JP2011171658A - 多層基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】多層基板10は、厚い金属コア層11と、金属コア層11の上面に絶縁層を介して積層された配線層(第1配線層16A、第3配線層16C)と、金属コア層11の下面に絶縁層を介して積層された配線層(第2配線層16B、第4配線層16D)と、金属コア層11等を貫通して形成された確認孔28とを主要に具備している。確認孔28は、上方および下方の両方から位置認識を行うことが可能であるので、同一の確認孔28を基準として各配線層を形成することにより、配線層同士の位置精度が向上される。
【選択図】図1
Description
11 金属コア層
12 ユニット
13 金属膜
14A 第1絶縁層
14B 第2絶縁層
14C 第3絶縁層
14D 第4絶縁層
15 突出部
16A 第1配線層
16B 第2配線層
16C 第3配線層
16D 第4配線層
17 接続部
18 レジスト
19 レジスト
20 第1導電膜
21 貫通孔
22 第2導電膜
23 接続部
24 第3導電膜
25 接続部
26 第4導電膜
27 積層シート
28 確認孔
31 接続部
33 接続部
35 レジスト
37 貫通孔
38 開口部
39 貫通孔
41 貫通孔
43 金属膜
45 レジスト
47 貫通孔
48 チップ型素子
50 半導体素子
51 レジスト
52 ロウ材
53 貫通孔
54 封止樹脂
56 多層基板
64 レジスト
66 光線
68 遮光パターン
70 露光マスク
Claims (15)
- 金属コア層と、
絶縁層を介して前記金属コア層の一主面および他主面に積層された配線層と、
前記金属コア層を貫通して設けられると共に、前記一主面側および前記他主面側から確認可能な確認孔と、を備えることを特徴とする多層基板。 - 前記確認孔に面する前記金属コア層の内壁の中間部には、内側に突出する突出部が設けられることを特徴とする請求項1に記載の多層基板。
- 前記確認孔に面する前記金属コア層および前記絶縁層は、金属膜により被覆されることを特徴とする請求項2に記載の多層基板。
- 前記金属コア層および前記配線層から構成されるユニットを複数個備え、
前記確認孔は、前記ユニット毎の近傍に設けられることを特徴とする請求項3に記載の多層基板。 - 1つの前記ユニットに対して複数個の前記確認孔が設けられることを特徴とする請求項4に記載の多層基板。
- 前記確認孔の平面視での形状は円形であることを特徴とする請求項5に記載の多層基板。
- 前記金属コア層の一主面に積層された前記配線層と、前記金属コア層の他主面に積層された前記配線層とは、同一の前記確認孔を基準として形成されることを特徴とする請求項6に記載の多層基板。
- 前記配線層同士を前記絶縁層を貫通して接続する接続部を更に備え、
前記接続部は前記確認孔を基準として形成されることを特徴とする請求項7に記載の多層基板。 - 前記確認孔は、前記金属コア層の両主面からエッチングを行うことにより形成されることを特徴とする請求項8に記載の多層基板。
- 金属コア層を貫通する確認孔を設ける工程と、
前記金属コア層の一主面および他主面に絶縁層を介して配線層を積層する工程と、を備え、
前記配線層を積層する工程では、同一の前記確認孔を基準として、前記金属コア層の一主面に前記配線層を形成すると共に、前記金属コア層の他主面に前記配線層を形成することを形成することを特徴とする多層基板の製造方法。 - 前記積層する工程では、前記確認孔に充填された前記両絶縁層の絶縁材料を除去して前記確認孔の内壁を露出させた後に、前記確認孔の位置を認識することを特徴とする請求項10に記載の多層基板の製造方法。
- 前記確認孔の位置を認識する際には、前記確認孔の端部または内側に突出する突出部の位置を認識することを特徴とする請求項11に記載の多層基板の製造方法。
- 確認孔の位置を認識する際には、前記確認孔の内壁は金属膜により被覆されることを特徴とする請求項12に記載の多層基板の製造方法。
- 前記確認孔の位置を認識する際には、前記確認孔の外縁にて複数箇所の座標を計測し、前記座標から算出される前記確認孔の中心点を認識することを特徴とする請求項13に記載の多層基板の製造方法。
- 前記金属膜は、前記絶縁層を貫通して形成される接続部を設ける際に前記確認孔の内壁に成膜され、
前記配線層をエッチングにより形成する工程では、前記確認孔の内壁を被覆する前記金属膜は前記エッチングにより薄くされることを特徴とする請求項14に記載の多層基板の製造方法。
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