JP2012051098A - 円板状ワークの外周加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】硬質脆性材料からなる円板状ワークの外周加工装置に関し、外周角の面取面と表裏面との間の角に生ずるチッピングの発生を可及的に防止する。また、砥石が摩耗したときに、砥石と円板状ワークとの相対位置の調整によって高い精度の加工形状を維持できるようにする。
【解決手段】ワークホルダで水平に保持された円板状ワークの上面側の外周角と下面側の外周角を面取する上下の面取砥石を備えている。上下の面取砥石は、外周面でワークの上下の外周角を摺擦する円板形の砥石で、ワークの上側の外周角の一箇所と下側の外周角の一箇所に接触している。上下の面取砥石は、ワークの摺擦方向がワークの内側から外側へと向かう方向に回転駆動される。上下の砥石は、ワークの直径方向に個別に位置調整可能に装着されている。
【選択図】図1
【解決手段】ワークホルダで水平に保持された円板状ワークの上面側の外周角と下面側の外周角を面取する上下の面取砥石を備えている。上下の面取砥石は、外周面でワークの上下の外周角を摺擦する円板形の砥石で、ワークの上側の外周角の一箇所と下側の外周角の一箇所に接触している。上下の面取砥石は、ワークの摺擦方向がワークの内側から外側へと向かう方向に回転駆動される。上下の砥石は、ワークの直径方向に個別に位置調整可能に装着されている。
【選択図】図1
Description
この発明は、HDD(ハードディスクドライブ)の記録媒体の基板として広く用いられているガラスやセラミックスなどの硬質脆性材料からなる円板(円板状ワーク)の外周加工装置に関するものである。
HDDの記録媒体として用いるディスクの基板は、高い記録密度と安定した高速回転を実現するために、情報の記録面となる表裏面の高い面精度が要求されると共に、その外周部の加工においても、高い加工精度が要求される。従来、この種の基板の表裏面は、2回の研削加工(ラッピング)とその後の仕上げ研磨(ポリシング)とによって加工されており、外周部は、外周研削と面取加工とによって加工されている。その一般的な加工順序は、表裏面の1次研削を行ったあと、外周研削と面取を行い、そのあと表裏面の2次研削を行って研磨仕上げするというものである。
基板の外周角(表裏面と外周面との間の稜線)の面取加工は、従来、図12に示すように、総形砥石6を用いて行っている。すなわち、加工しようとする円板状ワーク(基板)1を鉛直方向の回転ワーク軸11の上端に水平に保持してその軸心回りに回転し、当該ワーク軸11と平行な回転砥石軸61に装着した総形砥石6を回転させて、砥石の外周に設けた台形溝65にワーク1の外周部を挿入することにより、上下の外周角を同時に面取するというものである。この場合のワーク1の面取面16における砥石6の摺擦方向は、図13に矢印dで示すように、ワーク1の円の接線方向である。
硬質脆性板の研削においては、研削面とこれに隣接する面との角の部分に微少な割れや欠け(チッピング)が発生する。図12に示した従来の面取加工においては、面取面16と情報の記録面となる表裏面17との間の角(稜線)18部分に50ミクロン程度のチッピングが発生する可能性があった。このチッピングは、前述した2次研削加工の研削代と研磨代とを加えた取り代を60ミクロン程度とすることで除去していた。
ディスクの生産性を向上させ、ディスクをより安価に提供できるようにするために、ディスクの加工工程の短縮化が要望されている。例えば、上記の基板の加工において、研削加工を1工程にできないかという要望がある。2次研削加工を省略して面取加工のあと直ちに研磨仕上げを行うことができれば、基板の加工工程を大幅に短縮できる。
また、従来の面取加工用の総形砥石6は、金属ベース上にダイヤモンド砥粒を電着してなる砥石であり、砥石が摩耗したときには、砥石6自体の交換が必要であった。また、総形砥石であり、砥石軸61とワーク軸11が平行であるために、砥石とワークの接触線が長く、かつ基板の表裏の外周角を同時に加工するため、加工負荷も大きいという問題があった。
この発明は、これらの問題を解決するためになされたもので、面取面16と情報の記録面となる表裏面17との間の角18に生ずるチッピングの発生を可及的に防止することにより、面取加工後の2次研削加工を省略できるようにすることを第一の課題としている。
また、加工負荷が小さく、かつ砥粒を結合材で結合した砥石を用いて、砥石が摩耗したときにも砥石の交換をすることなく、砥石と円板状ワークとの相対位置の調整によって高い精度の加工形状を維持できる円板状ワークの外周加工装置を得ることを課題としている。
この出願の発明に係る円板状ワークの外周加工装置は、軸心を鉛直方向にして設けられた回転ワーク軸と、当該ワーク軸の上端に設けられて加工しようとする円板状ワーク1を水平に保持するワークホルダ12と、当該ワークホルダ12で保持されたワーク1の上面側の外周角を面取する上面取砥石3a及び当該砥石を回転駆動する上砥石モータ32aと、当該ワーク1の下面側の外周角を面取する下面取砥石3b及び当該砥石を回転駆動する下砥石モータ32bとを備えている。
上下の面取砥石3は、外周でワーク1の上下の外周角を摺擦する円板形の砥石で、ホルダ12で保持されたワーク1の上側の外周角の一箇所aと下側の外周角の一箇所bで接触する。上砥石3a及び下砥石3bの回転中心軸は、ワークホルダ12に保持されたワーク1の上方又は下方かつ当該ワークの外周より外側に偏倚させて水平方向に、又は水平方向から等しい角度だけ斜めにして設けられている。
砥石モータ32a、32bは、砥石3a、3bとワーク1との接触位置a、bにおける上下の砥石の摺擦方向dが、図3、4に示すように、共にワーク1の内側から外側へと向かう方向となる回転方向に、これらの砥石3a、3bを回転駆動している。すなわち、上下の面取砥石3a、3bは、ワーク1の上下の外周角を内側から外側へと摺擦して、当該外周角の面取加工を行う。
一般的な円板状ワークの外周加工装置は、面取用の砥石と共にワーク1の外周面を加工する外周砥石5を備えている。この外周砥石5は、ワーク1と面取砥石3a、3bとの接触点a、bを結ぶ直線と直交するワーク1の半径方向の線上でその外周面がワーク1と接触するように配置するのが良い。この構造であれば、装置をコンパクトに構成できると共に、単純な動作で外周加工と面取加工とを同時に又は連続的に行うことができる。
この発明の外周加工装置では、面取砥石3がワーク1の面取面16を、情報の記録面となる表裏面17から外周面15に向う方向に摺擦して、上下の外周角の面取を同時に行う。これにより、面取砥石3の摺擦方向dの上流側となる面取面16と表裏面17との間の角18に生ずるチッピングが抑えられる。表裏面側の角18のチッピングが抑えられることによって、2次研削加工を省略することが可能になり、工程及び全体としての円板状ワークの加工時間を大幅に短縮できる。
また、上下の砥石3がそれぞれワーク1の外周角の一箇所のみを摺擦しており、かつその摺擦方向が摺擦長さの短い面取面の幅方向であるため、ワーク1及び面取砥石3に作用する負荷が小さい。更に砥石3が摩耗したとき、その摩耗量に応じて面取砥石3の位置を調整することにより、要求される加工精度を維持することができる。そのため、砥粒を結合材で結合した一般的な砥石を用いて面取加工を行うことができ、頻繁に砥石を交換する必要もなくなるので、加工コストを低減できる。
以下、図面を参照して、この発明の実施例を説明する。図中、1は加工対象となる円板状ワーク、3(3a、3b)は円板状の面取砥石、5は外周砥石(外周面を研削する砥石)である。
ワーク1は、鉛直方向のワーク軸の上端に設けたワークホルダ12に負圧で吸着して保持されている。ワーク軸は、これを軸支している円筒形のホルダベース10に軸支されており、図には表示されていない。ホルダベース10は、装置の基台20に立設して設けられている。ワーク軸は、中空軸で、その中空孔を通してホルダ12にワーク吸着用の負圧が供給されている。ワーク軸は、図示しない主軸モータで、比較的遅い速度(2〜200rpm)で回転駆動される。ワーク1は、中心に貫通孔を備えており、図示の加工装置は、この中心孔の周面を加工する内周砥石(内周面を研削する砥石)7を備えている。ホルダ12は、上方から挿入されてくる内周砥石7との干渉を避けるために、ワーク吸着面がドーナツ形になっている。
説明の都合上、実施例装置の機器の配置や移動方向をX、Y、Zの直角座標系で説明する。Z方向は、ワーク軸の軸方向で、鉛直方向である。X、Y、Zの方向とワークホルダ12に固定されたワーク1を研削するときの各砥石3a、3b、5、7とワーク1との位置関係を図1、2、及び10、11に示す。
上下の面取砥石3a、3bは、図1及び図11のR方向、すなわち砥石3a、3bの外周がワーク1の外周角をワークの内側から外側、すなわち加工される面取面16をワークの表裏面17側から外周面15側に向けて摺擦する方向に回転している。上面取砥石3aは、その外周の斜め下向きの位置でワーク1の上面側の外周角を摺擦する位置に配置され、下面取砥石3bは、その外周の斜め上向きの位置でワーク1の下面側の外周角を摺擦する位置に配置されている。ワークの表裏面17に対する面取面16の角度を45度とするときは、上記の斜めの角度は45度である。
図1〜9に示す第1形態の外周加工装置の上下の面取砥石3a、3bは、ホルダ12で保持されたワーク1の中心を通るY方向の直線(Y方向の直径)X0の両端の位置a、bで、ワーク1の上側の外周角と下側の外周角を研削する。
上砥石3a及び下砥石3bの砥石軸31a、31bは、ワークホルダ12に保持されたワーク1の上方及び下方かつ当該ワークの外周より外側に偏倚させて、X方向に設けられている。面取砥石3a、3bの切込み送りは、砥石軸31a、31bを軸支している砥石台のワーク中心に向かうY方向移動で与えられ、切込み方向と反対の方向に移動することにより退避する。
面取砥石3a、3bが摩耗すると砥石径が小さくなる。面取砥石3a、3bの摩耗に起因する加工誤差は、摩耗した砥石のY方向の移動により補正することができる。面取砥石の摩耗による加工誤差を当該砥石のY方向の移動により補正すると、面取面16の角度に僅かであるが誤差が発生する。この誤差が許容される場合は、面取砥石3a、3bをZ方向に移動する機構を設ける必要はないが、この角度を厳密に維持したいときは、面取砥石3a、3bを個別にY方向及びZ方向に移動して、砥石の摩耗を補正する。
外周砥石5及び内周砥石7は、ワーク軸と平行な軸回りに回転し、ワーク1に対する砥石の切込み方向は、X方向である。外周砥石5は、切込み方向と逆のX方向移動により、ワーク1から退避する。内周砥石7は、切込み方向と逆のX方向に移動したあと、Z方向上方に移動して退避する。
図5〜7は、砥石の摩耗に起因する加工誤差の補正を考慮した機械構造の一例を示した図である。機械の基台20の上面には、平行な3本のレールからなるX方向のガイド41が設けられており、このX方向ガイドの図で左側の2本のレールに案内されて移動位置決め自在に第1送り台21が装着されている。この第1送り台21のホルダベース10側を向く面にZ方向のガイド42が設けられており、このZ方向ガイドに沿って第2送り台22がZ方向に移動位置決め自在に設けられている。
第2送り台22には、その上部からホルダベース10側に延びる腕27が設けられ、この腕27の先端に外周砥石5を駆動する外周砥石モータ52が装着されている。外周砥石モータ52は、ビルトイン型のモータで、その回転子軸が砥石軸となり、当該砥石軸の先端に外周砥石5が固定されている。
第2送り台22のホルダベース10を向く面には、Y方向のガイド43が設けられており、このY方向ガイドに沿って個別に移動位置決め自在に2個の第3送り台23a、23bが装着されている。そして、各第3送り台23a、23bのホルダベース10側を向く面にZ方向の第2のガイド44a、44bが設けられ、この第2Z方向ガイドに沿って移動位置決め自在に砥石台24a、24bが装着されている。
2個の砥石台の一方24aには、上面取砥石3aを回転駆動する上面取砥石モータ32aがその回転子軸をX方向にして装着されており、砥石台の他方24bには、下面取砥石3bを回転駆動する下面取砥石モータ32bがその回転子軸をX方向にして装着されている。面取砥石モータ32a、32bは、回転数が5000〜15000rpmのビルトイン型のモータで、その回転子軸が砥石軸となり、その砥石軸の先端に面取砥石3a、3bが固定されている。
基台20上のX方向ガイド41には、当該ガイドの図で右側の2本のレールに案内されて第5送り台25が移動位置決め自在に装着されている。この第5送り台のホルダベース10側を向く面に第3のZ方向のガイド46が設けられ、この第3Z方向ガイドに沿って第6送り台26が移動位置決め自在に装着されている。第6送り台26の上方からホルダベース10の上方へと腕28が延びており、この腕の先端に内周砥石7を回転駆動する内周砥石モータ72がその回転子軸をZ方向下向きにして装着されている。内周砥石モータ72は、ビルトイン型のモータで、その回転子軸が内周砥石軸となっており、その下端に内周砥石7が固定されている。
それぞれのガイドに沿う各送り台21〜23及び砥石台24の移動位置決め機構としては、それぞれのガイドと平行に設けた送りねじに各送り台を螺合連結し、その送りねじを制御器で回転角を制御されたサーボモータで駆動する機構を用いるのが、精度及び信頼性の点で好ましい。この種の移動位置決め機構は、工作機械等で広く用いられており、周知であるので、図示及び説明を省略する。
次に、上記のように構成された機械の動作を説明する。加工しようとするワーク1は、第1送り台21の反対側からX方向にワークホルダ12上に搬入され、ワークホルダ12に負圧を供給することによってワークホルダ12上に吸着保持される。ワークの搬入・搬出時には、内周砥石7は第6送り台26の上方移動により上方に退避し、面取砥石3a、3bは第3送り台23の互いに離隔する方向のY方向移動により退避し、外周砥石5は第1送り台21のホルダベース10から離れる方向のX方向移動により退避している。
ワークの研削加工は、ワーク軸を回転しながら行われる。ワークが回転している状態で、第1送り台21のX方向移動により、外周砥石5がワーク1の外周面15を研削加工する。同時に、第6送り台26の下降及び第5送り台25のX方向移動により、内周砥石7の周面がワーク1の中心孔の周面を研削加工する。
面取砥石3a、3bは、第1送り台21のX方向移動により、ワークの中心と対向する位置に移動し、第3送り台23a、23bのワーク中心に向かうY方向移動により、ワークの上下の外周角を同時に面取加工する。
面取砥石が摩耗して径が小さくなると、面取面16の加工精度に誤差が生ずる。この誤差は、第3送り台23a、23bの切り込み量(Y方向の移動量)の調整により補正することができる。補正を第3送り台23a、23bのY方向の移動量の調整のみで行うと、面取角度に僅かな誤差が生ずる。この面取角度の誤差も補正したいときは、第3送り台23のY方向の移動と砥石台24のZ方向の移動により加工誤差を補正する。上下の面取砥石3a、3bは、第3送り台23a、23b及び砥石台24a、24bに個別に装着されているので、上下の面取砥石3a、3bの摩耗をそれぞれ個別に補正できる。
ワークの外周面15の研削と内周面の研削は、並行して同時に行うことができる。面取と外周研削とを並行して同時に行うときは、図2に示すように、外周砥石5によるワークの外周面15の加工が終了するときの第1移動台の位置で、面取砥石3a、3bがワーク1の中心と同一のX方向の位置となるように、面取砥石3a、3bを装着する。一方、外周研削が終了してから面取加工を行うのであれば、図8に示すように、外周砥石5がワーク1から離隔したときの第1移動台の位置で、面取砥石3a、3bがワーク1の中心と同一のX方向の位置となるように、面取砥石3a、3bを装着する。
後者の場合は、面取加工を行うときのワークに対する面取砥石のX方向の位置を変化させることができる。たとえば、図9に示すような、外周面が円筒面35とその両側の円錐面34、36からなる浅い台形断面とし、円錐面34を粗砥石、円筒面35を中砥石、円錐面36を仕上げ砥石としたマルチ砥石を用い、第1送り台21の移動と第3送り台23の微少移動とにより、面取砥石3a、3bを図9の(a)→(b)→(c)で示すように、円錐面34、円筒面35及び円錐面36が順にワーク1を摺擦するようにすれば、粗研削、中研削及び仕上げ研削の工程で面取加工を行うことも可能である。
加工が終了したワークは、ワーク軸の回転が停止し、砥石3、5、7が退避した後、ワークホルダ12によるワークの吸着保持が解除され、図示しない搬送装置により、第1送り台21の反対側へとX方向に搬出される。
図10及び11は、この発明の第2形態を示した図で、第1形態で説明した部材と同一の部材には同一の符号が付してある。面取砥石3a、3bは、第1形態と同様に砥石モータ32a、32bで回転駆動(5000〜15000rpm)される砥石軸31a、31bに装着されているが、砥石軸31a、31bの配置態様は、第1形態と異なる。
第2形態における上下の面取砥石3a、3bは、ホルダ12で保持されたワーク1の中心oを通るY方向の直線X0に対して等しい角度ずれた位置a、bで、ワーク1の上側の外周角と下側の外周角を研削するように設けられている。すなわち、加工する円板状ワーク1と上下の砥石3a、3bの接触位置a、bのそれぞれと、ワークの中心oとを結ぶ線分ao、boの頂角αの二等分線が、Y方向となるように、上下の面取砥石3a、3bが配置されている。頂角αは、小さい角度とするのが好ましいが、砥石モータ32a、32bやこれを支持する砥石台24の加工の点からは、頂角αを90度とするのが便利である。
上下の砥石3a、3bの砥石軸31a、31bは、ワークホルダ12に保持されたワーク1の上方及び下方かつ当該ワークの外周より外側に偏倚させて、線分ao、boと直交する水平方向に設けられている。砥石軸31a、31bを回転駆動する上下の砥石モータ32a、32bは、共通の砥石台24に搭載されている。面取砥石3a、3bは、その外周でワーク1の上下の外周角を内側から外側へと摺擦するように、図11に矢印Rで示す方向に回転駆動されている。
砥石台24は、基台20にY方向に移動位置決め自在に装着された横送り台29にZ方向に移動位置決め自在に設けられている。横送り台29のワーク中心に向かうY方向の移動により、面取砥石3a、3bの外周がワーク1の上下の外周角に同時に切り込まれる。
砥石の摩耗による加工誤差は、横送り台29のY方向の送り量を調整することにより補正する。上下の砥石の摩耗量の差による上側と下側の面取量の誤差は、砥石台24のZ方向移動により補正できる。
外周砥石5は、面取砥石3のワークを挟んで反対の側に配置されている。外周砥石5は、基台20にY方向に移動位置決めされる第2の横送り台30に装着されており、ワーク1に対する外周砥石の切込み方向は、Y方向である。この面取砥石3a、3bと外周砥石5の配置により、ワーク1の外周面の研削と面取加工とを並行して同時に行ったとき、それらの加工反力をバランスさせることができる。
上記の実施形態に示したように、ワークの外周角を砥石で内側から外側へと摺擦して面取を行うと、加工された面取面16と情報の記録面となるワークの表裏面17との間の角18におけるチッピングの発生を抑制することができ、従来行われていた2次研削加工を省略して、1次研削加工、面取及び外周面加工、仕上げ研磨の3工程でワークの研削・研磨を行うことができ、加工工程の大幅な短縮が可能になる。
1 円板状ワーク
3(3a、3b) 円板状の面取砥石
5 外周加工砥石
12 ワークホルダ
16 面取面
17 表裏面
18 角
32(32a、32b) 砥石モータ
a、b 面取砥石とワークの接触位置
d 面取砥石の摺擦方向
R 面取砥石の回転方向
3(3a、3b) 円板状の面取砥石
5 外周加工砥石
12 ワークホルダ
16 面取面
17 表裏面
18 角
32(32a、32b) 砥石モータ
a、b 面取砥石とワークの接触位置
d 面取砥石の摺擦方向
R 面取砥石の回転方向
Claims (6)
- 軸心を鉛直方向にして設けられた回転ワーク軸と、当該ワーク軸の上端に設けられて加工対象となる円板状ワークを水平に保持するワークホルダと、当該ワークホルダに外周が張出した状態で保持された前記円板状ワークの上面側の外周角を摺擦する円板状の上面取砥石と、前記円板状ワークの下面側の外周角を摺擦する円板状の下面取砥石と、これらの砥石を回転駆動する砥石モータとを備え、
前記上面取砥石と下面取砥石とは、その外周面一箇所が前記円板状ワークの上面側外周角と下面側外周角を摺擦する位置関係で、前記ワークホルダに保持された円板状ワークの上方と下方に配置され、
前記砥石モータが、砥石と前記円板状ワークとの接触位置における上下の面取砥石のワーク摺擦方向が共に当該円板状ワークの表裏面から外周面へと向かう方向となる方向にこれらの砥石を回転駆動することを特徴とする、
円板状ワークの外周加工装置。 - 前記上面取砥石の回転軸と下面取砥石の回転軸とが、前記ワーク軸と直交しかつ互いに平行にして、前記ワーク軸に保持された円板状ワークの上方と下方でかつ当該円板状ワークの外周より外側に配置されている、請求項1記載の円板状ワークの外周加工装置。
- 前記上面取砥石と下面取砥石とが、円板状ワークの直径方向に個別に移動位置決め自在に装着されている、請求項2記載の円板状ワークの外周加工装置。
- 前記上面取砥石と下面取砥石とが、円板状ワークの直径方向及びワーク軸の軸線方向に個別に移動位置決め自在に装着されている、請求項2記載の円板状ワークの外周加工装置。
- 前記ワークホルダに装着された円板状ワークの外周面を加工する外周加工砥石を備え、この外周加工砥石は、上下の面取砥石の回転軸と平行な方向に移動位置決めされる送り台に装着され、前記上下の面取砥石は、その回転軸と直交する水平方向にそれぞれ移動位置決め自在にして前記送り台に設けた砥石台のそれぞれに装着され、前記送り台の前記円板状ワークから離隔する方向の移動により外周加工砥石が当該円板状ワークから離隔したときに上下の面取砥石が円板状ワークの直径の両端となる位置に移動する、請求項2、3又は4記載の円板状ワークの外周加工装置。
- 前記上面取砥石の回転軸と下面取砥石の回転軸とが、ワークホルダに保持された円板状ワークと上下の砥石との接触位置のそれぞれと当該ワークの中心とを結ぶ線分の頂角が90度以下となる位置関係で前記円板状ワークの外周より外側に配置され、前記上面取砥石と下面取砥石とが、前記頂角の二等分線と平行な方向及びワーク軸の軸線方向に一体的に移動位置決め自在に装着されている、請求項1記載の円板状ワークの外周加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010251145A JP2012051098A (ja) | 2010-02-26 | 2010-11-09 | 円板状ワークの外周加工装置 |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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