CN109765293B - 检查器、液体提供装置和保护膜包覆装置 - Google Patents

Abstract

提供检查器、液体提供装置和保护膜包覆装置，对流动于管路的液体中有无气泡进行检查。该检查器配设在作为液体的流路的管路上，其具有：两个超声波振子，它们配设在该管路的上游侧和下游侧；和控制部，其与该两个超声波振子电连接，该控制部具有振幅计算部、判定部和振幅范围登记部，振幅计算部根据对由该两个超声波振子的一方产生并在流动于该管路的液体中传播的第一超声波利用该两个超声波振子的另一方进行观测而得的波形信息计算出该第一超声波的振幅，在该振幅范围登记部中登记有在混入有气泡的该液体中传播的超声波的振幅的范围，该判定部在该第一超声波的振幅在该振幅的范围内的情况下，判定为在该液体中混入了气泡。

Description

检查器、液体提供装置和保护膜包覆装置

技术领域

本发明涉及对在管路中流动的液体进行检查的检查器、具有该检查器的液体提供装置、以及具有该液体提供装置的保护膜包覆装置。

背景技术

在具有对半导体晶片或板状的基板等被加工物进行加工的加工单元的加工装置中，对该被加工物或该加工单元提供各种液体或液态混合物。该加工装置包含液体提供装置(液体提供单元)，该液体提供装置(液体提供单元)具有：该液体等的提供源；喷出该液体等的喷出口；以及将该提供源和该喷出口连接起来的管路。在该加工装置中，为了使该加工装置适当地运转，使规定的温度和浓度的该液体等按照规定的流量和流速在该管路中流动。

作为对在该管路中流动的该液体等的流量和流速进行测量的测量器，已知有配设在该管路中的超声波流量计(参照专利文献1和专利文献2)。该超声波流量计使超声波在作为在该管路内流动的测量对象的该液体等中传播，对从上游侧向下游侧传播的超声波的速度和从下游侧向上游侧传播的超声波的速度进行比较，从而对该液体等的流速进行测量，根据该流速计算出流量。

但是，在该加工装置中使用的该液体等例如是纯水或酸性溶液、碱溶液、其他溶液等液体。也包含使浆料(悬浊液)等固体颗粒分散在该液体中而得的液态混合物。

另外，该液体例如是为了防止对该被加工物进行激光加工时产生的碎屑等污染该被加工物的正面而涂布在该正面上的液态树脂。当利用保护膜包覆装置将液态树脂涂布在被加工物的正面时，由液态树脂形成的保护膜形成在被加工物的正面上。已知有这样的使用各种液体的加工装置(参照专利文献3和专利文献4)。

专利文献1：日本特开2011-7763号公报

专利文献2：日本特开2015-206593号公报

专利文献3：日本特开2003-257905号公报

专利文献4：日本特开2010-194672号公报

有时在流动于该液体提供装置的该管路中的该液体中混入气泡。当在流动于该管路中的该液体中混入气泡时，有时无法按照规定的条件将该液体提供至该加工装置的规定的部位。另外，当在该液体中混入气泡时，有时无法利用检查器正确地测量该液体的流速、流量等，从而无法准确地控制该液体的流速、流量等。

另外，在要涂布至该被加工物的正面的该液态树脂在该管路中流动的保护膜包覆装置中，当在该液态树脂中混入气泡时，气泡也会残留于形成在该被加工物上的保护膜中。当在保护膜中存在气泡时，有时激光束照射至该保护膜的气泡部分，或由于激光加工产生的碎屑到达该气泡部分。即，不能适当地保护该被加工物的正面。

因此，在气泡混入到流动于该管路中的液体中的情况下，希望迅速地检测到该气泡。

发明内容

本发明是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供能够对在流动于管路中的液体中有无气泡进行检查的检查器、具有该检查器的液体提供装置以及具有该液体提供装置的保护膜包覆装置。

根据本发明的一个方式，提供检查器，其配设在作为液体的流路的管路上，其特征在于，该检查器具有：两个超声波振子，它们配设在该管路的上游侧和下游侧；以及控制部，其与该两个超声波振子电连接，该控制部具有振幅计算部、判定部以及振幅范围登记部，振幅计算部根据对由该两个超声波振子的一方产生并在流动于该管路的液体中传播的第一超声波利用该两个超声波振子的另一方进行观测而得到的波形信息计算出该第一超声波的振幅，在该振幅范围登记部中登记有在混入了气泡的该液体中传播的超声波的振幅的范围，在该振幅计算部计算出的该第一超声波的振幅在该振幅范围登记部所登记的该振幅的范围内的情况下，该判定部判定为在该液体中混入了气泡。

另外，在本发明的一个方式中，也可以是，该控制部还具有传播时间计算部和传播时间范围登记部，在该液体中溶解或分散有物质，该传播时间计算部根据对由该两个超声波振子的该一方产生并在流动于该管路的液体中传播的该第一超声波利用该两个超声波振子的该另一方进行观测而得到的波形信息计算出该第一超声波的传播时间，并且，该传播时间计算部根据对由该两个超声波振子的该另一方产生并在流动于该管路的液体中传播的第二超声波利用该两个超声波振子的该一方进行观测而得到的波形信息计算出该第二超声波的传播时间，该传播时间计算部对该第一超声波的传播时间和该第二超声波的传播时间进行平均而计算出平均传播时间，在该传播时间范围登记部中登记有在按照不是规定浓度的浓度溶解或分散有物质的该液体中传播的超声波的平均传播时间的范围，在该判定部未判定为在该液体中混入了气泡、并且该传播时间计算部所计算出的该平均传播时间在该传播时间范围登记部所登记的该平均传播时间的范围内的情况下，该判定部判定为该液体的浓度不是规定浓度。

另外，在本发明的一个方式中，也可以是，还具有对该液体的温度进行测量的液体温度测量器，该液体温度测量器对在该管路中流动的液体的温度进行测量，将该液体的温度传递至该判定部，该判定部参照该液体的温度对判定的内容进行校正。

另外，本发明的一个方式是液体提供装置，其具有：该管路；该液体的提供源，其与该管路的一端连接；泵，其从该液体的提供源向该管路的另一端提供该液体；以及本发明的一个方式的检查器，其设置在该管路上。另外，本发明的一个方式是保护膜包覆装置，其将液态树脂包覆在晶片的正面上而形成保护膜，其特征在于，该保护膜包覆装置具有：能够旋转的卡盘工作台，其对晶片进行保持；以及本发明的一个方式的液体提供装置，其对该卡盘工作台所保持的晶片的正面提供该液态树脂。

本发明的一个方式的检查器配设在作为检查对象的液体流动的管路上。该检查器具有：两个超声波振子，它们设置在该管路的上游侧和下游侧；以及控制部，其与该两个该超声波振子电连接。在该检查器中，利用一方的超声波振子产生超声波，利用另一方的超声波振子对在流动于管路中的液体中传播的该超声波进行观测。振幅计算部计算出所观测的该超声波的振幅。

当气泡混入至流动于该管路中的液体中时，在该液体中传播的超声波的传递路径相应地减少，所观测的超声波的振幅降低。本发明的一个方式的检查器的控制部所具有的振幅范围登记部登记有在混入有气泡的该液体中传播的超声波的振幅的范围。并且，该控制部所具有的判定部在该振幅计算部所计算出的该超声波的振幅在该振幅范围登记部所登记的该振幅的范围内的情况下，判定为在该液体中混入了气泡。

因此，例如当将本发明的一个方式的检查器组装至液体提供装置时，能够检测到气泡混入至该液体提供装置的管路中。

因此，根据本发明的一个方式，提供能够对在流动于管路中的液体中有无气泡进行检查的检查器、具有该检查器的液体提供装置、以及具有该液体提供装置的保护膜包覆装置。

附图说明

图1是示意性示出液体提供装置的图。

图2是示意性示出配设在管路上的检查器的图。

图3的(A)是示意性示出利用超声波振子观测的超声波的波形的一例的图，图3的(B)是示意性示出振幅不同的两个超声波的波形的图。

图4是示意性示出具有液体提供装置的加工装置的一例的立体图。

图5的(A)是示意性示出液态树脂涂布单元所进行的液态树脂的涂布的剖视图，图5的(B)是示意性示出激光加工单元所进行的晶片的激光加工的剖视图。

标号说明

2：液体提供装置；4、88：卡盘工作台；6：液体喷出部；8：液体；10：晶片；10a：正面；10b：背面；10c：带；10d：框架；10e：器件；10f：碎屑；12：管路；14：液体的提供源；16：泵；18：检查器；20：气泡；22a、22b：超声波振子；24：控制部；26：切换部；28：电源；30：放大器；32：计算部；34：振幅计算部；36：判定部；38：振幅范围登记部；40：传播时间计算部；42：传播时间范围登记部；44：液体温度测量器；46：液体温度计算部；48、50、58、60：超声波的波形；52：第一传播时间；54：第二传播时间；56：平均传播时间；62a、62b：超声波的振幅；64：激光加工装置；66：装置基台；68：盒载置台；70：盒；72：导轨；74：Y轴导轨；76：Y轴移动板；78：Y轴滚珠丝杠；80：Y轴脉冲电动机；82：X轴导轨；84：X轴移动板；86：X轴滚珠丝杠；90：夹具；92：支承部；94：激光加工单元；96：加工头；98：液态树脂涂布单元；100：清洗单元；102：保护膜；104：加工槽。

具体实施方式

参照附图，对本发明的一个方式的实施方式进行说明。本实施方式的检查器例如在对半导体晶片等被加工物进行加工的加工装置中组装至对加工单元或该被加工物等提供各种液体的液体提供装置。该液体提供装置具有作为该液体的送液路的管路，该检查器配设在该管路上。该检查器能够对有无气泡混入到流动于该管路中的液体中进行检查。

该液体例如是纯水、酸性溶液、碱溶液、其他溶液等。也包含使浆料(悬浊液)等固体颗粒分散在该液体中而得的液态混合物。另外，该液体是后述的水溶性的液态树脂。碱溶液例如是溶解有氢氧化钾、氢氧化钠、氢氧化四甲铵、碳酸钾、碳酸氢钠或碳酸氢钾中的任一种或多种的溶液。

接着，使用图1对具有用于对规定的部位提供液体的管路和该检查器的液体提供装置的一例进行说明。图1是示意性示出液体提供装置2的图。该液体提供装置2具有：该管路12；该液体的提供源14，其与该管路12的一端连接；以及泵16，其从该液体的提供源14向该管路12的另一端提供该液体。该液体提供装置2具有对利用加工装置进行加工的晶片10提供收纳在该液体的提供源14的液体8的功能。

设置在该管路12的该另一端的液体喷出部6配设在对该晶片10等被加工物进行保持的卡盘工作台4的上方。该液体喷出部6具有将通过该管路12而从该液体的提供源14提供的液体8喷出至该卡盘工作台4所保持的晶片10等的功能。该液体喷出部6对该晶片10等的正面提供作为液体8的例如水溶性的液态树脂。

当将在正面上形成有多个器件的晶片10按照每个该器件进行分割时，能够形成多个器件芯片。在对该晶片10进行分割时，将该晶片10具有吸收性的波长的激光束照射至该晶片10的规定的加工预定位置，通过烧蚀加工在晶片10上形成加工槽。当对该晶片10进行烧蚀加工时，产生被称为碎屑的加工屑，飞散至该晶片10的正面上，但当碎屑附着于该晶片10的正面时，并不容易去除。

因此，在实施烧蚀加工之前预先将该水溶性的液态树脂提供至该晶片10的正面上，在该晶片10的正面上形成保护膜。于是，在烧蚀加工中产生的碎屑附着于该保护膜上，因此碎屑不会直接附着于该晶片10。然后，当利用含有水的清洗液对该晶片10的正面进行清洗时，碎屑连同该保护膜一起被冲洗，因此碎屑不容易残留在该晶片10的正面上。即，通过该保护膜来保护该晶片10的正面免受碎屑的影响。

在流动有该液态树脂等液体8的管路12中，有时在该液体8中混入气泡。当将混入有气泡的液体8提供至该晶片10而形成保护膜时，气泡也残留在该保护膜中。当激光束照射至保护膜的气泡部分、或由于激光加工产生的碎屑到达该气泡部分时，碎屑会附着在晶片10的正面上。即，当在流动于该管路12中的液体8中混入气泡时，无法利用该保护膜适当地保护该晶片10的正面。

另外，在该液态树脂以外的液体流动于该管路12中的情况下，也有时在流动于该管路12中的液体8中混入气泡。当在该液体8中混入气泡时，有时无法利用流量计等正确地测量该液体8的流速、流量等，从而无法准确地控制该液体8的流速、流量等。另外，当在溶解或分散有物质的液体8中混入气泡时，有时无法以高的精度测量在该管路12中流动的该液体8的浓度。

因此，在该管路12上配设本实施方式的检查器18。该检查器18具有如下的功能：对在该管路12内流动的液体8进行检查，当气泡混入到该液体8中时检测出该气泡的混入。以下，对该检查器18进行详细叙述。

该检查器18具有：两个超声波振子22a、22b，它们配设在流动有液体8的该管路12的上游侧和下游侧；以及控制部24，其与该两个超声波振子22a、22b电连接。图2是示意性示出配设在管路12上的检查器18的剖视图。在图2中示意性示出该控制部24的结构例。

两个该超声波振子22a、22b能够产生超声波并使该超声波传播至流动于管路12中的液体8中。另外，该超声波振子22a、22b能够对传播至该超声波振子22a、22b的超声波进行观测。

例如当使该两个超声波振子22a、22b的一方产生超声波时，该超声波传播至流动于管路12中的液体8中。能够利用该两个超声波振子22a、22b的另一方对传播至该液体中的超声波进行观测。同样地，当使该两个超声波振子22a、22b的该另一方产生超声波时，能够利用该两个超声波振子22a、22b的该一方对该超声波进行观测。

该检查器18还具有控制部24，该控制部24与该两个超声波振子22a、22b电连接。该控制部24对检查器18所进行的超声波测量进行控制。该控制部24具有切换部26，该切换部26与该两个该超声波振子22a、22b电连接。该切换部26具有对产生超声波的超声波振子22a、22b和观测该超声波的超声波振子22a、22b进行切换的功能。

该切换部26与电源28电连接，使该电源28与两个超声波振子22a、22b的一方连接而使该超声波振子产生超声波。另外，该切换部26与放大器30电连接，使两个超声波振子22a、22b的另一方与该放大器30连接。将到达该超声波振子的另一方的该超声波转换成包含波形信息的电信号，该电信号被发送至该放大器30。在该电信号中例如包含将该超声波转换成电压值的波形信息。

该放大器30与该检查器18的计算部32电连接，将包含该波形信息在内的电信号放大而发送至该计算部32。该计算部32具有：振幅计算部34、判定部36、振幅范围登记部38、传播时间计算部40、传播时间范围登记部42、以及与对该液体8的温度进行测量的液体温度测量器44连接的液体温度计算部46。包含利用该放大器30放大的波形信息的电信号被传递至计算部32的该振幅计算部34和该传播时间计算部40。

该传播时间计算部40根据对由该两个超声波振子的一方产生并在流动于该管路12中的液体8中传播的超声波(第一超声波)利用该两个超声波振子的另一方进行观测而得到的波形信息，计算出该超声波的传播时间作为第一传播时间。另外，该传播时间计算部40根据利用该两个超声波振子的该一方对由该两个超声波振子的该另一方产生并在流动于该管路12中的液体8中传播的超声波(第二超声波)进行观测而得到的波形信息，计算出该超声波的传播时间作为第二传播时间。

图3的(A)是示意性示出利用两个超声波振子22a、22b观测的超声波的波形的一例的图。在图3的(A)中示意性示出由上游侧的超声波振子产生并利用下游侧的超声波振子观测的超声波的波形48的一例。另外，在图3的(A)中示意性示出由下游侧的超声波振子产生并利用上游侧的超声波振子观测的超声波的波形50的一例。

该两个超声波振子22a、22b包含压电元件，到达该超声波振子22a、22b的超声波通过该压电元件转换成反映出超声波的振幅的电压的电信号。例如是由该图的横轴表示超声波的传播时间、该图的纵轴表示超声波的振幅(强度)的观测电压值。

在管路12中流动的液体8按照规定的流速从上游侧向下游侧流动，因此在流动于管路12中的液体8中传播的超声波的速度受到该液体8的流动的影响。例如，从上游侧向下游侧传播的超声波的传播速度比在静止的该液体8中传播的超声波的传播速度快，从下游侧向上游侧传播的超声波的传播速度比在静止的该液体8中传播的超声波的传播速度慢。

因此，第一传播时间52小于第二传播时间54。在管路12中流动的液体8的流速越快，则在该液体8中传播的超声波的传播时间之差越大。该传播时间计算部40对所计算出的该第一传播时间52和该第二传播时间54的平均值进行计算来作为平均传播时间56。该传播时间计算部40与该判定部36连接，将所计算出的该平均传播时间56传递至该判定部36。

在溶解或分散有物质的液体8在管路12中流动的情况下，在该液体8中传播的超声波的传播速度由于该液体8的浓度而发生变化，因此通过监视在液体8中传播的超声波的传播时间，能够检测到该液体8的浓度产生异常。在传播时间范围登记部42中登记有超声波在按照不是规定浓度的浓度溶解或分散有物质的该液体8中传播的传播时间的范围，例如该平均传播时间56的范围。

该传播时间范围登记部42将在按照不是规定浓度的浓度溶解或分散有物质的该液体8中传播的该超声波的所登记的传播时间的范围传递至该判定部36。在该平均传播时间56在该传播时间范围登记部42所登记的该传播时间的范围内的情况下，该判定部36能够判定为该液体8的浓度不是规定浓度，即该液体8的浓度产生异常。

另外，该传播时间范围登记部42所登记的超声波的传播时间的范围不限于该液体8的浓度异常的情况下的该超声波的传播时间的范围。也可以是，在该传播时间范围登记部42中例如登记该液体8的浓度正常的情况下的超声波的传播时间的范围，该传播时间范围登记部42将该超声波的传播时间的范围传递至该判定部36。在该情况下，在该平均传播时间56偏离该传播时间的范围的情况下，该判定部36判定为该液体8的浓度不是规定浓度，即该液体8产生异常。

另外，也可以是，该传播时间范围登记部42所登记的超声波的传播时间的范围登记有第一传播时间52或第二传播时间54的正常时或异常时的范围，而不是该平均传播时间56的正常时或异常时的范围。通过使该液体8流入管路12的泵16来确定该液体8的流速，因此在通过该泵16的运转状况来判明该液体8的流速的情况下，考虑该液体8的该流速而能够检测到该液体8产生异常。

另外，在该液体8中传播的超声波的传播速度还因该液体8的温度而发生变化，因此如果判定时还考虑该液体8的温度，则能够以高的精度检测到该液体的异常。该液体8的温度通过该液体温度测量器44进行测量。该液体温度测量器44例如是温度计。该液体温度计算部46使该液体温度测量器44对在管路12中流动的液体8的温度进行测量，将所得到的该液体8的温度传递至该判定部36。

该液体温度测量器44例如配设在该管路12的外表面上。在该情况下，为了抑制外部环境所带来的影响，优选利用隔热材料等覆盖该液体温度测量器44。另外，该液体温度测量器44可以不配设在该管路12上，例如可以配设在液体的提供源14、液体喷出部6上。

另外，该液体8的温度的测量也可以通过两个超声波振子22a、22b和控制部24利用超声波来实施。例如，该控制部24通过对在流动于该管路12中的液体8中传播的超声波进行测量而计算出该超声波的传播速度，根据该传播速度而计算出该液体8的温度。

振幅计算部34根据对由该两个超声波振子22a、22b的该一方产生并在流动于该管路12的液体8中传播的该超声波利用该两个超声波振子22a、22b的该另一方进行观测而得到的该波形信息，计算出该超声波的振幅。该振幅计算部34与该判定部36连接，将计算出的该超声波的振幅传递至该判定部36。

另外，振幅计算部34也可以根据利用该两个超声波振子22a、22b的该一方对由该两个超声波振子22a、22b的该另一方产生并在流动于该管路12的液体8中传播的该超声波进行观测而得到的该波形信息，计算出该超声波的振幅。另外，该振幅计算部34可以计算出所观测的两个该超声波的振幅的平均来作为超声波的振幅。

图3的(B)是示意性示出振幅不同的两个超声波的波形的图。这里，该超声波的振幅指的是观测到的该超声波的强度(电压值)的绝对值的最大值。例如，在该图3的(B)中，上侧所示的超声波的波形58中的振幅62a大于下侧所示的超声波的波形60中的振幅62b。

当气泡20混入到流动于该管路12的液体8中时，在该液体8中传播的超声波的传播路径变少，因此与未在该液体8中产生气泡20的情况相比，振幅计算部34计算出的该超声波的振幅变小。因此，通过监视该振幅计算部34计算出的该超声波的振幅，能够检测到气泡20混入该液体8中。

该振幅范围登记部38中登记有在混入有气泡20的该液体8中传播的该超声波的振幅的范围，将该超声波的振幅的范围传递至该判定部36。于是，当在该液体8中混入有气泡时，该判定部36能够检测到该气泡的混入。

另外，该振幅范围登记部38中所登记的超声波的振幅的范围不限于在混入有气泡20的该液体8中传播的超声波的振幅的范围。也可以是，在该振幅范围登记部38中例如登记在未混入气泡20的该液体8中传播的超声波的振幅的范围，该振幅范围登记部38将该超声波的振幅的范围传递至该判定部36。在该情况下，在流动于管路12的液体8中传播的超声波的振幅偏离该超声波的振幅的范围的情况下，该判定部36检测到该液体8混入有气泡。

该判定部36与该振幅计算部34、该振幅范围登记部38、该传播时间计算部40、该传播时间范围登记部46以及该液体温度计算部46连接。

在流动于管路12的液体8中传播的超声波的振幅从该振幅计算部34传递至该判定部36，在混入有气泡20的该液体8中传播的超声波的振幅的范围从该振幅范围登记部38传递至该判定部36。该判定部36对从该振幅计算部34传递的该振幅是否在从该振幅范围登记部38传递的该范围内进行判定，在该振幅在该范围内的情况下，判定为在该液体8中混入了气泡。本实施方式的检查器18能够以此方式检测到气泡产生在流动于管路12的液体8中。

该判定部36例如与组装有该液体提供装置2的加工装置的控制部或显示部等连接，当检测到液体8中混入气泡时，对该加工装置的操作者通知该气泡的混入，或者停止该加工装置的运转。因此，能够防止保持在液体8中混入有气泡的状态下从该液体喷出部6等提供该液体8。

另外，从该传播时间计算部40将在流动于管路12的液体8中传播的超声波的平均传播时间传递至该判定部36，从该传播时间范围登记部42将在按照不是规定浓度的浓度溶解或分散有物质的该液体8中传播的超声波的传播时间的范围传递至该判定部36。该判定部36对从该传播时间计算部40传递的该超声波的平均传播时间56是否在从该传播时间范围登记部42传递的该范围内进行判定。并且，在该平均传播时间56在该范围内的情况下，判定为该液体8的浓度异常。

从该液体温度计算部46将该液体8的温度传递至该判定部36。在该液体8中传播的超声波的传播速度不仅因该液体8的浓度发生变化，而且因温度发生变化，因此该判定部36考虑该液体8的温度而对该液体8的浓度有无异常进行判定。

当在该液体8中混入有气泡的情况下，有时即使观测在该液体8中传播的超声波，也无法准确地检测到该液体8的浓度的异常。在本实施方式的检查器18中，能够在确认了该液体8中未混入气泡的基础上判定该浓度有无异常，因此能够更加提高该浓度异常检测的精度。

在检测到该液体8的浓度的异常的情况下，该判定部36将该情况传递至组装有该液体提供装置2的该加工装置的控制部或显示部，通知该加工装置的操作者该浓度的异常，并且停止该加工装置的运转。

另外，有时即使在流动于该管路12的该液体8的种类错误的情况、该液体8劣化的情况等在该液体8中产生浓度以外的异常的情况下，该影响也会体现于在该液体8中传播的超声波的传播速度。该判定部36同样地可以检测到该浓度以外的异常的产生。另外，即使是未溶解或分散有物质等的纯液体8的情况下，也可以检测到超声波的传播速度的异常，从而检测到异物的混入或液体的种类的错误。

接着，对组装有液体提供装置2的加工装置的例子进行说明，该液体提供装置2配设有本实施方式的检查器18。该加工装置例如是利用激光束对由半导体等形成的晶片进行加工的激光加工装置。图4是作为具有该液体提供装置2的加工装置的一例示意性示出激光加工装置64的立体图。

在对该激光加工装置64的各构成要素进行支承的装置基台66的角部设置有盒载置台68。在该盒载置台68上载置收纳有实施激光加工前的晶片10的盒70。该激光加工装置64具有导轨72和未图示的搬入搬出装置，该搬入搬出装置将该晶片10沿着该导轨72从该盒70中搬出。

在该装置基台66上表面上具有：卡盘工作台88，其对该晶片10进行保持；移动机构，其使该卡盘工作台88移动；以及激光加工单元94，其配设在该卡盘工作台88的上方。

在该装置基台66的上表面上具有：与Y轴方向平行的一对Y轴导轨74；Y轴滚珠丝杠78；以及Y轴脉冲电动机80，在Y轴导轨74上以能够滑动的方式安装有Y轴移动板76。

在Y轴移动板76的下表面侧设置有螺母部(未图示)，在该螺母部螺合有与该Y轴导轨74平行的该Y轴滚珠丝杠78。在Y轴滚珠丝杠78的一个端部连结有该Y轴脉冲电动机80。当利用该Y轴脉冲电动机80使该Y轴滚珠丝杠78旋转时，Y轴移动板76沿着Y轴导轨74在Y轴方向上移动。

在Y轴移动板76的上表面上具有：与X轴方向平行的一对X轴导轨82；X轴滚珠丝杠86；以及X轴脉冲电动机(未图示)，在X轴导轨82上以能够滑动的方式安装有X轴移动板84。

在X轴移动板84的下表面侧设置有螺母部(未图示)，在该螺母部螺合有与该X轴导轨82平行的该X轴滚珠丝杠86。在X轴滚珠丝杠86的一个端部连结有该X轴脉冲电动机。当利用X轴脉冲电动机使X轴滚珠丝杠86旋转时，对该卡盘工作台88进行支承的X轴移动板84沿着X轴导轨82在X轴方向上移动。

支承于该X轴移动板84的该卡盘工作台88的上表面作为对该晶片10进行保持的保持面。该卡盘工作台88在内部具有一端与该卡盘工作台88的该保持面相通、另一端与未图示的吸引源连接的吸引路(未图示)。在该保持面的外周侧设置有对该晶片10进行把持的夹具90。当将晶片10载置于该保持面上并使该吸引源进行动作时，对该晶片10作用负压而将该晶片10吸引保持于卡盘工作台88。

对该卡盘工作台88例如在X轴方向上进行加工进给，在该Y轴方向上进行分度进给。另外，该卡盘工作台88能够绕与该保持面垂直的轴旋转，可切换该卡盘工作台88所保持的晶片10相对于该激光加工单元94的移动方向。

在装置基台66的后部竖立设置有支承部92，在该支承部92的前表面上配设有该激光加工单元94。该激光加工单元94具有加工头96，具有如下的功能：振荡出该晶片10具有吸收性的波长的激光束并从该加工头96对该卡盘工作台88所保持的该晶片10照射该激光束。

当一边对晶片10照射激光束一边使该晶片10在X轴方向上移动时，对该晶片10进行烧蚀加工而在该晶片10的正面上形成沿着X轴的加工槽。

在该装置基台66的该盒载置台68的附近设置有对激光加工后的晶片10的正面进行清洗的清洗单元100。该清洗单元100对实施了激光加工的晶片10的正面提供清洗液，将在该激光加工中产生的被称为碎屑的加工屑连同由接下来说明的水溶性的液态树脂形成的保护膜一起去除。

在该清洗单元100的附近设置有液态树脂涂布单元98。该液态树脂涂布单元98是对实施激光加工前的晶片10的正面涂布水溶性的液态树脂而在该晶片10的正面上形成保护膜的保护膜包覆装置。该保护膜对该晶片10的正面进行包覆，防止因激光加工产生的碎屑直接附着在该晶片10的正面上。

该液态树脂涂布单元98具有：卡盘工作台4，其对该晶片10进行保持；以及液体提供装置2，其对该卡盘工作台4所保持的晶片的正面提供该水溶性的液态树脂。该卡盘工作台4与上述的卡盘工作台88同样地构成。

液体提供装置2收纳在该装置基台66的内部，具有：液体的提供源14，其收纳要提供至该液态树脂涂布单元98的水溶性的液态树脂；管路12，其与该液体的提供源14和该液态树脂涂布单元98连接；以及泵16(参照图1)。

该液体提供装置2还具有配设在该卡盘工作台4的上方的液体喷出部6。该水溶性的液态树脂利用泵16的功能而通过该管路12从该液体的提供源14提供至该液体喷出部6，从该液体喷出部6提供至该卡盘工作台4所保持的晶片10的正面。

在该液体提供装置2的该管路12上设置有本实施方式的检查器18，因此即使在气泡混入了流动于该管路12的该水溶性的液态树脂中的情况下，也能够检测到该混入。因此，能够防止对该晶片10的正面提供混入有气泡的该水溶性的液态树脂。

另外，该装置基台66可以具有对该清洗单元100提供纯水等清洗液的其他液体提供装置。该其他液体提供装置例如可以与连接在该液态树脂涂布单元98的该液体提供装置2同样地，具有本实施方式的检查器18。

这里，使用图5的(A)对利用该液态树脂涂布单元98实施的该液态树脂的涂布进行说明。图5的(A)是示意性示出液态树脂涂布单元98所进行的液态树脂涂布的剖视图。

如图5的(A)所示，在该晶片10的背面10b上例如粘贴有带10c，该带10c张设于由金属等形成的环状的框架10d的开口部。该晶片10按照与该环状的框架10d和该带10c成为一体的框架单元的状态收纳在该盒70中，从该盒70中搬出而进行加工。

在从该盒70中搬出该晶片10之后，使该晶片10的背面10b侧朝向下方，隔着该带10c将该晶片10载置于该液态涂布单元98的该卡盘工作台4上。使该卡盘工作台4的吸引源进行动作而吸引该晶片10，并且利用该卡盘工作台4的夹具对该框架10d进行把持，从而将该晶片保持于该卡盘工作台4。于是，该晶片10的正面10a向上方露出。

接着，将液体喷出部6配设在该晶片10的上方，使该卡盘工作台4绕与该晶片10的正面10a垂直的轴旋转，从该液体喷出部6喷出作为液体8的水溶性的液态树脂。于是，在该晶片10a的正面上涂布该水溶性的液态树脂而形成保护膜。

接着，使用图5的(B)对激光加工装置64的激光加工单元94中的激光加工进行说明。图5的(B)是示意性示出激光加工单元94所进行的晶片10的激光加工的剖视图。形成有保护膜的晶片10被搬送至激光加工单元94的下方的卡盘工作台88(参照图4)上，利用该卡盘工作台88进行保持。

如图5的(B)所示，在该晶片10的正面上设置有多个器件10e，包含该器件10e的上表面在内的该晶片10的正面10a利用由该水溶性的液态树脂形成的保护膜102覆盖。相邻的两个该器件10e之间的区域被称为间隔道，沿着该间隔道从加工头96对该晶片10照射激光束。于是，沿着该间隔道对晶片10进行烧蚀加工而在晶片10上形成沿着该间隔道的加工槽104。

当通过该液体提供装置2对该正面10a涂布液体8而在该正面10a上形成保护膜102时，即使对该晶片10进行烧蚀加工而使被称为碎屑10f的加工屑飞散，该碎屑10f也不会直接附着在该正面10a上。特别是具有本实施方式的检查器18的液体提供装置2能够将未混入气泡的液态树脂提供至该正面10a，因此气泡也不会残留于所形成的保护膜102中。因此，通过该保护膜102适当保护该正面10a免受该碎屑10f的影响。

在该晶片10的激光加工结束之后，当将该晶片10搬入至清洗单元100而对该晶片10进行清洗时，该碎屑10f连同该保护膜102一起被冲洗，因此该碎屑10f不会残留在该晶片10的正面10a上。

有时在加工装置等所具有的管路12上设置用于测量在该管路12中流动的液体8的流量等的超声波流量计。本实施方式的检查器18由两个超声波振子22a、22b和控制部24构成，因此也可以一并具有该超声波流量计的功能。因此，代替该超声波流量计而在该管路12上配设本实施方式的检查器18，从而能够节约用于安装该检查器18的空间，并且能够抑制该检查器18的导入费用。

另外，本发明不限于上述实施方式的记载，可以进行各种变更并实施。本发明的一个方式是配设在加工装置所具有的液体提供装置的管路上的检查器，配设有该检查器的液体提供装置和具有该液体提供装置的加工装置也是本发明的一个方式。另外，提供水溶性的液态树脂而形成保护膜的保护膜包覆装置也是本发明的一个方式。

在上述实施方式中，对在激光加工装置64所具有的液体提供装置2的管路12上配设该检查器18的情况进行了说明，但配设该检查器18的加工装置不限于激光加工装置。例如，在对晶片10等被加工物进行磨削加工的磨削装置、对被加工物进行切削加工的切削装置中也具有供提供至被加工物或加工单元的各种液体流动的管路。因此，该检查器也可以配设在磨削装置、切削装置所具有的管路上。

除此之外，上述实施方式的构造、方法等只要不脱离本发明的目的的范围，则可以适当变更并实施。

Claims (4)

1.一种检查器，其配设在作为液体的流路的管路上，其特征在于，

该检查器具有：

两个超声波振子，它们配设在该管路的上游侧和下游侧；以及

控制部，其与该两个超声波振子电连接，

该控制部具有振幅计算部、判定部、振幅范围登记部、传播时间计算部以及传播时间范围登记部，

在该液体中溶解或分散有物质，

振幅计算部根据对由该两个超声波振子的一方产生并在流动于该管路的液体中传播的第一超声波利用该两个超声波振子的另一方进行观测而得到的波形信息计算出该第一超声波的振幅，

该传播时间计算部根据对由该两个超声波振子的该一方产生并在流动于该管路的液体中传播的该第一超声波利用该两个超声波振子的该另一方进行观测而得到的波形信息计算出该第一超声波的传播时间，

并且，该传播时间计算部根据对由该两个超声波振子的该另一方产生并在流动于该管路的液体中传播的第二超声波利用该两个超声波振子的该一方进行观测而得到的波形信息计算出该第二超声波的传播时间，

该传播时间计算部对该第一超声波的传播时间和该第二超声波的传播时间进行平均而计算出平均传播时间，

在该振幅范围登记部中登记有在混入了气泡的该液体中传播的超声波的振幅的范围，

在该传播时间范围登记部中登记有在按照不是规定浓度的浓度溶解或分散有物质的该液体中传播的超声波的平均传播时间的范围，

在该振幅计算部计算出的该第一超声波的振幅在该振幅范围登记部所登记的该振幅的范围内的情况下，该判定部判定为在该液体中混入了气泡，

在该判定部未判定为在该液体中混入了气泡、并且该传播时间计算部所计算出的该平均传播时间在该传播时间范围登记部所登记的该平均传播时间的范围内的情况下，该判定部判定为该液体的浓度不是规定浓度。

2.根据权利要求1所述的检查器，其中，

该检查器还具有对该液体的温度进行测量的液体温度测量器，

该液体温度测量器对在该管路中流动的液体的温度进行测量，并将该液体的温度传递至该判定部，

该判定部参照该液体的温度对判定的内容进行校正。

3.一种液体提供装置，其具有：

管路；

液体的提供源，其与该管路的一端连接；

泵，其从该液体的提供源向该管路的另一端提供该液体；以及

设置在该管路上的权利要求1或2所述的检查器。

4.一种保护膜包覆装置，其将液态树脂包覆在晶片的正面上而形成保护膜，其特征在于，

该保护膜包覆装置具有：

能够旋转的卡盘工作台，其对晶片进行保持；以及

权利要求3所述的液体提供装置，其对该卡盘工作台所保持的晶片的正面提供该液态树脂。

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