JP2012088610A - ネガ型感光性樹脂組成物およびそれを用いた硬化膜 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(A)カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂(B)光ラジカル重合開始剤、(C)多官能モノマーおよび(D)下記式(1)〜(3)のうちいずれか1種類以上の官能基を有するシランカップリング剤を含有するネガ型感光性樹脂組成物であって、(A)カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂が、(a−1)カルボキシル基とラジカル重合性基を有するポリシロキサンおよび/または(a−2)カルボキシル基を有するアクリル樹脂とラジカル重合性基を有する一置換エポキシ化合物とを反応させて得られるアクリル樹脂であるネガ型感光性樹脂組成物。
【選択図】なし
Description
本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂を含有する。また、(A)カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂は、(a−1)カルボキシル基とラジカル重合性基を有するポリシロキサンおよび/または(a−2)カルボキシル基を有するアクリル樹脂とラジカル重合性基を有する一置換エポキシ化合物とを反応させて得られるアクリル樹脂である。(a−1)および/または(a−2)成分を含有することで、アルカリ性現像液に可溶となり、かつ得られる硬化膜の硬度を向上させることが出来る。
(E)オキセタニル基を有するシラン化合物の具体例としては、下記一般式(4)で表される化合物またはその縮合物を挙げることが出来る。縮合物を得る手法に特に制限はなく、たとえば、前述のポリシロキサンの合成方法と同様の手法を用いることが出来る。さらに、下記一般式(5)で表される化合物を加水分解せずに公知の方法にて加熱縮合し、下記一般式(6)で表される水酸基含有オキセタン化合物との、公知のエーテル交換反応により得られる化合物を挙げることが出来る。
上記一般式(4)中、複数のR7およびR8は同じでも異なってもよく、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数6〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜10のアリール基、炭素数2〜7のアルキルカルボニル基またはオキセタニル基を有する有機基をあらわす。ただし、R7およびR8のうち少なくとも一つはオキセタニル基を有する有機基である。xは0〜3の整数を表す。
上記一般式(5)中、R9は同じでも異なってもよく、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数6〜10のシクロアルキル基または炭素数6〜10のアリール基を表す。R10は同じでも異なってもよく、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数6〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜10のアリール基または炭素数2〜5のアルキルカルボニル基を表す。yは0〜2の整数を表す。
平均粒径が100nm以下のジルコニウム酸化物粒子は市販品を用いることができ、具体例としては、「バイラールZr−C20(商品名)」(平均粒径=20nm、多木化学(株)製)、「ナノユースOZ−30M(商品名)」(平均粒径=7nm)(日産化学工業(株)製)、「ZSL−10T(商品名)」(平均粒径=15nm)、「ZSL−10A(商品名)」(平均粒径=70nm)(以上、第一稀元素化学工業(株)製)などが挙げられる。
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを47.67g(0.35mol)、フェニルトリメトキシシランを39.66g(0.20mol)、3−トリメトキシシリルプロピルコハク酸26.23g(0.10mol)、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシランを82.04g(0.35mol)、DAA(ダイアセトンアルコール)を180.56g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて撹拌しながら水55.8gにリン酸0.401g(仕込みモノマーに対して0.2重量部)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。40℃で1時間撹拌した後、オイルバス温度を70℃に設定して1時間撹拌し、さらにオイルバスを30分かけて115℃まで昇温した。昇温開始1時間後に溶液の内温が100℃に到達し、そこから2時間加熱撹拌した(内温は100〜110℃)。反応中に副生成物であるメタノール、水が合計120g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40wt%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(i)を得た。なお、得られたポリマーの重量平均分子量(Mw)をGPCにより測定したところ5000(ポリスチレン換算)であった。
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを34.05g(0.20mol)、フェニルトリメトキシシランを39.66g(0.20mol)、4−トリメトキシシリル酪酸41.66g(0.20mol)、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシランを82.04g(0.35mol)、DAAを182.22g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて撹拌しながら水54.0gにリン酸0.395g(仕込みモノマーに対して0.2wt%)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。次いで合成例1と同条件で加熱撹拌したところ、副生成物であるメタノール、水が合計120g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40wt%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(iv)を得た。なお、得られたポリマーの重量平均分子量(Mw)をGPCにより測定したところ6000(ポリスチレン換算)であった。
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを47.67g(0.35mol)、フェニルトリメトキシシランを39.66g(0.20mol)、3−トリメトキシシリルプロピルコハク酸26.23g(0.10mol)、アリルトリメトキシシランを56.79g(0.35mol)、DAA(ダイアセトンアルコール)を157.25g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて撹拌しながら水55.8gにリン酸0.341g(仕込みモノマーに対して0.2重量部)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。40℃で1時間撹拌した後、オイルバス温度を70℃に設定して1時間撹拌し、さらにオイルバスを30分かけて115℃まで昇温した。昇温開始1時間後に溶液の内温が100℃に到達し、そこから2時間加熱撹拌した(内温は100〜110℃)。反応中に副生成物であるメタノール、水が合計120g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40wt%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(i)を得た。なお、得られたポリマーの重量平均分子量(Mw)をGPCにより測定したところ5500(ポリスチレン換算)であった。
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを47.67g(0.35mol)、フェニルトリメトキシシランを59.49g(0.30mol)、γ−アクリロイルプロピルトリメトキシシランを82.04g(0.35mol)、DAA(ダイアセトンアルコール)を174.65g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて撹拌しながら水54.0gにリン酸0.378g(仕込みモノマーに対して0.2重量部)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。40℃で1時間撹拌した後、オイルバス温度を70℃に設定して1時間撹拌し、さらにオイルバスを30分かけて115℃まで昇温した。昇温開始1時間後に溶液の内温が100℃に到達し、そこから2時間加熱撹拌した(内温は100〜110℃)。反応中に副生成物であるメタノール、水が合計120g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40wt%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(i)を得た。なお、得られたポリマーの重量平均分子量(Mw)をGPCにより測定したところ4500(ポリスチレン換算)であった。
500mLの三口フラスコにメチルトリメトキシシランを54.48g(0.40mol)、フェニルトリメトキシシランを99.15g(0.50mol)、3−トリメトキシシリルプロピルコハク酸26.23g(0.10mol)、DAA(ダイアセトンアルコール)を166.03g仕込み、40℃のオイルバスに漬けて撹拌しながら水55.8gにリン酸0.391g(仕込みモノマーに対して0.2重量部)を溶かしたリン酸水溶液を滴下ロートで10分かけて添加した。40℃で1時間撹拌した後、オイルバス温度を70℃に設定して1時間撹拌し、さらにオイルバスを30分かけて115℃まで昇温した。昇温開始1時間後に溶液の内温が100℃に到達し、そこから2時間加熱撹拌した(内温は100〜110℃)。反応中に副生成物であるメタノール、水が合計120g留出した。得られたポリシロキサンのDAA溶液に、ポリマー濃度が40wt%となるようにDAAを加えてポリシロキサン溶液(i)を得た。なお、得られたポリマーの重量平均分子量(Mw)をGPCにより測定したところ6000(ポリスチレン換算)であった。
500mlのフラスコに2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)を2g、PGMEA(プロピレングリコールメチルエーテルアセテート)を50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を23.26g、ベンジルメタクリレートを31.46g、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルメタクリレートを32.80g仕込み、室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを12.69g、ジメチルベンジルアミンを1g、p−メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、アクリル樹脂溶液(A)を得た。得られたアクリル樹脂溶液(A)に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加えた。アクリル樹脂(A)の重量平均分子量は24000であった。
500mlのフラスコに2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)を2g、PGMEA(プロピレングリコールメチルエーテルアセテート)を50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を21.92g、ベンジルメタクリレートを29.90g、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルメタクリレートを31.18g仕込み、室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にアクリル酸4‐(グリシジルオキシ)ブチルを17.00g、ジメチルベンジルアミンを1g、p−メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、アクリル樹脂溶液(B)を得た。得られたアクリル樹脂溶液(B)に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加えた。アクリル樹脂(B)の重量平均分子量は23000であった。
500mlのフラスコに2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)を2g、PGMEA(プロピレングリコールメチルエーテルアセテート)を50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を6.33g、ベンジルメタクリレートを34.56g、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルメタクリレートを48.65g仕込み、室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、得られた溶液にメタクリル酸グリシジルを10.46g、ジメチルベンジルアミンを1g、p−メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、90℃で4時間加熱撹拌し、アクリル樹脂溶液(C)を得た。得られたアクリル樹脂溶液(C)に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加えた。アクリル樹脂(C)の重量平均分子量は22000であった。また、アクリル樹脂溶液(C)の固形分酸価を測定したところ(JIS K5601−2−1準拠)、0.5mgKOH/g未満であり、カルボキシル基が残存していないことを確認した。
500mlのフラスコに2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)を2g、PGMEAを50g仕込んだ。その後、メタクリル酸を15.69g、ベンジルメタクリレートを37.45g、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルメタクリレートを46.86g仕込み、室温でしばらく撹拌し、フラスコ内をバブリングによって十分に窒素置換した後、70℃で5時間加熱撹拌した。次に、p−メトキシフェノールを0.2g、PGMEAを100g添加し、アクリル樹脂溶液(D)を得た。得られたアクリル樹脂溶液(D)に固形分濃度が40wt%になるようにPGMEAを加えた。アクリル樹脂(C)の重量平均分子量は25000であった。
作製したネガ型感光性樹脂組成物を5cm角のテンパックスガラス基板(旭テクノガラス板(株)製)にスピンコーター(ミカサ(株)製「1H−360S(商品名)」)を用いて500rpmで10秒回転した後、1000rpmで4秒回転してスピンコートした後、ホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製「SCW−636(商品名)」)を用いて90℃で2分間プリベークし、膜厚2μmの膜を作製した。作製した膜をパラレルライトマスクアライナー(以下PLAという)(キヤノン(株)製「PLA−501F(商品名)」)を用いて超高圧水銀灯を光源として露光し、オーブン(エスペック(株)製「IHPS−222」)を用いて空気中230℃で1時間キュアして膜厚1.5μmの硬化膜を作製した。
前記(1)記載の方法で得られた膜厚1.5μmの硬化膜について、「JIS K5600−5−4(1999)」に準拠して鉛筆硬度を測定した。
(3−1)感度
ネガ型感光性樹脂組成物Aをシリコンウエハにスピンコーター(ミカサ(株)製「1H−360S(商品名)」)を用いて500rpmで10秒回転した後、1000rpmで4秒回転してスピンコートした後、ホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製「SCW−636(商品名)」)を用いて90℃で2分間プリベークし、膜厚2μmのプリベーク膜を作製した。得られたプリベーク膜に、PLAを用いて超高圧水銀灯を光源として、感度測定用のグレースケールマスクを介して100μmのギャップで露光した。その後、自動現像装置(「AD−2000(商品名)」、滝沢産業(株)製)を用いて、0.045wt%水酸化カリウム水溶液で90秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスした。
最適露光量における現像後の最小パターン寸法を測定した。
(4)ITO接着性の評価
表面にITOをスパッタリングしたガラス基板(以下、「ITO基板」)上に、前記(1)記載の方法と同様にして膜厚1.5μmの硬化膜を形成し、JIS「K5600−5−6(1999年4月20日制定)」に準じてITOと硬化膜の接着性を評価した。
ガラス基板上のITO表面に、カッターナイフでガラス板の素地に到達するように、直交する縦横11本ずつの平行な直線を1mm間隔で引いて、1mm×1mmのマス目を100個作製した。切られた硬化膜表面にセロハン粘着テープ(幅=18mm、粘着力=3.7N/10mm)を張り付け、消しゴム(JIS S6050合格品)で擦って密着させ、テープの一端を持ち、板に直角を保ち瞬間的に剥離した際のマス目の残存数を目視によって評価した。マス目の剥離面積により以下のように判定し、3以上を合格とした。
5:剥離面積=0%
4:剥離面積=<5%
3:剥離面積=5〜14%
2:剥離面積=15〜34%
1:剥離面積=35%〜64%
0:剥離面積=65%〜100%
(5)薬液処理方法
(5−1)酸の処理方法
(4)で作製した硬化膜を有するITO基板を、HCl/HNO3/H2O=18/4/78(重量比)で混合した35℃の水溶液に80秒間処理した。処理後の基板について、(4)と同様にして接着性の評価を行った。
(4)で作製した硬化膜を有するITO基板を、モノエタノールアミン/ジエチレングリコールモノブチルエーテル=30/70(重量比)で混合した60℃の溶液に5分間処理した。処理後の基板について、(4)と同様にして接着性の評価を行った。
黄色灯下にて1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)](「イルガキュアOXE−01(商品名)」チバスペシャリティケミカル製)0.281g(5.0重量部)をDAA2.788g、PGMEA1.989gに溶解させ、シリコーン系界面活性剤である「BYK−333(商品名)」(ビックケミージャパン(株)製)のPGMEA1wt%溶液0.2000g(濃度100ppmに相当)、4−t−ブチルカテコールのPGMEA1wt%溶液1.685g(0.3重量部)、3−アミノプロピルトリメトキシシランのPGMEA20wt%溶液0.421g(1.5重量部)を加え、撹拌した。そこへ、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(「“カヤラッド(登録商標)”DPHA(商品名)」、新日本化薬製)のPGMEA50wt%溶液5.616g(50重量部)、ポリシロキサン溶液(i)7.020g(50重量部)を加えて、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物(S−1)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(S−1)について、前記方法で透過率、硬度、パターン加工性、ITO接着性を評価した。
ポリシロキサン溶液(i)の替わりにポリシロキサン溶液(ii)を用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(S−2)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(S−2)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
ポリシロキサン溶液(i)の替わりにポリシロキサン溶液(iii)を用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(S−3)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(S−3)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
3−アミノプロピルトリメトキシシランの替わりにN−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシランを用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(S−4)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(S−4)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
3−アミノプロピルトリメトキシシランの替わりに3−トリエトキシシリル−N−(1、3−ジメチルブチリデン)プロピルアミンを用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(S−5)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(S−5)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
3−アミノプロピルトリメトキシシランの替わりに3−トリエトキシシリル−N−(α−メチルベンジリデン)プロピルアミンを用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(S−6)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(S−6)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
3−アミノプロピルトリメトキシシランの替わりに3−ウレイドプロピルトリメトキシシランを用いる以外は、実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(S−7)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(S−7)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
3−アミノプロピルトリメトキシシランの替わりに3−フェニルウレイドプロピルトリエトキシシランを用いる以外は、実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(S−8)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(S−8)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
黄色灯下にて「イルガキュアOXE−01(商品名)」0.266g(5.0重量部)をDAA3.012g、PGMEA0.969gに溶解させ、(3−エチルオキセタン−3−イル)メタノールとシランテトラオールの縮合物(「OXT−191(商品名)」、東亞合成製)のPGMEA20wt%溶液1.595g(6.0重量部)、「BYK−333(商品名)」のPGMEA1wt%溶液0.2000g(濃度100ppmに相当)、4−t−ブチルカテコールのPGMEA1wt%溶液1.595g(0.3重量部)、3−アミノプロピルトリメトキシシランのPGMEA20wt%溶液0.399g(1.5重量部)を加え、撹拌した。そこへ、「DPHA(商品名)」のPGMEA50wt%溶液5.317g(50重量部)、ポリシロキサン溶液(i)6.647g(50重量部)を加えて、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物(S−9)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(S−9)について、実施例1と同様にして評価を行った。
「OXT−191(商品名)」の替わりに3−[(3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ]プロピルトリエトキシシラン(「TESOX(商品名)」、東亞合成製)を用いる以外は、実施例9と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(S−10)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(S−10)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
「OXT−191(商品名)」の替わりに3−[(3−エチルオキセタン−3−イル)メトキシ]プロピルトリエトキシシランの加水分解縮合物(「OX−SQ(商品名)」、東亞合成製)を用いる以外は、実施例9と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(S−11)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(S−11)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
黄色灯下にて「イルガキュアOXE−01(商品名)」0.281g(5.0重量部)をPGMEA4.777gに溶解させ、「BYK−333(商品名)」のPGMEA1wt%溶液0.2000g(濃度100ppmに相当)、4−t−ブチルカテコールのPGMEA1wt%溶液1.685g(0.3重量部)、3−アミノプロピルトリメトキシシランのPGMEA20wt%溶液0.421g(1.5重量部)を加え、撹拌した。そこへ、「DPHA(商品名)」のPGMEA50wt%溶液5.616g(50重量部)、アクリル樹脂溶液(A)7.020g(50重量部)を加えて、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物(A−1)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(A−1)について、実施例1と同様にして評価を行った。
アクリル樹脂溶液(A)の替わりにアクリル樹脂溶液(B)を用いる以外は実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(A−2)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(A−2)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
3−アミノプロピルトリメトキシシランの替わりにN−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシランを用いる以外は実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(A−3)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(A−3)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
3−アミノプロピルトリメトキシシランの替わりに3−トリエトキシシリル−N−(1、3−ジメチルブチリデン)プロピルアミンを用いる以外は実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(A−4)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(S−5)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
3−アミノプロピルトリメトキシシランの替わりに3−トリエトキシシリル−N−(α−メチルベンジリデン)プロピルアミンを用いる以外は実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(A−5)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(A−5)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
3−アミノプロピルトリメトキシシランの替わりに3−ウレイドプロピルトリメトキシシランを用いる以外は、実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(A−6)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(A−6)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
3−アミノプロピルトリメトキシシランの替わりに3−フェニルウレイドプロピルトリエトキシシランを用いる以外は、実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(A−7)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(A−7)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
黄色灯下にて「イルガキュアOXE−01(商品名)」0.266g(5.0重量部)をPGMEA3.981gに溶解させ、「OXT−191(商品名)のPGMEA20wt%溶液1.595g(6.0重量部)、「BYK−333(商品名)」のPGMEA1wt%溶液0.2000g(濃度100ppmに相当)、4−t−ブチルカテコールのPGMEA1wt%溶液1.595g(0.3重量部)、3−アミノプロピルトリメトキシシランのPGMEA20wt%溶液0.399g(1.5重量部)を加え、撹拌した。そこへ、「DPHA(商品名)」のPGMEA50wt%溶液5.317g(50重量部)、アクリル樹脂溶液(A)6.647g(50重量部)を加えて、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物(A−8)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(A−8)について、実施例1と同様にして評価を行った。
「OXT−191(商品名)」の替わりに「TESOX(商品名)」を用いる以外は、実施例19と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(A−9)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(A−9)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
「OXT−191(商品名)」の替わりに「OX−SQ(商品名)」を用いる以外は、実施例19と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(A−10)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(A−10)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
黄色灯下にて「イルガキュアOXE−01(商品名)」0.285g(5.0重量部)をDAA2.728g、PGMEA2.262gに溶解させ、「BYK−333(商品名)」のPGMEA1wt%溶液0.2000g(濃度100ppmに相当)、4−t−ブチルカテコールのPGMEA1wt%溶液1.709g(0.3重量部)を加え、撹拌した。そこへ、「DPHA(商品名)」のPGMEA50wt%溶液5.696g(50重量部)、ポリシロキサン溶液(i)7.120g(50重量部)を加えて、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物(H−1)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(H−1)について、実施例1と同様にして評価を行った。
ポリシロキサン溶液(i)の替わりにポリシロキサン溶液(iv)を用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(H−2)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(H−2)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
ポリシロキサン溶液(i)の替わりにポリシロキサン溶液(v)を用いる以外は実施例1と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(H−3)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(H−3)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
黄色灯下にて「イルガキュアOXE−01(商品名)」0.285g(5.0重量部)をPGMEA4.990gに溶解させ、「BYK−333(商品名)」のPGMEA1wt%溶液0.2000g(濃度100ppmに相当)、4−t−ブチルカテコールのPGMEA1wt%溶液1.709g(0.3重量部)を加え、撹拌した。そこへ、「DPHA(商品名)」のPGMEA50wt%溶液5.696g(50重量部)、アクリル樹脂溶液(A)7.120g(50重量部)を加えて、撹拌した。次いで0.45μmのフィルターでろ過を行い、ネガ型感光性樹脂組成物(H−4)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(H−4)について、実施例1と同様にして評価を行った。
アクリル樹脂溶液(A)の替わりにアクリル樹脂溶液(C)を用いる以外は実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(H−5)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(H−5)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
アクリル樹脂溶液(A)の替わりにアクリル樹脂溶液(D)を用いる以外は実施例12と同様に行い、ネガ型感光性樹脂組成物(H−6)を得た。得られたネガ型感光性樹脂組成物(H−6)を用いて、実施例1と同様にして評価を行った。
Claims (4)
- (A)カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂、(B)光ラジカル重合開始剤、(C)多官能モノマー、および(D)下記式(1)〜(3)のうちいずれか1種類以上の官能基を有するシランカップリング剤を含有するネガ型感光性樹脂組成物であって、(A)カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂が、(a−1)カルボキシル基とラジカル重合性基を有するポリシロキサンおよび/または(a−2)カルボキシル基を有するアクリル樹脂とラジカル重合性基を有する一置換エポキシ化合物とを反応させて得られるアクリル樹脂であるネガ型感光性樹脂組成物。
- さらに、(E)オキセタニル基を有するシラン化合物を含有する請求項1に記載のネガ型感光性樹脂組成物。
- 請求項1または2に記載のネガ型感光性樹脂組成物を硬化して得られる硬化膜を有するタッチパネル用保護膜。
- 請求項1および2いずれか記載のネガ型感光性樹脂組成物を硬化して得られる硬化膜を有するタッチパネル用絶縁膜。
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