JPS6079760A - リードフレームへの異種部分メツキ方法 - Google Patents

リードフレームへの異種部分メツキ方法

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JPS6079760A
JPS6079760A JP58109884A JP10988483A JPS6079760A JP S6079760 A JPS6079760 A JP S6079760A JP 58109884 A JP58109884 A JP 58109884A JP 10988483 A JP10988483 A JP 10988483A JP S6079760 A JPS6079760 A JP S6079760A
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silver
bonding
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徹也 北城
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Fuji Plant Kogyo Kk
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はリードフレームへ異種の部分メッキを施こす方
法に関するものである。
従来例えばICの実装工程においては、ICリードフレ
ームにポンディング用に金・銀等の部分メッキを施して
おき、ICチップをポンディングした後に樹脂等でモー
ルディングし、そしてアクタ−リード部にハンダ・喝等
による外装用メッキを施している。
しかし上記の従来方法では、モールド樹脂の流れ出しや
飛び敵りがあるためパリ取り工程が必要となり、それを
経ないと外装部分メッキを正常に行なえない。またパリ
取り工程を必要とするため・後の外装部分メッキ工程を
一連の工程とは別のライン上で行わねばならず、製造工
程の合理化を図る上で障害となり、かつ品質管理上も不
都合となっている。さらに、モールド樹脂中に企・銀や
ハンダ・錫等が拡散・混入して、ICの特性を悪くする
マイグレーション(migration ) m象が生
シることもあった。
そこでそれを改良するものとして、異種部分メッキ方法
がある。こlrLはリードフレームにポジディング用と
して金・銀等の部分メツ、キを行なう際に、同一工程上
でアクタ−リード部にハシグー錫等による外装用部分メ
ッキを施してしまう方法である。この方法によれば、上
記とは異なる外装用部分メッキをする前にパリ取りをす
る必要汀ないし、また工程全簡素化できるという利点は
ある。
しかしながらこの異種部分メッキ方法でも、次の如き問
題点がある。即ち、外装用部分メッキ後にボンディング
を行なうが、通常行なわ几ている熱圧着によめボンディ
ングでは、その熱でハシダー鍋等の外装メイキ膜が融解
して流れ出し、リークを生ずる。こnJrllcの寿命
を著しく不安定とするはかりか、ICにとって致命的で
もある。さらにこの方法によった場合、ボンディング用
の金・銀等の部分メッキ上に、ハンダ・錫等の外装部分
メッキが液漏ルして、ハンダ・錫等の置換メッキを生じ
ることがある。これを防ぐため、例えばシール材で金・
銀等のメッキ部分をマスクしているが、精度上問題があ
るし、シール材を剥す際にリードビーの曲がり等の変形
を生じる。また機械的にブラッシングして置換メッキを
除去しようとすると、やはりリードビンを変形させてし
まう。そこで、金O銀等の部分メッキ上vc置換メッキ
さnたハンダ+1錫等を、剥離剤で化学的に除去しよう
としfc≠;、金・銀等のメッキやハンダ・爆等のメッ
キ表面上が黒色のスマットで項わn2す、それらメッキ
部分や素地が浸食されて、ボンデインクする上で大きな
影響を生じること≠1判明した。
以上の如く、従来手段は各々何らかの欠点・問題点含有
しているものである。
本発明はリードフレームへの異種部分メッキ方法に関し
、従来のものが有する上記の如き問題点全解決しようと
するものである。即ちその目的とするところは、同一工
程上でボンディング用の金・銀等の部分メッキと、ハン
ダ・錫等の外装部分メッキケ行なえる工うにして、工程
の簡素化と品質管理を容易に行なうことができ、かつ金
・限等の部分メッキ上に付着したハンダ・暢等による置
換メッキ葡、金・銀等の部分メッキやノ)シダ・4等の
部分メッキ、およびフレーム素地を全く損わず完全に除
去でき、高品質・高精度のICi得られるような、リー
ドフレームへの異種部分メ・ツキ方法を提供することに
ある。
以下に本発明を図示実施例によって説明する。
(AIICリードフレrムで、多数のり−FピンIll
か形成されている。それをメッキ工程[督いて、ポンデ
ィジグ用部のアイランド部(2)やインナーリード部1
3+にボンディング用部分メッキとして所要の大きさ・
形状の銀メッキ141する。次いで外装用部分メッキケ
するl1tilにリードブレーム(2)の全10にわた
り剥離用仮メッキとして、銅メッキ161 ’にする。
その後に外装用部分メッキとして、先の銀メッキ14+
の部分をマスクしアクタリード都I61に/1ンダメッ
キ(7)?施こす。この場合、アイランド部121等の
銀メツキ+41上の111Iiメツキ+61の表面にも
、ヤスクの間隙から液が滲み込んでI・シダの置換メッ
キIi+かなさnている。そこで次に剥離工程として、
銀メツ齋−f、端もソ1撫l鋲田滌巾fフレームIA1
を辱潰し一ベンディング用部分上の置換メツーキ+i)
k、剥離用仮メッキである銅メッキ[ilと共に剥離・
除去する。
そしてその後は、良好な表面状態となつ1こボンディン
グ用の銀メッキ14)上KICチップをボンディングし
、次に樹n旨七−ルドを施せばよい。
上記発明による実験例を示すと次の如くである。
4−270イ製のり−Fフレーム+Alのアイランド部
(21とインナーリード部131 K、ポンチ゛イング
■部分メッキとしての銀メツキ1415施こす。そrL
にσ−金属帳: 40g/l!、遊離シアン化カリウム
=120g/ム炭酸カリクム: 3og/I! よりな
る銀メッキ?6 甲K 浸rffit L、宙解密q 
: IOA/dm2、占温度:30°C5メッキ時間:
1分間の条件のFで銀メッキを行ない、所要箇所に厚ざ
5μの銀メツキ141ケ得る。そのリードフレーム囚を
、次の剥随用仮メッキ工程としての一14メツキエ〃、
!で、シアン化第1銅: 60g7’!、シアン化ナト
リウム: 7μg/l−遊離シアン化ナトリウム: l
ug/7.水酸化ナトリウム: 20g/f 工りなる
シアン化銅浴に%潰し、電流密度: IA/dm”−密
圧2 r b浴温度:l’C−比重:15Be’、PH
:12.5、メツー?時間=1分間の条件のFVc銅メ
ッキを行なう。こ几により、銀メッキ14)上を含むフ
レーム(5)の全表面に、厚さ0.3μの銅メッキ+5
1の暎ケ得た。次いでアラターリ−F部(6)への外装
用部分メッキとしてのハンダメッキ工程で、該フレーム
(8)の銀メッキ(4)上をマスクして、はうふつ化第
1賜: 130g/l!、はうふつ化鉛: 50g/J
、はうふつ酸、 125g/l、はう酸=25 g/l
!、ホルマリン: ]、Oml!/7.分散剤: 40
g//、光沢剤: 6μg、/f、よりなるほうふつ化
液浴に浸漬し、w、 ti vv度: 4A/dm2、
浴温度:常温、メッキ時間=1分向の下でハンダメッキ
を行なう。これにより、マスクした部分會除いて厚さ3
μのハンダメッキ(7)が伸筋したか、アイランに都(
2)ヤインナーリード部(31における銅メツキ+61
上にも、ハンダによる置換メッキ+f+が付いていた。
そこで次の剥離工程で該フレーム囚金水酸化カリウム:
1゜g/l!、シアン化カリウム:]00g/A’ か
らなる剥離用液としてのシアン浴に浸l貴【7、電流密
度:o、3A/dm2、浴温遵:常温、剥離時間30秒
の条件Fでリードフレーム(8)全陽極として電解し・
):・−メッキ・、6)を置換メッキ+i+と共に剥離
・除去した。
その結果を示すのが、第6図a、bお工び第7図a、b
LD@微鏡写真(いずれも倍率は400倍)である。即
ち、第6図aidフレーム(Alのアイランド部に施し
た銀メッキ(4)の表面に拡大写真であり、同図すは剥
離用法メッキとしての銀メッキを11、次に剥離工程で
銅メッキを剥離した後の同じアイランド部上の銀メッキ
(4)の表[lii拡大写真である。
これで明かな如く、剥離用法メッキとその剥1.IIE
工程を経た後の同図すのものが、それらの工程前の同図
aのものと同様に美しい表面状態を維持しており、また
ハンダの置換メッキも残留していないことがわかる。龍
力第7図aは、アクタリード都のハンダメッキ(7)の
拡大写真で、上記と同様VC剥離用法メッキとその剥離
工程を経た同図すのものを見えば、このハンダメッキ部
分もやはり+mと同じく美しい表面状態を維持しており
、何ら彰響を受けていないことが判かる。
なお剥離用法メッキとしての銅メッキ16+は、外装用
部分メッキのf取前処理メッキとし、てもイT効に作用
するものであり、特にシアン化銅メッキ浴は良い密M、
外装用部分メッキの必要な特性、例えばハンダ付性にも
良い結果をもたらl〜、何ら悪影響を及ぼすものではな
い。
以上でE!11かな如く本発明は次の如き効果を奏する
(イ)リードフレームに異種の部分メッキを行なう場合
において、それを同一ライン上で処理できる。
MIJち、従来のボンディング用部分メッキをし、た後
に、ポンディング−モールディングを行なうプl法では
、モールド樹脂のパリ取り工程が必要となり、そのため
外装用部分メッキは別ラインで行なわねばならなかった
。七tしゆえ製造工程の合理化や品質管理の面で困知、
があった。しかし本発明では、上記の如くポジディング
用部分メッキ、剥離用法メッキ、外装用部分メッキ奮同
−ライン上で行なえるので、製造工程の合理化や品質管
理を図ることか極めて容易となる。
【ロ]ボンディング用部分メッキ上に11着する置換メ
ッキを確実に除去できる。即ち、従来の異種部分メッキ
方法ではボンディング用部分メッキ十に、外装用部分メ
ッキ時の液漏れでハンダ・錫等による置換メッキが生じ
、その予防や除去にシール材の粘着や機械的・化学的除
去手段を要し、同一ライン上で処理し難く、tycリ−
Fピンの変形・損傷を生じた。しかし本発明では、ボン
ディング用部分メッキに次いで剥離用仮メッキケし、次
に外装用部分メッキをした後に、前記剥離用法メッキを
、その上面に付着している置換メッキと共に剥離・除去
するものである。それゆえ置換メッキの除去ケ、他と同
一ライン上で確実に行なうことができるし、リードピン
の変形・損傷も生じない。
l/1ボンディング用815分メッキや外装用部分メッ
キの表面には、何らの損傷・f質をもたらざない。
即ち、従来の置換メッキ除去手段でに、機械的なもので
は表面力・損傷し、化学的なものでは表面か侵さ扛変質
することが多い。これに対して本発明でu、itl記の
如くポジディング用部分メッキゲした後、外装画部分メ
ッキn+Tに剥離用法メッキを施こしておき、外装用部
分メッキ後に、その1祭生じた1角換メツキを剥離用仮
メッキの除去と共に同時に除去しようとするものである
。それゆえ顕微鏡写真からも明かな如く、置換メッキは
信実に除去されておりながら、ボンディング用部分メッ
キや外装甜部分メッキの表面は何ら損傷・変質を受けて
いない。検言すriば、本発明は他の部分に影響を与え
ることなく置換メッキを作字に除去できるものである。
以上の如く本発明に、リードフレームへ異・種のメッキ
をする場合において、それらメッキの表面を何ら害する
ことなく置換メッキを完全に除去できるものであり、か
つ同一ライン上での工程で行えるので、生産の合理化や
品質%:理上も極めて有益である等の効果を奏する。
拡大断面図、第6図aはポンディング用部分銀メッキの
顕微鏡写真、同図すは剥離用銅メッキとその剥離工程を
経た後のボンディング用部分銀メッキの顕微鏡写真、第
7図aは外装用部分ハンダメッキの顕微鏡写真、同図す
は剥離用銅メッキとその剥離工程を経た後の外装用部分
メッキの顕微鏡写真である。
図面符号 (3)・・・リードフレーム、(21・・・
ボンディング中部分、(4)・・・ポンディング用部分
メッキ、16)・・・剥離用仮メッキ、(6)・・・外
装用部分、(7)・・・外装用部分メッキ、(7′)・
・・置換メッキ、代理 人 京 日 清(il”’、”
、:’、’・ゝfζ−パ 図面の1・γ)に( 第6図 8 内”j’i(C亥更なし) 第7図 8 手続補正書(方式) %式% 3゜ 補正をする者 事件よ。、係 特許出願人 r 住 所 大阪府大阪市阿倍野区阪南町3丁目19番17
号代表取締役 北 城 −彌 4代理人 ■ 明細書第11頁第17行目から第12貞第4斤目を
次の如く補正します。
″ 第1図から第5図は本発明の各工程例を示す一部拡
大断面図、第6図aはボンティング用銀メンキ部分の金
属表面組織の顕微鏡写真、同図b IrまIJ離圧用銅
メツキその剥離工程を経た後のボッチ「ング用銀メッキ
部分の企掬表if]組織の顕微鏡′す犀、第7図aは外
装用ハンダメッキ部分の金属表面組織の顕微鏡写真、同
図b(は剥1Ilff用銅メッキとケの剥離工程を経た
後の外装用メッキ部分の金123史面組織の顕微鏡写真
である5、」 1 図面の第6図81同図1〕、第7図31同図1〕C
名々別紙の如く補正します。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ■リードフレーム囚のポジディング用部分(21にポン
    ディング用部分メッキ;4)をし、外装用部分(6)に
    外装用部分メッキをする前に、フレーム(2)の前面に
    剥離用仮メッキtel t L、外装用部分メッキ(7
    )をした後に、ポンディング用部分メッキ(4)や外装
    用部分メッキ17)を損わぬ剥離用液により、剥離用仮
    メッキ151上に付着している置換メッキLi+を、剥
    離用仮メッキ+61と共に除去するように構成しfc、
    リードフレームへの異種部分メッキ方法。 ■剥離用仮メッキとして銅メッキ161をし、剥離用液
    としてシアン浴を用いて、リードフレーム(Alt−陽
    極として電解することにより、ポジディング用部分メッ
    キ(4)上の銅メツキ161表面等に付着した置換メッ
    キ+f+ ? 、銅メッキI[I)と共に剥離・除去す
    るようにした、リードフレームへの異;種部分メッキ方
    法。
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JPH04255258A (ja) * 1991-02-07 1992-09-10 Nec Kyushu Ltd リードフレームの製造方法
US6210548B1 (en) 1998-03-26 2001-04-03 Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. Apparatus for partially removing plating films of leadframe

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