JP2012060419A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2012060419A5
JP2012060419A5 JP2010201750A JP2010201750A JP2012060419A5 JP 2012060419 A5 JP2012060419 A5 JP 2012060419A5 JP 2010201750 A JP2010201750 A JP 2010201750A JP 2010201750 A JP2010201750 A JP 2010201750A JP 2012060419 A5 JP2012060419 A5 JP 2012060419A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
acoustic wave
surface acoustic
quartz substrate
idt
wave device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2010201750A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2012060419A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2010201750A priority Critical patent/JP2012060419A/ja
Priority claimed from JP2010201750A external-priority patent/JP2012060419A/ja
Priority to CN201410594692.7A priority patent/CN104362999A/zh
Priority to CN201110261726.7A priority patent/CN102403974B/zh
Priority to US13/223,581 priority patent/US8723396B2/en
Publication of JP2012060419A publication Critical patent/JP2012060419A/ja
Publication of JP2012060419A5 publication Critical patent/JP2012060419A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2010201750A 2010-09-09 2010-09-09 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 Pending JP2012060419A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010201750A JP2012060419A (ja) 2010-09-09 2010-09-09 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
CN201410594692.7A CN104362999A (zh) 2010-09-09 2011-08-29 声表面波器件、电子设备以及传感器装置
CN201110261726.7A CN102403974B (zh) 2010-09-09 2011-08-29 声表面波器件、电子设备以及传感器装置
US13/223,581 US8723396B2 (en) 2010-09-09 2011-09-01 Surface acoustic wave device, electronic apparatus, and sensor apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010201750A JP2012060419A (ja) 2010-09-09 2010-09-09 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012060419A JP2012060419A (ja) 2012-03-22
JP2012060419A5 true JP2012060419A5 (enExample) 2013-10-17

Family

ID=45805969

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010201750A Pending JP2012060419A (ja) 2010-09-09 2010-09-09 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8723396B2 (enExample)
JP (1) JP2012060419A (enExample)
CN (2) CN102403974B (enExample)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110133037A (ko) * 2009-02-27 2011-12-09 세이코 엡슨 가부시키가이샤 탄성 표면파 공진자, 탄성 표면파 발진기, 및 전자 기기
JP5678486B2 (ja) * 2010-06-17 2015-03-04 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器
JP5934464B2 (ja) 2010-08-26 2016-06-15 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器
JP2012049818A (ja) * 2010-08-26 2012-03-08 Seiko Epson Corp 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器、電子機器
JP2012060420A (ja) * 2010-09-09 2012-03-22 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
JP6020519B2 (ja) * 2014-06-20 2016-11-02 株式会社村田製作所 弾性波装置
CN106797207B (zh) * 2014-12-17 2021-04-20 株式会社村田制作所 压电振子以及压电振动装置
EP3068049B1 (en) * 2015-03-12 2018-06-13 Skyworks Filter Solutions Japan Co., Ltd. Accoustic wave elements, antenna duplexers and electronic devices
CN109788403B (zh) * 2018-12-24 2020-07-24 歌尔股份有限公司 检测膜体、传感器及电子设备
CN112653417A (zh) * 2020-12-18 2021-04-13 广东广纳芯科技有限公司 声表面波谐振器及该声表面波谐振器的制造方法
CN116781029B (zh) * 2023-07-10 2024-01-09 浙江星曜半导体有限公司 滤波器中谐振器的倾角确定方法、滤波器、射频芯片

Family Cites Families (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS575418A (en) 1980-06-13 1982-01-12 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Cavity type surface elastic wave resonator
US4387355A (en) 1980-06-13 1983-06-07 Nippon Telegraph & Telephone Public Corporation Surface acoustic wave resonator
JPS6192011A (ja) 1984-10-11 1986-05-10 Nec Kansai Ltd 弾性表面波素子の製造方法
JPS6388910A (ja) 1986-10-02 1988-04-20 Toyo Commun Equip Co Ltd 弾性表面波共振子
JPS6434411A (en) 1987-07-29 1989-02-03 Hitachi Ltd Controlling device for injection amount of flocculant in purification plant
JPH01231412A (ja) 1988-03-11 1989-09-14 Fujitsu Ltd 弾性表面波ディバイスの周波数特性調整方法
JPH02189011A (ja) 1989-01-18 1990-07-25 Fujitsu Ltd 弾性表面波デバイスの製造方法
JP2839104B2 (ja) 1990-01-20 1998-12-16 株式会社シマノ 釣用リールの変速装置
JPH03266846A (ja) 1990-03-16 1991-11-27 Konica Corp 感光性平版印刷版の処理方法及び処理装置
JPH0590865A (ja) 1991-09-30 1993-04-09 Oki Electric Ind Co Ltd 弾性表面波フイルタの中心周波数調整方法
JP3411124B2 (ja) 1994-05-13 2003-05-26 松下電器産業株式会社 弾性表面波モジュール素子の製造方法
US5895996A (en) 1994-09-29 1999-04-20 Seiko Epson Corporation Saw device
US5815900A (en) 1995-03-06 1998-10-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method of manufacturing a surface acoustic wave module
JPH10270974A (ja) 1997-03-25 1998-10-09 Kenwood Corp 表面弾性波素子
JP3266846B2 (ja) 1998-01-20 2002-03-18 東洋通信機株式会社 反射反転型弾性表面波変換器及びフィルタ
WO2001037426A1 (en) * 1999-11-16 2001-05-25 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Elastic wave device
JP2002100959A (ja) 2000-09-25 2002-04-05 Toyo Commun Equip Co Ltd 弾性表面波デバイス
AUPR507601A0 (en) * 2001-05-21 2001-06-14 Microtechnology Centre Management Limited Surface acoustic wave sensor
JP3622202B2 (ja) 2001-08-29 2005-02-23 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波装置の温度特性調整方法
JP2003283282A (ja) 2002-01-15 2003-10-03 Murata Mfg Co Ltd 電極を有する電子部品、及びその製造方法、通信装置
JP3826877B2 (ja) 2002-01-22 2006-09-27 株式会社村田製作所 弾性表面波装置およびそれを有する通信装置
KR100814005B1 (ko) * 2002-04-15 2008-03-14 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤 탄성 표면파 장치 및 이를 이용한 이동통신기기 및 센서
JP2004274696A (ja) * 2002-10-04 2004-09-30 Seiko Epson Corp 弾性表面波装置および弾性表面波装置の温度特性調整方法
JP4306458B2 (ja) * 2003-03-20 2009-08-05 セイコーエプソン株式会社 電圧制御型発振器、クロック変換器及び電子機器
JP4246604B2 (ja) 2003-11-18 2009-04-02 富士通メディアデバイス株式会社 弾性表面波デバイス
JP2005204275A (ja) 2003-12-12 2005-07-28 Seiko Epson Corp 弾性表面波素子片およびその製造方法並びに弾性表面波装置
WO2005099089A1 (ja) 2004-04-01 2005-10-20 Toyo Communication Equipment Co., Ltd. 弾性表面波デバイス
JP2006013576A (ja) 2004-06-22 2006-01-12 Epson Toyocom Corp Ｓａｗデバイスとこれを用いた装置
JP2006148622A (ja) 2004-11-22 2006-06-08 Seiko Epson Corp 弾性表面波装置および電子機器
US7382217B2 (en) * 2004-12-03 2008-06-03 Epson Toyocom Corporation Surface acoustic wave device
JP2006203408A (ja) * 2005-01-19 2006-08-03 Epson Toyocom Corp 弾性表面波デバイス
JP3851336B1 (ja) 2005-05-31 2006-11-29 隆彌 渡邊 弾性表面波装置
WO2006137464A1 (ja) 2005-06-21 2006-12-28 Epson Toyocom Corporation 弾性表面波デバイス、モジュール、及び発振器
JP4809042B2 (ja) * 2005-11-10 2011-11-02 日本電波工業株式会社 弾性表面波素子及びその製造方法
JP4412292B2 (ja) * 2006-02-06 2010-02-10 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波装置および電子機器
JP2007267033A (ja) 2006-03-28 2007-10-11 Epson Toyocom Corp 弾性表面波素子及び弾性表面波デバイス
JP2007300287A (ja) * 2006-04-28 2007-11-15 Epson Toyocom Corp 弾性表面波素子および弾性表面波デバイス並びに電子機器
JP4158818B2 (ja) * 2006-06-21 2008-10-01 株式会社村田製作所 弾性波フィルタ装置及びデュプレクサ
US7504705B2 (en) 2006-09-29 2009-03-17 International Business Machines Corporation Striped on-chip inductor
JP4591800B2 (ja) * 2008-02-20 2010-12-01 エプソントヨコム株式会社 弾性表面波デバイスおよび弾性表面波発振器
JP4645923B2 (ja) 2009-02-27 2011-03-09 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器
KR20110133037A (ko) 2009-02-27 2011-12-09 세이코 엡슨 가부시키가이샤 탄성 표면파 공진자, 탄성 표면파 발진기, 및 전자 기기
JP5678486B2 (ja) 2010-06-17 2015-03-04 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器
JP5934464B2 (ja) 2010-08-26 2016-06-15 セイコーエプソン株式会社 弾性表面波共振子、および弾性表面波発振器、ならびに電子機器
JP2012060421A (ja) * 2010-09-09 2012-03-22 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
JP2012060422A (ja) 2010-09-09 2012-03-22 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
JP2012060420A (ja) * 2010-09-09 2012-03-22 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
JP2012060418A (ja) 2010-09-09 2012-03-22 Seiko Epson Corp 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置
JP5648908B2 (ja) 2010-12-07 2015-01-07 セイコーエプソン株式会社 振動デバイス、並びに発振器、および電子機器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2012060422A5 (enExample)
JP2012060419A5 (enExample)
JP2012060418A5 (enExample)
JP2012060420A5 (ja) 弾性表面波デバイス、電子機器、センサー装置および弾性表面波デバイスの製造方法
JP2012049816A5 (enExample)
JP2012120138A5 (enExample)
CN109075763B (zh) 弹性波元件以及通信装置
CN106031033B (zh) 弹性波装置
JP2012060421A5 (enExample)
JP5617936B2 (ja) 弾性表面波装置
WO2020171050A1 (ja) 弾性波装置
JP2012049818A5 (enExample)
CN102257729B (zh) 弹性表面波装置
CN107925396B (zh) 弹性波装置
KR102291606B1 (ko) 탄성파 장치
JP2012049817A5 (enExample)
JP4569447B2 (ja) 弾性表面波素子片および弾性表面波デバイス
JP2007288812A5 (enExample)
KR102781470B1 (ko) 탄성파 장치
JP2008098974A5 (enExample)
WO2018079574A1 (ja) 弾性波素子
WO2001035528A1 (fr) Dispositif a ondes acoustiques de surface
CN119276237A (zh) 声波谐振器及其制备方法和滤波器
JP2015073305A5 (enExample)
JP2012049717A5 (enExample)