JP2012043486A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】配線間のカップリングノイズの影響によりデータ読み出し時間が長くなるのを抑制した半導体装置を提供する。
【解決手段】所定の方向に沿って配置された複数のメモリセルアレイと、複数のメモリ素子に記録されたデータを読み出すための複数のビット線と、選択されたビット線に現れる電位およびその逆相の電位のそれぞれを増幅し、データ信号を所定の方向とは異なる方向に出力し、データ反転信号をデータ信号の出力方向とは逆の方向に出力するセンスアンプ部と、データ信号およびデータ反転信号に基づくデータを外部に出力するデータ出力回路と、データ信号およびデータ反転信号をデータ出力回路に伝送するための、所定の方向に平行に配置された複数のローカル信号線と、を有し、複数のローカル信号線のうち、隣り合う2本のローカル信号線の所定の方向に垂直な方向の位置が、所定の間隔で交互に入れ替わっている構成である。
【選択図】図1
【解決手段】所定の方向に沿って配置された複数のメモリセルアレイと、複数のメモリ素子に記録されたデータを読み出すための複数のビット線と、選択されたビット線に現れる電位およびその逆相の電位のそれぞれを増幅し、データ信号を所定の方向とは異なる方向に出力し、データ反転信号をデータ信号の出力方向とは逆の方向に出力するセンスアンプ部と、データ信号およびデータ反転信号に基づくデータを外部に出力するデータ出力回路と、データ信号およびデータ反転信号をデータ出力回路に伝送するための、所定の方向に平行に配置された複数のローカル信号線と、を有し、複数のローカル信号線のうち、隣り合う2本のローカル信号線の所定の方向に垂直な方向の位置が、所定の間隔で交互に入れ替わっている構成である。
【選択図】図1
Description
本発明は、複数のメモリ素子を有する半導体装置に関する。
半導体装置の一例として、DRAM(Dynamic Random Access memory)の構成について説明する。図7は関連する半導体装置の一構成例を示すブロック図である。
図7に示すように、半導体装置10は、複数のメモリ素子を含む複数のメモリセルブロック20−1〜20−n(nは1以上の整数)と、アドレス信号およびコマンド信号を入力するための端子であるCA系パッド31と、データを外部と送受信するための端子であるDQ系パッド32と、アドレス信号にしたがってメモリ素子を特定するためのカラムデコーダ41およびロウデコーダ42と、データの入力および出力を制御するデータ入出力制御回路51と、データ入出力制御回路51およびDQ系パッド32の間に設けられたデータ出力回路52およびデータ入力回路53とを有する。
データ出力回路52はデータアンプ(不図示)および出力回路(不図示)を有する。メモリセルブロック20−1〜20−nのそれぞれに、カラムデコーダ41およびロウデコーダ42が設けられている。1つのメモリセルブロックにカラムデコーダ41およびロウデコーダ42を組み合わせた構成は、バンクと呼ばれている。
図8は図7に示した半導体装置のメモリセルブロックの一構成例を示すブロック図である。図8の上下方向をY軸方向とし、図8の左右方向をX軸方向とする。
図8に示すように、メモリセルブロックには、複数のメモリ素子を含むメモリセルアレイ(以下では、MATと表記する)22がマトリクス状に複数配置されている。メモリセルブロックが複数のMAT22を含む構成であることから、MAT22は、メモリセルブロック内の複数のメモリ素子を複数に分割したときの1つの単位に相当する。
ロウデコーダ42に接続されたワード線21はX軸方向に沿って配置された複数のMAT22を経由して配置されている。図8では、ワード線21を1本だけ表示しているが、MAT22のそれぞれにおいて、複数のワード線21が、Y軸方向に配置されたメモリ素子の数に対応して設けられている。ワード線21は、各MAT内のメモリ素子の選択トランジスタ(不図示)のゲート電極と接続されている。
各MAT22のY軸方向の両側にはセンスアンプ部(以下では、SAMPと表記する)23が設けられ、各MAT22のX軸方向の両側には、ワード線21を駆動するためのサブワードドライバ(以下では、SWDと表記する)24が設けられている。
SAMP23には、メモリ素子の選択トランジスタのビット線の電位をデータ出力回路52に導くための信号線であるローカル入出力線(以下では、「LIO線」と表記する)が接続されている。LIO線はX軸方向と平行に配置されている。複数のLIO線は、Y軸方向と平行に配置されたメイン入出力線(以下では、「MIO線」と表記する)と接続されている。また、SAMP23には、メモリ素子の選択トランジスタのビット線をLIO線とセンスアンプ(不図示)に接続するための信号を伝送するYスイッチ線(以下では、YSと表記する)が接続されている。YSはカラムデコーダ41に接続されている。
なお、SWD24に接続される配線とLIO線とが電気的に絶縁性を保ちながら立体的に交差する領域を、サブワードクロス(以下では、SWCと表記する)25と称する。図8に示すレイアウトと同様な構成の半導体装置の例が特許文献1および特許文献2に開示されている。
図9は関連するセンスアンプ部の一構成例を示すブロック図である。図9に示すSAMP23a、23bは、主に、セル面積6F2のDRAMに採用されているオープンビット線構造に対応したセンスアンプ部である。
図9に示すように、Yスイッチ線として、YS0〜YSnのそれぞれがSAMPの間に配置されている。SAMP23aはMAT22aおよびMAT22bの間に配置され、SAMP23aは、複数のセンスアンプ26と、複数のビット線イコライザ27と、これらのセンスアンプ26およびビット線イコライザ27を挟むように配置されたYスイッチ部28a、28bとを有する。
MAT22a内の選択トランジスタに接続された4本のビット線BLL0T〜BLL3TとMAT22b内の選択トランジスタに接続された4本のビット線BLR0B〜BLR3Bのそれぞれは、センスアンプ26およびビット線イコライザ27と接続されている。
MAT22a側のビット線BLL0T〜BLL3Tに接続されたメモリ素子には、外部から入力されたデータが記録され、MAT22b側のビット線BLR0B〜BLR3Bに接続されたメモリ素子に、その逆相のデータが記録される。MAT22a側のビット線BLL0T〜BLL3Tに接続されたメモリ素子は真のセル(True Cell)と呼ばれている。
例えば、ビット線BLL0Tに接続されたメモリ素子にHighの信号が記録される場合、ビット線BLR0Bに接続されたメモリ素子にLowの信号が記録される。以下では、ビット線BLL0T〜BLL3Tに接続されたメモリ素子をTrue側のメモリ素子と称し、ビット線BLR0Bに接続されたメモリ素子をBar側のメモリ素子と称する。
センスアンプ26は、アドレス信号によって選択されたビット線BLLkT(kは0以上の整数)に現れる電位を増幅する。この電位を増幅した信号は、メモリ素子に記録されたデータに対応する電位が増幅された信号であることから、以下では、データ信号と称する。また、センスアンプ26は、ビット線BLLkTに現れた電位の逆相となる、ビット線BLLkBの電位を増幅する。この電位を増幅した信号を、以下では、データ反転信号と称する。
Yスイッチ部28aは、MOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタ211a〜211dを有する。MOSトランジスタ211a〜211dのゲート電極はYS0と接続されている。MOSトランジスタ211a〜211dのそれぞれのドレイン電極が、MAT22a側のビット線BLL0T〜BLL3Tのそれぞれと接続されている。また、MOSトランジスタ211a〜211dのそれぞれのソース電極が、LIO0T〜LIO3Tのそれぞれと接続されている。
Yスイッチ部28bは、MOSトランジスタ212a〜212dを有する。MOSトランジスタ212a〜212dのゲート電極はYS0に接続されている。MOSトランジスタ212a〜212dのそれぞれのドレイン電極が、MAT22b側のビット線BLR0B〜BLR3Bのそれぞれと接続されている。また、MOSトランジスタ212a〜212dのそれぞれのソース電極が、LIO0B〜LIO3Bのそれぞれと接続されている。
なお、LIO0T〜LIO3Tにおいて、「T」はTrue側のメモリ素子に接続された信号線であることを意味し、「0〜3」の数字はMAT22a内の4本のビット線を識別するための番号である。LIO0B〜LIO3Bにおいて、「B」はBar側のメモリ素子に接続された信号線であることを意味し、「0〜3」の数字はMAT22b内の4本のビット線を識別するための番号である。
LIO0T〜LIO3TおよびLIO0B〜LIO3BはLIO選択部220に接続されている。LIO選択部220はデータ出力回路52を介してDQパッド32と接続されている。LIO選択部220は、選択されたアドレスに対応して、LIO0T〜LIO3TおよびLIO0B〜LIO3Bのそれぞれから、対になる2本を選択してデータ出力回路52に接続する。
図10は図9に示したYスイッチ部のレイアウトの一例を示す模式図である。
Yスイッチ部28aおよびYスイッチ部28bは同様な構成であるため、ここでは、Yスイッチ部28aに注目して説明する。また、図10には、図9に示したSAMP23aと、SAMP23aのX軸方向にSWCを挟んで設けられたSAMP23b内のYスイッチ部281も示している。
Yスイッチ部281には、Yスイッチ部28aのMOSトランジスタ211a〜211dのそれぞれに対応して、MOSトランジスタ221a〜221dが設けられている。また、MOSトランジスタ221a〜221dのそれぞれがビット線BL4〜BL7と接続されている。
各MOSトランジスタのアクティブパターンがドット模様の長方形で表され、上層の配線と下層の拡散層とを接続するためのコンタクトプラグのパターンが丸印で表されている。YS0はMOSトランジスタ211a〜211dのゲート電極に相当し、MOSトランジスタ211a〜211dのオン/オフを制御する。YS1はMOSトランジスタ221a〜221dのゲート電極に相当し、MOSトランジスタ221a〜221dのオン/オフを制御する。
LIO0TはMOSトランジスタ211a、221aと接続され、LIO2TはMOSトランジスタ211c、221cと接続されている。LIO1TはMOSトランジスタ211b、221bと接続され、LIO3TはMOSトランジスタ211d、221dと接続されている。このように、SWCを挟んでX軸方向の両側にSAMPが設けられ、それぞれのYスイッチ部がLIO線で接続されている。
上述した構成のDRAMのメモリセルの読み出し方法を簡単に説明する。
CA系パッド31を介して外部からアドレス信号およびコマンド信号が入力されると、ロウデコーダ42により選択されたワード線21が昇圧し、そのワード線21に接続されたメモリ素子のデータに対応する電位がビット線対BLLkTに現れ、そのデータの逆相の電位がBLRkBに現れる。ビット線BLLkTに現れた電位とビット線BLRkBに現れた電位のそれぞれがセンスアンプ26で増幅される。
センスアンプ26で増幅した後の信号であるデータ信号およびデータ反転信号は、カラムデコーダ41によりYSを介して選択されたYスイッチ部のMOSトランジスタがオンすることで、LIO線対LIOjT、LIOjB(jは0以上の整数)に伝達される。さらに、LIO線対LIOjT、LIOjBによって伝送されるデータ信号およびデータ反転信号は、MIO線対を介してデータ出力回路52へと送られる。データ出力回路52は、データ信号およびデータ反転信号に基づくデータを、DQ系パッド32を介して外部に出力する。
上述したセンスアンプ部のYスイッチ部において、True側とBar側のそれぞれに、4本ずつ設けられたLIO線のカップリングノイズを考えてみる。True側とBar側のそれぞれの4本のLIO線のうち、図11に示すように、内側の2本(LIO2とLIO1)については、両側に所定の距離を空けて別のLIO線が配置されている構成である。そのため、外側の2本(LIO0およびLIO3)に比べて、2倍のカップリングノイズを受けてしまうことになる。
図12は各LIO線の動作状態とカップリングノイズによる影響の有無を示す表である。図12に示す表は、True側およびBar側のいずれにも共通なので、ビット線がTrue側であるか、Bar側であるかを示す文字を省略している。
図12に示すように、各LIO線の動作状態(以下では、ステートと称する)に応じて、16パターンが考えられる。図12の各ステートには、LIO0〜LIO3のそれぞれのLIO線について、SWCの左側にYスイッチ部281の信号を示し、SWCの右側にYスイッチ部28aの信号を示している。信号電位の種類として、Highを「H」と表示し、Lowを「L」と表示している。
ステート5、6、11、12において、LIO2は、自分に印加されている電位とは逆相の電位が印加されたLIO線に挟まれることになる。また、ステート3、6、11、14においては、LIO1は、自分に印加されている電位とは逆相の電位が印加されたLIO線に挟まれることになる。その結果、LIO1もしくはLIO2、またはこれら両方のLIO線に対してカップリングノイズが最も大きくなる場合は、全部で6ステートあることがわかる。これらのステートにおいては、LIO1およびLIO2に、カップリングのノイズの影響により遷移動作の遅れなどが生じるおそれがある。この場合、データ読み出し時間が長くなってしまうことになる。
本発明の半導体装置は、
複数のメモリ素子が設けられ、所定の方向に沿って配置された複数のメモリセルアレイと、
前記複数のメモリセルアレイ毎に設けられ、前記複数のメモリ素子に記録されたデータを読み出すための複数のビット線と、
前記複数のメモリセルアレイ毎に設けられ、前記複数のビット線のうち、選択されたビット線に現れる、前記データに対応する電位、および該電位の逆相の電位のそれぞれを増幅し、前記データに対応する電位を増幅した信号であるデータ信号を前記所定の方向とは異なる方向に出力し、該データ信号の逆相の信号であるデータ反転信号を前記データ信号の出力方向とは逆の方向に出力するセンスアンプ部と、
前記データ信号および前記データ反転信号に基づいて前記データを外部に出力するデータ出力回路と、
前記データ信号および前記データ反転信号を前記データ出力回路に伝送するための、前記所定の方向に平行に配置された複数のローカル信号線と、を有し、
前記複数のローカル信号線のうち、隣り合う2本のローカル信号線の前記所定の方向に垂直な方向の位置が、所定の間隔で交互に入れ替わっていることを特徴とする。
複数のメモリ素子が設けられ、所定の方向に沿って配置された複数のメモリセルアレイと、
前記複数のメモリセルアレイ毎に設けられ、前記複数のメモリ素子に記録されたデータを読み出すための複数のビット線と、
前記複数のメモリセルアレイ毎に設けられ、前記複数のビット線のうち、選択されたビット線に現れる、前記データに対応する電位、および該電位の逆相の電位のそれぞれを増幅し、前記データに対応する電位を増幅した信号であるデータ信号を前記所定の方向とは異なる方向に出力し、該データ信号の逆相の信号であるデータ反転信号を前記データ信号の出力方向とは逆の方向に出力するセンスアンプ部と、
前記データ信号および前記データ反転信号に基づいて前記データを外部に出力するデータ出力回路と、
前記データ信号および前記データ反転信号を前記データ出力回路に伝送するための、前記所定の方向に平行に配置された複数のローカル信号線と、を有し、
前記複数のローカル信号線のうち、隣り合う2本のローカル信号線の前記所定の方向に垂直な方向の位置が、所定の間隔で交互に入れ替わっていることを特徴とする。
本発明によれば、隣り合う2本のローカル信号線の位置が所定の間隔で交互に入れ替わっているため、2本のローカル信号線のうち、一方のローカル信号線が、1つの区間で他のローカル信号線によるカップリングノイズの影響を受けていても、別の区間においてはカップリングノイズの影響を低減することが可能となる。
また、本発明の半導体装置は、
複数のメモリ素子が設けられ、所定の方向に沿って配置された複数のメモリセルアレイと、
前記複数のメモリセルアレイ毎に設けられ、前記複数のメモリ素子に記録されたデータを読み出すための複数のビット線と、
前記複数のメモリセルアレイ毎に設けられ、前記複数のビット線のうち、選択されたビット線に現れる、前記データに対応する電位、および該電位の逆相の電位のそれぞれを増幅し、前記データに対応する電位を増幅した信号であるデータ信号を前記所定の方向とは異なる方向に出力し、該データ信号の逆相の信号であるデータ反転信号を前記データ信号の出力方向とは逆の方向に出力するセンスアンプ部と、
前記データ信号および前記データ反転信号に基づいて前記データを外部に出力するデータ出力回路と、
前記データ信号および前記データ反転信号を前記データ出力回路に伝送するための、前記所定の方向に平行に配置された複数のローカル信号線と、を有し、
前記複数のローカル信号線のうち、隣り合う2本のローカル信号線を1つの組とすると、該組の間に、電源電位または接地電位に接続されたシールド線が設けられていることを特徴とする。
複数のメモリ素子が設けられ、所定の方向に沿って配置された複数のメモリセルアレイと、
前記複数のメモリセルアレイ毎に設けられ、前記複数のメモリ素子に記録されたデータを読み出すための複数のビット線と、
前記複数のメモリセルアレイ毎に設けられ、前記複数のビット線のうち、選択されたビット線に現れる、前記データに対応する電位、および該電位の逆相の電位のそれぞれを増幅し、前記データに対応する電位を増幅した信号であるデータ信号を前記所定の方向とは異なる方向に出力し、該データ信号の逆相の信号であるデータ反転信号を前記データ信号の出力方向とは逆の方向に出力するセンスアンプ部と、
前記データ信号および前記データ反転信号に基づいて前記データを外部に出力するデータ出力回路と、
前記データ信号および前記データ反転信号を前記データ出力回路に伝送するための、前記所定の方向に平行に配置された複数のローカル信号線と、を有し、
前記複数のローカル信号線のうち、隣り合う2本のローカル信号線を1つの組とすると、該組の間に、電源電位または接地電位に接続されたシールド線が設けられていることを特徴とする。
本発明によれば、メモリ素子からデータを読み出す際、LIO線間に生じるカップリングノイズを低減し、データ読み出し時間が長くなるのを防げる。
本実施形態の半導体装置は、図7で説明した半導体装置のメモリセルブロック内の一部の構成が異なる構成である。そのため、以下では、メモリセルブロック以外の構成の詳細な説明を省略し、図7から図10を参照して説明した半導体装置と異なる点を詳細に説明する。
(第1の実施形態)
本実施形態の半導体装置の構成を説明する。図1は本実施形態の半導体装置におけるセンスアンプ部のYスイッチ部のレイアウトの一構成例を示す模式図である。この図において、左右方向をX軸方向とし、上下方向をY軸方向とする。
本実施形態の半導体装置の構成を説明する。図1は本実施形態の半導体装置におけるセンスアンプ部のYスイッチ部のレイアウトの一構成例を示す模式図である。この図において、左右方向をX軸方向とし、上下方向をY軸方向とする。
なお、本実施形態では、True側のメモリ素子と接続されるYスイッチ部の構成およびLIO線の配置について説明するが、Bar側のメモリ素子と接続されるYスイッチ部およびLIO線の配置についても、本発明の特徴となる構成は同様であり、以下では、その詳細な説明を省略する。
図9に示したセンスアンプ部において、Yスイッチ部28aの代わりに図1に示すYスイッチ部110が設けられ、Yスイッチ部281の代わりに図1に示すYスイッチ部111が設けられている。そして、本実施形態では、Yスイッチ部110およびYスイッチ部111の間のSWCにおいて、4本のLIO線のうち、1本目と2本目が電気的に絶縁された状態で交差(ツイスト)され、3本目と4本目が電気的に絶縁された状態でツイストされた構成である。
なお、図1では、交差するLIO線を識別しやすくするために、LIO2TおよびLIO3Tを一点鎖線で示している。
Yスイッチ部111において、LIO0TとLIO2TがX軸方向に平行に配置され、図1では、LIO0TがLIO2Tよりも上側に配置されている。本実施形態では、これらのLIO線のY軸方向の位置がSWCで逆になり、Yスイッチ部110において、LIO2TがLIO0Tよりも上側に配置され、かつ、これらのLIO線がX軸方向に平行に配置されている。LIO0TとLIO2TのY軸方向の位置がYスイッチ部毎に交互に入れ替わっている。
また、Yスイッチ部111において、LIO1TとLIO3TがX軸方向に平行に配置され、図1では、LIO1TがLIO3Tよりも上側に配置されている。本実施形態では、これらのLIO線のY軸方向の位置がSWCで逆になり、Yスイッチ部110において、LIO3TがLIO1Tよりも上側に配置され、かつ、これらのLIO線がX軸方向に平行に配置されている。LIO1TとLIO3TのY軸方向の位置がYスイッチ部毎に交互に入れ替わっている。
本実施形態では、4本のLIO線のうち、1本目と2本目を電気的に絶縁された状態でツイストさせるパターンと、3本目と4本目を電気的に絶縁された状態でツイストさせるパターンがSWC上に設けられている。上述の構成にすることで、LIO線同士のカップリングノイズの影響を低減することが可能となる。その理由については後述する。
次に、2本のLIO線を電気的に絶縁された状態でツイストさせるパターンの一例を説明する。ここでは、LIO0TとLIO2Tをツイストさせる場合とする。
第1のアルミニウム層でLIO0TおよびLIO2Tを形成する。ただし、SWCにおけるツイスト部分では、第1のアルミニウム層よりも上層に形成される第2のアルミニウムで、LIO0Tを形成する。第2のアルミニウム層で形成されるLIO0Tを第2アルミLIO0Tと表記する。さらに、Yスイッチ部111から伸びるLIO0Tをビアプラグを介して第2アルミLIO0Tの一方の端に接続し、その第2アルミLIO0Tの他方の端をビアプラグを介して、Yスイッチ部110から伸びるLIO0Tに接続した構成を形成する。
このような構成にすることで、LIO0TおよびLIO2Tを電気的に絶縁した状態でツイストさせることが可能となる。なお、SWCのツイスト部分において、第2のアルミニウム層で形成されるLIO線が、LIO0Tの代わりにLIO2Tであってもよい。また、LIO1TおよびLIO3Tをツイストさせるパターンについても、上述のLIO0TとLIO2Tの場合と同様に形成することが可能である。
図2は本実施形態の半導体装置におけるメモリセルブロックの一構成例を示すブロック図である。図2に示すSAMP12に、図1に示したYスイッチ部110、111およびLIO0T〜LIO3Tが設けられている。
LIO線は、製品仕様で決まるMAT構成に応じて、その長さが決定される。そのため、1本のLIO線が複数のSWCを跨ぐことも考えられる。この場合、図2に示すように、SWC毎に2本のLIO線をツイストすることで、同一層の配線間のカップリングを細かく入れ換えることも可能である。
次に、本実施形態の構成により、LIO線同士のカップリングノイズの影響を低減させることが可能になることを説明する。
図3は、本実施形態において、各LIO線の動作状態とカップリングノイズによる影響の有無を示す表である。図3に示す表は、True側およびBar側のいずれにも共通なので、ビット線がTrue側であるか、Bar側であるかを示す文字を省略している。
図3に示すように、各LIO線のステートに応じて、16パターンが考えられる。図3の各ステートには、LIO0〜LIO3のそれぞれのLIO線について、SWCの左側にYスイッチ部111の信号を示し、SWCの右側にYスイッチ部110の信号を示している。
ここで、隣り合うLIO線の電位によっては、これらのLIO線から受けるノイズが低減する理由を説明する。図4は図3に示す表のステート4の場合における、Yスイッチ部111の各LIO線のカップリングノイズの影響を示す図である。実線矢印はHighの信号によるノイズを示し、破線矢印はLowの信号によるノイズを示す。
ステート4では、LIO0およびLIO2にHighの電位が印加され、LIO1およびLIO3にLowの電位が印加されている。Yスイッチ部111のLIO2に注目すると、LIO0の電位はLIO1の電位の逆相なので、LIO2に対するLIO0およびLIO1のノイズはキャンセルされる。これと同様に、Yスイッチ部111のLIO1に注目すると、LIO2の電位はLIO3の電位の逆相なので、LIO1に対するLIO2およびLIO3のノイズはキャンセルされる。その結果、外側2本のLIO0およびLIO3のそれぞれが、内側2本のLIO線のうち、いずれか1本のLIO線から受けるノイズだけとなる。
このように、図4に示すステートでは、内側2本のLIO線のそれぞれに対して、カップリングノイズの発生を防止することができる。
図3の表を見ると、ステート1、4、7、10、13、16の6ステートでは、内側2本のLIO線のそれぞれは、両側のLIO線同士の電位が異なっているか、自分自身に印加された電位と両側のLIO線の電位が同相になっているため、カップリングノイズは問題にならない。
ステート2に注目すると、LIO0の信号とLIO2の信号はどちらもHighであり、ツイストされるLIO0およびLIO2の信号は同相である。また、LIO1の信号はHighで、LIO3の信号はLowであり、ツイストされるLIO1およびLIO3の信号は逆相である。
ステート2のYスイッチ部111では、内側2本のLIO2およびLIO1はカップリングノイズが問題にならない状態である。これに対して、Yスイッチ部110では、LIO3の信号がLowであり、その両側のLIO0とLIO1の信号はHighであるため、LIO3にカップリングノイズの影響が発生する。しかし、LIO1とLIO3はツイストされているため、LIO3は、Yスイッチ部110でカップリングノイズの影響を受けても、Yスイッチ部111ではカップリングノイズの影響を受けない。よって、LIO3全体としては、カップリングノイズの影響が半減することになる。
ステート2と同様なケースがステート8、9、15にもあり、これらのステートにおいても、内側のLIO線へのカップリングノイズの影響が半減する効果が得られる。
ステート3に注目してみる。LIO0の信号とLIO2の信号はどちらもHighであり、ツイストされるLIO0およびLIO2のLIO線対の信号は同相である。また、LIO1の信号はLowで、LIO3の信号はHighであり、ツイストされるLIO1およびLIO3のLIO線対の信号は逆相である。
ステート3のYスイッチ部110では、内側2本のLIO0およびLIO3はカップリングノイズが問題にならない状態である。これに対して、Yスイッチ部111では、LIO1の信号がLowであり、その両側のLIO2とLIO3の信号はHighであるため、LIO1にカップリングノイズの影響が発生する。しかし、LIO1とLIO3はツイストされているため、LIO1は、Yスイッチ部111でカップリングノイズの影響を受けても、Yスイッチ部110ではカップリングノイズの影響を受けない。よって、LIO1全体としては、カップリングノイズの影響が半減することになる。
ステート3と同様なケースがステート5、12、14にもあり、これらのステートにおいても、内側のLIO線へのカップリングノイズの影響が半減する効果が得られる。
このように、ステート2、3、5、8、9、12、14、15において、内側の2本のLIO線が、隣り合うLIO線からのカップリングによる影響を低減できることがわかる。
また、図3に示す表を見ると、内側2本の配線に対するカップリングノイズが最も大きくなるのは、ステート6とステート11の場合の2ステートである。図12に示した表と比較すると、本実施形態では、カップリングノイズの影響が低減することがわかる。
本実施形態によれば、SWCにおいて、隣り合う2本のLIO線を電気的に絶縁させた状態でツイストさせることで、SWCの両側のSAMPのうち、一方のSAMPでは、内側のLIO線が自分の電位とは逆相の電位のLIO線に挟まれ、両側のLIO線からノイズの影響を受ける状態が存在するが、他方のSAMPでは、内側のLIO線が片側のLIO線からしかノイズの影響を受けないようにすることが可能となる。その結果、カップリングノイズの影響を低減させることができる。
また、4本のLIO線のうち、隣り合う2本のLIO線をツイストさせた2組のLIO線対において、一方のLIO線対に伝送する信号を逆相にし、他方のLIO線対に伝送する信号を同相にすると、逆相にしたLIO線対に生じるカップリングノイズが半減する効果が得られる。
なお、図5に示すように、1本のLIO線につき、できるだけLIO線の中央部で1度ツイストさせてもよい。トータルのカップリング量やツイスト部分でのコンタクト抵抗の増加を考慮すると、必ずしもSWC毎に2本のLIO線をツイストさせる必要はなく、この場合でも、隣り合うLIO線によるカップリングノイズを低減させる効果が得られる。
(第2の実施形態)
本実施形態は、LIO線間のノイズをシールド線で防御するものである。
本実施形態は、LIO線間のノイズをシールド線で防御するものである。
本実施形態の半導体装置の構成を説明する。図6は本実施形態の半導体装置におけるセンスアンプ部のYスイッチ部のレイアウトの一構成例を示す模式図である。なお、本実施形態では、True側のメモリ素子と接続されるYスイッチ部の構成およびLIO線の配置について説明するが、Bar側のメモリ素子と接続されるYスイッチ部およびLIO線の配置についても、本発明の特徴となる構成は同様であり、以下では、その詳細な説明を省略する。
図9に示したセンスアンプ部において、Yスイッチ部28aの代わりに図6に示すYスイッチ部120が設けられ、Yスイッチ部281の代わりに図6に示すYスイッチ部121が設けられている。そして、本実施形態では、Yスイッチ部120およびYスイッチ部121に跨って配置された4本のLIO線のうち、図6の上側2本のLIO0TおよびLIO2Tを1つの組とし、下側2本のLIO1TおよびLIO3Tを別の組とすると、組の間にシールド線310が設けられた構成である。シールド線310は、4つのLIO線と同一層に形成されており、電源電位または接地電位に接続されている。
このような構成にすることで、LIO2Tは、LIO1Tの電位によるノイズがシールド線310で防御されるため、LIO0Tからのノイズしか受けない。また、LIO1Tは、LIO2Tの電位によるノイズがシールド線310で防御されるため、LIO3Tからのノイズしか受けない。
本実施形態によれば、4つのLIO線のうち、内側の2本のLIO線は片側のLIO線からしかノイズの影響を受けないため、ノイズによる影響を低減することが可能となる。また、4つのLIO線と同一層でシールド線を形成することが可能となり、製造工程を増やさなくて済む。
上述したように、本実施形態によれば、LIO線同士のカップリングの影響を低減することが可能となる。その結果、カップリングのノイズの影響による遷移動作の遅れを抑制し、データ読み出し時間が長くなることを防げる。
なお、本実施形態では、複数のメモリセルブロックを有する半導体記憶装置の場合で説明したが、メモリ素子の他に、論理回路などを有するシステムLSI(Large Scale Integrated Circuit)に、本発明を適用してもよい。
12 センスアンプ部(SAMP)
22 MAT
52 データ出力回路
110、111、120、121 Yスイッチ部
310 シールド線
BLL0T〜BLL3T、BLR0B〜BLR3B ビット線
22 MAT
52 データ出力回路
110、111、120、121 Yスイッチ部
310 シールド線
BLL0T〜BLL3T、BLR0B〜BLR3B ビット線
Claims (4)
- 複数のメモリ素子が設けられ、所定の方向に沿って配置された複数のメモリセルアレイと、
前記複数のメモリセルアレイ毎に設けられ、前記複数のメモリ素子に記録されたデータを読み出すための複数のビット線と、
前記複数のメモリセルアレイ毎に設けられ、前記複数のビット線のうち、選択されたビット線に現れる、前記データに対応する電位、および該電位の逆相の電位のそれぞれを増幅し、前記データに対応する電位を増幅した信号であるデータ信号を前記所定の方向とは異なる方向に出力し、該データ信号の逆相の信号であるデータ反転信号を前記データ信号の出力方向とは逆の方向に出力するセンスアンプ部と、
前記データ信号および前記データ反転信号に基づいて前記データを外部に出力するデータ出力回路と、
前記データ信号および前記データ反転信号を前記データ出力回路に伝送するための、前記所定の方向に平行に配置された複数のローカル信号線と、を有し、
前記複数のローカル信号線のうち、隣り合う2本のローカル信号線の前記所定の方向に垂直な方向の位置が、所定の間隔で交互に入れ替わっていることを特徴とする、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記所定の間隔は、前記複数のメモリセルアレイ毎の前記所定の方向の長さであることを特徴とする、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記所定の間隔は、前記複数のローカル信号線の半分の長さであることを特徴とする、半導体装置。 - 複数のメモリ素子が設けられ、所定の方向に沿って配置された複数のメモリセルアレイと、
前記複数のメモリセルアレイ毎に設けられ、前記複数のメモリ素子に記録されたデータを読み出すための複数のビット線と、
前記複数のメモリセルアレイ毎に設けられ、前記複数のビット線のうち、選択されたビット線に現れる、前記データに対応する電位、および該電位の逆相の電位のそれぞれを増幅し、前記データに対応する電位を増幅した信号であるデータ信号を前記所定の方向とは異なる方向に出力し、該データ信号の逆相の信号であるデータ反転信号を前記データ信号の出力方向とは逆の方向に出力するセンスアンプ部と、
前記データ信号および前記データ反転信号に基づいて前記データを外部に出力するデータ出力回路と、
前記データ信号および前記データ反転信号を前記データ出力回路に伝送するための、前記所定の方向に平行に配置された複数のローカル信号線と、を有し、
前記複数のローカル信号線のうち、隣り合う2本のローカル信号線を1つの組とすると、該組の間に、電源電位または接地電位に接続されたシールド線が設けられていることを特徴とする、半導体装置。
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