JP2011195337A - 希土類元素ホウ化物部材およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】希土類ホウ化物、特に、LaB6の焼結体は汚染物質が大量に内在し、スパッタッ部材等に適さないことが判明した。
【解決手段】従来のLaB6焼結体の汚染は空孔が大量に存在するためであるとの新しい知見に基づき、LaB6成形体をホットプレス炉でプレスした後、更に、HIP処理することにより、空孔を減少させ、空隙率が7体積%以下、好ましくは1体積%以下にすることにより、汚染物質の少ない部材を形成できる。
【選択図】 図14
【解決手段】従来のLaB6焼結体の汚染は空孔が大量に存在するためであるとの新しい知見に基づき、LaB6成形体をホットプレス炉でプレスした後、更に、HIP処理することにより、空孔を減少させ、空隙率が7体積%以下、好ましくは1体積%以下にすることにより、汚染物質の少ない部材を形成できる。
【選択図】 図14
Description
本発明は、希土類元素ホウ化物によって形成された部材およびその製造方法に関し、特に、LaB6部材およびその製造方法に関する。
一般に、LaB6,YB6,GdB6,CeB6等の希土類元素ホウ化物によって形成された部材は、耐久性が高く且つ低電流動作で長期間に亘って高い発光効率を有しているため、特許文献1に示されているように、液晶バックライト光源を構成する冷陰極蛍光ランプのエミッタとして利用されている。また、特許文献1では、上記希土類ホウ化物からなるエミッタを円筒状カップに流し塗り、乾燥、焼結することによって形成している。即ち、希土類元素ホウ化物部材は、通常、焼結によって形成するのが普通である。
一方、本発明者等は、先に、特許文献2において、希土類ホウ化物膜、特に、LaB6膜を電極部材上にスパッタリングによって形成することにより、高輝度、高効率、及び長寿命の希土類ホウ化物部材として陰極体が得られることを提案した。このように、希土類ホウ化物部材をスパッタリングする場合、スパッタリング用ターゲット部材が必要である。
いずれにしても、仕事関数が低いという特徴のためにターゲット部材、陰極体部材、電極部材その他の部材に使われる希土類ホウ化物部材、特に、LaB6部材は、一般に、高純度粉末を焼結して作られている。
しかしながら、本発明者等の実験によれば、純度99体積%の希土類ホウ化物粉末をターゲットとして使用して、スパッタリングを行った場合、良好なスパッタ膜が得られないことが判明した。即ち、スパッタされた膜に有機物、水分等の汚染物が大量に含まれていることが判った。
本発明者等の研究によれば、希土類ホウ化物、特に、LaB6粉末の純度が99体積%であっても、焼結部材には多数の孔が開いていて、体積で密度は80%程度(即ち、空隙率が20%程度)であり、空気や水分起因の酸素や、孔に取り込まれた有機物起因の炭素が大量に含まれていることを見出した。
このようなLaB6部材をスパッタのターゲットに使うと、スパッタされた膜に大量の汚染物(有機物や水分)が含まれることになる。スパッタ成膜の際に基板を高温にし、且つ、スパッタされた膜を高純度Arガス中で600〜800℃の高温アニールすることにより、スパッタされた膜中の汚染物を除去することができ、これによって、抵抗および仕事関数が低いLaB6膜を得ることができた。
換言すれば、LaB6ターゲット部材は、使用前に800℃の熱処理を行って、水分や有機物を除去しなければ、スパッタ膜中の汚染物を低減できない。このように、熱処理されたターゲット部材を使用しても、X線光電子分光法で評価した結果、内部には酸素・カーボンが5%程度存在し、一度大気に触れると再汚染されてしまうと云う現象が見出された。
これは、ターゲット部材表面は酸化されているので、空孔の表面にも酸化物が形成されているためであると考えられる。具体的に説明すると、表面が酸化されたターゲット部材がスパッタされると、最初の空スパッタでターゲット部材表面の酸化物は除去できても、スパッタが進行して空孔表面の酸化物からの酸素や付着有機物がスパッタ膜にとりこまれて、結局は酸素や炭素で汚染されてしまうことになる。したがって、ターゲット部材を使用前に熱処理したとしても、基板を高温にしてスパッタし、且つ、スパッタ膜を高温でアニールしなければ、低い仕事関数は得られない。
このような余分な工程はコスト高を招くし、有機ELのように基板を高温にすることが出来ない場合もある。
このような従来の問題は、希土類ホウ化物部材、特に、LaB6部材の内部に空孔が多いことが原因であることを見出し、本発明はこのような問題を解決することを目的とする。
本発明の第1の態様によれば、実質的に希土類元素のホウ化物からなり、空隙率が7体積%以下であることを特徴とする部材が得られる。
本発明の第2の態様によれば、実質的にLaB6からなり、空隙率が7体積%以下であることを特徴とする部材が得られる。
本発明の第3の態様によれば、実質的にLaB6からなり、空隙率が1体積%以下であることを特徴とする部材が得られる。
本発明の第4の態様によれば、実質的にLaB6からなり、表面および内部に孔が実質的に無いことを特徴とする部材が得られる。
本発明の第5の態様によれば、スパッタリング用ターゲット部材であることを特徴とする第1乃至4の態様のいずれかに記載の部材が得られる。
本発明の第6の態様によれば、陰極体用部材であることを特徴とする第1乃至4の態様のいずれかに記載の部材が得られる。
本発明の第7の態様によれば、電極用部材であることを特徴とする第1乃至4の態様のいずれかに記載の部材が得られる。
本発明の第8の態様によれば、実質的にLaB6からなる粉末を成形する工程と、該工程で生じた成形体をホットプレスにて加熱しつつ圧縮する工程とを有することを特徴とするLaB6部材の製造方法が得られる。
本発明の第9の態様によれば、前記加熱しつつ圧縮する工程は、温度が1800℃以上、圧力が30MPa以上で行われることを特徴とする第8の態様に記載のLaB6部材の製造方法が得られる。
本発明の第10の態様によれば、前記加熱しつつ圧縮する工程の後に、加熱しつつ高圧気体にて等方性の圧縮を行う工程を有することを特徴とする第8または9の態様に記載のLaB6部材の製造方法が得られる。
本発明の第11の態様によれば、前記等方性の圧縮を行う工程は、温度が1850℃以上、圧力が150MPa以上で行われることを特徴とする第10の態様に記載のLaB6部材の製造方法が得られる。
本発明では、ターゲットとして用いてスパッタリングを行った場合、有機物、酸素、及び炭素等の不純物の少ない部材を得ることができる。
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。尚、ここでは、希土類ホウ化物として、LaB6を用いた場合についてのみ説明するが、本発明は何等これに限定されるものでは無い。
図1は、本発明に係る処理を行なう前におけるLaB6部材の状態を示すSEM写真である。この例では、純度99体積%のLaB6粉末を焼結した焼結体のSEM画像(×2000)が示されている。図示されているように、焼結体の表面には、多数の空孔が形成されている。この焼結体を図2に示す昇温プロファイルにて昇温した。即ち、室温で10時間保持した後、5℃/minの昇温速度で800℃まで昇温し、800℃の温度に30分間保持した。この昇温中、高純度Arガスを流してAPI−MS測定を行うと、400℃では図3のマススペクトルで示すように大量の汚染物質が観測された。
一方、図4に示すように、800℃、30分維持で汚染は減るが、このように、熱処理された焼結体を大気暴露して400℃まで加熱して再度測定すると、図5に示すように、また、汚染物質に伴うスペクトルが現われ、再度、汚染されていることが判る。この状態で、800℃の温度で再高温処理を行なうと、図6のように、再高温処理で汚染物質の量を減少させることができる。
本発明は、従来のLaB6焼結体に内在する大量の汚染物質が従来のLaB6焼結体の空孔による(相対密度が低いことによる)との新規な知見に基づき、焼結体の空孔、即ち、空隙率を減少させることならびにその手法を提案する。尚、本発明の実施例では、LaB6焼結体について説明するが、本発明は焼結されたLaB6部材には限定されない。
図7を参照すると、本発明の実施例で使用したホットプレス炉が示されている。図示されたホットプレス炉は、炉壁内に、断熱材12及びヒーター14を配置し、当該炉内にアルゴンガスを導入するガス導入系と、ポンプによって炉内を排気できる排気系を備えている。また、炉内には、カーボンによって形成された型(ダイス)16が設けられ、当該ダイス16はダイス受け台18によって支持され、ダイス16上部にはパンチ22が設けられている。ダイス16内に配置されたLaB6の成形体20は、パンチ22とダイス受け台18とにより、油圧によりプレスされる。
このホットプレス炉により、1,800℃、1時間、30または40MPaの圧力でLaB6の成形体をプレスし、ホットプレス体を得た。
図8を参照すると、ホットプレス体のSEM画像が示されている。図8からも明らかな通り、LaB6ホットプレス体の表面における空孔が大幅に減少している。
図9を参照すると、ホットプレス後のLaB6ホットプレス体の相対密度が示されている。図の横軸は、ホットプレス時の温度(℃)、圧力(MPa)、およびホットプレス時間(hour)を示し、縦軸は相対密度を示している。図からも明らかな通り、ホットプレスの温度1,800℃以上、圧力30MPa以上で、相対密度が93〜95%(空隙率7〜5%)になっているのがわかる。
図10および11を参照すると、ホットプレス後のLaB6ホットプレス体を400℃及び800℃で熱処理した場合におけるマススペクトルが示されており、いずれの温度においても汚染物質が大幅に減少していることが判る。ホットプレス後のLaB6ホットプレス体を使用することによって、従来用いられているターゲットに比較して汚染物質の少ないLaB6部材を構成できる。
本発明では、更に空孔を減少させるために、LaB6のホットプレス体をHIP(Hot Isostatic Pressing)処理した。HIP処理は温度と全方向からの(等方的)圧力の相乗効果を利用して空孔を減少させることができる。
図12は、1,800℃、40MPaでホットプレスしたLaB6ホットプレス体(密度93.5%)の表面拡大を示し、この状態では、未だ空孔が若干存在している。これを150MPaで1時間、1800℃および1850℃で、HIP処理炉で処理した。加圧は高純度Arガスを用いて行った。その結果を図13および14にそれぞれ示す。1,800℃処理したLaB6部材は若干空孔が存在しているが、1850℃処理のLaB6部材は空孔がほとんど無くなっている。この結果、図14に示されたLaB6部材の密度は約100%(99%以上)であった。また、不純物成分としてはカーボンが0.1%以下、酸素は1.6%まで低減された。この酸素は、焼結材料であるLaB6膜粉末に含まれている成分であり、材料粉末を高純度化することでさらに酸素を低減することが可能である。このターゲットを用いて低仕事関数(3eV以下)の薄膜を、室温で成膜して成膜後の熱処理無しで実現することができた。
本発明によるLaB6等の希土類元素ホウ化物部材は、スパッタリングに用いられるターゲット部材に適用できるだけでなく、冷陰極蛍光ランプの陰極部材、その他の電極部材を形成するのにも適用できる。更に、本発明は、熱処理を行うことなく、低仕事関数を有するLaB6薄膜を実現できる。また、本発明は、LaB6だけでなく、他の希土類ホウ化物元素(例えば、LaB4,YB6,GdB6,CeB6)等にも適用できる。
12 断熱材
14 ヒーター
16 ダイス
18 ダイス受け台
20 LaB6焼結体
22 パンチ
14 ヒーター
16 ダイス
18 ダイス受け台
20 LaB6焼結体
22 パンチ
Claims (11)
- 実質的に希土類元素のホウ化物からなり、空隙率が7体積%以下であることを特徴とする部材。
- 実質的にLaB6からなり、空隙率が7体積%以下であることを特徴とする部材。
- 実質的にLaB6からなり、空隙率が1体積%以下であることを特徴とする部材。
- 実質的にLaB6からなり、表面および内部に孔が実質的に無いことを特徴とする部材。
- スパッタリング用ターゲット部材であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の部材。
- 陰極体用部材であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の部材。
- 電極用部材であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の部材。
- 実質的にLaB6からなる粉末を成形する工程と、該工程で生じた成形体をホットプレスにて加熱しつつ圧縮する工程とを有することを特徴とするLaB6部材の製造方法。
- 前記加熱しつつ圧縮する工程は、温度が1800℃以上、圧力が30MPa以上で行われることを特徴とする請求項8に記載のLaB6部材の製造方法。
- 前記加熱しつつ圧縮する工程の後に、加熱しつつ高圧気体にて等方性の圧縮を行う工程を有することを特徴とする請求項8または請求項9に記載のLaB6部材の製造方法。
- 前記等方性の圧縮を行う工程は、温度が1850℃以上、圧力が150MPa以上で行われることを特徴とする請求項10に記載のLaB6部材の製造方法。
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