JP6111849B2 - 圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態の圧電デバイスに適用される圧電アクチュエータの製造工程を示す断面図である。まず、本実施形態の圧電アクチュエータの製造方法について説明する。なお、以下で示す膜厚や材料は一例であり、これらに限定されるわけではない。
図2は、本実施形態の圧電デバイス30の一構成例を示す断面図であり、図3は、圧電デバイス30の製造の流れを示すフローチャートである。本実施形態の圧電デバイス30は、インクジェットヘッドに適用可能であるが、熱センサ(赤外線センサ)にも適用可能である。図2では、圧電デバイス30を熱センサに適用した例を示している。
アニール工程では、作製した圧電アクチュエータ20に対して、100℃以上で、かつ、圧電体層4のキュリー温度以下で、オーブンもしくはホットプレートを用いてアニール処理を行う。これにより、圧電アクチュエータ20の表面の水分が除去される。このとき、圧電体層4のキュリー温度以上に加熱すると、圧電体の脱分極が生じるため、キュリー温度以下でアニールを行う必要がある。
配線取り出し工程では、ワイヤーボンディングにより、下部電極3と図示しない駆動回路(フレキシブル回路基板)、および上部電極5と駆動回路とが電気的に接続される。
封止工程では、封止ケース21を用い、不活性ガスまたは乾燥空気からなる雰囲気中で、圧電アクチュエータ20を封止する。なお、上記の不活性ガスとしては、アルゴン、ヘリウム、クリプトンなどの希ガスや乾燥窒素を用いることができる。また、乾燥空気としては、空気中の水蒸気量(水蒸気圧)を著しく低下させて、湿度を10%以下、望ましくは1%以下まで低下させたものを用いることができる。
次に、本実施形態のように圧電アクチュエータ20に対してアニールを行った場合と行わなかった場合とで、圧電体層4の繰り返し駆動におけるシリコン薄肉層12の破壊の発生状況を調べた。なお、ここでは、圧電体層4を厚さ4〜5μmのPZTとし、下部電極3をPtとし、上部電極5をAuとし、シリコン薄肉部12の厚さを4〜7μmとして考察した。
図5は、本実施形態の圧電デバイス31の構成例を示す断面図である。この圧電デバイス31は、上述した製法によって作製される圧電アクチュエータ20を、インクジェットヘッドに適用したものである。
図7は、本実施形態の圧電デバイス31の他の構成例を示す断面図である。この圧電デバイス31は、上述した製法によって作製される圧電アクチュエータ20を、インクジェットヘッドに適用したものであるが、インターポーザー基板34を用いて上部電極5から配線を取り出した以外は、図5の構成と同様である。
4 圧電体層
5 上部電極
11 圧力室
12 シリコン薄肉層
20 圧電アクチュエータ
30 圧電デバイス
31 圧電デバイス
Claims (11)
- 圧力室を覆うシリコン薄肉層の振動板上に、前記圧力室を覆う下部電極と、前記圧力室の一部を覆う圧電体層および上部電極とをこの順で形成して圧電アクチュエータを作製する工程を有する圧電デバイスの製造方法であって、
前記圧力室が形成されて前記シリコン薄肉層の振動板の前記圧力室側の面が露出した前記圧電アクチュエータをアニールする工程と、
アニール後に、前記圧電アクチュエータを外部環境から封止する工程とを有していることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 前記圧電アクチュエータをアニールする工程の前に前記圧電体層を分極処理する工程を有し、
前記圧電アクチュエータをアニールするときの温度は、100℃以上で、かつ、前記圧電体層のキュリー温度以下であることを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイスの製造方法。 - 前記シリコン薄肉層の振動板の厚さは、1μm以上10μm以下であることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記シリコン薄肉層の振動板において、前記圧電アクチュエータの駆動時に発生する最大応力が800MPa以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記圧電体層は、鉛系ペロブスカイト酸化物で構成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の圧電デバイスの製造方法。
- 不活性ガスまたは乾燥空気からなる雰囲気中で、前記圧電アクチュエータを封止することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記圧電アクチュエータを封止する際に、封止環境内に吸湿剤を設置することを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記圧電アクチュエータを外部環境から封止する工程の後に前記圧電体層を分極処理する工程を有することを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記シリコン薄肉層の振動板の表面に亀裂が形成されていることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記圧電アクチュエータをアニールするときの温度は、230℃以上であることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記圧電体層を覆うように、前記上部電極の表面から前記下部電極の表面にわたって保護膜を形成する工程を有することを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の圧電デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2014225596A JP2014225596A (ja) | 2014-12-04 |
JP6111849B2 true JP6111849B2 (ja) | 2017-04-12 |
Family
ID=52124057
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013104783A Active JP6111849B2 (ja) | 2013-05-17 | 2013-05-17 | 圧電デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6111849B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015115353A1 (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
JP2017123728A (ja) * | 2016-01-07 | 2017-07-13 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーター、電子機器、及びロボット |
JP7015411B2 (ja) | 2020-01-10 | 2022-02-02 | 日本碍子株式会社 | 圧電振動基板および圧電振動素子 |
JP7491013B2 (ja) | 2020-03-26 | 2024-05-28 | 三菱ケミカル株式会社 | 積層圧電シート |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04349675A (ja) * | 1991-05-28 | 1992-12-04 | Hitachi Metals Ltd | 圧電アクチュエータ |
JP4209144B2 (ja) * | 2002-06-21 | 2009-01-14 | パナソニック株式会社 | 圧電アクチュエータ、インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JPWO2012165041A1 (ja) * | 2011-05-31 | 2015-02-23 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッドおよびそれを備えたインクジェット描画装置 |
-
2013
- 2013-05-17 JP JP2013104783A patent/JP6111849B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014225596A (ja) | 2014-12-04 |
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