JP2011228645A - 半導体集積回路装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一対の拡散領域15、14を有する基板構造層10と、一対の電源配線41、42を有する配線層40と、第1電極21、誘電体22、第2電極23が積層するとともに、基板構造層10と配線層40との間にて、スタンダードセルが配置されるスタンダードセル領域1の外枠に沿って枠状に形成される容量20と、スタンダードセル領域1外において一方の電源配線41と一方の拡散領域15とを電気的に接続する第1基板コンタクト31と、スタンダードセル領域1外において他方の電源配線42と他方の拡散領域14とを電気的に接続する第2基板コンタクト32と、スタンダードセル領域1内において第1電極21と他方の拡散領域14とを電気的に接続する第1容量コンタクト34と、スタンダードセル領域1内において第2電極23と一方の電源配線41とを電気的に接続する第2容量コンタクト33と、を備える。
【選択図】図1
Description
10 基板構造層
11 第1ウェル
12 第2ウェル
13、13a、13b 第1拡散領域
14 第2拡散領域(他方の拡散領域)
15 第3拡散領域(一方の拡散領域)
16、16a、16b 第4拡散領域(所定の拡散領域)
17 ゲート電極
18 素子分離領域
20 容量(第1容量)
20a 引き出し部
21 第1電極
21a 引き出し部
22 誘電体
22a 引き出し部
23 第2電極
23a 引き出し部
31 第1基板コンタクト
32 第2基板コンタクト
33、33´ 第2容量コンタクト
34 第1容量コンタクト
35 第3基板コンタクト
36 第3容量コンタクト
37、37´ 第4容量コンタクト
38 第5容量コンタクト
39、39´ 第6容量コンタクト
40 配線層
41 第1電源配線(一方の電源配線)
41b 枝配線
42 第2電源配線(他方の電源配線)
42a 引き出し部
42b 枝配線
43 入力側配線
44 出力側配線
45 配線
46 配線
51 コンタクト
52 コンタクト
53 コンタクト
54 コンタクト
55 コンタクト
56 容量コンタクト
57 容量コンタクト
58 容量コンタクト
60 スタンダードセル
61、62 MISトランジスタ
70 容量(第2容量)
71 第1電極
72 誘電体
73 第2電極
75 容量(第3容量)
76 第1電極
77 誘電体
78 第2電極
80 容量(第4容量)
81 第1電極
82 誘電体
83 第2電極
85 容量(第5容量)
86 第1電極
87 誘電体
88 第2電極
90 容量
91 第1電極
92 誘電体
93 第2電極
Claims (34)
- 少なくとも所定の間隔をおいて配された一対の拡散領域を有する基板構造層と、
少なくとも所定の間隔をおいて配されるとともに前記一対の拡散領域と重なるように配された一対の電源配線を有する配線層と、
前記基板構造層側から順に第1電極、誘電体、第2電極が積層するとともに、前記基板構造層と前記配線層との間にて、少なくとも前記一対の電源配線の間におけるスタンダードセルが配置されるスタンダードセル領域の外枠に沿って当該外枠の内側に所定の幅で枠状に形成される容量と、
前記スタンダードセル領域外において、前記一対の拡散領域のうち一方の電源配線と前記一対の拡散領域のうち一方の拡散領域とを電気的に接続する第1基板コンタクトと、
前記スタンダードセル領域外において、前記一対の拡散領域のうち他方の電源配線と前記一対の拡散領域のうち他方の拡散領域とを電気的に接続する第2基板コンタクトと、
前記スタンダードセル領域内において、前記第1電極と前記他方の拡散領域とを電気的に接続する第1容量コンタクトと、
前記スタンダードセル領域内において、前記第2電極と前記一方の電源配線とを電気的に接続する第2容量コンタクトと、
を備えることを特徴とする半導体集積回路装置。 - 前記スタンダードセルは、DRAMを混載するとともに、矩形の枠内に基板コンタクトないしウェルコンタクトが設けられていないタップレス型のスタンダードセルであることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路装置。
- 前記容量の幅は、前記第1基板コンタクト及び前記第2基板コンタクトとショートしない幅に設定されていることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体集積回路装置。
- 前記基板構造層は、前記容量の枠の内側の領域において所定の拡散領域を有し、
前記他方の電源配線は、前記所定の拡散領域と重なる位置まで延在した引き出し部を有し、
前記所定の拡散領域は、前記他方の電源配線の前記引き出し部と第3基板コンタクトを介して電気的に接続され、
前記容量は、前記第3基板コンタクトが存在しない領域に拡張した部分を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の半導体集積回路装置。 - 前記容量は、前記一方の電源配線と重なる領域の辺から前記他方の電源配線側に延在した引き出し部を有することを特徴とする請求項4記載の半導体集積回路装置。
- 前記容量の前記引き出し部は、前記他方の電源配線の前記引き出し部、及び前記第3基板コンタクトと重ならないように形成されていることを特徴とする請求項5記載の半導体集積回路装置。
- 前記スタンダードセルは、前記スタンダードセル領域内において、前記一対の電源配線と前記基板構造層における構成部とを電気的に接続させる基板コンタクトを有さず、
前記容量は、前記一方の電源配線と重なる領域の辺から延在するとともに前記他方の電源配線と重なる領域の辺に繋がった引き出し部を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の半導体集積回路装置。 - 前記スタンダードセルは、前記スタンダードセル領域内において、前記一対の電源配線と前記基板構造層における構成部とを電気的に接続させる基板コンタクトを有さず、
前記容量は、前記スタンダードセル領域の全ての領域に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の半導体集積回路装置。 - 基板上にウェル及び拡散領域を有する基板構造層と、
前記基板構造層から所定の間隔をおいて配された一対の電源配線を有するとともに、前記一対の電源配線間に入力側配線及び出力側配線を有する配線層と、
基板上に論理回路を有するとともに、前記論理回路が前記一対の電源配線、前記入力側配線、及び前記出力側配線と電気的に接続されたスタンダードセルと、
前記基板構造層と前記配線層との間に配されるとともに、前記一対の電源配線と重なる領域を含む前記一対の電源配線間の領域に配された1つ以上の容量と、
を備え、
前記容量は、
前記一対の電源配線間、
前記一対の電源配線のうち一方の電源配線と前記入力側配線との間、
前記一対の電源配線のうち他方の電源配線と前記入力側配線との間、
前記一方の電源配線と前記出力側配線又は任意の配線との間、
前記他方の電源配線と前記出力側配線又は任意の配線との間、
のうちいずれか1つ以上の間に電気的に接続されていることを特徴とする半導体集積回路装置。 - 前記基板構造層は、前記一対の電源配線と重なる位置に配された一対の拡散領域を有し、
前記容量は、前記スタンダードセルの外周に沿って枠状又はU字状に形成され、前記一対の電源配線の両方と重なる領域に配された第1容量を有し、
前記一方の電源配線は、前記第1容量の外側の領域に配された第1基板コンタクトを介して前記一対の拡散領域のうち一方の拡散領域と電気的に接続され、
前記他方の電源配線は、前記第1容量の外側の領域に配された第2基板コンタクトを介して前記一対の拡散領域のうち他方の拡散領域と電気的に接続され、
前記第1容量は、一端が前記一方の電源配線と電気的に接続され、他端が前記他方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項9記載の半導体集積回路装置。 - 前記第1容量は、一端が容量コンタクト、前記一方の拡散領域、前記第1基板コンタクトを介して前記一方の電源配線と電気的に接続され、他端が容量コンタクトを介して前記他方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項10記載の半導体集積回路装置。
- 前記基板構造層は、前記一対の電源配線と重なる位置に配された一対の拡散領域を有し、
前記容量は、前記スタンダードセルの外周に沿って枠状又はU字状に形成され、前記一対の電源配線の両方と重なる領域に配された第1容量を有し、
前記一方の電源配線は、前記第1容量の外側の領域に配された第1基板コンタクトを介して前記一対の拡散領域のうち一方の拡散領域と電気的に接続され、
前記他方の電源配線は、前記第1容量の外側の領域に配された第2基板コンタクトを介して前記一対の拡散領域のうち他方の拡散領域と電気的に接続され、
前記第1容量は、一端が前記他方の電源配線と電気的に接続され、他端が前記一方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項9記載の半導体集積回路装置。 - 前記第1容量は、一端が容量コンタクト、前記他方の拡散領域、前記第2基板コンタクトを介して前記他方の電源配線と電気的に接続され、他端が容量コンタクトを介して前記一方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項12記載の半導体集積回路装置。
- 前記第1容量は、一定の幅に設定されていることを特徴とする請求項10乃至13のいずれか1つに記載の半導体集積回路装置。
- 前記容量は、前記スタンダードセルの領域内に配された第2容量を有し、
前記第2容量は、一端が前記一方の電源配線と電気的に接続され、他端が前記入力側配線又は前記出力側配線、若しくは、任意の配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項9乃至14のいずれか1つに記載の半導体集積回路装置。 - 前記第2容量は、一端が容量コンタクト、拡散領域、及び、基板コンタクトを介して前記一方の電源配線と電気的に接続され、他端が容量コンタクトを介して前記入力側配線又は前記出力側配線、若しくは、任意の配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項15記載の半導体集積回路装置。
- 前記容量は、前記スタンダードセルの領域内に配された第2容量を有し、
前記第2容量は、一端が前記出力側配線又は前記入力側配線と電気的に接続され、他端が前記一方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項9乃至14のいずれか1つに記載の半導体集積回路装置。 - 前記第2容量は、一端が容量コンタクト、拡散領域、基板コンタクトを介して前記出力側配線と電気的に接続され、他端が容量コンタクトを介して前記一方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項17記載の半導体集積回路装置。
- 前記第2容量は、一端が容量コンタクト、ゲート電極、コンタクトを介して前記入力側配線と電気的に接続され、他端が容量コンタクトを介して前記一方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項17記載の半導体集積回路装置。
- 前記容量は、前記スタンダードセルの領域内に配された第3容量を有し、
前記第3容量は、一端が前記他方の電源配線と電気的に接続され、他端が前記入力側配線又は前記出力側配線、若しくは、任意の配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項9乃至19のいずれか1つに記載の半導体集積回路装置。 - 前記第3容量は、一端が容量コンタクト、拡散領域、基板コンタクトを介して前記他方の電源配線と電気的に接続され、他端が容量コンタクトを介して前記入力側配線又は前記出力側配線、若しくは、任意の配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項20記載の半導体集積回路装置。
- 前記容量は、前記スタンダードセルの領域内に配された第3容量を有し、
前記第3容量は、一端が前記出力側配線又は前記入力側配線と電気的に接続され、他端が前記他方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項9乃至19のいずれか1つに記載の半導体集積回路装置。 - 前記第3容量は、一端が容量コンタクト、拡散領域、基板コンタクトを介して前記出力側配線と電気的に接続され、他端が容量コンタクトを介して前記他方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項22記載の半導体集積回路装置。
- 前記第3容量は、一端が容量コンタクト、ゲート電極、コンタクトを介して前記入力側配線と電気的に接続され、他端が容量コンタクトを介して前記他方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項22記載の半導体集積回路装置。
- 前記基板構造層は、前記一対の電源配線と重なる位置に配された一対の拡散領域を有し、
前記容量は、前記一方の電源配線と重なる領域、乃至、前記論理回路と重なる領域に配された第4容量を有し、
前記一方の電源配線は、前記第4容量と重ならない領域に配された第1基板コンタクトを介して前記一対の拡散領域のうち一方の拡散領域と電気的に接続され、
前記他方の電源配線は、第2基板コンタクトを介して前記一対の拡散領域のうち他方の拡散領域と電気的に接続され、
前記第4容量は、一端が前記一方の電源配線と電気的に接続され、他端が前記出力側配線又は前記入力側配線、若しくは、任意の配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項9記載の半導体集積回路装置。 - 前記第4容量は、一端が容量コンタクト、前記一方の拡散領域、前記第1基板コンタクトを介して前記一方の電源配線と電気的に接続され、他端が容量コンタクトを介して前記出力側配線又は前記入力側配線、若しくは、任意の配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項25記載の半導体集積回路装置。
- 前記容量は、前記他方の電源配線と重なる領域、乃至、前記論理回路と重なる領域に配された第5容量を有し、
前記他方の電源配線は、前記第5容量と重ならない領域に配された前記第2基板コンタクトを介して前記一対の拡散領域のうち他方の拡散領域と電気的に接続され、
前記第5容量は、一端が前記他方の電源配線と電気的に接続され、他端が前記出力側配線又は前記入力側配線、若しくは、任意の配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項9、25及び26のいずれか1つに記載の半導体集積回路装置。 - 前記第5容量は、一端が容量コンタクト、前記他方の拡散領域、前記第2基板コンタクトを介して前記他方の電源配線と電気的に接続され、他端が容量コンタクトを介して前記出力側配線又は前記入力側配線、若しくは、任意の配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項27記載の半導体集積回路装置。
- 前記容量は、前記一方の電源配線と重なる領域、乃至、前記論理回路と重なる領域に配された第4容量を有し、
前記第4容量は、一端が前記出力側配線又は前記入力側配線と電気的に接続され、他端が前記一方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項9記載の半導体集積回路装置。 - 前記第4容量は、一端が容量コンタクト、拡散領域、基板コンタクトを介して前記出力側配線と電気的に接続され、他端が容量コンタクトを介して前記一方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項29記載の半導体集積回路装置。
- 前記第4容量は、一端が容量コンタクト、ゲート電極、コンタクトを介して前記入力側配線と電気的に接続され、他端が容量コンタクトを介して前記一方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項29記載の半導体集積回路装置。
- 前記容量は、前記他方の電源配線と重なる領域、乃至、前記論理回路と重なる領域に配された第5容量を有し、
前記第5容量は、一端が前記出力側配線又は前記入力側配線と電気的に接続され、他端が前記他方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項9、29乃至31のいずれか1つに記載の半導体集積回路装置。 - 前記第5容量は、一端が容量コンタクト、拡散領域、基板コンタクトを介して前記出力側配線と電気的に接続され、他端が容量コンタクトを介して前記他方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項32記載の半導体集積回路装置。
- 前記第5容量は、一端が容量コンタクト、ゲート電極、コンタクトを介して前記入力側配線と電気的に接続され、他端が容量コンタクトを介して前記他方の電源配線と電気的に接続されることを特徴とする請求項32記載の半導体集積回路装置。
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