JP2011177758A - レーザー加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワークの被加工面に水溶性液状樹脂を供給して被加工面を保護する保護膜を形成する保護膜形成機構7と、ワークを被加工面の反対面から保持する保持テーブルと、ワークの被加工面側からレーザービームを照射するレーザー照射機構とを有するレーザー加工装置において、保護膜形成機構7は、水溶性液状樹脂を送り出すポンプ92と、ポンプ92の上流側の配管内の圧力を検出する圧力検出部91と、圧力検出部91によって検出された圧力に基づいてポンプの動作を制御する制御部95とを有し、圧力検出部91がポンプ上流の配管内の圧力を検出し、その圧力に基づいて制御部95がポンプ92の動作を制御することにより、気泡を発生させることなく最速で保護膜を形成することを可能とする。
【選択図】図2
Description
2:保持テーブル
3:レーザー照射機構 30:照射ヘッド
4:送り機構
5:X方向送り機構
50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:モータ 53:スライド板
54:回転駆動部
6:Y方向送り機構
60:ボールネジ 61:ガイドレール 62:モータ 63:スライド板
7:保護膜形成機構
70:回転テーブル 71:固定部 72:滴下部 73:軸部 74:アーム部
8:搬送機構
80:ボールネジ 81:ガイドレール 82:モータ 83:移動ブロック
84:昇降部 85:ワーク保持部
9:液状樹脂希釈手段
90:タンク 91:圧力検出部 92:第一のポンプ部 93:混合部
94:第二のポンプ部 95:制御部 96:アラーム 97:濃度検出部
10:壁部
W:ワーク W1:被加工面 C:回路 S:ストリート
P:保護膜
Claims (1)
- ワークの被加工面に水溶性液状樹脂を供給して該被加工面を保護する保護膜を形成する保護膜形成機構と、
該保護膜が該被加工面に形成されたワークを該被加工面の反対面から保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持されたワークの該保護膜が形成された該被加工面側からレーザービームを照射するレーザー照射機構と、
を有するレーザー加工装置であって、
該保護膜形成機構は、
該水溶性液状樹脂を送り出すポンプと、
該ポンプの上流側の配管内の圧力を検出する圧力検出部と、
該圧力検出部によって検出された圧力に基づいて該ポンプの動作を制御する制御部と、
を有するレーザー加工装置。
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