JP2012019166A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】単位画素セル13を備える固体撮像装置であって、単位画素セル13は、シリコン基板1上に形成された光電変換膜6及び画素電極5と、シリコン基板1内に形成され、画素電極5と結線されたゲート電極3を有し、画素電極5の電位に応じた信号電圧を出力する増幅トランジスタ10と、シリコン基板1内に形成され、増幅トランジスタ10のゲート電極3の電位をリセットするリセットトランジスタ11とを有し、固体撮像装置は、単位画素セル13の列に対応して設けられ、対応する列の単位画素セル13の信号電圧を伝達する垂直信号線17と、垂直信号線17に信号電圧を出力させる単位画素セル13の行を選択する垂直走査部15とを備え、垂直信号線17はそれに対応する単位画素セル13の画素電極5の下方に位置する。
【選択図】図1
Description
以下、図面を参照しながら、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置について説明する。
以下、図面を参照しながら、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置について説明する。以下では、第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
以下、図面を参照しながら、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置について説明する。以下では、第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
以下、図面を参照しながら、本発明の第4の実施形態に係る固体撮像装置について説明する。以下では、第3の実施形態と異なる点を中心に説明する。
以下、図面を参照しながら、本発明の第5の実施形態に係る固体撮像装置について説明する。以下では、第2の実施形態と異なる点を中心に説明する。
以下、図面を参照しながら、本発明の第6の実施形態に係る固体撮像装置について説明する。以下では、第2の実施形態と異なる点を中心に説明する。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態の比較例に係る固体撮像装置について説明する。
2、3、4、102、103、104 ゲート電極
5、105 画素電極
6、106 光電変換膜
7、107 透明電極
8A、8B、8C、8D、108A、108B、108C、108D n型拡散層領域
8E 素子分離領域
9 光電変換膜部
10、110 増幅トランジスタ
11、111 リセットトランジスタ
12、112 アドレストランジスタ
13 単位画素セル
15 垂直走査部
16 光電変換膜制御線
17、117 垂直信号線
18 負荷部
19 カラム信号処理部
20 水平信号読み出し部
21、121 電源配線
22、122 第1の活性領域
30、40 第1の配線層
31、41 第2の配線層
32、42 第1のビアコンタクト
33、43 第2のビアコンタクト
35 画素ローカル配線
36 距離
37 シールド電極
123 画素電極配線
Claims (16)
- 2次元状に配列された複数の単位画素セルを備える固体撮像装置であって、
前記単位画素セルは、
半導体基板上に形成され、入射光を光電変換する光電変換膜と、
前記半導体基板上に形成され、前記光電変換膜と接する画素電極と、
前記半導体基板内に形成されたトランジスタであって、前記画素電極と結線されたゲート電極を有し、前記画素電極の電位に応じた信号電圧を出力する増幅トランジスタと、
前記半導体基板内に形成されたトランジスタであって、前記増幅トランジスタのゲート電極の電位をリセットするリセットトランジスタとを有し、
前記固体撮像装置は、
前記単位画素セルの列に対応して設けられ、対応する列の前記単位画素セルの信号電圧を伝達する垂直信号線と、
前記垂直信号線に信号電圧を出力させる前記単位画素セルの行を選択する行選択部とを備え、
前記垂直信号線は、該垂直信号線に対応する前記単位画素セルの前記画素電極の下方に位置する
固体撮像装置。 - 前記垂直信号線は、前記増幅トランジスタ及び前記リセットトランジスタと前記画素電極との間に設けられた多層配線層の最上層の配線層以外の配線で構成されている
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記垂直信号線は、前記増幅トランジスタ及び前記リセットトランジスタと前記画素電極との間に設けられた多層配線層の最下層の配線で構成されている
請求項2記載の固体撮像装置。 - 前記単位画素セルは、該単位画素セルの画素電極の下方に位置し、該単位画素セルの前記増幅トランジスタと前記リセットトランジスタとを結線するローカル配線を有する
請求項1〜3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記ローカル配線は、前記増幅トランジスタ及び前記リセットトランジスタと前記画素電極との間に設けられた多層配線層の最上層の配線層以外の配線で構成されている
請求項4記載の固体撮像装置。 - 前記ローカル配線は、前記増幅トランジスタ及び前記リセットトランジスタと前記画素電極との間に設けられた多層配線層の最下層の配線で構成されている
請求項5記載の固体撮像装置。 - 2次元状に配列された複数の単位画素セルを備える固体撮像装置であって、
前記単位画素セルは、
半導体基板上に形成され、入射光を光電変換する光電変換膜と、
前記半導体基板上に形成され、前記光電変換膜と接する画素電極と、
前記半導体基板内に形成されたトランジスタであって、前記画素電極と結線されたゲート電極を有し、前記画素電極の電位に応じた信号電圧を出力する増幅トランジスタと、
前記半導体基板内に形成されたトランジスタであって、前記増幅トランジスタのゲート電極の電位をリセットするリセットトランジスタとを有し、
前記固体撮像装置は、
前記単位画素セルの列に対応して設けられ、対応する列の前記単位画素セルの信号電圧を伝達する垂直信号線と、
前記垂直信号線に信号電圧を出力させる前記単位画素セルの行を選択する行選択部とを備え、
前記垂直信号線は、該垂直信号線に対応する前記単位画素セルに隣接する前記単位画素セルの前記画素電極の下方に位置し、
前記垂直信号線は、前記増幅トランジスタ及び前記リセットトランジスタと前記画素電極との間に設けられた多層配線層の最上層の配線層以外の配線で構成されている
固体撮像装置。 - 前記垂直信号線は、前記増幅トランジスタ及び前記リセットトランジスタと前記画素電極との間に設けられた多層配線層の最下層の配線で構成されている
請求項7記載の固体撮像装置。 - 2次元状に配列された複数の単位画素セルを備える固体撮像装置であって、
前記単位画素セルは、
半導体基板上に形成され、入射光を光電変換する光電変換膜と、
前記半導体基板上に形成され、前記光電変換膜と接する画素電極と、
前記半導体基板内に形成されたトランジスタであって、前記画素電極と結線されたゲート電極を有し、前記画素電極の電位に応じた信号電圧を出力する増幅トランジスタと、
前記半導体基板内に形成されたトランジスタであって、前記増幅トランジスタのゲート電極の電位をリセットするリセットトランジスタとを有し、
前記固体撮像装置は、
前記単位画素セルの列に対応して設けられ、対応する列の前記単位画素セルの信号電圧を伝達する垂直信号線と、
前記垂直信号線に信号電圧を出力させる前記単位画素セルの行を選択する行選択部とを備え、
前記垂直信号線は、該垂直信号線に対応する前記単位画素セルに隣接する前記単位画素セルの前記画素電極の下方に位置し、
前記画素電極と該画素電極の下方に位置する前記垂直信号線との間には、これらの容量結合を抑えるシールド電極が設けられている
固体撮像装置。 - 前記シールド電極は、前記増幅トランジスタ、前記リセットトランジスタ又は前記選択トランジスタの配線である
請求項9記載の固体撮像装置。 - 2次元状に配列された複数の単位画素セルを備える固体撮像装置であって、
前記単位画素セルは、
半導体基板上に形成され、入射光を光電変換する光電変換膜と、
前記半導体基板上に形成され、前記光電変換膜と接する画素電極と、
前記半導体基板内に形成されたトランジスタであって、前記画素電極と結線されたゲート電極を有し、前記画素電極の電位に応じた信号電圧を出力する増幅トランジスタと、
前記半導体基板内に形成されたトランジスタであって、前記増幅トランジスタのゲート電極の電位をリセットするリセットトランジスタと、
前記増幅トランジスタ、前記リセットトランジスタ及び前記選択トランジスタを電気的に結線する配線を有し、
前記固体撮像装置は、
前記単位画素セルの列に対応して設けられ、対応する列の前記単位画素セルの信号電圧を伝達する垂直信号線と、
前記垂直信号線に信号電圧を出力させる前記単位画素セルの行を選択する行選択部とを備え、
前記画素電極の厚さが前記配線の厚さより薄い
固体撮像装置。 - 前記画素電極と前記配線との間には絶縁層が設けられ、
前記配線の幅をW、前記絶縁層の膜圧をT、前記画素電極の厚さをs、隣接する前記単位画素セルの前記画素電極間の距離をpとするとき、前記画素電極は下記の式を満足する
s<p×W/T
請求項11記載の固体撮像装置。 - 2次元状に配列された複数の単位画素セルを備える固体撮像装置であって、
前記単位画素セルは、
半導体基板上に形成され、入射光を光電変換する光電変換膜と、
前記半導体基板上に形成され、前記光電変換膜と接する画素電極と、
前記半導体基板内に形成されたトランジスタであって、前記画素電極と結線されたゲート電極を有し、前記画素電極の電位に応じた信号電圧を出力する増幅トランジスタと、
前記半導体基板内に形成されたトランジスタであって、前記増幅トランジスタのゲート電極の電位をリセットするリセットトランジスタとを有し、
前記固体撮像装置は、
前記単位画素セルの列に対応して設けられ、対応する列の前記単位画素セルの信号電圧を伝達する垂直信号線と、
前記垂直信号線に信号電圧を出力させる前記単位画素セルの行を選択する行選択部とを備え、
前記単位画素セルは、該単位画素セルに隣接する前記単位画素セルの前記画素電極の下方に位置し、該単位画素セルの前記増幅トランジスタと前記リセットトランジスタとを結線するローカル配線を有し、
前記ローカル配線は、前記増幅トランジスタ及び前記リセットトランジスタと前記画素電極との間に設けられた多層配線層の最上層の配線層以外の配線で構成されている
固体撮像装置。 - 前記ローカル配線は、前記増幅トランジスタ及び前記リセットトランジスタと前記画素電極との間に設けられた多層配線層の最下層の配線で構成されている
請求項13記載の固体撮像装置。 - 前記画素電極と該画素電極の下方に位置する前記ローカル配線との間には、これらの容量結合を抑えるシールド電極が設けられている
請求項13記載の固体撮像装置。 - 前記シールド電極線は、前記増幅トランジスタ、前記リセットトランジスタ又は前記選択トランジスタの配線である
請求項15記載の固体撮像装置。
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