JP2007315828A - テストシステム - Google Patents

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Abstract

【課題】単体測定器を用いて、信頼性が高い同期制御を行い、汎用性を高めるテストシステムを実現することを目的にする。
【解決手段】本発明は、被試験対象を試験するテストシステムに改良を加えたものである。本システムは、被試験対象を試験し、ネットワークに接続すると共に、このネットワークと分離したTCP/IP通信を行い、トリガ信号を出力するICテスタと、このICテスタとネットワークと分離したTCP/IP通信を行うと共に、ICテスタからトリガ信号を入力し、少なくとも被試験対象の測定を行う単体測定器とを備えたことを特徴とするシステムである。
【選択図】図1

Description

本発明は、被試験対象を試験するテストシステムに関し、単体測定器を用いて、信頼性が高い同期制御を行い、汎用性を高めるテストシステムに関するものである。
ICテスタは、被試験対象(以下DUT)、例えばIC,LSI等に試験信号を出力し、DUTの出力により良否の判定を行っている。ICテスタが試験を行うDUTの種類が多く、標準的なICテスタでは、試験が行えないDUTがある。このようなDUTを試験するために、市販の単体測定器を用いて、DUTの試験を行っていた。以下、図2を用いて説明する。
図2において、DUT1は、例えばIC,LSI等である。ICテスタ2は、ネットワークLと接続し、DUT1と信号の授受を行う。そして、ICテスタ2は、複数のモジュール21、HDD(ハードディスク)22、TSC(テストシステムコントローラ)23等からなる。複数のモジュール21は、DUT1と信号の授受の少なくとも一方を行う。HDD22は、テストパターンを含むテストプログラムや試験結果を記憶する。TSC23は、ネットワークL、HDD22に接続し、テストバスBを介して、複数のモジュール21の制御を行う。各単体測定器3は、ICテスタ2のTSC23とGP−IB(General Purpose Interface Bus)により接続され、DUT1に信号発生を行う。コンピュータC1,C2は、ネットワークLに接続される。
このような装置の動作を以下に説明する。コンピュータC1は、テストプログラムを、ネットワークLを介して、ICテスタ2に送る。ICテスタ2のTSC23は、ネットワークLから送られてきたテストプログラムをHDD22に格納する。そして、コンピュータC2が、ネットワークLを介して、ICテスタ2のTSC23に試験開始を指示する。これにより、TSC23は、HDD22のテストプログラムを読み出し、モジュール21の制御を行うと共に、GP−IPを介して、単体測定器3の制御を行う。モジュール21、単体測定器3が試験信号をDUT1に出力し、DUT1がモジュール21に信号を出力し、モジュール21が測定を行う。TSC23は、モジュール21の測定結果により、DUT1の良否の判定を行い、HDD22に格納する。コンピュータC2が、ICテスタ2に対して、試験結果の要求を行うと、TSC23は、HDD22から試験結果を読み出し、ネットワークLを介して、コンピュータC2に送る。
特開2001−144156号公報
このようなシステムは、単体測定器3を用いていることにより、ICテスタ2の汎用性を高めている。つまり、単体測定器の増設や変更により、各種DUTに対応することができる。しかし、単体測定器3を用いるため、単体測定器3が通常持っているインターフェースとして、GP−IBにより制御しなければならなかった。GP−IBでは、処理速度が遅いため、大量のデータを扱うことができず、単体測定器3は信号発生しか用いられていなかった。そこで、特許文献1のように、近年、単体測定器3に搭載されるTCP/IP(Transmission Control Protocol/Internet Protocol)インターフェースにより、ネットワークを介して、制御を行うことが考えられる。しかし、ネットワークLは、コンピュータC1,C2等の各種機器が接続され、各種データが流れているため、信頼性が高い同期制御が行えないという問題点があった。
そこで、本発明の目的は、単体測定器を用いて、信頼性が高い同期制御を行い、汎用性を高めるテストシステムを実現することにある。
このような課題を達成するために、本発明のうち第1の手段は、
被試験対象を試験するテストシステムにおいて、
前記被試験対象を試験し、ネットワークに接続すると共に、このネットワークと分離したTCP/IP通信を行い、トリガ信号を出力するICテスタと、
このICテスタと前記ネットワークと分離したTCP/IP通信を行うと共に、ICテスタからトリガ信号を入力し、少なくとも前記被試験対象の測定を行う単体測定器と
を備えたことを特徴とするものである。
第2の手段は、第1の手段であって、
ICテスタは、
単体測定器とネットワークと分離したTCP/IP通信を行うインターフェース部と、
このインターフェース部とデータの送受信を行うと共に、単体測定器にトリガ信号を出力する制御部と
を有するものである。
第3の手段は、第1の手段または第2の手段であって、
単体測定器は、少なくともトリガ信号の入力部を有することを特徴とすることを特徴とするものである。
本発明によれば、ICテスタが、ネットワークと分離したTCP/IP通信により、単体測定器と通信を行うと共に、単体測定器にトリガ信号を出力するので、単体測定器を用いて、信頼性が高い同期制御を行い、ICテスタの汎用性を高めることができる。
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、図2と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
図1において、インターフェース部24は、ICテスタ2に設けられ、コンピュータC1,C2等の外部装置が接続されるネットワークLと分離したTCP/IP通信を行う。TSC25は制御部で、TSC23の代わりに設けられ、インターフェース部24と接続し、トリガ信号を出力する。複数の単体測定器41〜43は、ICテスタ2のインターフェース部24とTCP/IP通信を行うと共に、TSC25からのトリガ信号を入力する入力部I、トリガ信号を出力する出力部Oを有し、DUT1の測定またはDUT1に信号発生を行う。そして、単体測定器41の入力部Iは、TSC25と電気的に接続する。単体測定器41の出力部Oは、単体測定器42の入力部Iと電気的に接続する。単体測定器42の出力部Oは、単体測定器43の入力部Iに電気的に接続する。ここで、単体測定器41,42は、信号発生を行い、単体測定器43は、測定を行うものとする。
このような装置の動作を以下に説明する。コンピュータC1は、テストプログラムを、ネットワークLを介して、ICテスタ2に送る。ICテスタ2のTSC25は、ネットワークLから送られてきたテストプログラムをHDD22に格納する。そして、コンピュータC2が、ネットワークLを介して、ICテスタ2のTSC25に試験開始を指示する。これにより、TSC25は、HDD22のテストプログラムを読み出し、モジュール21の制御を行うと共に、インターフェース部24を介して、TCP/IP通信を行い、単体測定器41〜43の制御信号を送る。そして、TSC25が、トリガ信号を単体測定器41の入力部Iに送ると、単体測定器41の出力部Oを介して、単体測定器42の入力部Iに入力される。そして、単体測定器42の出力部Oからトリガ信号が出力され、単体測定器43の入力部Iに入力される。これにより、ICテスタ2と単体測定器41〜43との同期が図られる。
TSC25により、モジュール21が、試験信号をDUT1に出力する。一方、トリガ信号により、単体測定器41,42が試験信号をDUT1に出力する。そして、DUT1がモジュール21、単体測定器43に信号を出力し、モジュール21、単体測定器43が測定を行う。TSC25は、モジュール21から測定結果を取得すると共に、インターフェース部24を介して、TCP/IP通信を行い、単体測定器43から測定結果を取得する。そして、これらの測定結果により、TSC25が、DUT1の良否の判定を行い、HDD22に格納する。コンピュータC2が、ICテスタ2に対して、試験結果の要求を行うと、TSC25は、HDD22から試験結果を読み出し、ネットワークLを介して、コンピュータC2に送る。
このように、ICテスタ2が、ネットワークLと分離したTCP/IP通信により、単体測定器41〜43と通信を行うと共に、単体測定器41〜43にトリガ信号を出力するので、単体測定器41〜43を用いて、信頼性が高い同期制御を行い、ICテスタの汎用性を高めることができる。
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、TSC25がトリガ信号を直接出力する構成を示したが、インターフェース部24を介して出力する構成でもよい。
本発明の一実施例を示した構成図である。 従来のテストシステムの構成を示した図である。
符号の説明
1 DUT
2 ICテスタ
24 インターフェース部
25 TSC
41〜43 単体測定器
L ネットワーク

Claims (3)

  1. 被試験対象を試験するテストシステムにおいて、
    前記被試験対象を試験し、ネットワークに接続すると共に、このネットワークと分離したTCP/IP通信を行い、トリガ信号を出力するICテスタと、
    このICテスタと前記ネットワークと分離したTCP/IP通信を行うと共に、ICテスタからトリガ信号を入力し、少なくとも前記被試験対象の測定を行う単体測定器と
    を備えたことを特徴とするテストシステム。
  2. ICテスタは、
    単体測定器とネットワークと分離したTCP/IP通信を行うインターフェース部と、
    このインターフェース部とデータの送受信を行うと共に、単体測定器にトリガ信号を出力する制御部と
    を有することを特徴とする請求項1記載のテストシステム。
  3. 単体測定器は、少なくともトリガ信号の入力部を有することを特徴とすることを特徴とする請求項1または2記載のテストシステム。
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