JP2011140117A - 薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッド - Google Patents
薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011140117A JP2011140117A JP2010000360A JP2010000360A JP2011140117A JP 2011140117 A JP2011140117 A JP 2011140117A JP 2010000360 A JP2010000360 A JP 2010000360A JP 2010000360 A JP2010000360 A JP 2010000360A JP 2011140117 A JP2011140117 A JP 2011140117A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- displacement
- film
- stress
- film layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【解決手段】駆動信号により膜面に沿った方向に伸縮する変位膜を有する薄膜層と、薄膜層の両端または周縁を固定し、駆動信号による変位膜の伸長により、該薄膜層を膜面に垂直な方向に変位させる基板と、を備えた薄膜アクチュエータであって、薄膜層は、非駆動時、膜面に沿った初期の圧縮応力を有し、薄膜層の変位量は、圧縮応力の大きさにより変化し、圧縮応力の値は、駆動時、薄膜層の変位量を最大にする圧縮応力の値よりも小さい。
【選択図】図3
Description
前記薄膜層の両端または周縁を固定し、前記駆動信号による前記変位膜の伸長により、該薄膜層を膜面に垂直な方向に変位させる基板と、を備えた薄膜アクチュエータであって、
前記薄膜層は、非駆動時、膜面に沿った初期の圧縮応力を有し、
前記薄膜層の変位量は、前記圧縮応力の大きさにより変化し、
前記圧縮応力の値は、駆動時、前記薄膜層の変位量を最大にする前記圧縮応力の値よりも小さいことを特徴とする薄膜アクチュエータ。
前記変位膜を挟んで形成され、前記駆動信号が印加される2つの電極膜と、
前記2つの電極膜の一方の電極膜に沿って形成され、膜面に沿った応力を有する応力膜と、を有することを特徴とする前記1または2に記載の薄膜アクチュエータ。
前記基板の裏面に接合され、該基板に形成された開口に連通しインクを吐出するノズル孔が形成されたノズル基板と、を有し、
前記開口の内部は、前記インクを収容し、前記薄膜層の変位により圧力を発生する圧力室であることを特徴とするインクジェットヘッド。
1 薄膜アクチュエータ
10 薄膜層
101 基板(ボディ基板)
101a 開口(圧力室)
102 応力膜
103 下電極膜(共通電極膜)
104 変位膜
105 上電極膜(駆動電極膜)
2 ノズル基板
2a ノズル孔
3 中間ガラス基板
3a 孔
Claims (4)
- 駆動信号により膜面に沿った方向に伸縮する変位膜を有する薄膜層と、
前記薄膜層の両端または周縁を固定し、前記駆動信号による前記変位膜の伸長により、該薄膜層を膜面に垂直な方向に変位させる基板と、を備えた薄膜アクチュエータであって、
前記薄膜層は、非駆動時、膜面に沿った初期の圧縮応力を有し、
前記薄膜層の変位量は、前記圧縮応力の大きさにより変化し、
前記圧縮応力の値は、駆動時、前記薄膜層の変位量を最大にする前記圧縮応力の値よりも小さいことを特徴とする薄膜アクチュエータ。 - 前記圧縮応力の値は、駆動時、前記薄膜層の変位量を最大の略半分にする前記圧縮応力の値よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の薄膜アクチュエータ。
- 前記薄膜層は、
前記変位膜を挟んで形成され、前記駆動信号が印加される2つの電極膜と、
前記2つの電極膜の一方の電極膜に沿って形成され、膜面に沿った応力を有する応力膜と、を有することを特徴とする請求項1または2に記載の薄膜アクチュエータ。 - 請求項1から3の何れか1項に記載の薄膜アクチュエータと、
前記基板の裏面に接合され、該基板に形成された開口に連通しインクを吐出するノズル孔が形成されたノズル基板と、を有し、
前記開口の内部は、前記インクを収容し、前記薄膜層の変位により圧力を発生する圧力室であることを特徴とするインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010000360A JP5556181B2 (ja) | 2010-01-05 | 2010-01-05 | 薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010000360A JP5556181B2 (ja) | 2010-01-05 | 2010-01-05 | 薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011140117A true JP2011140117A (ja) | 2011-07-21 |
JP5556181B2 JP5556181B2 (ja) | 2014-07-23 |
Family
ID=44456336
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010000360A Active JP5556181B2 (ja) | 2010-01-05 | 2010-01-05 | 薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5556181B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015193163A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-05 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ |
CN106142841A (zh) * | 2015-03-27 | 2016-11-23 | 兄弟工业株式会社 | 压电促动器和记录头 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000141643A (ja) * | 1998-09-03 | 2000-05-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP2009274226A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-26 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、画像形成装置、圧電アクチュエータ、マイクロポンプ及び光変調デバイス |
-
2010
- 2010-01-05 JP JP2010000360A patent/JP5556181B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000141643A (ja) * | 1998-09-03 | 2000-05-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP2009274226A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-26 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、画像形成装置、圧電アクチュエータ、マイクロポンプ及び光変調デバイス |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015193163A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-05 | ブラザー工業株式会社 | 圧電アクチュエータ |
CN106142841A (zh) * | 2015-03-27 | 2016-11-23 | 兄弟工业株式会社 | 压电促动器和记录头 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5556181B2 (ja) | 2014-07-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4086535B2 (ja) | アクチュエータ及びインクジェットヘッドの製造方法 | |
JP2011055474A (ja) | ピストン・ダイアフラムを有した圧電型マイクロスピーカ及びその製造方法 | |
JP5582251B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよびそれを備えたインクジェットヘッド | |
Sharma et al. | Piezoelectric over Silicon-on-Nothing (pSON) process | |
JP5556181B2 (ja) | 薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッド | |
JP4114321B2 (ja) | インクジェットプリンタヘッド及びインクジェットプリンタヘッド用の圧電/電歪アクチュエータ | |
JP2004209874A (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP2012040619A (ja) | 容量型memsセンサおよびその製造方法 | |
JP5435798B2 (ja) | 乱流制御装置及び乱流制御用アクチュエータの製造方法 | |
WO2010150610A1 (ja) | 薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッド | |
JP2010122141A (ja) | Memsセンサ | |
JP6111849B2 (ja) | 圧電デバイスの製造方法 | |
JP5484662B2 (ja) | 無機材料膜のパターン形成方法 | |
JP2005331485A (ja) | 圧電素子および電気機械変換装置 | |
JP2003309301A (ja) | デバイス製造方法 | |
JP2018190891A (ja) | 圧電膜を有する積層基板の製造方法、圧電膜を有する素子の製造方法および圧電膜を有する積層体 | |
WO2011007645A1 (ja) | 薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッド | |
JP2011142153A (ja) | 薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッド | |
JPH10181013A (ja) | 圧電アクチュエータとその製造方法 | |
JP2006141082A (ja) | 小型圧電素子、及び、小型駆動装置 | |
JP2009193804A (ja) | アクチュエータおよびその製造方法 | |
JPH10339638A (ja) | 角速度センサ | |
JP2005144571A (ja) | 薄膜を備えた構造体の製造方法。 | |
JP2004237448A (ja) | 液体吐出ヘッド素子 | |
JP2009067025A (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120703 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20130123 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130702 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130819 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140520 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5556181 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |