する
ことにより、半導体レーザーから射出した光を十分に効
率よく光情報媒体に照射することができ、信号読みだし
、書き込み動作の安定化、半導体レーザーの小型化が計
れるという効果がある。
次に、第11図において、第1図における光情報媒体2
0で反射し、第1図におけるレンズ3bにより平行光と
された、第11図の光110は。
回折格子12bに入射し、ここで一部は透過し、光11
1となる。また一部は回折し、−1次回折光112とな
る。また一部は1次回折光130となる。ここで、実際
に第1図における光検出器68〜6eに入射し、有効な
信号を生成する光は一1次回折光112であり、この他
の光111及び1次回折光130は不要な光である。不
要な光111は第9図で述べた方法で基板外部に効率よ
く排除することができる。不要な光129は、これが直
接光検出器6Cに入射したり、あるいは基板底面におい
て反射して反射光130となり、反射光130が光検出
器6Cに入射したりする事により、光検出器で検出され
る信号のS/N比が悪化する可能性がある。
1次回折光129を防止することを考える。ここで、第
12図を第11図に適用するために、第12図における
第1の媒体を第11図における基板外部の媒体(通常は
空気)に選び、第12図における第2の媒体を第10図
における基板に選ぶ。
このようにした際、第11図において一1次回折光が発
生して、かつ1次回折光が発生しないためには、第12
図における式4が成立せず、かつ弐6が成立すればよい
、このように回折格子の構造を設計することで、第11
図の1次回折光129及び反射光130を防止すること
ができ、光検出器で検出される信号のS/N比が悪化す
る事を防止して、常に高い光学性能を維持できるという
効果がある。
次に、第13図を用いて、第1図における光検出器6a
〜6eの設置手法につき説明する。第13図は、第1図
の一部を省略したものをもとに描いたものである。基板
1には導波路2が設置されている。ここで、導波路に補
助部材1aを取り付ける。そして、光検出器68〜6e
が設置される面がほぼ同一平面になるように、補助部材
を固定するか、補助部材を固定したあと、光検出器68
〜6eが設置される面がほぼ同一平面になるように研磨
する。このようにしたあと、この面に光検出器68〜6
θを取り付けた場合、光検出器を取り付ける面が平面で
あるため、光検出器が安定して取り付けることができ、
所定の光学性能を長期にわたり維持できるという効果が
ある。また。
光検出器68〜6eの固定に接着剤を使用した場合、接
着剤の効果に伴なう接着剤の収縮が生じても、アライメ
ントが狂う事無く、簡単なi[で高い光学性能を実現で
きるという効果がある。
光検出器68〜6θの形状によっては、補助部材1aを
省略し、基板1のみに接続してもよい。
この場合1部品数を低減でき、さらに補助部材により導
波路2の等4I[i屈折率が変化することにょる導波光
の散乱を低減できるという効果がある。
次に第14図を用いて、第1図におけるレンズ3aの保
持方法につき説明する。第1411は、第1v4の一部
を省略したものをもとに描いたものである。半導体レー
ザー5から射出した光は、基板lに直接、あるいは補助
部材1bを用いて間接的に取り付けられたレンズ3aに
より、平行光とされ、レンズ3bにより光情報媒体20
に照射される。ここで、レンズ3aを基板1に対し固定
しているので、両者の相対的位置が変化することが少な
く、常に安定して所定の光学性能を維持することができ
るという効果がある。ここで、レンズ3aと補助部材1
bとは、別々に制作して両者を固定しても良い、この場
合、互いの製造工程を独立に行なうことができるので、
II造が楽になる。
製造精度が向上するという効果がある。また、両・者を
単体として(両者を一つの部品として)製造しても良い
、この場合、全体の部品数が減り、信頼性が向上すると
いう効果がある。このように、補助部材1bを用いてい
るのは、レンズ3aの開口部分を有効に利用するためで
、レンズ3aを最小の大きさのものを用いることができ
るという効果があるためである。また、補助部材1bを
使用せずに、レンズ3aを直接基板1に固定しても良い
、この場合、部品数が減り、信頼性が向上するという効
果がある。レンズ3aと基板1との固定、レンズ3aと
補助部材1bとの固定、補助部材1bと基板1との固定
には、光源の発振波長において光を通過する接着剤を使
用すると、接着方法が簡単で光学性能の高い固定ができ
る。
次に、第15図から第21図を用いて、トラックエラー
信号、フォーカス毛う−信号、読み出し信号、の検出の
しかたを説明する。第15図から第20図は、第1図に
おける基板1を、導波路2に蓋直でありかつ導波路があ
る方向から見た図になっており、特に光検出器の近傍を
描いたものになっている。また、第21図は信号処理系
を描いたものになっている。
第15図から第17図を用いてフォーカスエラ−信号の
検出法につき説明する。第15図は、第1図における光
情報媒体20の反射面が、第1図におけるレンズ3bの
形成する焦点の位置に存在した場合であり、フォーカス
エラーが無い場合である。第1図におけるグレーティン
グカップラー11aで結合した光131は、隣接して設
置された光検出器6aと6bの境界近傍に焦点を形成さ
せながら、双方の光検出器に入射する。この際、光検出
器6aで検出される信号量と、光検出器6bで検出され
る信号量とは等しい、逆に1両方の光量が等しくなるよ
うに光検出器6aと6bを設置する。また、第1図にお
けるグレーティングカップラーflbで結合した光13
2は光検出器6cに入射する。また、第1図におけるグ
レーティングカップラー11cで結合した光133は。
隣接して設置された光検出・器6dと68の境界近傍に
焦点を形成させながら、双方の光検出器に入射する。こ
の際、光検出器6dで検出される信号量と、光検出器6
8で検出される信号量とは等しい、逆に、両方の光量が
等しくなるように光検出器6dと68を設置する。
第16図は、第1図における光情報媒体2oが、第1図
におけるレンズ3bの形成する焦点の位置よりも基板1
に近い側に存在した場合であり、フォーカスエラーが存
在する場合である。第1図におけるグレーティングカッ
プラー11aで結合した光134は、隣接して設置され
た光検出器6aと6bの境界近傍に焦点を形成させなが
ら、光検出器に入射する。この際、光134は光検出器
6aの存在する側に偏向されていて、光検出器6aで検
出される光量が、光検出器6bで検出される光量より大
きい、また、第1図におけるグレーティングカップラー
11bで結合した光135は光検出器6cに入射する。
また、第1図におけるグレーティングカップラー11c
で結合した光136は、隣接して設置された光検出器6
dと68の境界近傍に焦点を形成させながら、光検出器
に入射する。この際、光136は光検出器6eの存在す
る側に偏向されていて、光検出器6eで検出される光量
が、光検出器6dで検出される光量より大きい。
第17図は、第1図における光情報媒体20が。
第1図におけるレンズ3bの形成する焦点の位置よりも
基板1から遠い側に存在した場合であり。
第16図の場合と符号の逆なフォーカスエラーが存在す
る場合である。第1図におけるグレーティングカップラ
ー11aで結合した光137は、隣接して設置された光
検出器6aと6bの境界近傍に焦点を形成させながら、
光検出器に入射する。
この際、光134は光検出器6bの存在する側に偏向さ
れていて、光検出器6bで検出される光量が、光検出器
6aで検出される光量より大きい。
また、第1図におけるグレーティングカップラー11b
で結合した光138は光検出器6cに入射する。また、
第1図におけるグレーティングカップラー11cで結合
した光139は、隣接して設置された光検出器6dと6
0の境界近傍に焦点を形成させながら、光検出器に入射
する。この際、光139は光検出器6dの存在する側に
偏向されていて、光検出器6dで検出される光量が、光
検出器6eで検出される光量より大きい。
これらのことから、光検出116aと6bとの出力の差
、もしくは光検出器6dと6eとの出力の差のどちらか
一方を算出すればフォーカスエラー信号が得られる。ま
たは、光検出器6aと6bとの出力の比、もしくは光検
出器6dと6eの出力の比のどちらか一方を算出しても
よい、この場合光検出器6aと6bの出力の和が、光源
光量変動。
光情報媒体の反射率の変動、トラッキングエラー等で変
動したり、光検出器6dと6eの出力の和が同様な理由
により変動しても、フォーカスエラー信号からそれらの
影響を除くことができるという効果がある。または、第
21図に示したように、光検出器6aと60の出力の和
から、光検出器6bと6dの出力の和を減じても良い、
この場合、フォー、カスエラー信号からトラックエラー
信号の影響を除くことが゛できるという効果がある。
第21図において、光検出器6a〜6eからの信号はプ
リアンプ50により増幅され、加算器51、減算器52
により演算される。これをフォ−カスエラー信号として
用iる。このフォーカスエラー信号は、第1riAにお
ける半導体レーザー5の光量変動の影響、第1図におけ
る光情報媒体20の反射率の変動の影響、その他の変動
の影響がある。このため、加算器57ですべての光検出
器の出力を加算した結果により、自動利得調整回路 (
Automatic  Ga1n  Control 
 circuit  A G C)58により、フォー
カスエラー信号を正規化する(加算結果でフォーカスエ
ラー信号を除する。)事により、より変動の少ないフォ
ーカスエラー信号を得ることもできる。
次に、第18図及び第20図を用いて、トラックエラー
信号の検出方法につき説明する。
第18図は、第1図における光情報媒体20の上のトラ
ック(情報ビットが並んでいる列のこと)が、第1図に
おけるレンズ3bの形成する焦点の位置に存在した場合
であり、トラックエラーが無い場合である。第1図にお
けるグレーティングカップラー11aで結合した光14
0は、隣接して設置された光検出116aと6bの境界
近傍に焦点を形成させながら、双方の光検出器に入射す
る。
また、第1図におけるグレーティングカップラーflb
で結合した光141は光検出器6cに入射する。また、
第1図におけるグレーティングカップラー11cで結合
した光142は、隣接して設置された光検出器6dと6
8の境界近傍に焦点を形成させながら、双方の光検出器
に入射する。この際、光140の光量と、光142の光
量とは等しい。
第19図は、第1図における光情報媒体2oの上のトラ
ックが、第1図におけるレンズ3bの形成する焦点の位
置に存在せず、若干ずれている場合であり、トラックエ
ラーがある場合である。第1図におけるグレーティング
カップラー11aで結合した光143は、隣接して設置
された光検出器6aと6bの境界近傍に焦点を形成させ
ながら、双方の光検出器に入射する。また、第1図にお
けるグレーティングカップラー11bで結合した光14
4は光検出器6cに入射する。また、第1図におけるグ
レーティングカップラー11cで結合した光145は、
隣接して設置された光検出器6dと60の境界近傍に焦
点を形成させながら、双方の光検出器に入射する。この
際、光143の光量は、光145の光量と比べて大きく
なっている。
第20図は、第1図における光情報媒体2oの上の情報
ビットが並んでいるトラックが、第1図におけるレンズ
3bの形成する焦点の位置に存在せず、第19図の場合
と逆方向に若干ずれている場合であり、トラックエラー
が有る場合である。
第1図におけるグレーティングカップラー11aで結合
した光146は、隣接して設置された光検出器6aと6
bの境界近傍に焦点を形成させながら、双方の光検出器
に入射する。また、第111におけるグレーティングカ
ップラーlieで結合した光147は光検出器6cに入
射する。また、第1図におけるグレーティングカップラ
ー11cで結合した光148は、隣接して設置された光
検出@6dと60の境界近傍に焦点を形成させながら、
双方の光検出器に入射する。この際、光148の光量は
、光146の光量と比べて大きくなっている。
これらのことから、光検出jIII6aと6bで検出さ
れた信号を加算した結果と、光検出4116dと60で
検出された信号の加算した結果との差を検出すればトラ
ックエラー信号が得られ、第21図に示したような信号
処理方法を用いる。
第21図において、プリアンプ50で増幅された光検出
器6a〜6eからの信号は、減算器53゜加算$54に
より演算される。これがトラッキングエラー信号として
用いる。このトラッキングエラー信号は、第1図におけ
る半導体レーザー5の光量変動の影響、第1図における
光情報媒体20の反射率の変動の影響、その他の変動の
影響がある。このため、加算器57ですべての光検出器
の出力を加算した結果により、自動利得#整回路59に
より、トラッキングエラー信号を正規化する(加算結果
でトラッキングエラー信号を除する、)事により、より
変動の少ないトラッキングエラー信号を得ることもでき
る。
第21図においては、上記のフォーカスエラー信号検出
、トラックエラー信号検出、及び読みだし信号検出回路
の一例が示されている。加算器55及び減算器56によ
り信号を処理することにより、読みだし信号を得る。た
だし、必要に応じて、自動利得調整回路60を用いると
、各種の変動要因による信号特性悪化を防止できる。ま
た、自動利得調整回路58〜60に送る加算4!I57
の演算結果は、必要に応じてローパスフィルター61を
用いることもできる。このようにすると、自動利得調整
回路58〜60に必要以上の高周波成分を注入すること
を防止することができ、信号の特性を改善できるという
効果が有る。また、減算器52の結果、あるいは加算器
54の結果を、それぞれローパスフィルター62及び6
3を用いて信号処理することができる。このようにする
ことで、トラックエラー信号やフォーカスエラー信号に
読みだし信号が重畳することを避けることができ、信号
の特性を改善できるという効果が有る。
このローパスフィルターは、自動利得調整回路58及び
59の後で用いても同様である。また。
減算器56の演算結果に、バイパスフィルター60を用
いて信号処理することができる。このようにすると、読
みだし信号から、各種信号処理回路のドリフトの影響、
その他のノイズ等の影響を除くことができ、信号の特性
を改善することができるという効果が有る。さらに、バ
イパスフィルターの変わりに、読みだし信号の周波数帯
域をカバーするバンドパスフィルターを用いると、より
いっそう信号の特性を改善することができろという効果
が有る。これらの信号の改善は、自動利得調整回路60
のあとで行なっても同様である。
次に、第22図を用いて1.半導体レーザー5のコント
ロール方法につき説明する。第22図において、半導体
レーザー5から射出した光は、レンズ3aの作用で平行
光とされ、基板1を通過して、レンズ3bにより集光さ
れ、光情報媒体20に焦点を形成する。光情報媒体20
に照射する光の量を予期した値に正しく合わせることは
、第15図から第21図で述べた信号処理の過程で、信
号の品位を落とすことを防止する上で重用である。この
ため、予期されない光量変動を避は信号の品位を維持す
る効果を求めて、半導体レーザー5には、自動光量側1
1(Automatic Power Control
、APC)が行なわれることが好ましい、これは、半導
体レーザー5で発振している光の量を検出して、これが
常に予期された値になるよう、半導体レーザー5に注入
する電流を帰還制御するものである。
半導体レーザー5で発振している光の量を検出する方法
は、半導体レーザー5のパッケージ内に実装された光検
出器による方法が有る。この場合。
光検出器が半導体レーザー内に実装されているので、装
置全体が小型になるという効果が有る。
半導体レーザー5で発振している光の量を検出する別な
方法は、半導体レーザー5から射出し。
レンズ3aで平行光となった光が、基板1の底面で反射
した光を光検出器6fで検出する方法が有る。このよう
にすると、光検出器に光を導くためのビームスプリッタ
−を、光路(光が伝播している部分)中に挿入する必要
が無く1部品数を低減できるという効果の他、装置を小
型にできるという効果が有る。光検出器6fに光を入射
させる際に、レンズ3fを用いて光を集光させても良い
このようにした場合、光検出器6fの光受光部分の面積
が小さい場合でも、光を有効に光検出器に入射させるこ
とができるため、光検出器を小型化し、装置を小型化で
きるという効果の他、光検出の際の感度を向上させるこ
とができるという効果が有る。
半導体レーザー5で発振している光の量を検出する別な
方法は、半導体レーザー5から射出し。
レンズ3aで平行光となった光が、導波路表面で反射し
た光を光検出器6gで検出する方法が有る。
このようにすると、光検出器に光を導くためのビームス
プリッタ−を、光路中に挿入する必要が無く、部品数を
低減できるという効果の他、装置を小型にできるという
効果が有る。光検出器6gに光を入射させる際に、レン
ズ3gを用いて光を集光させても良い、このようにした
場合、光検出器6gの光受光部分の面積が小さい場合で
も、光を有効に光検出器に入射させることができるため
、光検出器を小型化し、装置を小型化できるという効果
の他、光検出の際の感度を向上させることができるとい
う効果が有る。
半導体レーザー5で発振している光の址を検出する別な
方法は、半導体レーザー5から射出し、レンズ3aで平
行光となった光が1回折格子12bで回折した光を光検
出器6hで検出する方法が有る。第10図における回折
光128を用いる訳である。第10図の説明においては
、回折光128を発生しないように、回折格子12bを
設計することもできると述べたが、この回折光128を
用いる場合は、回折光が発生する条件で各部の構造を設
計する。このような構造にすると、光検出器に光を導く
ためのビームスプリッタ−を、光路中に挿入する必要が
無く、部品数を低減できるという効果の他、装置を小型
にできるという効果が有る。光検出器6hに光を入射さ
せる際に、レンズ3hを用いて光を集光させても良い、
このようにした場合、光検出器6hの光受光部分の面積
が小さい場合でも、光を有効に光検出器に入射させるこ
とができるため、光検出器を小型化し、装置を小型化で
きるという効果の他、光検出の際の感度を向上させるこ
とができるという効果が有る。
半導体レーザー5で発振している光の量を検出する別な
方法は、半導体レーザー5から射出し、光情報媒体20
で反射し1回折格子12bで回折した光のうち、第11
図における回折光129を、光検出器61で検出する方
法が有る。第11図の説明においては、回折光129を
発生しないように、回折格子12bを設計することもで
きると述べたが、この回折光129を用いる場合は、回
折光が発生する条件で各部の構造を設計する。このよう
な構造にすると、光検出器に光を導くためのビームスプ
リッタ−を、光路(光が伝播している部分)、中に挿入
する必要が無く1部品数を低減できるという効果の他、
装置を小型にできるという効果が有る。光検出WI6i
に光を入射させる際に。
回折光が基板裏面を透過した光を直接受光しても良い、
この場合、構造が簡単になるという効果が有る。また、
基板裏面で全反射がおきたりするなど、透過光強度が不
十分な場合は、補助部材ICを基板1に固定し、光を有
効に基板裏面から透過させることができる。この場合、
光の利用効率が向上するという効果が有る。また、補助
部材ICを基板1と同じ材質のものを用いることができ
る。
この場合、補助部材ICと基板1との屈折率の差がなく
なるので、光の透過率が向上するという効果が有る。補
助部材ICと基板1との固定には、光源の波長において
は光を透過する接着剤を用いることができる。このよう
にした場合、補助部材1cと基板1との位置関係が安定
化し、長期にわたる信頼性が向上するという効果が有る
。また。
レンズ31を用いて光を集光させても良い、このように
した場合、光検出器61の光受光部分の面積が小さい場
合でも、光を有効に光検出器に入射させることができる
ため、光検出器を小型化し、装置を小型化できるという
効果の他、光検出の際の感度を向上させることができる
という効果が有る。
以上のような方法のうち1つ、あるいは任意の2つ以上
を同時に用いて、半導体レーザー5で発振している光の
強度を測定する。8!定結果を自動光量調整回路65に
帰還し、半導体レーザー5で発振している光景を安定化
する。
光情報媒体に情報を書き込む際には、自動光景調整回路
65に、半導体レーザーの光量を任意の値に調整あるい
は変強することができる、光変調信号入力部を設ける。
光情報媒体に信号を書き込む時の動作については後述す
る。
高周波発振器66を設けて、自動光景調整回路65に高
周波を入力し、半導体レーザー5の注入電流に高周波を
重畳する事ができる。このような高周波重畳を行なう事
により、半導体レーザー5の動作が安定化するという効
果が有る。また、高周波発振器66で発振する周波数は
、第21図の信号処理系から出力される信号の波長帯域
と別な波長帯域にあるようにする。これにより、第21
図の信号処理装置からの信号から、高周波発振器66の
発振周波数のものを取り除くことで高周波重畳の影響を
除くことができ、信号の品位を維持しつつ安定して高周
波重畳ができるという効果が有る。
半導体レーザー5がシングルモードレーザーである場合
、注入電流に高周波を重畳すると、発振モードはマルチ
モードになることが有る。半導体レーザー5にマルチモ
ードレーザーを用いた場合も含め、マルチモード発振で
は、レーザーからの射出光は、比較的広い発振波長帯域
を有する。グレーティングカップラーにマルチモードの
レーザー光をか入射した場合、グレーティングカップラ
ーの結合条件を考えると、結合できる光の波長帯例はマ
ルチモードの発振波長帯域より小さいことが有る。この
ような場合、結合する光の波長帯域以外の光は結合でき
ないので、光の利用効率が減少してしまう、これに対し
、第3図のような外部の回折格子で波長変動に対する対
策をほどこした光集積回路では、広い波長帯域にわたり
光を結合することができるので、マルチモードレーザー
を用いた場合でも、光の利用効率が上げられるという効
果が有る他、マルチモードレーザーを用いることにより
、レーザーノイズの低減、レーザーへの戻り光防止装置
を簡略化で倦る1等の効果が有る。ここで、戻り光とは
、レーザーから射出した光のうち、レーザー外部の光学
部品等により反射し、再びレーザーに戻ってくる光のこ
とである。
これは、レーザーで発振する光の社や波長の変動(レー
ザーノイズ)の原因となるものである。
第21図において、自動利得*U開回路8〜60におい
てトラックキングエラー信号、フォーカシングエラー信
号、読み出し信号の正規化の際に用いる信号として、加
算器57の演算結果を用いた。この正規化のための信号
源として、第21図の加算器57の出力でなく、第22
図における光検出器6f、6g、8h、6iからの出力
のうち一つ、あるいは複数を用いることができる。この
ようにした場合、第21図における信号処理系を簡略化
することができるという効果が有る。
次に、第23図を用いて、本実施例のM整装置の説明を
行なう、第23図は、 Ill!!1装置の斜視図を示
している。第23図において、光[5aから射出した光
は、レンズ3dを通過する。ここで。
光源5aはレーザーを用いることが好ましい。また、こ
のレンズ3dは、光の進行方向に移動可能な直進ガイド
機構70の上に設装置されている。アクチュエーター7
1でこのレンズを駆動することにより、レンズ3dから
出る光を平行光としたり、発散光としたり、収束光とす
ることが可能になっている。レンズ3dを通過した光は
、回折格子12a、12b、12cに入射し、一部の光
は回折せず透過する。この光は、導波路2.基板1を透
過して基板外部に射出し、必要に応じて反射鏡78等を
用いて偏向される。この光は、レンズ33c、シリンド
リカルレンズ3eの作用で焦点を形成し、焦点の近傍に
設置された4分割光検出樹アレイ3jに入射する。レン
ズ3dを通過した光が、平行光か、収束光か、発散光か
、により、レンズ3c及びシリンドリカルレンズ3θで
集光した光の焦点位置が変化する。シリンドリカルレン
ズ3eによる非点収差により、この焦点位置変化は、光
検出器アレイ3jのおのおのの光検出器に入射する光の
量の比の変化となる。これより、この光検出器アレイ3
jからの出力を、演算装置67で処理することにより、
光検出器アレイ3jの上の非点収差の量を知ることがで
き、レンズ3d及びシリンドリカルレンズ3eによる焦
点位置が分かる。この値より、レンズ3dを通過した光
が平行光か、発散光か、収束光かを定量的に判別でき、
グレーティングカップラー12a〜12cに入射する光
が、平行光か、収束光か、発散光かが分かる。
演算装置67の出力は、コントローラー80に取り込ま
れる。この情報をも、とに、コントローラー80がアク
チュエーター71を駆動することにより、レンズ3dを
通過する光を、平行光としたり、発散光としたり、収束
光としたり任意に設定するを可能とする。
基板1上に集積化された素子は、モノリシックに作られ
た部分は、調整の必要がないが、光検出器68〜6eを
外付け部品(基板1.導波路2、あるいはこれらにモノ
リシックに取り付けられたものに、接着剤や、補助的な
取り付け器具を用いて取り付けたものを外付け部品と称
することにする。基板1にある反射膜1反射防止膜等は
モノリシックなものであるとする。)とした場合、この
取り付け部品の取り付けと、取り付け位置の調整の必要
がある。
光検出器の位置調整は、以下のような要領で行なう、モ
ノリシックな部品が取り付けられ、光検出器が取り付け
られていない状態で、基板1を微動台72aに固定する
。微動台72aは微動台72bと組み合わされて回転運
動し、回折格子12a〜12cに入射する光の入射角を
調整する。
微動台72a、72bはコントローラー80に接続され
たアクチュエーター72cにより運転される。光検出器
6a、6bは、部品チャック可能な3次元移動装置73
aにより部品供給台から取り出され、基板1の端面近傍
におかける。また、光検出器6Cは1部品チャック可能
な3次元移動装置73bにより部品供給台から取り出さ
れ、基板1の端面近傍におかれる。また、光検出器6d
6eは、部品チャック可能な3次元移動装置73cによ
り部品供給台から取り出され、基板lの端面近傍におか
れる。おのおのの光検出器には、第21図で示した信号
処理回路が接続される。
レンズ3dを通過した光を平行光にセットし、回折格子
12a〜12cに入射させる。ここに入射した光の一部
は回折し、第1図から第3図で説明したように5反射膜
7a、グレーティングカップラー11a、llb、li
e等により、基板1に設けられた導波路2を伝搬する光
となる。レンズ10a〜10fにより集光した光は、基
板1の端面から射出し、その光の一部は光検出器6a〜
6θに入射する。おのおのの光検出器で検出された信号
の総和が最大になるように、微動台72aを調整し、回
折格子12a〜12cに対する光の入射角度を調整する
。この最大点かもとまった後、光検出器6a、6b、6
d、6eに光が入射するようにしながら、第21図のト
ラッキングエラー信号、フォーカスエラー信号が中立の
値を示すように、3次元移動装置[73a、73cを駆
動して。
光検出器の位置を微調節する。また、光検出器6oは、
単独の出力が最大になるように、その位置を調整する1
位置の微調整が終了した後、3次元移動装置73dに乗
せられた吐出装置74により、接着剤が基板と光検出器
68〜6eにつけられ、接着剤の硬化により光検出器は
固定される。
ここで、接着剤の硬化の際に、照射袋[81から発生す
る電磁波(赤外線、可視光、赤外線、電子線、その他の
エネルギー)を接着剤に照射して、接着剤の硬化の促進
を計ってもよい、この際は、接着強度の増加、接着に要
する時間の短縮ができるという効果がある。また、光検
出器68〜6eを取り付ける際に、第13図に示したよ
うな補助部材1aを用いてもよい、補助部材1aを基板
1に接着し、接着剤を基板1と光検出器68〜6eと補
助部材1aにつけることにより、接着の際の接着強度を
向上することができる。この際は、光検出器の取り付け
強度が向上し、安定な光学性能を長期間保持できるとい
う効果がある。
光検出器を固定する接着剤には、光源の波長帯域におい
ては光を少ない減衰率で透過する物質(透光性物体と称
する)である接着剤を用いるとよい、この場合、光路中
に接着剤が存在しても。
光の損失が少なく、組み立てが簡略化されるという効果
がある。
また、光検出器と基板、あるいはさらに補助部材との接
着には、接着剤による手法の他、熱あるいは圧力の片方
、あるいは双方を同時に用いた溶着による手法を用いる
ことができる。その−手法にアノ−デイックボンディン
グがあるが、その他を含め、この手法によると、接着剤
が不要になる他、より接着部の信頼性が向上するという
効果がある。
光検出器の取り付けが終了した後、実際の稼動状況を模
擬して、光学的特性の評価を行なうことができる。フォ
ーカスエラーが発生した場合の模擬は、アクチュエータ
ー71を用いてレンズ3dを移動することで行なう。ま
たは、第23図には則さないが、レンズ3dは固定し、
光源5aを光軸方向に移動可能な構造にして、光源5a
の位置を変化させることで行なっても同様な模擬ができ
る。また、トラッキングエラーの模擬は、光源5aから
回折格子12aに至る経路、及び光源5aから回折格子
12cに至る経路の片方あるいは両方に、光の減衰器7
5aをアクチュエーター75b及びレール75cを挿入
して、回折格子12aに入射する光の量と、回折格子1
2cに入射する光の量との比を変化させることにより行
なう、また、読みだし信号の模擬は、波長板76aを回
転袋[76bに取り付け、アクチュエーター76cを用
いてこれを回転させることで行なう。
これらの模擬装置により、実動作時の光学系の性能評価
を行なうことができ、十分な性能を有するものを選択的
に製品とすることで、11品信頼性の向上を計ることが
できるという効果がある。
また、光検出器68〜6eをすべて接着する以前にこの
評価を行ない、この結果も含めて光検出器6a〜6eの
取り付け位置の決定を行なうこともできる。この場合、
特性が不十分な光学系を、光検出器の位置の微調整をす
ることで、特性を所定の値に回復することが場合によっ
ては可能であり、生産における歩止まりを改善できると
いう効果がある。
この装置は、コンピューターによる自動組み立て、評価
に適した手法を用いており、生産性の向上を計ることが
できる。
次に、第24図を用いて、光学素子の光ピツクアップへ
の実装方法について説明する。第24図は、光ピツクア
ップ構造の斜視図である。第24図において、半導体レ
ーザー5は、補助部材201に取り付けられている。補
助部材201は、ハウジング200に、ねじ202を用
いて取り付けられる。ねじ202のねじ頭を除いた外径
は、補助部材201に開けられた穴より小さく、バック
ラッシュを有する。このバックラッシュを利用して、補
助部材201に取り付けられた半導体レーザー5の取り
付け位置の調整を行なう、半導体レーザーには、ねじ2
02で直接ハウジング200に固定可能な穴付きのフラ
ンジを有したものを用いてもよい、この場合、補助部材
201は省略することができる。また、補助部材201
あるいは半導体レーザー5の固定には、ねじではなく、
接着剤を用いたり、溶接を用いてもよい、半導体レーザ
ー5から射出した光は、レンズ3aにより平行光とされ
る。ここで、レンズ3aは、円筒状の外殻203を有し
ており、ハウジング200に固定されたスプリング20
4により、壁面205に押し付けられている0片面20
5は平行でない2つの平面からなっており、2つの面に
押し当てられたレンズ3aの外殻203は、レンズ3a
の光軸方向に移動できる構造となっている。このレンズ
位置の移動を利用して、半導体レーザー5から射出した
光を平行となるように調節する。これが平行となった後
は、外壁とハウジング200とは、位置がずれないよう
に、接着剤、ねじ等を用いて互いを固定することもでき
る。
レンズ3aの外殻203の押さえにスプリング204を
用いているが、このスプリング204は、外殻203を
壁面205に押し付けて仮固定し、調整を容易にする効
果のあるものである。調整の際に、壁面205に押し当
てつつ調整を行なうという手段によると、このプリング
204を省略することができる。この場合、部品数を低
減できるという効果がある。
レンズ3aを射出した光は、基板1を通り抜け、反射鏡
13で偏向される。この反射鏡は、複数の平面からなる
壁面206に接して設けられていることで、その取り付
け位置が設定される0反射鏡13とハウジング200と
は、接着剤等を用いて固定される0反射鏡13で偏向さ
れた光が、ハウジングに対し所定の角度となるように、
半導体レーザー5の取り付け位置を調整する。または、
反射鏡13を固定する前に、反射fi13の姿勢を調整
して、反射鏡13で偏向された光が、ハウジングに対し
所定の角度となるよう調整し、その後に反射鏡13を壁
面206に固定してもよい。
ハウジング200は、レンズアクチュエーター210が
、ねじ207及び調節ねじ208で取り付けられている
。調節ねじ208をハウジング200にねじ込む際に、
レンズアクチュエーター210とハウジング200との
間にスプリング209をはさみ込む、調節ねじ208の
締め込み具合により、ハウジング200に対するレンズ
アクチュエーター210の姿勢の調節ができるようにな
っている。この調節は1反射鏡13で偏向された光の光
軸と、レンズアクチュエーター210に搭載されたレン
ズ3bとの光軸とが平行となるようにする。このような
構造を取ることにより、容易にレンズアクチュエーター
210の光軸調整ができるという効果がある。また、第
24図とは別にスプリング209の代りに、シムをレン
ズアクチュエーター210とハウジング200との間に
さはみ、ねじ208をしめ込む構造とすることもできる
。この場合、光軸調整はシムの厚みを変えることにより
行なう、このような構造により、レンズアクチュエータ
ー210の取り付け強度を向上することができ、光軸の
長期安定化、信頼性の向上を計ることができる。
レンズ3bで形成された焦点位置に、疑似光情報媒体2
0aを設置する。これは、光学系のi#l整を行なう際
に、本来光情報媒体がある位置に仮設する調整用の治具
である。これより、疑似光情報媒体20aに、本来の光
情報媒体を用いても、反射鏡を用いてもよい。
疑似光情報媒体20aからの反射光は、レンズ3bを透
過し5反射@20Bで偏向され、回折格子1.2 a 
、 12 b 、 12 cに入射する。この後は。
これまで述べてきたプロセスにより光検出器68〜6e
に光が入射する。光検出器からの出力は、第21図に示
した信号処理を受け、読みだし信号。
トラックエラー信号、フォーカシングエラー信号が出力
される。
回折格子12a〜12cに光が正確な角度で入射するこ
とは、グレーティングカップラー11a〜llcにおい
て、効率よく光を結合するために重要である。このため
の、角度調整方法について説明する。ここでは、第24
図及び、第24図の角度調節部分の拡大図である第25
図を用いて説明する。
基板2には、ホルダー212及びホルダー214が取り
付けられている。この取り付け法は、ねじ止め、かしめ
、接着剤による接着等が考えられる。
基板1とホルダー212,214とで、熱膨張率の差が
無いか少ないようにすることで、基板1やホルダー21
2,214にかかる熱応力を減じることができる。これ
は、信頼性の向上の効果がある。ホルダー212は、柔
軟部分213が設けられている。これは、ホルダー21
1間に、くびれ部分を設けることで実現しており、この
部分は蝶番としての機能を持つ。ホルダー212にばね
性材料を用いることで、このくびれ部分の柔軟性を向上
することができる。ホルダー212の、基板1が接着さ
れていない一端は、ハウジング200にねじ219を用
いで固定されている。これより、ホルダー214が固定
されていなければ、ホルダー212の柔軟部213を蝶
番として、基板1とハウジング200との位置関係を、
柔軟部213が伸びる方向以外には、比較的自由に変化
させることができる。
ホルダー214には少なくとも2つの穴が設けられてお
り、これを通してねじ215,216がハウジング20
0にあるねじ穴220にねじ込まれている。ねじ215
,216には、ホルダー214とハウジング200との
間に、おのおののねじを通ってそれぞれスプリング21
7が設置されている。2つのねじ215,216の締め
込み量により、基板1の傾きの調整を行なうことができ
る。すなわち、ねじ215と216の締め込み量を同時
に同量だけ変化させた場合は、基板1の長辺と入射光の
なす角が変化する。また、ねじ215と216の締め込
み量を同量だけ逆に変化させた場合、基板1の短辺と入
射角のなす角が変化する。このような調整を行なうこと
で、疑似光情報媒体21aからの反射光が回折格子12
a。
12b、、12cに入射する際の入射角度の調整を行な
う。
第24図において、基板1の傾きの調整に際し、光の結
合効率を大きくとりつつ、フォーカスエラー信号にのる
直流ドリフトが無視できるような社になるようにする、
このために、第21図の信号処理回路によりこれらの信
号をモニターしつつ、ねじ215,216を調整する。
この際、おのおののねじの軸方向、ハウジング200に
開けた穴218を適宜設けることにより、ねじを回す工
具の取り扱いを容易にすることができるという効果があ
る。
第24図においては、基板1.のうち、回折格子12a
〜12cの存在する側にホルダー214を、光検出器6
8〜68の存在する側にホルダー212を取り付けてい
る。これが逆に回折格子12a〜12cの存在する側に
ホルダー212を、光検出器68〜68の存在する側に
ホルダー214を取り付けても、基板の傾き′t14!
11に対する効果は同等である。
第24図では、フォーカシング、トラッキングともレン
ズ3bの移動で行なうように、光軸方向及び光軸と垂直
方向にレンズ3bが移動可能なレンズアクチュエーター
210を用いている。これとは別に、レンズアクチュエ
ーター210はレンズ3bを光軸方向に移動してフォー
カシングを行なうのみで、トラッキングは反射鏡13を
ガルバノミラ−としてこれを駆動することにより行なっ
ても良い、この場合、フォーカシング、トラッキングそ
れぞれ専用のアクチュエーターを用いることで、おのお
のの動作をより正確にできるという効果がある。
次に、第26図を用いて、第24図におけるホルダー2
14,212の別実施例につき説明する。
第26図において、基板1には、ホルダー214、及び
ホルダー2128が取り付けられている。ホルダー21
28には、スプリング213aが取り付けられ、このス
プリング213aには、ホルダー212bが取り付けら
れている。ホルダー212b。
214をハウジング200に取り付ける手法は、第25
図と同等であり、基板1の傾きの調整方法についても、
第24図、第25図と同様である。
ここで、第25図のホルダー212をホルダー212a
と212bの2つの部分に分割し、両者をスプリング2
13aで連結した。これにより。
第25図における柔軟部分213の剛性を自由に設定で
き、柔軟部分の信頼性が向上するという効果がある。
次に、第27図を用いて、第24図におけるホルダー2
12,214の別実施例を説明する。
第27図において、基板1はホルダー221に固定され
ている。ホルダー221は、曲げに対する剛性を向1す
るために、必要に応じて補強部分221aを有している
。さらに、ホルダー221は、曲げ部分224を有して
いる0曲げ部分224には曲げに対する補強部分221
aを設けないようにしたり、穴を開けたり1部分的に材
料の厚みを減じたりする剛性低下部分224aを設ける
これにより、ホルダー221の長手方向に対して、ホル
ダー221の、曲げ剛性の最も弱い部分は。
曲げ部分224となるようになっている。また、ホルダ
ー221は穴225を有している。ねじ226は、スプ
リング228.穴225.ワッシャ227を通してハウ
ジング200に締め付けられている。これより、ホルダ
ー221は、スプリング228の与圧でハウジング20
0に押し付けられている6以上のような構造により、ホ
ルダー221は穴225を軸受けとして回転することが
でき、かつ、曲げ部分224を蝶番として曲げることが
できる。
ホルダー221には穴222が設けられており、第25
図のねじ215,216、スプリング217を通してハ
ウジング200にあるねじ穴220に固定される。第2
4図及び第25図に説明した手法により、基板1の傾き
の調整が行なわれる。
このようなホルダー221を使用することは、部品を一
体化することで部品数の低減を行なえる。
ホルダー221が多量生産に適した形状となっているの
で、生産性の向上を計れる、等の効果がある。
ここで、ホルダー221には、必要に応じて光の通過部
分に窓223を設けることができる。このようにするこ
とで、必要な光を遮る事無く、常に高い光学性能を維持
できるという効果がある。
スプリング228には、通常のスプリングの他、スプリ
ングワッシャ、樹脂やゴムを使用したOリング、等の長
手方向に弾性のある部品を利用することができる。この
ような部品を利用した際は、部品を小型、軽量化できる
という効果がある。
スプリング228は省略することができる。この場合、
基板1の傾きの調整に際して、穴225に軸受けの動作
をさせるため、ねじ226を完全には締め付けず、穴2
25に若干のバックラッシュを与える。調整が終了した
後は、ねじ226をバックラッシュがないように完全に
締め付ける。
このようにすることで、部品数の低減、調整終了後のア
ライメントの安定化による光学性能の長期維持が計れる
という効果がある。
ワラシュ227は穴225の軸受は動作を滑らかにする
目的のものであるが、ハウジング200のワッシャ22
7があたる部分の表面を滑らかにすることで、省略する
ことができる。これにより。
部品数の低減が計れるという効果がある。
ワッシャ227をホルダー221とばね228との間、
あるいはばね228とねじ226のばね228があたる
部分にも設けることができる。このようにすることで、
穴225の軸受は動作をよりスムーズにし、基板1の傾
きIll!!1を容易にするという効果がある。
次に、第28図を用いて本発明の基本的動作状況につき
説明する。これまで、第1図から第27図により説明し
てきた光学系9機構系を内蔵したハウジング200には
、レンズアクチュエーター210が取り付けられている
。ハウジング内に内蔵された半導体レーザー(第24図
の半導体レーザー5)は、自動光量調整装置232によ
り駆動されている。この光は、これまで述べてきた光学
的経路により、レンズアクチュエーター210の中の集
光レンズで集光され、光情報媒体20に焦点が形成され
る0反射光は再びハウジング200の中の光学系に入射
し、光強度が検出される。検出信号は、信号処理器23
1により処理され、光情報媒体20の情報の読みだし信
号、トラッキングエラー信号、フォーカスエラー信号と
なる。これらの信号はシステムコントローラー230に
渡される。
トラッキングを行なう手段は、ハウジング200を移動
させて行なう手段(コーストラッキングと称することに
する。)と、ハウジング200を固定して行なう手段(
ファイントラッキングと称することにする。)とがある
、コーストラッキングの手段は、ハウジング200をレ
ール機構255に搭載し、アクチュエーター256によ
りレール機構255の上でハウジング200を移動させ
るものである。ファイントラッキングの手段は、第24
図におけるレンズアクチュエーターに内蔵されたレンズ
3bをレンズの光軸と垂直方向に移鉤させてトラッキン
グする手段と、第24図で説明したように、反射鏡13
をガルバノミラ−として、その傾きを変えてトラッキン
グしたりする手段とがある。ファイントラッキングにお
いては、これら2つの手段のどちらか一方を用いればよ
い。
トラッキングに際し、トラックエラー信号に応じた信号
がシステムコントローラー230から駆動回路234a
と駆動回路234bに渡される。
駆動回路234aはアクチュエーター256を駆動し、
コーストラッキングを行なう、また、駆動回路234b
は上記ファイントラッキング機構を駆動して、ファイン
トラッキングを行なう。
フォーカシングを行なう手段は、レンズアクチュエータ
ー210に内蔵された第24図におけるレンズ3bを光
軸方向に移動させて行なうものがある。
フォーカシングに際し、フォーカスエラー信号に応じた
信号がシステムコントローラー230から駆動回路23
5に渡され、これがレンズアクチュエーター210の中
のレンズを、その光軸方向に移動させ、フォーカシング
を行なう。
回転型の光情報媒体20は、チャック機構251により
固定され、モーター250により回転されている。モー
ター250は駆動回路236により駆動されている。駆
動回路236は、システムコントローラー230の指令
により、モーター250を駆動する。また、チャック2
51を駆動するモーター252は、システムコントロー
ラー230の指令による駆動回路237により駆動され
ている。ここで、駆動回路とは、システムコントローラ
ー230の信号に応じたモーターの動作を得るためのイ
ンターフェース回路である。指令信号に応じて、相応し
た周波数(DCを含む)、電力。
デユーティ−比の信号をモーターに供給するものである
光情報媒体20を交換する際は、モーター250の回転
を止め、チャック251を外す0次に、システムコント
ローラー230からの指令により駆動回路258はモー
ター257を駆動し、モーター257は搬送機構259
を駆動して、レール260にそって光情報媒体を蓋26
1からケーシング262の外部に搬出する0反対に、外
部の光情報媒体をモーター20に取り付けるには、上記
の逆のプロセスによる。
コントローラーは、インターフェース263゜電源26
4とつながっており、インターフェース263はコント
ローラーからの光情報読みだし信号を、この図には記さ
れていない外部の装置に渡す際の、インターフェースを
行なう。インターフェース263からの出力は、出力端
子266につながっている。また、電源264は、ケー
シング262内部の回路、装置の電源となっている。電
源264は入力端子267から、外部より電力の供給を
受けている。
以上の構成により、光情報読み出し装置において、光学
系の部品数を低減でき、生産性の向上と信頼性の向上が
計れるという効果がある。ハウジング200内部の光学
系が小型化するので、ハウジング200自身が軽量化す
る。これは、アクチュエーター256の負荷を軽減する
ことになる。
これにより、アクチュエーター256に供給する電力を
低減でき省エネルギー化ができるという効果がある他、
ハウジング200の加速度を向上できることから、コー
スアクスの時間を短縮でき、情報へのアクセス時間を短
縮できるという効果がある。
また、上記の構成に加え、入力端子265を設けること
ができる。ここからは1図には記されない外部装置から
の記録すべき情報が入力する。この情報はインターフェ
ース263を経由して、自動光量調整装置232に供給
される。これにより。
ハウジング200に内蔵された半導体レーザー(第24
図における半導体レーザー5)の光強度が自動光量#4
整装置!232に与えられた情報に応じ変調される。こ
れにより、光情報媒体20に照射される光の強度が変調
される。照射される光のエネルギーにより、光情報媒体
20の光が照射されている部分の性質が変化し、光情報
媒体20に情報が記録できる。この際、磁石270を用
いて。
光情報電体20の光が照射されている部分に磁界をかけ
ておくこともできる。この磁石は、永久磁石、あるいは
電磁石を用いる。
光情報媒体に情報をき込む際に、光の強度を変調させな
い手段もある。この場合、半導体レーザーの光を、書き
込む情報に応じては変化させず、書き込み時にはある決
められた一定の光量で固定する。読みだし時には、また
別な一定の光量で固定する。そして、書き込みの際には
、外部からの情報をインターフェース263を経由して
、電磁石270に供給し、光が照射されている部分の磁
界の方向あるいは強度を変調する。これにより、光情報
媒体20上に情報を記録する。この場合、磁石20をハ
ウジング200に搭載するか、ハウジング200と連動
した移動機構に搭載してもよい。
以上のような構成により、光情報読みだし/書き込み装
置において、前記の光情報の読み出し装置における効果
の他、光情報媒体への光情報も書き込みもできるという
効果がある。
自動光景調節装置232には高周波発生器233を接続
することができる。ここで、高周波発生器233は、光
情報の読みだし信号、あるいは書き込み信号の有する周
波数帯域より、高いぜW域の周波数の高周波を発生する
。この高周波発生器からの信号に応じて、自動光量調整
装置232の出力を変調して、半導体レーザーを高周波
で変調する。
このようにすることで、半導体レーザーの動作を安定化
し、不要な信号を除去してS/N比を向上させることが
できるという効果がある。
次に第29図を用いて、本発明の別な基本動作の説明を
行なう。これまで、第1図から第27図により説明して
きた光学系9機構系を有したハウジング200には、レ
ンズアクチュエーター210が取り付けられている。ハ
ウジング内に内蔵された半導体レーザー(第24図の半
導体レーザー5)は、自動光量調整装置232により駆
動されている。この光は、これまで述べてきた経路によ
り、レンズアクチュエーター210の中の集光レンズで
集光され、光情報媒体20bに焦点が形成される1反射
光は再びハウジング200の中の光学系に入射し、光強
度が検出される。検出信号は、信号処理器231により
処理され、光情報媒体20bの情報の読みだし信号、ト
ラッキングエラー信号。
フォーカスエラー信号となる。これらの信号はシステム
コントローラー230aに渡される。
トラッキングを行なう手段は、コーストラッキング手段
とファイントラッキング手段とがあり、第28図で説明
したと同様である。ここでは、コースアクチュエーター
の例として、モーター256bの回転を減速する減速機
構256cで減速し、歯車256d、256eによりハ
ウジング200を移動させる例が記入されている。この
他、コーストラッキングの手法としては、直線レールに
ボイスコイル型のアクチュエーターを用いるもの、ハウ
ジング200に設けた回転軸により、レンズアクチュエ
ーター210を円弧状に移動させる手法、等がある。こ
れらの手法は、第28図も同様である。また、フォーカ
シングを行なう手段も第28図で説明したと同様である
カード型の光情報媒体20bは、チャック機構251a
によりベース275に固定されている。
ベース275は、コンロッド276を通してクランク2
77に接続されている。クランク277をモーター27
2で回転することにより、ベース275は直進レール機
構255の上を直進往復運動する。
ベース275の往復運動、コンロッド276の運動によ
る振動を低減するため、クランク277にはマスバラン
サー277aが取り付けられる他。
クランク277の回転と同期して回転するバランサー2
78がある。バランサー278は、モーター277の動
力を歯車、ベルトにより伝達し、回転している1例えば
、クランク277に備えられた歯車と、バランサー27
8に備えられた歯車とが噛み合わさり、動力が伝達され
たバランサー278が回転する。バランサー278は、
軸受け279により支持されている。バランサー278
は、一つでもよいが、複数設けることによりさらに振動
の低減が計れる。
システムコントローラー2308に信号処理装置231
から渡された信号をもとに、駆動回路234aを通して
モーター256bを駆動することでコースアクセスが行
なわれ、また、駆動回路234bを通してファインアク
セス機構を駆動することでファインアクセスが実行され
る。また、駆動回路235を通してレンズアクチュエー
ター210を駆動するこ−とで、フォーカシングが実行
される。
光情報媒体20bを交換する際は、モーター272の回
転を止め、チャック251aを外す。
次に、システムコントローラー230aからの指令によ
り駆動回路258はモーター257を駆動し、モーター
257は搬送機構260aを駆動して、レール260b
にそって光情報媒体20bを蓋261からケーシング2
62の外部に搬出する。
反対に、外部の光情報媒体をモーターベース275に取
り付るには、上記の逆のプロセスによる。
コントローラーは、インターフェース263とつながっ
ており、インターフェース263はコントローラーから
の光情報読みだし信号を、この図には記されていない外
部の装置に渡す際のインターフェースを行なう、インタ
ーフェース26H3からの出力は、出力端子266につ
ながっている。
また、システムコントローラー2308は、入力端子2
67から、外部より電力の供給を受けている。
モーター272の回転位相を検出するため、位相検出装
置273が設けられている。ここではこれは、モーター
272により回転する部分に設けられた突起、磁石、等
を光学的に、あるいは磁界センサーにより検出するもの
である。クランク277の回転位相を検出することによ
り、ベース275がどの位置にいるかが判断でき、信号
読み出しや書き込みの際のプロセス開始のトリガー信号
に使うことができ、信号読み出し及び書き込みのプロセ
スコントロールを容易にするという効果がある0以上の
構成により、カード型光情報媒体読み取り装置において
、光学系の部品数を低減でき、生産性の向上と信頼性の
向上が計れるという効果がある。ハウジング200内部
の光学系が小型化するので、ハウジング200自身が軽
址化する。これは、アクチュエーター256bの負荷を
軽減することになる。これにより、アクチュエーター2
56bに供給する電力を低減でき省エネルギー化ができ
るという効果がある他、ハウジング200の加速度を向
上できることから、コースアクセスの時間を短縮でき、
情報へのアクセス時間を短縮できるという効果がある。
また、クランク機構を用いて、低振動かつエネルギー効
率のよい光情報媒体の往復運動機構が実現できる。
また、上記の構成に加え、入力端子265を設けること
ができる。ここからは、図には記されない外部装置から
の記録すべき情報が入力する。この情報はインターフェ
ース263及びシステムコントローラー2308を経由
して、自動光量調整装置232に供給される。これによ
り、ハウジング200に内蔵された半導体レーザー(第
24図における半導体レーザー5)の光強度が自動光量
調整装置232に与えられた情報に応じ変調される。こ
れにより、光情報媒体20bに照射される光の強度が変
調される。照射される光のエネルギーにより、光情報媒
体20の光が照射されている部分の性質が変化し、光情
報媒体20b上に情報が記録できる。この際、磁石27
0aを用いて、光情報媒体20の光が照射されている部
分に磁界をかけておくこともできる。この磁石270a
は。
永久磁石、あるいは電磁石を用いる。ここでは、ベース
275の一部に永久磁石を設置した例を示したが、ベー
ス275とは別体にして、運動しない部分に磁石を設置
してもよい。
光情報媒体に情報を書き込む際に、光の強度を変調させ
ない手段もある。この場合、半導体レーザーの光を、書
き込む情報に応じては変化させず、書き込み時にある決
められた一定の光量で固定する。読みだし時には、また
別な一定の光量で固定する二そして、外部からの情報を
インターフェース263を経由して、電磁石270aに
供給し。
光が照射されている部分の磁界の方向あるいは強度を変
調する。これにより、光情報媒体2o上に情報を記録す
る。この場合、磁石20aをハウジング200に搭載す
るか、ハウジング200と連動した移動機構に搭載して
もよい。
以上のような構成により、光情軸の読み出しの他、光情
報媒体への光情報の書き込みもできるという効果がある
第29図には示さなかったが、第28図同様、自動光量
調節装置232には高周波発生器を接続することができ
る。効果等も同様である。
〔発明の効果〕 本発明は1以上説明したように構成されているので、以
下に記載されるような効果を奏する。
(A)  光学系に光を供給する光源の波長が変動した
際では、光学的性能の劣化を防止し、常に所定の光学性
能を維持することができるという効果がある。
(B)  導波路を伝播する光を集光する導波路レンズ
のN、A、を大きくしても、収差の少ない、光利用効率
の高いレンズを構成することができるという効果がある
また、導波路レンズ群のうち、凹レンズと凸レンズを組
み合わせることにより、通常のバルクの色消しレンズと
同様、色消し効果を生むことができ、性能の高いレンズ
群を構成できるという効果がある。
(C)  光学系に用いる光検出器に、不要な光が入射
することを防止し、光検出器からの検出信号のS/N比
を向上して、光学系の光学性能を向上させるという効果
がある。
CD)  光検出器を信頼性高く固定することができ、
長期間にわたり常に所定の性能を維持できるという効果
がある。
(E)  光学的性能を劣化させずに、レーザーノイズ
の低減手法を実施することができ、光学的性能を向上す
ることができるという効果がある。
(F)  単純な機構により、基板のアライメントを簡
単にmviiでき、光学性能の維持と生産性の向上をは
かることができるという効果がある。
(G)  単純な構成で所定のトラッキングとフォーカ
シング機能を有する光ヘッドを構成した。
(H)  アクセス時間の短い、かつ簡単な構成の光情
報読み取り装置、あるいは、光情報書き込み装置、ある
い光情報読み書き装置を実現できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の斜視図、第2図は第1図に
おける実施例の横断面図である。第3A図および第3B
図は第1図における実施例の断面図の部分拡大図である
。第4図から第11図は、第1図における実施例の横断
面図であり、基板内部の光の信号を状況を説明する説明
図である。第12図は第10図及び第11図における光
の回折の状況をより詳細に説明した解説図である。第1
3図は本発明の一実施例であり、光検出器の固定法を示
す説明図である。第14図は本発明の一実施例であり、
レンズの固定法を示す説明図である。第15図から第2
0図は、光検出器に光が入射する状況を示した、説明図
である。第21図は、光検出器からの出力を処理する信
号処理回路のブロック図である。第22図は、半導体レ
ーザーの駆動方法を示したブロック図である。第23図
は、光学系を調整する際の調整装置の斜視図である。 第24図は本発明の一実施例で、光情報読み取り/読み
書き装置における光ヘッドの光学部品の実装方法を示し
た斜視図である。第25図から第27図は基板を保持し
、かつ微調整するためのホルダーの斜視図である。第2
8図は、光情報読み取り/読み書き装置の全体のブロッ
ク図を示している。第29図は光除去読み取り/読み書
き装置の別な構成の実施例の、全体のブロック図を示し
ている。 1・・・基板、1a”lc・・・補助部材、2・・・導
波路、38〜3d・・・レンズ、3e・・・シリンドリ
カルレンズ、3f〜31・・・レンズ、3j・・・光検
出器アレイ。 5・・・半導体レーザー 5a・・・光源、68〜6e
・・・光検出器、6f〜61・・・光検出器、7a・・
・誘電体多層反射膜、7b・・・反射防止膜、7c・・
・反射防止膜、7d・・・反射膜、7e・・・反射鏡、
10a〜10f・・・レンズ、lla〜Llc・・・グ
レーティングカップラー 12a〜12c・・・回折格
子、13・・・反射鏡、20・・・光情報媒体、20a
・・・疑似光情報媒体、20b・・・光情報媒体、21
・・・情帽ビット、30・・・斜面、50・・・プリン
アンプ、51・・・加算器、52・・・減算器、53・
・・減算器、54・・・加算器、55・・・加算器、5
6・・・wt#器、57・・・加#器、58〜60・・
・自動利得調整回路、61〜63・・・ローパスフィル
ター、64・・・バイパスフィルター、65・・・自動
光量調整回路、66・・・高周波発振器、67・・・演
算装置、70・・・直進ガイド機構、71・・・アクチ
ュエーター 72a、72b−微動台、72cmアクチ
ュエーター 73a〜73d・・・3次元移動装置、7
4・・・吐出装置、75a・・・減衰器、75b・・・
アクチュエーター、75c・・・レール、76a・・・
波長板、76b・・・回転装置、76c・・・アクチュ
エーター、80・・・コントローラー 81・・・照射
装置、100〜106・・・光、110・・・光、11
1・・・光、112・・・回折光、113,114・・
・光、115・・・導波光、116・・・光、117・
・・透過光、120・・・光、121・・・光、122
・・・光、125・・・光、126・・・光、127〜
129・・・回折光、130・・・光。 131〜148・・・光、200・・・ハウジング、2
01・・・補助部材、202・・・ねじ、203・・・
外殻、204・・・スプリング、205・・・壁面、2
06・・・壁面、207.208・・・ねじ、209・
・・スプリング、210・・・レンズアクチュエーター
 211・・・ホルダー、212 a 、 212 b
−ホルダー、212゜214・・・ホルダー、213a
・・・スプリング、213・・・柔軟部分、215,2
18・・・ねじ、217・・・スプリング、218・・
・穴、219・・・ねじ、220・・・穴、221a・
・・補助部分、221・・・ホルダー222・・・穴、
223・・・窓、224a・・・剛性低下部分、224
・・・曲げ部分、225・・・穴、226・・・ねじ、
227・・・ワッシャ、228・・・スプリング。 230a・・・システムコントローラー 230・・・
システムコントローラー、231・・・信号処理器、2
32・・・自動光量調整装置、233・・・高周波発生
器、234a・・・駆動回路、234b・・・駆動回路
、235〜237・・・駆動回路、250・・・モータ
ー251・・・チャック機構、251a・・・チャック
機構、252・・・モーター 255・・・直進レール
機構、256・・・アクチュエーター、256b・・・
モーター256 c−減速機構、258d、256e−
歯車、257・・・モーター 258・・・駆動回路、
259・・・搬送機構、260・・・レール、260a
・・・搬送機構。 260b・・・レール、261・・・蓋、262・・・
ケーシング、263・・・インターフェース、264・
・・を源。 265・・・入力端子、266・・・出力端子、267
・・・入力端子、270・・・磁石、270a・・・磁
石、271・・・駆動回路、272・・・モーター、2
73・・・位相検出装置、275・・二ベース、276
・・・コンロッド。 277a・・・マスバランサー 277・・・クランク
、278・・・バランサー、279・・・軸受け。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、光電から射出した光を伝播する平面導波路と、前記
    光源から射出した光を前記平面導波路を伝搬する光に変
    換するために該平面導波路途中に設けられるグレーテイ
    ングカツプラーと、前記光電から射出した光を、前記グ
    レーテイングカツプラーに光が入射する以前に回折する
    、前記グレーテイングカップラーとは別の回折格子と、 を有することを特徴とした光ヘッド。 2、請求項第1項において、 前記光源から射出した光を、前記第2の回折格子で回折
    する以前に、 デジタル情報を記録した、あるいは前記情報を記録する
    ための光情報媒体により、反射あるいは透過させる事を
    特徴とした光ヘッド。 3、請求項第1項あるいは第2項記載の光ヘッドにおい
    て、 前記グレーティングカップラー及び第2の回折格子とは
    別な、 前記光源から射出した光を、前記グレーテイングカツプ
    ラーに光が入射する以前に回折する、第3の回折格子を
    設けたことを特徴とする光ヘッド。 4、請求項第3項記載の光ヘッドにおいて、第3の回折
    格子が誘電体多層膜であることを特徴とした光ヘッド。 5、請求項第1項から第4項のいずれかに記載の光ヘッ
    ドにおいて、 前記グレーテイングカツプラーを複数用い、少なくとも
    1つ以上のグレーテイングカツプラーは、残りのグレー
    テイングカツプラーとは異なる格子ピッチを有すること
    を特徴とした光ヘッド。 6、光源から射出した光を伝播する平面導波路と、前記
    光源から射出した光を前記平面導波路を伝搬する光に変
    換するグレーテイングカツプラーと、 前記導波路を伝播する光を順次通過させる複数の導波路
    レンズと、 を備えたことを特徴とした光ヘッド。 7、請求項第6項記載の光ヘッドにおいて、前記複数の
    導波路レンズが少なくとも1つ以上の凸レンズと凹レン
    ズとを有していることを特徴とする光ヘッド。 8、光源から射出した光を伝播する平面導波路と、前記
    導波路を設置した、少なくとも光源の波長においては光
    を透過する基板と、 前記光情報媒体とグレーテイングカツプラーとの間の光
    の通過部分以外であり、かつ前記基板の導波路の設置さ
    れた側の裏面に、前記導波路と平行でない傾斜部分を設
    けたことを特徴とする光ヘッド。 9、光源から射出した光を伝播する平面導波路と、前記
    導波路を設置した、少なくとも光源の波長においては光
    を透過する基板と、 前記基板の導波路の設置された側の裏面に、前記光源の
    光を反射することを防止する反射防止膜を設けたことを
    特徴とする光ヘッド。 10、請求項第1項から第9項のいずれに記載の光ヘッ
    ドにおいて、 前記導波路に接して、あるいはバッファ層を介して取り
    付けられたガラスあるいは金属性ブロックと、 前記ブロックの一面が、前記基板のうち導波路の設けら
    れた面に垂直となる基板の面と同一平面をなすこと、 を特徴とした光ヘッド。 11、請求項第1項から第10項のいずれかに記載の光
    ヘッドにおいて、 前記光源から射出した光を平行光とするコリメートレン
    ズを、前記基板に直接あるいは取り付け補助部材を介し
    て取り付けたこと、 を特徴とする光ヘッド。 12、請求項第1項から第11項のいずれかに記載の光
    ヘッドにおいて、 前記光源に注入する直流電流に、高周波の交流を重畳す
    る高周波発振器を設けたことを特徴とする光ヘッド。 13、請求項第1項から第12項のいずれかに記載の光
    ヘッドにおいて、 前記光源に、マルチモード半導体レーザーを用いたこと
    を特徴とする光ヘッド。 14、前記基板と、 前記導波路と、 前記基板を収納するハウジングと、 一端が前記ハウジングに取り付けられた第1のホルダー
    と、 前記基板に取り付けられた第2のホルダーとを有し、 前記第1及び第2のホルダーが、柔軟部分で連結されて
    いることを特徴とする光ヘッド。15、請求項第14項
    記載の光ヘッドにおいて、前記第1のホルダーと第2の
    ホルダーが一体で作られ、 かつ前記柔軟部分が、一体化されたホルダーのくびれ部
    分で構成されていることを特徴とする光ヘッド。 16、請求項第14項記載の光ヘッドにおいて、前記柔
    軟部分が、ばね性材料で構成されたことを特徴とする光
    ヘッド。 17、請求項第14項から第16項のいずれかに記載の
    光ヘッドにおいて、 前記基板のうち、前記第2のホルダーの設置されていな
    い部分に第3のホルダーを設け、第3のホルダーに複数
    の穴を設け、 前記複数の穴に複数のねじを通し、 前記ねじをばねを介して前記ハウジングに締め付けたこ
    とを特徴とする光ヘッド。 18、請求項第1項から第17項のいずれかに記載の光
    ヘッドにおいて、 前記光源から射出した光を前記光情報媒体に集光するレ
    ンズと、 前記集光レンズを、レンズの光軸方向に移動するアクチ
    ュエーターと、 を設けたことを特徴とする光ヘッド。 19、請求項第18項記載の光ヘッドにおいて、前記集
    光レンズを、レンズの光軸方向と垂直な1方向に移動す
    るアクチュエーターを設けたことを特徴とする光ヘッド
    。 20、請求項第18項記載の光ヘッドにおいて、前記光
    源から射出した光を反射する反射鏡を設けたことを特徴
    とする光ヘッド。 21、請求項第20項記載の光ヘッドにおいて、前記反
    射鏡にガルバノミラー(反射鏡と、反射鏡を回転運動す
    ることのできるアクチュエーターを有したミラーである
    とする)を用いたことを特徴とする光ヘッド。 22、請求項第14項から第17項のいずれかに記載の
    光ヘッドにおいて、 前記ハウジングを、移動可能なレール機構の上に搭載し
    、 かつ前記ハウジングにレールの移動方向に推力を発生す
    るアクチュエーターを設けたことを特徴とする光情報処
    理装置。
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