CN106557709B - 芯片标识符自动检查系统与其方法 - Google Patents

Abstract

本发明是提供一种芯片标识符自动检查系统，包括：一资料取得装置用以取得一芯片位置资料、一晶圆批号资料、一晶圆刻号资料及一芯片随机码；一处理装置具有一编码模块，用以将该晶圆批号资料、晶圆刻号资料、该芯片随机码及该芯片位置资料进行编码，以形成一芯片标识符；以及一测试装置具有一确认模块，用以测试该芯片标识符是否正常。其中，当该确认模块发现该芯片标识符错误时，该确认模块传送一停止信号使与该系统连接的一探针组静止。

Description

芯片标识符自动检查系统与其方法

技术领域

本发明是关于一种自动检查系统与其方法，特别是一种芯片标识符自动检查系统与其方法。

背景技术

目前的芯片产品在出厂时，在每个芯片上都会被写入一个芯片标识符，在某些时候，每一个芯片的芯片标识符必须是独一无二的，换言之，不能有重复的芯片标识符，也因此在芯片的制造过程中，只要一晶圆上有两个芯片的芯片标识符产生重复时，则该片晶圆就可能因此而必须报销。此外，若每一批货的晶圆数量庞大，晶圆上的芯片数量更非轻易可计算，若是其中一片芯片的芯片标识符错误时，工作人员也很难实时发现，而使得后续的晶圆继续工作，直到出货时才发现问题，使得整批货都必须报销，进而造成难以估计的损失。

虽然现在有些芯片的芯片标识符的编码上会加入一随机流水号，难而此种编码方式仍是会有机率造成重复的编码，因此仍无法完全解决上述的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种改良的芯片标识符自动检查系统，提供多道的检查机制，不仅可产生不会重复的芯片标识符，更可以提供自动检查的功效，进而解决上述的问题。

本发明提供一种芯片标识符自动检查系统，包括：一资料取得装置，具有一控制器、一位置记录模块、一批号读取模块、一刻号读取模块及一随机码产生模块，该控制器与所述模块各自连接并控制所述模块，该位置记录模块连接一晶圆探针装置的一探针组，用以根据该探针组的位置取得一芯片位置资料，该批号读取模块用以读取一晶圆批号资料，该刻号读取模块用以读取一晶圆刻号资料，该随机码用以产生一芯片随机码；一处理装置，与该资料取得装置连结，用以取得该晶圆批号资料、晶圆刻号资料、该芯片随机码及该芯片位置资料，该处理装置并具有一编码模块，以将该晶圆批号资料、晶圆刻号资料、该芯片随机码及该芯片位置资料进行编码，以形成一芯片标识符；以及一测试装置，与该处理装置连结，用以取得该芯片标识符，该测试装置并具有一确认模块，用以测试该芯片标识符是否正常；其中，当该确认模块发现该芯片标识符错误时，该确认模块传送一停止信号使该探针组静止。由此，本发明的该芯片标识符检查模块可产生一特殊的芯片标识符，且通过特殊的确证方式，一旦发现错误的芯片标识符，可以实时停止该晶圆探针装置的该探针组的工作并告知使用者。

在一较佳实施例里，该芯片标识符自动检查系统还包括一资料整合装置，用以储存正确的芯片标识符至一资料库，并将后续的芯片标识符与该资料库里的资料进行比对，以再次确保芯片标识符的正确性。

本发明的另一目的是提供一种芯片标识符自动检查方法，是执行于一芯片标识符自动检查系统上，该方法包括步骤：通过与一晶圆探针装置的一探针组连结的一资料取得装置来取得一芯片位置资料、一晶圆批号资料、一晶圆刻号资料及一芯片随机码，其中该芯片位置资料是根据该探针组位置而产生；传送该芯片位置资料、该晶圆批号资料、该晶圆刻号资料及该芯片随机码至一处理装置；利用设置于该处理装置里的一编码模块将该芯片位置资料、该晶圆批号资料、该晶圆刻号资料及该芯片随机码编码为一芯片标识符；通过一测试装置取得该芯片标识符，并通过设置于该测试装置里的一确认模块来确认该芯片标识符是否正常；以及当该确认模块发现该芯片标识符错误时，通过该确认模块传送一停止信号使该探针组静止。由此，本发明的该芯片标识符检查方法可产生一特殊的芯片标识符，且通过特殊的确证方式，一旦发现错误的芯片标识符，可以实时停止该探针组的工作并告知使用者。

在一较佳实施例里，该芯片标识符自动检查方法还包括将正确的芯片标识符储存至一资料库里，并通过一比对模块将该芯片标识符与该资料库中的多笔资料进行比对，以再次确保芯片标识符的正确性。

附图说明

为进一步说明本发明的技术内容，以下结合实施例及附图详细说明如后，其中：

图1是本发明的芯片标识符自动检查系统的一实施例的系统架构图。

图2是本发明的芯片标识符自动检查方法的一步骤流程图。

图3是该芯片标识符自动检查方法的步骤S25的一细部流程图。

图4是该芯片标识符自动检查方法的一资料整合步骤的流程图。

图5是该芯片标识符自动检查方法的一资料数量计算步骤的流程图。

图6是该资料数量计算步骤的步骤S52及S53所述的资料覆盖的示意图。

具体实施方式

图1是本发明是芯片标识符自动检查系统是一实施例是系统架构图，如图1所示，本发明是芯片标识符自动检查系统1主要包含一晶圆探针装置5、一资料取得装置10、一处理装置20及一测试装置30，其中该晶圆探针装置5连结该资料取得装置10，而该资料取得装置10连结至该处理装置20，该处理装置20与该测试装置30连结。该晶圆探针装置5设有一探针组110、一条形码读取器120、一镜头130及文字辩识模块131，再者，该资料取得装置10主要包括一位置记录模块11、一批号读取模块12、一刻号读取模块13、一随机码产生模块14及一控制器15，该控制器15控制所述模块的运作以取得多个的资料，该资料取得模块10并将所述资料传送至该处理模块20。该处理模块20主要包括一编码模块21，用以将来自该资料取得装置10的所述资料进行编码，该处理模块20并将所述编码后的资料传送至该测试装置30。该测试装置30主要包括一编码缓存器31及一确认模块32，该编码缓存器31用以暂存所述编码后的资料，该确认模块32用以确认所述编码后的资料是否属于正确的编码。

另外，该芯片标识符自动检查系统1更可包括与该测试装置30连结的一资料整合装置40，用以从该测试装置30处接收所述编码后的资料。该资料整合装置40主要包括一资料库41及一比较模块42，更佳地，还包括一计算模块43，其中该资料库41用以储存多个编码后的资料，该比较模块42用以将接收到的编码后的资料与储存于该资料库41中的所述资料进行比对，该计算模块43则用以计算储存于资料库41中的资料数量。

在一较佳实施例里，该资料取得装置10是与一晶圆探针装置5相连结至一计算机装置(图中未示)，或者该资料取得装置10是设置于该晶圆探针装置5上的一硬件(在此态样下，所述模块11-14及该控制器15可以是该资料取得装置10上的硬件元件，或者是安装在该晶圆探针装置5里的软件程序)，又或者该资料取得装置10是设置于与该晶圆探针装置5连接的计算机里或该晶圆探针装置5里的一主要程序软件(在此态样下，所述模块11-14及该控制器15即为子程序软件)，本发明并无限定，只要产生如本发明的运作且达成本发明的功效的实施态样，即属于本发明的范围。

该资料取得模块10的该位置记录模块11较佳是与该晶圆探针装置5的一探针组110相连结，并根据该探针组110的位置来取得一芯片位置资料，较佳地，该芯片位置资料是由坐标的形式所记录。由于该晶圆探针装置5所放置的一晶圆上具有多个芯片，探针组110会在该晶圆上移动而在每个芯片上进行工作，也因此每个芯片的位置可视为一芯片坐标，当该探针组110移动至一芯片的位置上时，该坐标记录模块11可以将该芯片的坐标位置记录下来，以形成该芯片的一芯片坐标资料。较佳地，该坐标记录模块11是由该控制器15所控制，以将芯片坐标资料记录于该资料取得模块10里。

该资料取得模块10的该批号读取模块12较佳是与一条形码读取器120连结，通过该条形码读取器120来读取每片晶圆的一批号，并将该批号储存于该资料取得模块10里。其中，该批号是指多片晶圆为一组的出产批号，也因此会有每片晶圆可能会具有相同的批号，而同一晶圆上的每个芯片将会有相同的批号。较佳地，该批号读取模块12是由该控制器15所控制，以将晶圆批号资料储存于该资料取得模块10里。

该资料取得模块10的该刻号读取模块13较佳是与一文字辨识模块131连结，用以通过该文字辨识模块131的该镜头130来取得一晶圆的一刻号的影像，且该文字辨识模块(OCR module)131是辨识该影像上的文字并转换为晶圆刻号资料，该刻号读取模块13由此自动地取得每一晶圆的刻号资料。其中，该批号是指同一出产批号的多片晶圆各自用有的一刻号，例如同一批号的晶圆共有20片，那么该批晶圆将会具有20个刻号，也因此同批号的多片晶圆会具有不同的刻号，而同一晶圆上的每个芯片将会有相同的刻号。此外，该文字辨识模块131与该刻号读取模块13可以为不同的模块，也可以为同一个模块。较佳地，该刻号读取模块13是由该控制器15所控制，以将晶圆刻号资料储存于该资料取得模块10里。

该资料取得模块10的该随机码产生模块14是用以对每一芯片产生一随机号码，其是通过该控制器15所控制，以将随机号码储存于该资料取得模块10里。

在一较佳实施例里，该处理装置20是一计算机装置(在此态样下，该编码模块21可以是该处理装置20上的硬件元件，例如一编码器，或者是安装在该处理装置20里的一软件程序)或设置于该计算机装置里的一主要程序软件(在此态样下，该编码模块21是一子软件程序)，用以从该资料取得装置10处取得所述资料，并利用该编码模块21对所述资料进行编码。该编码模块21可以是包括一位置编码模块211、一批号编码模块212、一刻号编码模块213及一随机码编码模块214，各自将一芯片的该芯片位置资料、该晶圆批号资料、该晶圆刻号资料及该芯片随机码编码，该编码模块21再将所述编码后的资料整合形成一芯片标识符，该编码模块21也可以直接将该芯片的所述资料整合后再进行编码而形成该芯片标识符。

通过该编码模块21的编码，对于同一晶圆而言，每一芯片的芯片标识符彼此间将会具有不同的芯片位置、相同的晶圆批号、相同的晶圆刻号及不同的随机码成分，即便随机码可能会有极小的机率重复，但由于每一芯片的位置都不同，因此同一晶圆上的芯片的该芯片标识符皆不相同。而对于不同的晶圆而言，同一位置的芯片虽然可能具有相同的位置，但由于晶圆刻号的不同，因此不同晶圆上的芯片的该芯片标识符亦不相同。

在一较佳实施例里，该测试装置30可以是为一计算机装置，但并非限定。该测试装置30的该编码缓存器31是用以暂存来自该处理装置20的所述芯片标识符，该测试装置30的该确认模块32则用以确认所述芯片标识符的编码是否有错误。较佳地，该测试装置30里被输入一编码规则，并将目前处理的芯片标识符根据该编码规则进行比对，以确认该芯片标识符是否正确，例如该编码的规则可以是将该芯片标识符与前一个芯片的芯片标识符进行比对，以确保编码的构成正确以及编码未有重复。当确认编码正确后，该测试模块可以使该芯片标识符烧入至该芯片上，使该芯片永久地具有该组芯片标识符。假如该确认模块32发现该芯片标识符是错误的编码时，该测试装置30会产生一停止信号，使该晶圆探针装置5的该探针组110停止运作，以防止芯片写入该错误的芯片标识符，以及避免产生后续的错误芯片标识符，另外该测试装置30也会产生一错误提示信息以告知用户，例如产生一警告声音信息等。较佳地，该确认模块32是该测试装置30里的一软件程序，但并非限定。此外，当该确认模块32确认该芯片标识符的编码正确时，该测试装置30可以将该芯片标识符传送至该资料整合装置40上。

在一较佳实施例里，该资料整合装置40可以是一远程服务器或是储存装置，用以储存芯片标识符。当接收一芯片标识符后，该资料整合装置40的该比较模块42会将该芯片标识符与该资料库41里的多个先前所储存的芯片标识符进行比对，当该芯片标识符未与该资料库41里的芯片标识符重复时，该资料整合装置40会将该资料标识符储存至该资料库41里，当该芯片标识符与该资料库41的芯片标识符重复时，该资料整合装置40会产生一错误信息，并将该错误信息传送至该测试装置30上，使该测试装置30产生一停止信号及一警告信息，进而使晶圆探针装置5的探针组110停止运作，以必免产生后续的错误芯片标识符，并告知用户错误的产生。

此外，该测试装置30的该计算模块43会计算该资料库41里所储存的芯片标识符的数量，假如该资料库41里的芯片标识符数量达到一默认值时，该资料整合装置40会将新的芯片标识符从第一笔被储存的资料开始覆盖储存，即从第一个资料储存位置重新开始储存，例如该默认值是120万笔资料，则该资料整合装置40会将第120万01笔的芯片标识符取代第一笔资料，并将第120万02笔的芯片标识符取代第二笔资料。

由此，本发明的芯片标识符自动检查系统可以再一次地确认该芯片标识符没有错误，使得芯片的良率更加提升。

图2是本发明的芯片标识符自动检查方法的一步骤流程图，其是通过该芯片标识符自动检查系统1来执行，用以表示一晶圆上的一芯片的芯片标识符的产生与处理过程。为更详细地说明图2，以下将利用一实施例配合图1来进行说明。首先步骤S21被执行，在晶圆探针装置5的探针组110对一晶圆上的一芯片进行工作时，通过该资料取得装置10里的该控制器15来操作与晶圆探针装置5的探针组110连结的该位置记录模块11、与该条形码读取器120连结的该批号读取模块12、与该镜头130连结的该刻号读取模块13，以各自取得该芯片的该芯片位置资料、该晶圆批号资料、该晶圆刻号资料，并通过该随机码产生模块14产生该芯片随机码，其中该芯片位置资料是根据晶圆探针装置5的探针组110在该晶圆上的该芯片的位置来决定。较佳地，该芯片位置资料是由坐标的形式所记录。

之后步骤S22被执行，通过该资料取得装置10将该芯片位置资料、该晶圆批号资料、该晶圆刻号资料及该芯片随机码被传送到该处理装置20上；之后步骤S23被执行，该芯片位置资料、该晶圆批号资料、该晶圆刻号资料及该芯片随机码通过该编码模块21而被编码为该芯片标识符，其中该芯片位置资料、该晶圆批号资料、该晶圆刻号资料及该芯片随机码较佳是被该编码模块21利用36个字符编码成一组编码，例如由26个英文字母与0-9的10个阿拉伯数字来将所述资料进行编码，但上述编码方式仅是举例而非限制，本发明可适用于各种编码方式。

当编码完成后，步骤S24被执行，通过该处理装置20，该芯片标识符被传送至该测试装置30的该编码缓存器31里，其中该编码缓存器31至少储存有目前所接收到的芯片标识符及前一个接受到的芯片标识符。之后进行步骤S25，该确认模块确认该芯片标识符的编码是否有错误。图3是步骤S25的一细部流程图，首先步骤S31被执行，通过该确认模块32，该芯片标识符与上一个芯片标识符被进行比对，当该芯片标识符与上一个芯片标识符未有重复时，表示该编码无误，则进行步骤S32，该芯片标识符被烧入至该芯片上；当该确认模块32发现该芯片标识符与上一个芯片标识符重复时，即代表该芯片标识符的编码错误，则进行步骤S33，该确认模块32产生该停止信号及该警告提示信号，使晶圆探针装置5的探针组110停止工作以及告知使用者错误的产生。值得注意上述的确认方式是将芯片标识符与前一个芯片标识符比对，但在其它实施例中，该确认模块32也可以根据一默认的编码规则来辨识该芯片标识符的编码是否正确。

由此，对于同一晶圆而言，每一芯片的芯片标识符具有不同的芯片位置及不同的随机码成分，即便随机码可能会有极小的机率重复，但由于每片芯片的位置都不同，因此同一晶圆上的芯片的该芯片标识符皆不会相同。而不同的晶圆而言，同一位置上的芯片虽然可能具有相同的位置，但由于晶圆刻号的不同，所述芯片的该芯片标识符亦不相同。由此，可避免错误的芯片标识符产生，且通过该确认模块32所进行的确认步骤S31-S33，一旦遇到错误的编码，可马上停止该晶圆探针装置5的探针组110的工作，并告知使用者。

在一较佳实施例里，当步骤S25的该测试装置30的执行完成后，可再通过该资料整合装置40进行一资料整合步骤。图4是本发明该芯片标识符自动检查方法的资料整合步骤的流程图，并请一并参考图1及图2，首先步骤S41被执行，该芯片标识符被传送置该资料整合装置40，其中该资料整合装置40的该资料库41里储存有多笔芯片标识符。之后步骤S42被执行，通过该比较模块42，该芯片标识符与该资料库41里的多笔芯片标识符被进行比对。假如比对的结果发现该芯片标识符与该资料库41里的其中一个芯片标识符相同，表示产生了重复的芯片标识符，此时步骤S43被执行，该资料整合装置40产生一错误信息，之后并进行步骤S44，该资料整合装置40传送该错误信息至该测试装置30来产生一停止信号来使晶圆探针装置5的探针组110停止，以及产生一警告信息以告知用户错误的产生。假如比对的结果发现该芯片标识符与该资料库41里的每一芯片标识符皆不相同，则表示该芯片标识符是正确的，因此步骤S45被执行，该芯片标识符被储存置该资料库41里。

在另一较佳实施例里，在该芯片标识符被储存之前，可再进行一资料数量计算步骤。图5是本发明该芯片标识符自动检查方法的资料数量计算步骤的流程图，并请一并参考图1、图2以及图4，首先步骤S51被执行，通过该计算模块43，计算该资料库41里的资料数量是否达到一默认值，即已达到该资料库41的最大资料数量120万笔。假如已达到，则进行步骤S52，将欲储存的芯片标识符由该第一笔资料开始重新覆盖，即从第一个资料储存位置重新开始储存。假如未达到，则进行步骤S53，将欲储存的芯片标识符储存至目前最后一笔资料的后续储存位置。图6是步骤S52及S53所述的资料覆盖的示意图，由图6可明确得知上述资料储存的方式。

由此，本发明的芯片标识符自动检查方法可以再一次地确认该芯片标识符烧入芯片的良率更加提升。

上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本发明所主张的权利范围自应以权利要求范围所述为准，而非仅限于上述实施例。

Claims (6)

1.一种芯片标识符自动检查系统，包括：

一晶圆探针装置，具有一探针组；

一资料取得装置，具有一控制器、一位置记录模块、一批号读取模块、一刻号读取模块及一随机码产生模块，该控制器与所述模块各自连接并控制所述模块，该位置记录模块连接该探针组以根据该探针组的位置取得一芯片位置资料，该批号读取模块用以读取一晶圆批号资料，该刻号读取模块用以读取一晶圆刻号资料，该随机码产生模块用以产生一芯片随机码；

一处理装置，与该资料取得装置连结以取得该晶圆批号资料、晶圆刻号资料、该芯片随机码及该芯片位置资料，并具有一编码模块，用以将该晶圆批号资料、晶圆刻号资料、该芯片随机码及该芯片位置资料编码成一芯片标识符；以及

一测试装置，与该处理装置连结以取得该芯片标识符，并具有一确认模块，用以测试该芯片标识符是否正常；

其中，当该确认模块发现该芯片标识符错误时，该确认模块传送一停止信号使该探针组静止；

其中该芯片标识符自动检查系统还包括具有一比对模块与一资料库的一资料整合装置，该资料整合装置与该测试装置连结，用以取得来自该测试装置的该芯片标识符，该比对模块将该芯片标识符与该资料库中的多笔资料进行比对，当该比对模块发现该芯片标识符与该多笔资料未有重复时，该资料整合装置将该芯片标识符储存至该资料库里。

2.如权利要求1所述的芯片标识符自动检查系统，其中该资料整合装置更具有一计算模块，用以计算该资料库里的资料数量是否大于一数值，假如大于该数值，则将后续所欲储存的资料由一第一笔资料开始覆盖储存。

3.如权利要求1所述的芯片标识符自动检查系统，其中，当该比对模块发现该芯片标识符与该多笔资料中的一资料重复时，该资料整合装置产生并传送一错误信息至该测试装置以传送一停止信号使该探针组静止。

4.一种芯片标识符自动检查方法，是通过一芯片标识符自动检查系统来执行，该方法包括步骤：

通过一资料取得装置来取得一芯片位置资料、一晶圆批号资料、一晶圆刻号资料及一芯片随机码，其中该芯片位置资料是根据与该资料取得装置连结的一晶圆探针装置的一探针组的位置而产生；

传送该芯片位置资料、该晶圆批号资料、该晶圆刻号资料及该芯片随机码至一处理装置；

利用设置于该处理装置里的一编码模块将该芯片位置资料、该晶圆批号资料、该晶圆刻号资料及该芯片随机码编码为一芯片标识符；

通过一测试装置取得该芯片标识符，并通过设置于该测试装置里的一确认模块来确认该芯片标识符是否正常；

当该确认模块发现该芯片标识符错误时，通过该确认模块传送一停止信号使该探针组静止；

当该确认模块确认该芯片标识符没有错误时，传送该芯片标识符至一资料整合装置；

通过该资料整合装置里的一比对模块将该芯片标识符与一资料库中的多笔资料进行比对；以及

当该比对模块发现该芯片标识符与该多笔资料未有重复时，将该芯片标识符储存至该资料库里。

5.如权利要求4所述的芯片标识符自动检查方法，其中还包括步骤：

利用该资料整合装置里的一计算模块来计算该资料库里的资料数量是否大于一数值，假如大于该数值，则将后续所欲储存的资料由一第一笔资料开始覆盖储存。

6.如权利要求4所述的芯片标识符自动检查方法，其中还包括步骤：

当该比对模块发现该芯片标识符与该多笔资料中的一资料重复时，通过该资料整合装置产生一错误信息，并将该错误信息传送至该测试装置；以及

利用该测试装置传送一停止信号使该探针组静止。