JP4897870B2 - 基板分析用ノズル及び基板分析方法 - Google Patents
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Description
20 外管
21 外気導入孔
30 シリンジポンプ
W ウェーハ
D 分析液
Claims (1)
- 先端から基板上に分析液を吐出し、吐出した分析液で基板表面を掃引した後に分析液を吸引する基板分析用のノズルを用いて基板を分析する方法において、
基板分析用ノズルは、分析液を吐出及び吸引するノズル本体と、掃引する分析液を取り囲むようノズル本体の外周に配された外管とからなる2重管で構成され、ノズル本体と外管との間を排気経路とする排気手段を有するとともに、外管先端に外気導入孔を有するものであり、
基板は、分析対象物を含み、ポリシリコン、タングステンシリサイド、チタン、窒化チタンのいずれかの膜を備える半導体基板又は半導体基板のウェーハ基材であり、
ノズル本体より基板に分析液を吐出し、排気手段により排気しながら分析液で基板表面を掃引した後、分析対象物を含む分析液をノズル本体に吸引することで、分析液により前記膜又はウェーハ基材を分解するエッチング工程と、分析液で分析対象物を回収する回収工程とを同時に行うことを特徴とする基板分析方法。
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