JP2012114148A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板の上に設けられた第1導電部上に絶縁層を形成し(ステップS1)、その絶縁層を被覆するようにバリア層を形成した後(ステップS2)、そのバリア層の上に第2導電部を形成する(ステップS3)。そして、第1導電部上の絶縁層がバリア層で被覆されている状態で、第2導電部を水素又はカルボン酸を含む雰囲気中で溶融し(ステップS4)、その後、その第2導電部をマスクにして、絶縁層の上からバリア層を除去する(ステップS5)。
【選択図】図1
Description
まず、半導体基板の上方に形成された第1導電部上に、絶縁層を形成する(ステップS1)。半導体基板には、第1導電部の形成前に、予めトランジスタ等の素子を形成しておくことができる。第1導電部としては、例えば、半導体基板上方に形成される配線層の配線、パッド、ウェハレベルパッケージ等の再配線を挙げることができる。このような第1導電部が、例えば、所定のパターン形状で、半導体基板上方に形成される。第1導電部上に形成する絶縁層には、例えば、有機絶縁層を用いることができる。尚、絶縁層として、無機絶縁層を用いることも可能である。絶縁層は、例えば、第1導電部、或いは第1導電部より下層の構造部を保護する保護層としての機能を有する。
このように、図1に示した製造フローでは、第2導電部を水素又はカルボン酸を含む雰囲気中で溶融する間、絶縁層をバリア層で被覆しておく。そして、バリア層は、第2導電部の溶融、凝固後、その第2導電部をマスクにして絶縁層の上から除去する。このようなフローとすることにより、絶縁層と、その下の第1導電部との間の密着力低下を抑えることが可能になっている。
まず、第1の実施の形態について説明する。
図2は半導体基板上に配線層の形成まで行った状態の一例を示す図である。
半導体基板2には、シリコン(Si)基板等の半導体基板を用いることができる。このような半導体基板2に、図2に示したように、トランジスタ4が形成される。図2には、トランジスタ4として複数のMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタを例示している。尚、半導体基板2には、トランジスタ4のほか、容量、抵抗等の素子が形成されていてもよい。
図3〜図20には、再配線及びバンプを形成する各工程の一例を模式的に図示しており、図3〜図20のそれぞれにおいて、(A)は要部平面図、(B)は(A)のX−X断面図である。尚、図3〜図20では、便宜上、図2に例示したような基板1の内部構造については、図示を省略している。
まず、基板1上に、パッド11を形成する。尚、パッド11は、上記のように、基板1内に形成されたトランジスタ4と電気的に接続されるように、形成される。パッド11は、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、Alを含む導電材料、Cuを含む導電材料等を用いて形成することができる。
図4は第1の実施の形態に係る第1バリア層形成工程の一例を示す図である。
バリア層14の形成後、電極層15を形成する。この電極層15は、後述のめっき工程の際に、給電層として用いられる。
電極層15の形成後、レジスト16を形成する。レジスト16を形成する際は、まず、所定のレジスト材料を5μm〜14μmの厚さで塗布する。そして、再配線を形成する領域が開口されるように、レジスト16に露光及び現像処理を行って、開口部16aを形成する。
開口部16aを設けたレジスト16の形成後、電解めっきにより、そのレジスト16の開口部16aに、再配線17(配線)を形成する。
図8は第1の実施の形態に係るバリア層及び電極層エッチング工程の一例を示す図である。
電極層15及びバリア層14のエッチング後、絶縁層18を形成する。絶縁層18は、まず、再配線17全体を被覆するように形成する。そして、その形成した絶縁層18に対し、バンプ等を形成する領域が開口されるように、開口部18aを形成する。
絶縁層18の形成時には、再配線17の表面に、酸化膜19が形成される。この酸化膜19の酸素源としては、例えば、絶縁層18を形成する際(アニール時等)にその環境内に含まれる酸素、絶縁層18又はその材料中に含まれる酸素、大気中の酸素等が挙げられる。再配線17と絶縁層18の間に、このような酸化膜19が介在することで、介在しない場合に比べて、再配線17と絶縁層18が強く密着するようになる。
絶縁層18を形成し、所定領域に開口部18aを形成した後は、絶縁層18を被覆するように、バリア層20、例えばバリアメタル層を形成する。バリア層20は、後に形成されるバンプの材料が再配線17に浸入するのを抑える役割、バンプと再配線17の間の導通及び密着を確保する役割等を果たす。
図11は第1の実施の形態に係る第2電極層形成工程の一例を示す図である。
電極層21は、例えば、Cu等の導電層を、めっき法、スパッタ法等を用いて形成する。電極層21は、その厚さがめっき時のめっきバラツキに影響するため、当該めっき時の下地(電極層21)の状態に応じて、採用する厚さを設定する。電極層21の厚さは、例えば、200nm〜500nmとする。
電極層21の形成後、レジスト22を形成する。レジスト22を形成する際は、まず、所定のレジスト材料を所定の厚さで塗布する。そして、バンプ等を形成する領域が開口されるように、レジスト22に露光及び現像処理を行って、開口部22aを形成する。
開口部22aを設けたレジスト22の形成後、アンダーバンプメタル(Under Bump Metal;UBM)23及びバンプ24を形成する。ここでは一例として、UBM23及びバンプ24を、いずれも電解めっきにより、形成する場合を示す。
図14は第1の実施の形態に係るレジスト除去工程の一例を示す図である。
レジスト22の剥離後、露出する電極層21を、UBM23及びバンプ24をマスクにして、エッチングにより除去する。このエッチングは、例えば、ウェットエッチングで行う。その場合、電極層21のウェットエッチングには、硫酸、酢酸等を含むエッチング液を用いる。電極層21のエッチング液には、下地のバリア層20に対して電極層21を選択的にエッチングできるものを用いる。
電極層21の除去後、絶縁層18がバリア層20で被覆されている状態で、リフローを実施する(図16(B)に太矢印で模式的に図示)。このリフローは、水素又はカルボン酸を含む雰囲気中で行う。いわゆるフラックスレスリフローである。このリフローにより、バンプ24を成形する。
ここで、この第1の実施の形態では、水素又はカルボン酸を用いたリフロー前に、上記の図15に示したように、電極層21はエッチングするが、電極層21の除去後に露出するバリア層20はエッチングせずに残している。即ち、水素又はカルボン酸を用いたリフローの際、絶縁層18がバリア層20によって被覆されている。そのため、リフローに用いた水素又はカルボン酸は、このバリア層20によって絶縁層18内への浸透が抑えられる。
上記のようにして、絶縁層18がバリア層20で被覆された状態で、水素又はカルボン酸を用いたリフローを行った後、バリア層20を、エッチングにより除去する。このエッチングは、例えば、ウェットエッチングで行う。バリア層20のウェットエッチングには、フッ酸、過酸化水素等を含むエッチング液を用いる。バリア層20のエッチング液には、下地の絶縁層18をエッチングしない、又は過剰にエッチングしないものを用いる。
バリア層20のエッチング後、それによって露出する絶縁層18の表面をドライエッチングする(図18(B)に矢印で模式的に図示)。このドライエッチングは、バリア層20の形成時に変質した絶縁層18の表面部分を除去すること、及び、バリア層20のエッチング時にそのエッチングでは完全に取りきれない金属残渣を除去することを目的として行う。ドライエッチングには、例えば、酸素(O2)/テトラフルオロカーボン(CF4)系の混合ガスを用いる。このドライエッチングにより、絶縁層18の表面部分を、厚さ50nm〜700nm程度除去する。
第2の実施の形態では、上記の図2に示したような基板1上に、パッド及びバンプを形成する場合の一例について、図21〜図32を参照して、説明する。
まず、基板1上に、パッド31を形成する。尚、パッド31は、上記のように、基板1内に形成されたトランジスタ4と電気的に接続されるように、形成される。パッド31は、Al、Cu、Alを含む導電材料、Cuを含む導電材料等を用いて形成することができる。
絶縁層33の形成時には、パッド31の表面に、酸化膜34が形成される。この酸化膜34の酸素源としては、例えば、絶縁層33を形成する際(アニール時等)にその環境内に含まれる酸素、絶縁層33又はその材料中に含まれる酸素、大気中の酸素等が挙げられる。パッド31と絶縁層33の間に、このような酸化膜34が介在することで、介在しない場合に比べて、パッド31と絶縁層33が強く密着するようになる。
絶縁層33の形成後、絶縁層33を被覆するように、バリア層35、例えばバリアメタル層を形成する。バリア層35は、後に形成されるバンプの材料がパッド31に浸入するのを抑える役割、バンプとパッド31の間の導通及び密着を確保する役割等を果たす。
図23は第2の実施の形態に係る電極層形成工程の一例を示す図である。
電極層36は、例えば、Cu等の導電層を、めっき法、スパッタ法等を用いて形成する。電極層36は、その厚さがめっき時のめっきバラツキに影響するため、当該めっき時の下地(電極層36)の状態に応じて、採用する厚さを設定することができる。電極層36の厚さは、例えば、200nm〜500nmとする。
電極層36の形成後、レジスト37を形成する。レジスト37を形成する際は、まず、所定のレジスト材料を所定の厚さで塗布する。そして、バンプ等を形成する領域が開口されるように、レジスト37に露光及び現像処理を行って、開口部37aを形成する。
開口部37aを設けたレジスト37の形成後、UBM38及びバンプ39を形成する。ここでは一例として、UBM38及びバンプ39を、いずれも電解めっきにより、形成する場合を示す。
図26は第2の実施の形態に係るレジスト除去工程の一例を示す図である。
レジスト37の剥離後、露出する電極層36を、UBM38及びバンプ39をマスクとして、エッチングにより除去する。このエッチングは、例えば、ウェットエッチングで行う。その場合、電極層36のウェットエッチングには、硫酸、酢酸等を含むエッチング液を用いる。電極層36のエッチング液には、下地のバリア層35に対して電極層36を選択的にエッチングできるものを用いる。
電極層36の除去後、絶縁層33がバリア層35で被覆されている状態で、リフローを実施する(図28(B)に太矢印で模式的に図示)。このリフローは、水素又はカルボン酸を含む雰囲気中で行う。リフローに使用可能なカルボン酸としては、蟻酸をはじめ、上記第1の実施の形態で述べたような様々なカルボン酸を用いることができ、また、複数のカルボン酸を組み合わせて用いることもできる。例えば、カルボン酸として蟻酸を用いる場合には、上記第1の実施の形態で述べたような方法で、リフローを行うことができる。リフローを行うことにより、図27等に示しためっき後のバンプ39が、この図28に示したように、溶融されてその表面張力で丸みを帯びた形状になり、凝固する。
上記のようにして、絶縁層33がバリア層35で被覆された状態で、水素又はカルボン酸を用いたリフローを行った後、バリア層35を、エッチングにより除去する。このエッチングは、例えば、ウェットエッチングで行う。バリア層35のウェットエッチングには、フッ酸、過酸化水素等を含むエッチング液を用いる。バリア層35のエッチング液には、下地の絶縁層33をエッチングしない、又は過剰にエッチングしないものを用いる。
バリア層35のエッチング後、それによって露出する絶縁層33の表面をドライエッチングする(図30(B)に矢印で模式的に図示)。このドライエッチングは、バリア層35の形成時に変質した絶縁層33の表面部分を除去すること、及び、バリア層35のエッチング時にそのエッチングでは完全に取りきれない金属残渣を除去することを目的として行う。ドライエッチングには、例えば、O2/CF4系の混合ガスを用いる。このドライエッチングにより、絶縁層33の表面部分を、厚さ50nm〜700nm程度除去する。
第3の実施の形態では、上記の図2に示したような基板1上に、パッド及びピラーバンプを形成する場合の一例について、図33〜図41を参照して、説明する。尚、この第3の実施の形態において、上記第2の実施の形態で述べた図21〜図23の工程までは同じとすることができる。ここでは、図23に示した工程以降の工程について説明する。
上記の図21〜図23に示したように、基板1上にパッド31、絶縁層32,33、酸化膜34、バリア層35及び電極層36の形成まで行った後、この図33に示すように、レジスト50を形成する。レジスト50は、まず、所定のレジスト材料を所定の厚さで塗布する。そして、ピラーバンプを形成する、パッド31よりも小さいサイズの領域が開口されるように、レジスト50に露光及び現像処理を行って、開口部50aを形成する。
開口部50aを設けたレジスト50の形成後、その開口部50a内にピラー51a及びはんだ51bを形成し、ピラーバンプ51を形成する。ここでは、ピラー51a及びはんだ51bを、いずれも電解めっきにより、形成する。
図35は第3の実施の形態に係るレジスト除去工程の一例を示す図である。
レジスト50の剥離後、露出する電極層36を、ピラーバンプ51をマスクにして、エッチングにより除去する。このエッチングは、例えば、硫酸、酢酸等を含むエッチング液を用いたウェットエッチングで行う。
電極層36の除去後、絶縁層33がバリア層35で被覆されている状態で、リフローを実施する(図37(B)に太矢印で模式的に図示)。このリフローは、水素又はカルボン酸を含む雰囲気中で行う。リフローに使用可能なカルボン酸としては、蟻酸をはじめ、上記第1の実施の形態で述べたような様々なカルボン酸を用いることができ、また、複数のカルボン酸を組み合わせて用いることもできる。例えば、カルボン酸として蟻酸を用いる場合には、上記第1の実施の形態で述べたような方法で、リフローを行うことができる。リフローを行うことにより、図36等に示しためっき後のピラーバンプ51のはんだ51bが、この図37に示したように、溶融されてその表面張力で丸みを帯びた形状になり、凝固する。
上記のようにしてリフローを行った後、バリア層35を、ピラーバンプ51をマスクにしたエッチングにより除去する。このエッチングは、例えば、フッ酸、過酸化水素等を含むエッチング液を用いたウェットエッチングで行う。
バリア層35のエッチング後、それによって露出する絶縁層33の表面をドライエッチングする(図39(B)に矢印で模式的に図示)。このドライエッチングにより、絶縁層33表面の変質部分を除去し、金属残渣を除去する。
(付記1) 半導体基板上方の第1導電部上に第1絶縁層を形成する工程と、
前記第1絶縁層を被覆するバリア層を形成する工程と、
前記バリア層上方に第2導電部を形成する工程と、
前記第1絶縁層が前記バリア層で被覆された状態で、前記第2導電部を水素又はカルボン酸を含む雰囲気中で溶融する工程と、
前記第2導電部をマスクにして前記バリア層を除去する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記3) 前記第1絶縁層を形成する工程後に、前記第1絶縁層に前記第1導電部の一部に通じる開口部を形成する工程を含み、
前記開口部内面及び前記第1絶縁層を被覆するように前記バリア層を形成し、
前記開口部の前記第1導電部及び前記バリア層の上方に前記第2導電部を形成し、
前記開口部内面及び前記第1絶縁層が前記バリア層で被覆された状態で、前記第2導電部を水素又はカルボン酸を含む雰囲気中で溶融する
ことを特徴とする付記1に記載の半導体装置の製造方法。
(付記5) 前記バリア層を形成する工程は、前記開口部内の前記第1導電部表面に形成された前記酸化膜を除去する工程を含むことを特徴とする付記4に記載の半導体装置の製造方法。
前記第2導電部を形成する工程では、前記電極層を用いためっき法によって、前記第2導電部を形成することを特徴とする付記1乃至6のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記11) 前記第1導電部は、前記半導体基板上方の第2絶縁層上に形成されたパッドであることを特徴とする付記1乃至9のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記13) 前記バリア層の厚さが100nm乃至300nmであることを特徴とする付記1乃至12のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
2 半導体基板
3 配線層
3a 配線
3b ビア
3c,12,13,18,32,33 絶縁層
4 トランジスタ
11,31 パッド
12a,13a,16a,18a,22a,32a,33a,37a,50a 開口部
14,20,35 バリア層
15,21,36 電極層
16,22,37,50 レジスト
17 再配線
19,34 酸化膜
23,38 UBM
24,39 バンプ
24a,39a はんだボール
51 ピラーバンプ
51a ピラー
51b はんだ
Claims (10)
- 半導体基板上方の第1導電部上に第1絶縁層を形成する工程と、
前記第1絶縁層を被覆するバリア層を形成する工程と、
前記バリア層上方に第2導電部を形成する工程と、
前記第1絶縁層が前記バリア層で被覆された状態で、前記第2導電部を水素又はカルボン酸を含む雰囲気中で溶融する工程と、
前記第2導電部をマスクにして前記バリア層を除去する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1絶縁層を形成する工程は、前記第1導電部表面に酸化膜を形成する工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1絶縁層を形成する工程後に、前記第1絶縁層に前記第1導電部の一部に通じる開口部を形成する工程を含み、
前記開口部内面及び前記第1絶縁層を被覆するように前記バリア層を形成し、
前記開口部の前記第1導電部及び前記バリア層の上方に前記第2導電部を形成し、
前記開口部内面及び前記第1絶縁層が前記バリア層で被覆された状態で、前記第2導電部を水素又はカルボン酸を含む雰囲気中で溶融する
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1絶縁層を形成する工程は、前記第1導電部表面に酸化膜を形成する工程を含むことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記バリア層を形成する工程は、前記開口部内の前記第1導電部表面に形成された前記酸化膜を除去する工程を含むことを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記バリア層を除去する工程後に、前記バリア層が除去された前記第1絶縁層表面をドライエッチングする工程を含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記バリア層を形成する工程後に、前記バリア層上に電極層を形成する工程を含み、
前記第2導電部を形成する工程では、前記電極層を用いためっき法によって、前記第2導電部を形成することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2導電部を形成する工程後で、前記第2導電部を溶融する工程前に、前記第2導電部をマスクにして前記電極層を除去する工程を含むことを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2導電部を形成する工程では、前記バリア層上方にボール状の前記第2導電部を搭載することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1絶縁層は、有機絶縁層であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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