JP2011232182A - 基板分析装置及び基板分析方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、分析液を吐出及び吸引するノズル本体と、ノズル本体の外周に配された外管とからなる2重管ノズルを備え、回収手段は2重管ノズルのノズル本体であり、エッチング手段はノズル本体と外管との間に供給されるエッチングガスである基板分析装置に関する。本発明は、同一装置によりエッチング工程と回収工程の両工程を行うことができる分析装置であり、簡易的な分析や、基板の特定箇所についての局所的な分析にも好適である。
【選択図】図1
Description
20 外管
30 シリンジポンプ
T ノズル
W ウェーハ
Ox 酸化膜
D 分析液
Claims (3)
- 気相分解法により分析対象物を含む基板をエッチングするエッチング手段と、ノズル先端から基板上に分析液を吐出し、吐出した分析液で基板表面を掃引した後、分析液をノズル先端より吸引して分析対象物を回収する回収手段と、を備えた基板分析装置であって、
分析液を吐出及び吸引するノズル本体と、ノズル本体の外周に配された外管とからなる2重管ノズルを備え、
回収手段は、2重管ノズルのノズル本体であり、
エッチング手段は、ノズル本体と外管との間に供給されるエッチングガスであることを特徴とする基板分析装置。 - 請求項1記載の基板分析装置を用いて基板を分析する方法において、
エッチングガスで基板をエッチングするエッチング工程と、
ノズル本体内部の分析液を基板に吐出し、基板表面を掃引した後、分析液をノズル本体内部に吸引する回収工程とを有し、
2重管ノズルで基板表面を掃引しながらエッチング工程又は回収工程を行う基板分析方法。 - エッチング工程と回収工程とを、一度の掃引で同時に行う請求項2に記載の基板分析方法。
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