JP2011151280A - 放熱部材及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】熱伝導性の優れた樹脂組成物を部材に印刷塗布し、硬化させることにより、放熱特性に優れた放熱部材と製造方法を提供する。
【解決手段】ポリオルガノシロキサン４０〜７５体積％、最大粒子径が８０μｍ以下の無機充填材２５〜６０体積％を含有し、粘度が５００〜５００００ｍＰａ・ｓである樹脂組成物を部材に印刷塗布し、前記樹脂組成物を該部材上で硬化させた放熱部材。ポリオルガノシロキサンの平均分子量が１００００以上５００００以下であることが好ましい。無機充填材がアルミナ、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、銀、銅、アルミニウム、カーボン、ダイヤモンド、酸化亜鉛、マグネシア、水酸化アルミニウムおよび水酸化マグネシウムからなる群より選ばれた１種以上を含むことが好ましい。
【選択図】図１

Description

本発明は、接触熱抵抗を低減した部材に関する。特に、半導体ウェハ等の放熱部材、フォーカスリング、ヒートシンク等の熱交換を要する部材に関する。

半導体集積回路を製造する際のシリコンウェハをエッチングするための装置として、プラズマエッチング装置が知られており、特許文献１に記載されているようにフォーカスリングおよびフォーカスリングを設置する載置台との間の熱伝導を改善するため、この間に熱伝導シートを介在させ、熱伝導を改善する方法が検討されてきた。
上述のフォーカスリングおよび熱伝導シートの構成では、フォーカスリングおよび熱伝導シート間、熱伝導シートおよび載置台間のそれぞれに少なからず、断熱層である空気層が存在し、必ずしも界面抵抗が低減されことはない。このため、プラズマエッチング処理中のフォーカスリングは、必ずしも適切に放熱されるわけではなく、フォーカスリング自体の劣化が起こりやすかった。
また通常の放熱シートを取り付ける場合、リング形状に合わせた裁断を行い、さらにその放熱シートを貼り付けるが、手間と時間がかかり、きれいに貼り合わせが出来ないため作業性が悪く、断熱層が生じ易く放熱特性が低下する可能性があった。
そこで特許文献１載置台に押圧固定する方法等も提案されているが、放熱シートを所望する任意の場所に精度良く貼り付け、放熱特性に優れたフォーカスリングを製造することは困難である。

特開２００８−２４４０９６号公報

本発明は、熱伝導性の優れた樹脂組成物を部材に印刷塗布し、硬化させることにより、放熱特性に優れた放熱部材を提供すること、及びその製造方法を提供することである。

本発明は、上記の課題を解決するために、以下の手段を採用する。
（１）ポリオルガノシロキサン４０〜７５体積％、最大粒子径が８０μｍ以下の無機充填材２５〜６０体積％を含有し、粘度が５００〜５００００ｍＰａ・ｓである樹脂組成物を部材に印刷塗布し、前記樹脂組成物を該部材上で硬化させたことを特徴とする放熱部材。
（２）ポリオルガノシロキサンの平均分子量が１００００以上５００００以下であることを特徴とする前記（１）に記載の放熱部材。
（３）無機充填材がアルミナ、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、銀、銅、アルミニウム、カーボン、ダイヤモンド、酸化亜鉛、マグネシア、水酸化アルミニウムおよび水酸化マグネシウムからなる群より選ばれた１種以上を含むことを特徴とする前記（１）又は（２）に記載の放熱部材。
（４）無機充填材の平均粒径が１．５μｍ以上４．５μｍ未満で、かつ最大粒子径が２０μｍ以下であることを特徴とする前記（１）乃至（３）のいずれか１項に記載の放熱部材。
（５）無機充填材の粒度分布が、４．５μｍ以上６．５μｍ未満、１．５μｍ以上４．５μｍ未満及び０．３μｍ以上０．８μｍ未満の粒度範囲に少なくとも２つの極大値を有することを特徴とする前記（１）乃至（４）のいずれか１項に記載の放熱部材。
（６）放熱部材がフォーカスリングであることを特徴とする前記（１）乃至（５）のいずれか１項に記載の放熱部材。
（７）ポリオルガノシロキサン４０〜７５体積％、最大粒子径が８０μｍ以下の無機充填材２５〜６０体積％を含有し、粘度が５００〜５００００ｍＰａ・ｓである樹脂組成物を部材に印刷塗布し、前記樹脂組成物を該部材上で硬化させたことを特徴とする放熱部材の製造方法。
（８）ポリオルガノシロキサンの平均分子量が１００００以上５００００以下であることを特徴とする前記（７）に記載の放熱部材の製造方法。
（９）無機充填材がアルミナ、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、銀、銅、アルミニウム、カーボン、ダイヤモンド、酸化亜鉛、マグネシア、水酸化アルミニウムおよび水酸化マグネシウムからなる群より選ばれた１種以上を含むことを特徴とする前記（７）又は（８）に記載の放熱部材の製造方法。
（１０）無機充填材の平均粒径が１．５μｍ以上４．５μｍ未満で、かつ最大粒子径が２０μｍ以下であることを特徴とする前記（７）乃至（９）のいずれか１項に記載の放熱部材の製造方法。
（１１）無機充填材の粒度分布が、４．５μｍ以上６．５μｍ未満、１．５μｍ以上４．５μｍ未満及び０．３μｍ以上０．８μｍ未満の粒度範囲に少なくとも２つの極大値を有することを特徴とする前記（７）乃至（１０）のいずれか１項に記載の放熱部材の製造方法。
（１２）樹脂組成物を部材に印刷塗布する厚さが５〜１００μｍであることを特徴とする前記（７）乃至（１１）のいずれか１項に記載の放熱部材の製造方法。
（１３）樹脂組成物を部材にスクリーン印刷法を用いて印刷塗布することを特徴とする前記（７）乃至（１２）のいずれか１項に記載の放熱部材の製造方法。
（１４）部材の表面粗さがＪＩＳ Ｂ ０６０１のＲaの値で０．０５μｍ以上１０μｍ以下の部材表面に樹脂組成物を印刷塗布することを特徴とする前記（７）乃至（１３）のいずれか１項に記載の放熱部材の製造方法。
（１５）部材がフォーカスリングであることを特徴とする前記（７）乃至（１４）のいずれか１項に記載の放熱部材の製造方法。

本発明の放熱部材を用いることにより、他の部材との接触熱抵抗を著しく低減することができる。
また、本発明により部材の表面を熱伝導性の優れた樹脂組成物で被覆した放熱部材を効率良く製造することができる。本発明は、特にフォーカスリングに適している。

フォーカスリングと樹脂組成物の一例を示す概略図。 フォーカスリングと樹脂組成物の一例を示す概略図（図１を分割した拡大図）。

本発明は、熱伝導性の優れた樹脂組成物を部材に印刷塗布し、硬化させることにより、放熱特性に優れた放熱部材を提供するものである。本発明は、熱伝導性の優れた樹脂組成物を部材に塗布する方法に印刷方法を用いることにより、他の部材との接触熱抵抗を著しく低減するだけでなく、部材の表面を熱伝導性の優れた樹脂組成物で被覆した放熱部材を効率良く製造することができるものである。

本発明の部材とは、放熱が必要な部材であり、例えば、半導体部材、ヒートシンク、ヒートスプレッダー、発光部材及びフォーカスリングなどが挙げられる。このなかでも、部材がフォーカスリングであることが好ましい。

本発明のポリオルガノシロキサンは、ポリオルガノシロキサンの内では熱硬化のものが好ましく、主材のポリオルガノシロキサンポリマーに加えて、硬化剤（架橋性ポリオルガノシロキサン）を用いることが好ましい。ポリオルガノシロキサンの繰り返し単位構造は、ジメチルシロキサンユニット、フェニルメチルシロキサンユニット、ジフェニルシロキサンユニット等が挙げられる。また、ビニル基、エポキシ基等の官能基を有する変性ポリオルガノシロキサンを用いてもよい。
本発明のポリオルガノシロキサンは、平均分子量が１００００以上５００００以下であることが好ましい。平均分子量が１００００以下である場合、ポリオルガノシロキサンと充填材が分離しやすい傾向がある。また、平均分子量が５００００を越えた場合、樹脂組成物の塗布厚が厚くなるので、放熱が不十分となり、フォーカスリング表面および樹脂組成物表面の温度が高くなる恐れがある。

本発明の無機充填材とは、アルミナ、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、銀、銅、アルミニウム、カーボン、ダイヤモンド、酸化亜鉛、マグネシア、水酸化アルミニウムおよび水酸化マグネシウムである。無機充填材は球形の構造をもつものが好ましく、伝熱特性として形状に異方性があるものは伝熱特性を最大にするように配向させることが好ましい。好ましい無機充填材は、この中でも、アルミナ、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、銀、銅、アルミニウム、カーボン、ダイヤモンド、酸化亜鉛である。

無機充填材の最大粒子径は８０μｍ以下であり、２０μｍ以下であることが好ましい。最大粒子経が８０μｍを超える場合、樹脂組成物を塗布したときに塗布表面に無機充填材粒子が突起物となる場合があり、塗布表面の平滑性を損なう恐れがあるので好ましくない。塗布表面の平滑性を損なうと、熱パスが悪くなり熱伝導性が悪くなる。

無機充填材の平均粒径は１．５μｍ以上４．５μｍ未満であることが好ましい。

無機充填材の粒度分布は、４．５μｍ以上〜６．５μｍ未満、１．５μｍ以上４．５μｍ未満及び０．３μｍ以上０．８μｍ未満の粒度範囲に少なくとも２つの極大値を有することが好ましい。

ポリオルガノシロキサンと無機充填材の配合は、ポリオルガノシロキサン４０〜７５体積％、無機充填材２５〜６０体積％である。無機充填材が２５体積％以下である場合、熱伝導率が小さいために放熱特性が悪くなる。そのため部材表面の樹脂組成物自体が加熱してしまい、樹脂組成物を劣化させる原因となる。また、無機充填材が７５体積％以上の場合は、無機充填材のポリオルガノシロキサンへの分散が不十分となり、スクリーン印刷が難しくなる。

本発明の樹脂組成物は、上記の材料を万能混合攪拌機、ニーダー、ハイブリッドミキサー等で混練りすることによって製造することができる。

本発明の実施態様について、図を参照しながら説明する。
図１には、本発明の樹脂組成物の硬化物で表面を改質した放熱部材の例として、フォーカスリングの一例を示す。図２にはフォーカスリングの分割片の一例を示す。フォーカスリングをプラズマエッチング装置に設置する際、載置台と接するフォーカスリングの面１上に、配置した樹脂組成物の硬化物２で構成される。

部材の表面に熱伝導性の優れた樹脂組成物を被覆又は塗布することにより、部材が他の部材と接触した際の接触熱抵抗を低減させることができ、部材からの放熱特性を向上することができる。なお、ここでいう、フォーカスリングの表面とは、フォーカスリングを例えばプラズマエッチング装置に設置する際、載置台と接する面のことをいい、接触熱抵抗とは、一般に、２種の異なる物質を接するように配置したとき、２種の異なる物質の境界には微視的にみて空気層が存在する。この空気層が伝熱時に抵抗となり、熱伝導を悪化させる。この空隙による熱伝導悪化の影響を言う。

フォーカスリングの製造方法は、熱伝導性の優れた樹脂組成物を、フォーカスリング若しくは形状の異なる同等の部材表面への被覆又は塗布する。被覆又は塗布方法は、スクリーン印刷法により、部材表面に樹脂組成物を印刷塗布することが好ましい。スクリーン印刷を行うことにより、フォーカスリング及び同様の部材の表面に精度良く様々な形状に塗布することが可能になる。

スクリーン製版は、直接法によりスクリーン版上に感光性樹脂（乳剤）をコーティングし、印刷形状を施したポジフィルムを貼り付け露光することで、形状は印刷範囲として限定される。また、平面性の優れた支持フィルム上に感光性樹脂乳剤膜を形成させたものを版に貼り付け、支持フィルムを剥がすことにより膜を形成する間接法でも良く、特に限定されるものではない。
さらに任意の形状が自由に精度良く印刷できる点では、スクリーン印刷法による塗布は優れており、印刷塗布領域は、スクリーン版のパターニング設計により塗布領域及び非塗布領域が限定することが出来、どのような形状でも塗布が可能である点で有用である。面状を端から端まで一様に塗布するバーコーターよりも塗布形状は自由度があり、さらに非塗布領域は目止め処理を行う必要があるエンコーター塗布よりも作業性においても効率的である。

スクリーン版の材質、線径、目開きは特に限定されるものでないが、一般的なナイロン、ポリエステル、ステンレス、線径は１８〜２５０μｍ、目開きは３０〜５００メッシュの範囲が一般的に使用される。

スクリーン印刷機は、印刷動作、スクリーンメッシュ剥離動作が円滑に行えるスクリーン印刷装置であれば平面式、局面式他、特に限定されるものでなく、平面式スクリーン印刷機が一般的に使用される。スクリーン印刷のアライメントは、印刷機に専用のアライメントジグを設置しても良く、またアライメントカメラを使用して設置しても良い。

樹脂組成物は、ブルックフィールド社製回転粘度計ＲＶＤＶ１にてＪＩＳ Ｚ ８８０３に基づいて測定した粘度が５００〜５００００ｍＰａ・ｓであり、１０００〜１００００ｍＰａ・ｓが好ましい。粘度が５００ｍＰａ・ｓ未満の場合、樹脂組成物をシート状にしたときに樹脂表面でにじみが発生し易く、形状の保持が難しい。また、粘度が５００００ｍＰａ・ｓを超えた場合、樹脂組成物をシート状にしたときに樹脂表面にメッシュの凹凸形状や気泡が残留して平坦化が難しくなる。したがって、スクリーン印刷を行う場合には、好適な形状保持と表面の平坦化を実現するために、樹脂組成物の粘度の範囲を限定する必要がある。

スクリーン印刷法を用いて塗布した樹脂組成物は、１５０℃で加熱し、硬化させ、フォーカスリング上に高熱伝導性の樹脂組成物層を形成させた。

硬化後の樹脂組成物の厚さは、密着性及び放熱特性が向上する点から、５〜１００μｍが好ましく、３０〜１００μｍがさらに好ましい。

前記フォーカスリングの表面粗さはＪＩＳ Ｂ ０６０１のＲaの値で、０．０５μｍ以上１０μｍ以下であることが好ましい。
表面粗さが１０μｍ以上である場合は、表面が荒れているため硬化後の樹脂の塗布面が平滑にならないため密着性が劣る、樹脂組成物が密着時に破れる、密着性が劣るので放熱性が悪くなる等の不具合を発生する可能性があり、好ましくない。
フォーカスリング若しくは形状の異なる同等の部材表面は、スクリーン印刷法により樹脂組成物が被覆又は塗布され表面の改質が行われる。

実施例１〜１６、比較例１〜５
表１〜４の配合の樹脂組成物をハイブリッドミキサー（シンキー製ＡＲ−２５０）で合計１２０秒間、混練した。混練後、樹脂組成物をフォーカスリングの表面にスクリーン印刷にて塗布し、硬化させた。硬化後、フォーカスリングの放熱特性を評価した。また、比較例として、本発明の樹脂組成物をシート化して、フォーカスリングの上部表面に設置したものについて、同様に評価を行った。その結果を表１〜４に示す。測定に用いたシートのサンプルは離型フィルム上にバーコーターを用い所定の厚さに塗布し、硬化させることで、シートを作製した。
なお、比較例６として、放熱部材を用いないフォーカスリングのみの場合、フォーカスリング表面の温度は２００℃であった。

（１）サンプルの作製方法
フォーカスリング部材をスクリーン印刷機（ニューロング精密工業社製ＬＴ５６−ＴＶＡ）の定盤に載せ、アライメントは３点カメラを使用し、位置決めを行った。スクリーン版は、線径、厚み、透過体積を選択し、所望の形状になるよう乳剤により塗布面を限定したスクリーン版を用いて、樹脂組成物を版の上に投入し、ウレタンスキージにて３００ｍｍ／秒で移動させ、フォーカスリング上の表面に樹脂組成物を塗布した。塗布形状は、円周状で非塗布部分３箇所が設置された形状である。非塗布部分とは、フォーカスリングの位置決めアライメント穴である。
その後、フォーカスリング部材を１５０℃で１５分間加熱して硬化させ、本発明のサンプルとした。その後、フォーカスリングの諸々の物性評価を行った。
フォーカスリングの材質はＳｉ、形状はリング状で外径３６０ｍｍ、内径３２４ｍｍ、厚みは３．４ｍｍである。
（２）粘度
粘度は、スクリーン印刷する直前の樹脂組成物を、ブルックフィールド社製回転粘度計ＲＶＤＶ１にてＪＩＳ Ｚ ８８０３に基づいて測定した。ＲＶスピンドルセットを用いて、ローターＮｏ．７を使用し、そのローターが入り、基準線まで入れることの出来る容器を用いる。ローターを樹脂組成物に浸し、回転数２０ｒｐｍでの粘度値を測定した。
（３）塗布厚さ
塗布厚さの測定は、キーエンス社製レーザー変位計ＬＴ−９０１０Ｍを用いた。樹脂組成物塗布済みフォーカスリングを、定盤に設置したレーザー変位計のスポットを樹脂組成物の塗布面近傍に合わせ基準点（ゼロ）とし、基準点に対し塗布した樹脂組成物の厚みを計測した。
（４）評価温度
評価温度はフォーカスリング表面および樹脂組成物表面に温度計測用の熱電対（二宮電機製テフロン被覆熱電対：線径０．１μｍおよびキーエンス製データロガーＮＲ−６００）を設置し、この温度を計測した。
（５）樹脂組成物の硬化後の熱伝導率
熱電度率の測定方法としては、樹脂組成物を剥離ＰＥＴフィルム上にバーコート塗布したサンプル（１ｍｍ厚み）を１５０℃×１５分間オーブン中で硬化させた樹脂組成物を使用し、ヒーターの埋め込まれた直方体の銅製治具（先端の面積が１ｃｍ^２（１ｃｍ×１ｃｍ））と、冷却フィンを取り付けた直方体の銅製治具（先端の面積が１ｃｍ^２（１ｃｍ×１ｃｍ））との間に、樹脂組成物を密着させた。密着させたサンプルに１０ｐｓｉの荷重を載せ、ヒーターに２０Ｗをかけて３０分間保持し、銅製治具同士の温度差（℃）を測定し、
式、熱伝導率（Ｗ／ｍＫ）＝厚み（ｍ）／（断面積（ｍ^２）×熱抵抗（℃／Ｗ））
熱抵抗（℃／Ｗ）＝（ヒーター側温度（℃）−冷却側温度（℃））／電力（Ｗ）にて算出した。
（５）表面粗さ
フォーカスリングの表面粗さは、ＪＩＳ Ｂ ０６５２に準じて、３次元レーザー顕微鏡（キーエンス製ＶＫ−９７００）によりフォーカスリングの部材表面を連続的にスキャンすることにより測定し、ＪＩＳ Ｂ ０６０１のＲaに準じて記載した。

使用材料を下記に示す。
ポリオルガノシロキサン
（１）ＸＥ１４−Ｂ８５３０（Ａ剤）：モメンティブパフォーマンスマテリアルズ合同会社
ＸＥ１４−Ｂ８５３０（Ｂ剤）：モメンティブパフォーマンスマテリアルズ合同会社
（２）ＸＥ１４−Ｂ１０５７（Ａ剤）：モメンティブパフォーマンスマテリアルズ合同会社
ＸＥ１４−Ｂ１０５７（Ｂ剤）：モメンティブパフォーマンスマテリアルズ合同会社
（３）ＴＳＥ３４５０（Ａ剤） ：モメンティブパフォーマンスマテリアルズ合同会社
ＴＳＥ３４５０（Ｂ剤） ：モメンティブパフォーマンスマテリアルズ合同会社
（４）Ｓｉｌｇｅｌ ６１３（Ａ剤）：旭化成ワッカーシリコーン株式会社
Ｓｉｌｇｅｌ ６１３（Ｂ剤）：旭化成ワッカーシリコーン株式会社
ポリオルガノシロキサン（硬化剤）
（５）ＲＤ−１ ：東レ・ダウコーニングシリコーン
アルミナ
（６）ＤＡＭ７０ ：電気化学工業
（７）ＤＡＭ４５ ：電気化学工業
（８）ＤＡＭ５ ：電気化学工業
（９）Ａｌ（＃６００） ：ミナルコ
（１０）ＡＸ３ ：マイクロン
窒化アルミニウム
（１１）ＡｌＮ（Ｈグレード） ：トクヤマ
酸化亜鉛
（１２）ＺｎＯ（一種） ：堺化学

ポリオルガノシロキサンの平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー分析の結果から求めたポリスチレン換算での値とした。分離は非水系の多孔性ゲル（ポリスチレン−ジメチルベンゼン共重合体）で、移動相としてトルエンを使い、検出には示差屈折計（ＲＩ）を使用した。
無機充填材の平均粒径、最大粒子径及び極大値は、島津製作所製「レーザー回折式粒度分布測定装置ＳＡＬＤ−２０」を用いて測定を行った。評価サンプルは、ガラスビーカーに５０ｃｃの純水と測定する無機充填材粉末を５ｇ添加して、スパチュラを用いて撹拌し、その後超音波洗浄機で１０分間、分散処理を行った。分散処理を行った無機充填材の粉末の溶液を、スポイトを用いて、装置のサンプラ部に一滴ずつ添加して、吸光度が測定可能になるまで安定するのを待った。このようにして吸光度が安定になった時点で測定を行う。レーザー回折式粒度分布測定装置では、センサで検出した粒子による回折／散乱光の光強度分布のデータから粒度分布を計算する。平均粒径は測定される粒子径の値に相対粒子量（差分％）を掛けて、相対粒子量の合計（１００％）で割って求められる。なお、平均粒径は粒子の平均直径である。

実施例と比較例を対比すると明らかなように、シート化して、フォーカスリングの上部表面に設置したものに比較して、本発明により構成されるフォーカスリングは表面温度が低くなり、放熱特性が優れていた。本発明の樹脂組成物を被覆したフォーカスリングは、従来のフォーカスリングおよび放熱シートを上部表面に設置したフォーカスリングと比較して、接触熱抵抗が低減していることを意味しており、放熱特性に優れた、部材を提供することができた。

部材表面の形状塗布結果を表１〜４に示した。スクリーン印刷方法は、リング状に非塗布部分が３箇所ある部材に任意の厚さ及び箇所に樹脂組成物を塗布することが出来た。
一方、エンコーターは、直接フォーカスリング部材をエンコーターで回転させつつ、樹脂組成物を滴下することにより円周状に塗布する方法であるが、リング状に非塗布部分が３箇所ある非塗布領域に樹脂組成物が塗布されてしまい、部材の任意の箇所に樹脂組成物を塗布することが出来なかった。
なお、形状塗布の評価は、任意の厚さ及び箇所に樹脂組成物を塗布可能できたものを○、塗布できなかったものを×とした。

（図１）
１ フォーカスリング
２ 樹脂組成物の硬化物

（図２）
１ フォーカスリング
２ 樹脂組成物の硬化物

Claims (15)

1. ポリオルガノシロキサン４０〜７５体積％、最大粒子径が８０μｍ以下の無機充填材２５〜６０体積％を含有し、粘度が５００〜５００００ｍＰａ・ｓである樹脂組成物を部材に印刷塗布し、前記樹脂組成物を該部材上で硬化させたことを特徴とする放熱部材。
2. ポリオルガノシロキサンの平均分子量が１００００以上５００００以下であることを特徴とする請求項１に記載の放熱部材。
3. 無機充填材がアルミナ、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、銀、銅、アルミニウム、カーボン、ダイヤモンド、酸化亜鉛、マグネシア、水酸化アルミニウムおよび水酸化マグネシウムからなる群より選ばれた１種以上を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の放熱部材。
4. 無機充填材の平均粒径が１．５μｍ以上４．５μｍ未満で、かつ最大粒子径が２０μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の放熱部材。
5. 無機充填材の粒度分布が、４．５μｍ以上６．５μｍ未満、１．５μｍ以上４．５μｍ未満及び０．３μｍ以上０．８μｍ未満の粒度範囲に少なくとも２つの極大値を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の放熱部材。
6. 放熱部材がフォーカスリングであることを特徴とする請求項１乃至５記載の放熱部材。
7. ポリオルガノシロキサン４０〜７５体積％、最大粒子径が８０μｍ以下の無機充填材２５〜６０体積％を含有し、粘度が５００〜５００００ｍＰａ・ｓである樹脂組成物を部材に印刷塗布し、前記樹脂組成物を該部材上で硬化させたことを特徴とする放熱部材の製造方法。
8. ポリオルガノシロキサンの平均分子量が１００００以上５００００以下であることを特徴とする請求項７に記載の放熱部材の製造方法。
9. 無機充填材がアルミナ、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、銀、銅、アルミニウム、カーボン、ダイヤモンド、酸化亜鉛、マグネシア、水酸化アルミニウムおよび水酸化マグネシウムからなる群より選ばれた１種以上を含むことを特徴とする請求項７又は８に記載の放熱部材の製造方法。
10. 無機充填材の平均粒径が１．５μｍ以上４．５μｍ未満で、かつ最大粒子径が２０μｍ以下であることを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載の放熱部材の製造方法。
11. 無機充填材の粒度分布が、４．５μｍ以上６．５μｍ未満、１．５μｍ以上４．５μｍ未満及び０．３μｍ以上０．８μｍ未満の粒度範囲に少なくとも２つの極大値を有することを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか１項に記載の放熱部材の製造方法。
12. 樹脂組成物を部材に印刷塗布する厚さが５〜１００μｍであることを特徴とする請求項７乃至１１のいずれか１項に記載の放熱部材の製造方法。
13. 樹脂組成物を部材にスクリーン印刷法を用いて印刷塗布することを特徴とする請求項７乃至１２のいずれか１項に記載の放熱部材の製造方法。
14. 部材の表面粗さでＪＩＳＢ ０６０１ Ｒaの値で０．０５μｍ以上１０μｍ以下の部材表面に樹脂組成物を印刷塗布することを特徴とする請求項７乃至１３のいずれか１項に記載の放熱部材の製造方法。
15. 部材がフォーカスリングであることを特徴とする請求項７乃至１４のいずれか１項に記載の放熱部材の製造方法。
    

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