JP2009281757A - ノズルシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ノズルの先端から押出した液体で試料表面を掃引し、掃引後の液体をノズルで吸引して試料表面の汚染物質を回収するノズルシステム(1)は、先端の押出口(122a)とはキャピラリー(122)で連通する液溜(120)を有するノズル(100)と、前記液溜の液体(140)の一部(140a)を前記キャピラリーを通じて前記押出口から押出して試料表面(400)を掃引し、掃引の途中で前記液体を前記キャピラリーを通じて前記液溜に吸引して内部液体(140b)と混合・希釈し、混合・希釈後の前記液溜の液体の一部を前記キャピラリーを通じて前記押出口から押出して掃引を再開する掃引手段を具備する。
【選択図】図4
Description
図1に、ノズルシステム1の構成を模式的に示す。ノズルシステム1は、発明を実施するための最良の形態の一例である。ノズルシステム1の構成によって、ノズルシステムに関する発明を実施するための最良の形態の一例が示される。
100 : ノズル
120 : 液溜
122,124 : キャピラリー
122a : 開口
126 : チューブ
132 : 端面
132a : 外縁
140 : 液体
140a : 液滴
140b : 残留液
200 : シリンジポンプ
300 : コントローラ
400 : 試料
Claims (1)
- ノズルの先端から押出した液体で試料表面を掃引し、掃引後の液体をノズルで吸引して試料表面の汚染物質を回収するノズルシステムであって、
先端の押出口とはキャピラリーで連通する液溜を有するノズルと、
前記液溜の液体の一部を前記キャピラリーを通じて前記押出口から押出して試料表面を掃引し、掃引の途中で前記液体を前記キャピラリーを通じて前記液溜に吸引して内部液体と混合・希釈し、混合・希釈後の前記液溜の液体の一部を前記キャピラリーを通じて前記押出口から押出して掃引を再開する掃引手段
を具備することを特徴とするノズルシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008131536A JP4462577B2 (ja) | 2008-05-20 | 2008-05-20 | ノズルシステム |
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JP2008131536A JP4462577B2 (ja) | 2008-05-20 | 2008-05-20 | ノズルシステム |
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JP (1) | JP4462577B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011232182A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Ias Inc | 基板分析装置及び基板分析方法 |
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2008
- 2008-05-20 JP JP2008131536A patent/JP4462577B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2011232182A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Ias Inc | 基板分析装置及び基板分析方法 |
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