JP2012119647A - ウエハー検査システム - Google Patents

Abstract

【課題】リレー回路板により、テスト結果信号の分流を行い、イメージ信号はイメージ処理装置に直接伝送して処理を行うウエハー検査システムを提供する。
【解決手段】ウエハー検査システムは、ウエハー９に対して検査を行い、各プローブ２０２２はウエハー９に触れ、電気信号を伝送及び受信し、照明器２０３は開口２０２１を通して光をウエハー９上に照射し、テストサーバー２０４は検査の関連プロセス及びデータ処理の執行を制御し、テスト回路板２１０はテスト信号を発信し、結果信号を受信し、判断を行い、ロードボード２０８は制御回路板２０９と少なくとも１個のテスト回路板２１０に連接し、少なくとも１個のリレー回路板２０７はプローブカード２０２、ロードボード２０８、少なくとも１個のイメージ処理カード２０６にそれぞれ連接し、伝送データの伝送方向を切り替える。
【選択図】図２

Description

本発明はウエハー検査システムに関し、特にウエハーの検査に適用するウエハー検査システムに関する。

従来のウエハー検査システムは、テストサーバーにより、各テストの制御とテスト結果の処理を行う。従来のウエハー検査システムの模式図である図１に示すように、ウエハー検査システムは、プラットフォーム１０１、プローブカード１０２、照明器１０３、テストサーバー１０４、複数のテスト回路板１０５、複数の処理装置２０６を備える。プローブカード１０２上には、開口１０２１、複数のプローブ１０２２を備える。テストサーバー１０４は、プラットフォーム１０１、照明器１０３、各処理装置１０６にそれぞれ連接する。各テスト回路１０５は、プローブカード１０２、各処理装置１０６に連接する。

使用者が、ウエハーに対して検査を行おうとする際には、先ず、ウエハー９をプラットフォーム１０１上に置く。次に、プローブカード１０２の各プローブ１０２２でウエハー９に触れ、照明器１０３は、プローブカード１０２の開口１０２１を通して、ウエハー９上に光を照射する。テストサーバー１０４により、使用者は、ウエハー検査に関するプロセスの執行を制御する。少なくとも１個のテスト回路板１０５は、制御命令をプローブカード１０２に発送し、プローブカード１０２は、各プローブ１０２２を通して、電気信号をウエハー９に伝送し、ウエハー９から受け取った反応電気信号により、ウエハー９が正常に作動するか否かを判断する。少なくとも１個のテスト回路板１０５は、テスト結果を、テストサーバー１０４に伝送し、テストサーバー１０４は、判断を行い、イメージ関連信号を、少なくとも１個の処理装置１０６に伝送し、これにより処理を行う。

上記したように、従来のウエハー検査方法は、テストサーバーによりテストプロセスの失効を制御し、テスト結果信号を受け取り、続いて、受け取った電気信号に対して処理を行い、受け取ったイメージの読取信号を、各処理装置に伝送する。しかし、単一の機械の執行効率と伝送速度には共に、一定の制限があるため、従来のウエハー検査方法の執行効率、及びテスト結果信号の伝送は、テストサーバーのハードウエアと伝送速度にかかっている。そのため、同時に検査を行うことができるダイ（die）の総数を増やすことはできない。

本発明が解決しようとする課題は、リレー回路板により、テスト結果信号の分流を行い、イメージ信号はイメージ処理装置に直接伝送して処理を行うウエハー検査システムを提供することである。

上記課題を解決するため、本発明は下記のウエハー検査システムを提供する。
ウエハー検査システムは、ウエハーに対して検査を行い、
プラットフォーム、プローブカード、照明器、テストサーバー、ロードボード、少なくとも１個のリレー回路板、少なくとも１個のイメージ処理カード、少なくとも１個のイメージ処理装置、制御回路板、少なくとも１個のテスト回路板を備え、
該プラットフォームには、ウエハーを置き、
該プローブカード上には開口、複数のプローブを備え、該各プローブは直接ウエハーに触れ、電気信号を伝送及び受信し、
該照明器は、該プローブカードの開口を通して、光をウエハー上に照射し、
該テストサーバーは、該照明器に連接し、ウエハー検査の関連プロセス及びデータ処理の執行を制御し、
該少なくとも１個のリレー回路板は、該プローブカード、該ロードボードにそれぞれ連接し、伝送データの伝送方向を切り替え、
該少なくとも１個のイメージ処理カードは、該少なくとも１個のリレー回路板に一つ一つ対応し、相互に連接し、受信してイメージ信号を処理し、
該少なくとも１個のイメージ処理装置は、該テストサーバー、及び該少なくとも１個のイメージ処理カードに連接し、該少なくとも１個のイメージ処理カードからのイメージ信号を受信し、処理を行い、テスト結果を、該テストサーバーに伝送し、
該制御回路板は、該テストサーバー、及び該ロードボードに連接し、該テストサーバーが発する命令を受信し、該ロードボードを通して制御命令を発信し、
該少なくとも１個のテスト回路板は、該ロードボードに連接し、それが受信した制御命令に基づき、テスト信号を送信し、それが受信した結果信号に対して、判断を行い、判断結果を、該ロードボードを通して、該制御回路板に伝送する。

本発明のウエハー検査システムは、少なくとも１個のリレー回路板により、伝送データの伝送方向を切り替えるため、すべてのテスト信号、及びウエハーからの反応信号を、直接目標に伝送させ、後続の処理プロセスを行うことができる。例えば、ウエハーから受信したイメージ読取信号は、リレー回路板を通して、直接切り替え、イメージ処理装置に伝送することができる。従来のシステムとは異なり、テストサーバーにより、電気信号及びイメージ読取信号などのすべての信号の処理と伝送を行うわけではないため、ウエハー検査システムの作動効率、信号処理効率、データ伝送速度のすべては、テストサーバーのハードウエア設備の制限を受けることはない。また、本発明のウエハー検査システムは、使用において、非常にフレキシブルで、使用者の必要に応じて、十分な数のテスト回路板、リレー回路板、イメージ処理カード、イメージ処理装置を自由に拡充することができる。これにより、ウエハー検査の効率を向上させられるばかりか、ダイ検査の総数を増加させることもできる。

従来のウエハー検査システムの模式図である。 本発明一実施例のウエハー検査システムの模式図である。 本発明一実施例のウエハー検査システムのリレー回路板の模式図である。

本発明一実施例のウエハー検査システムの模式図である図２に示すように、ウエハー検査システムは、プラットフォーム２０１、プローブカード２０２、照明器２０３、テストサーバー２０４、少なくとも１個のイメージ処理装置２０５、少なくとも１個のイメージ処理カード２０６、少なくとも１個のリレー回路板２０７、ロードボード２０８、制御回路板２０９、少なくとも１個のテスト回路板２１０、電源回路板２１１を備える。

プラットフォーム２０１は、テストサーバー２０４に連接し、それは好ましくは、GPIB（General Purpose Interface Bus）インターフェースを通して連接する。テストサーバー２０４は、照明器２０３、少なくともイメージ処理装置２０５、制御回路板２０９に連接する。少なくとも１個のイメージ処理装置２０５は、少なくとも１個のイメージ処理カード２０６に連接し、それは好ましくは、USBインターフェースを通して連接する。少なくとも１個のリレー回路板２０７は、プローブカード２０２、ロードボード２０８に連接し、相互に対応するイメージ処理カード２０６に一つ一つ連接し、それは好ましくは、それぞれ配線を通して、少なくとも１個のイメージ処理カード２０６、及びロードボード２０８連接する。ロードボード２０８は、制御回路板２０９、少なくとも１個のテスト回路板２１０、電源回路板２１１に連接する。

プラットフォーム２０１には、ウエハー９を置き、それは複数のダイ（die）を含む。プローブカード２０２上には、開口２０２１、複数のプローブ２０２２を備える。プローブ２０２２は、ウエハー９に直接触れ、電気信号を伝送及び受信する。照明器２０３は、プローブカード２０２の開口２０２１を通して、光をウエハー９上に照射する。テストサーバー２０４により、使用者は制御命令を下し、ウエハー検査の関連プロセス、及びテスト結果のデータ処理を執行することができる。さらに、テストサーバー２０４は、プラットフォーム２０１の移動を制御し、これによりプローブカード２０２の各プローブは１個或いは数個のダイに触れることができる。

イメージ処理装置２０５は、イメージ処理カード２０６からのイメージ信号を受信し、処理を行い、テスト結果を、テストサーバー２０４に伝送する。イメージ処理カード２０６は、それが対応するリレー回路板２０７のイメージ信号を受信し、処理を行う。リレー回路板２０７は、伝送データの伝送方向を切り替える。制御回路板２０９は、テストサーバー２０４が発する命令を受信し、ロードボード２０８を通して制御命令を発信する。テスト回路板２１０は、PEカード（Pin Electronics Card）で、それは好ましくは、リレー回路板２０７に一つ一つ対応し、それが受信した制御命令に基づき、テスト信号を送信し、それが受信した結果信号に対して、判断を行い、判断結果を、ロードボード２０８を通して、制御回路板２０９に伝送する。電源回路板２１１は、必要な電圧を提供する。

使用者がウエハー検査を行おうとする際には、先ず、ウエハー９を、プラットフォーム２０１上に置き、プローブカード２０２の各プローブ２０２２により、ウエハー９に直接接触する。次に、テストサーバー２０４は、制御命令を下す。テストサーバー２０４は、制御命令を制御回路板２０９に発信し、制御回路板２０９は、ロードボード２０８を経て、テスト回路板２１０に対して制御を行い、テスト回路板２１０は、テスト信号を発信する。

リレー回路板２０７は、テスト信号を受信し、切り替えを行い、テスト信号をプローブカード２０２に伝送する。プローブカード２０２は、各プローブ２０２２を通して、テスト信号をウエハー９に伝送し、ウエハー９から反応信号を受信する。続いて、反応信号を、リレー回路板２０７に伝送する。リレー回路板２０７は、反応信号を受信し、切り替えを行い、反応信号を、対応するイメージ処理カード２０６、或いはロードボード２０８に伝送する。反応信号が、イメージ読取信号であるなら、対応するイメージ処理カード２０６に伝送し、反応信号が、直流テスト関連の電気信号であるなら、ロードボード２０８に伝送する。

イメージ処理カード２０６は、それが受信した反応信号に対して処理を行い、イメージ信号を生じ、イメージ処理装置２０５に伝送し、それにより処理を行う。ロードボード２０８は、それが受信した反応信号を、テスト回路板２１０に伝送し、それにより判断を行い、結果信号を発生する。次に、結果信号を、ロードボード２０８を経て、制御回路板２０９に伝送し、それをテストサーバー２０４に伝送する。

本発明一実施例ウエハー検査システムのリレー回路板の模式図である図３に示すように、リレー回路板２０７は、配線３１を通して、プローブカード２０２に連接し、配線３２を通して、イメージ処理カード２０６に連接し、配線３３を通して、ロードボード２０８に連接する。リレー回路板２０７は、複数のリレー２０７１を備え、それは好ましくは、プローブカード２０２の各プローブ２０２２にそれぞれ対応し、しかも配線３１を通して、一つ一つ相互に連接する。よって、各リレー２０７１に切り替えることで、リレー回路板２０７は、それが受信した電気信号、或いはイメージ読取信号を、それが連接するイメージ処理カード２０６、或いはロードボード２０８に伝送し、こうして後続のデータ処理プロセスを行うことができる。

本発明のウエハー検査システムは、少なくとも１個のリレー回路板により、伝送データの伝送方向を切り替えるため、すべてのテスト信号、及びウエハーからの反応信号を、直接目標に伝送させ、後続の処理プロセスを行うことができる。例えば、ウエハーから受信したイメージ読取信号は、リレー回路板を通して、直接切り替え、イメージ処理装置に伝送することができる。従来のシステムとは異なり、テストサーバーにより、電気信号及びイメージ読取信号などのすべての信号の処理と伝送を行うわけではないため、ウエハー検査システムの作動効率、信号処理効率、データ伝送速度のすべては、テストサーバーのハードウエア設備の制限を受けることはない。

また、本発明のウエハー検査システムは、使用において、非常にフレキシブルで、使用者の必要に応じて、十分な数のテスト回路板、リレー回路板、イメージ処理カード、イメージ処理装置を自由に拡充することができる。これにより、ウエハー検査の効率を向上させられるばかりか、ダイ検査の総数を増加させることもできる。

１０１ プラットフォーム
１０２ プローブカード
１０２１ 開口
１０２２ プローブ
１０３ 照明器
１０４ テストサーバー
１０５ テスト回路板
１０６ 処理装置
２０１ プラットフォーム
２０２ プローブカード
２０２１ 開口
２０２２ プローブ
２０３ 照明器
２０４ テストサーバー
２０５ イメージ処理装置
２０６ イメージ処理カード
２０７ リレー回路板
２０７１ リレー
２０８ ロードボード
２０９ 制御回路板
２１０ テスト回路板
２１１ 電源回路板
３１、３２、３３ 配線
９ ウエハー

Claims (5)

1. ウエハーに対して検査を行い、プラットフォーム、プローブカード、照明器、テストサーバー、ロードボード、少なくとも１個のリレー回路板、少なくとも１個のイメージ処理カード、少なくとも１個のイメージ処理装置、制御回路板、少なくとも１個のテスト回路板を備え、
   前記プラットフォームには、前記ウエハーを置き、
   前記プローブカード上には、開口、複数のプローブを備え、前記プローブは、前記ウエハーに直接触れ、電気信号を伝送及び受信し、
   前記照明器は、前記プローブカードの開口を通して、光を前記ウエハー上に照射し、
   前記テストサーバーは、照明器に連接し、ウエハー検査の関連プロセス及びデータ処理の執行を制御し、
   前記少なくとも１個のリレー回路板は、前記プローブカード、前記ロードボードにそれぞれ連接し、伝送データの伝送方向を切り替え、
   前記少なくとも１個のイメージ処理カードは、前記少なくとも１個のリレー回路板に一つ一つ連接し、それと相互に連接し、受信するイメージ信号を処理し、
   記少なくとも１個のイメージ処理装置は、前記テストサーバー、及び前記少なくとも１個のイメージ処理カードに連接し、前記少なくとも１個のイメージ処理カードからのイメージ信号を受信し、処理を行い、テスト結果を、前記テストサーバーに伝送し、
   前記制御回路板は、前記テストサーバー、及び前記ロードボードに連接し、前記テストサーバーが発する命令を受信し、前記ロードボードを通して制御命令を発信し、
   前記少なくとも１個のテスト回路板は、前記ロードボードに連接し、それが受信した制御命令に基づき、テスト信号を送信し、それが受信した結果信号に対して、判断を行い、判断結果を、前記ロードボードを通して、前記制御回路板に伝送することを特徴とするウエハー検査システム。
2. 請求項１記載のウエハー検査システムにおいて、前記テストサーバーは、制御命令を前記制御回路板に発信し、
   前記制御回路板は、前記ロードボードを経て、前記少なくとも１個のテスト回路板に対して制御を行い、テスト信号を発信し、
   前記少なくとも１個のリレー回路板は、前記テスト信号を受信し、切り替えを行い、前記テスト信号を、前記プローブカードに伝送し、
   前記プローブカードは、前記各プローブを通して、前記テスト信号を、前記ウエハーに伝え、前記ウエハーから反応信号を受信し、前記反応信号を、前記少なくとも１個のリレー回路板に伝送し、
   前記少なくとも１個のリレー回路板は切り替えを行い、前記反応信号を、前記少なくとも１個のイメージ処理カード、或いは前記ロードボードに伝送することを特徴とする、ウエハー検査システム。
3. 請求項２記載のウエハー検査システムにおいて、前記少なくとも１個のイメージ処理カードは、それが受信した反応信号に対して処理を行い、イメージ信号を発生し、前記少なくとも１個のイメージ処理装置に伝送し、それにより処理を行うことを特徴とする、ウエハー検査システム。
4. 請求項２記載のウエハー検査システムにおいて、前記ロードボードは、前記受信した反応信号を、前記少なくとも１個のテスト回路板に伝送し、それにより判断を行い、結果信号を発生し、
   記結果信号を、前記ロードボードを経て、前記制御回路板に伝送し、前記テストサーバーに伝送することを特徴とする、ウエハー検査システム。
5. 請求項１記載のウエハー検査システムにおいて、前記少なくとも１個のリレー回路板は、複数のリレーをそれぞれ備え、しかも前記各リレーは、前記プローブカードの各プローブに一つ一つ対応することを特徴とする、ウエハー検査システム。

Images