JP2017123728A - 圧電アクチュエーター、電子機器、及びロボット - Google Patents
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Abstract
Description
圧電アクチュエーターの駆動体(振動板、圧電素子、電極、保護膜などを含む部位)において、電極間の絶縁性を確保するための保護膜としては、無機保護膜(AlOx、TaOxなど)を使用することが一般的であった(例えば、特許文献1)。
一般的に有機保護膜は、無機保護膜と比較して原料コストおよびプロセスコストが安価という利点を有する。加えて、無機保護膜は成膜割れ等により1μm以上の厚膜化が困難であるのに対し、有機保護膜は容易に3um程度まで積層させることが可能である。さらに、電気抵抗は膜厚に比例するため、無機保護膜と比較して有機保護膜は絶縁性の観点からも好ましい。また、有機保護膜は感光性を利用してパターニング可能なものもあるため、無機保護膜に対して工程が少なくて済む、といった利点も有する。その上、無機保護膜と比較して有機保護膜は一般的にヤング率が低く圧電素子の変位を阻害せずに駆動できるといったメリットもある。
これらの問題を解決するために、有機保護膜を固体とすることが考えられるが、固体の有機保護膜を用いた場合であっても、十分な信頼性(耐久性)を確保することが困難であるという課題があった。これは、有機保護膜は水分透過性及び吸湿性を有しているため、無機保護膜よりも耐湿性が劣るからである。
よって、有機保護膜を有しつつも高い信頼性を担保することが可能となる。従って、長期信頼性に優れた圧電アクチュエーターを提供することができる。
図1は、実施形態1に係る圧電アクチュエーターの斜視図である。
まず、実施形態1に係る圧電アクチュエーター100の概要について説明する。
図1に示す本実施形態の圧電アクチュエーター100は、略長方形をなした板状のアクチュエーターであり、内部に4つの圧電素子5a,6a,7a,8aを備えている。これらの圧電素子に超音波領域の駆動信号を印加することにより、長方形の短辺側の一辺に取り付けられた突起部としての振動伝達部2が楕円軌道を描いて振動し、振動伝達部2に接して配置されたローターや歯車(図示せず)などの被駆動体を駆動(回転)させる。
特に、圧電アクチュエーター100では、電極間保護膜として有機保護膜を使用しながらも、特徴ある封止構造(後述する)を採用することにより、従来困難であった十分な信頼性(耐久性)を確保することを実現している。
図2A,図2Bは、本実施形態に係る圧電アクチュエーターの動作説明図である。まず、圧電アクチュエーター100の振動挙動を含む動作原理を説明する。
図2A,図2Bは、駆動体1aの正面図であり、略長方形をなした基板11aを略均等に四分割した領域に、4つの圧電素子5a,6a,7a,8aがそれぞれ配置されている。圧電素子5a,6a,7a,8aは、基板11aを小さくした略相似形の長方形に形成されている。
このように、4つの圧電素子5a,6a,7a,8aへの駆動信号を制御することにより振動伝達部2を任意の方向に回転させることができる。
図3は、圧電アクチュエーターの分解斜視図である。
続いて、圧電アクチュエーター100の構成について説明する。
圧電アクチュエーター100は、駆動体1a、封止部材としての封止蓋4a、駆動体1b、封止部材としての封止蓋4b、振動伝達部2などから構成されている。ここで、駆動体1aおよび封止蓋4aで表面側の駆動ユニット50aが構成され、駆動体1bおよび封止蓋4bで裏面側の駆動ユニット50bが構成されている。本実施形態では、好適例としてこの表裏二つの駆動ユニット50a,50bをセットとして複合駆動体を構成している。なお、表面側の駆動ユニット50aと、裏面側の駆動ユニット50bとは同一のものであり、片側の駆動ユニット単独でも機能するが、2つの駆動ユニット50a,50bをセットとして駆動力を高めている。
駆動ユニット50aの駆動体1aは、振動板としての基板11a、圧電素子5a,6a,7a,8aなどから構成されている。なお、駆動体1aの詳細な構成については、後述する。
封止蓋4aは、断面視が凹形状を有した箱形状の蓋部材である。封止蓋4aは、駆動体1aにおける圧電素子5a,6a,7a,8a側の面に対して、凹形状を伏せた状態でセットされ、その周縁部が基板11aと接着されている。
振動伝達部2は、一体化された基板11a(基板11b)の短辺の一方に設置された半円状の突起部である。振動伝達部2の材料は、好適例としてAlOxを用いている。なお、振動伝達部2は、ローターや歯車などの被駆動体と当接する伝達部品であり、常に摺動し続けるため、耐摩耗性の高いセラミック材料などを用いることが好ましい。
次に、図4に示す圧電アクチュエーター100の側断面図を用いて、駆動体1aの詳細な積層構造について説明する。
駆動ユニット50aの駆動体1aは、下部から基板11a、下部電極12a、圧電素子7a,8a、上部電極13a、保護膜14a、コンタクトホール15a、配線電極16aなどから構成された積層構造体である。なお、以下の説明において、基板11a上における、下部電極12aから配線電極16aまでの積層構造を積層体という。
基板11aは、前述したように、好適例としてSi基板を用いている。
下部電極12aは、圧電素子の一方の電極であり、好適例としてPt(白金)、Ir(イリジウム)、Ti(チタン)の薄膜を積層した構造を採用している。これらの材料は基板11a上に、スパッタリング法にて成膜された後、フォトリソグラフィーおよび各種エッチング法によりパターニングされて電極が形成される。なお、これらの工程は、積層される材料ごとに繰り返し行われる。
上部電極13aは、圧電素子の他方の電極であり、好適例としてIrの薄膜を用いている。なお、Irに限らず金属膜であれば良く、例えば、Au(金)や、Cu(銅)を用いても良いし、下部電極12aと同様にこれらの金属を積層した積層膜を使用しても良い。
コンタクトホール15aは、保護膜14aに形成された穴(ビア)であり、上部電極13aと配線電極16aとの間の電気的な導通を確保している。
なお、上部電極13aや配線電極16aの上下に、各層との密着性向上のための密着層として、Ti−W単体や、Ni(ニッケル)とCr(クロム)との合金の薄膜層を入れてもよい。
封止蓋4aは、駆動体1a側に減圧乾燥環境を封止するため、圧電素子7a,8a側の面に対して、凹形状を伏せた状態でセットされている。この凹形状は、駆動時に封止蓋4a(凹形状の底面)が、圧電素子7a,8aを含む積層体と干渉しない深さで、かつ、封止蓋4aの強度が担保される形状に設定されている。
封止蓋4aの材質は、好適例として基板11aと同じSi基板を用いている。これは、信頼性を確保するために、封止蓋4aの材質と基板11aの材質の熱膨張係数が同様のものが好ましいからである。なお、Si基板に限定するものではなく、熱膨張係数が同様の材料であれば良く、例えば、セラミックや、金属(合金含む)であっても良い。
基板11aに対する封止蓋4aの接合は、減圧乾燥下(湿度20%以下)に設定されたチャンバー内で行われる。詳しくは、当該チャンバー内で、封止蓋4a(凹形状)の周縁部に接着剤17aを転写法にて塗布した後、封止蓋4aの凹形状を伏せた状態で基板11aに被せ、硬化に必要な温度と時間を印加することにより、接着剤17aを硬化させる。
接着剤17aは、好適例としてエポキシ系の熱硬化樹脂を用いている。なお、これに限定するものではなく、段差構造を吸収可能で、かつ、硬化後に1.0〜2.0um程度の厚さを確保可能な接着剤であれば良い。
駆動ユニット50aと駆動ユニット50bとは、基板11aと基板11bとを接合して一体化されている。本実施形態では、基板11aと基板11bとをエポキシ系の熱硬化型接着剤である接着層10で接着している。これは、有機保護膜である保護膜14a形成の後工程で、接着層10を硬化することになるため、保護膜14aのガラス転移点以下の温度にて硬化可能な接着剤が好ましいからである。
なお、この構成に限定するものではなく、基板11aおよび基板11bは、同じSi基板で構成されているため、接着剤を用いずに、両者をSi‐Si接合により直接接合しても良い。
図5は、効果検証に係るグラフ図である。図5には、本実施形態に相当する乾燥環境下における信頼性試験結果を表すグラフ41と、比較例となる大気環境下における信頼性試験結果を表すグラフ40とが示されている。横軸は耐久パルス印加時間[h]を示し、縦軸は信頼性試験における継時的な素子破壊割合[%]を示している。
封止構造にて想定される効果を示唆する試験結果について以下に説明する。
まず、本試験は、封止構造(封止蓋4a)のない100個の圧電素子(駆動体1a状態)に対し、大気環境下と、乾燥環境(湿度20%)下とにおいて、それぞれ20kHz,Vpp=100Vの正弦波を印加し続けた際の信頼性試験の結果である。
圧電アクチュエーター100は、固体の有機保護膜である保護膜14aを採用するとともに、保護膜14aを含む積層構造を封止蓋4aにより減圧乾燥状態で密封する構成とした。これにより、図5の効果検証で説明した通り、保護膜14aを採用しながらも、十分な信頼性(耐久性)を確保することができる。
従って、長期信頼性に優れた圧電アクチュエーター100を提供することができる。さらに、固体の有機保護膜である保護膜14aを採用しているため、従来の液体の有機保護膜を用いた技術に比べて、デバイスとして取扱い易く、使い勝手に優れている。
有機保護膜(保護膜14a)は、無機保護膜と比較して原料コストおよびプロセスコストが安価という利点を有する。加えて、無機保護膜は成膜割れ等により1μm以上の厚膜化が困難であるのに対し、有機保護膜は容易に3um程度まで積層させることが可能である。さらに、電気抵抗は膜厚に比例するため、無機保護膜と比較して有機保護膜は絶縁性の観点からも好ましい。また、有機保護膜は感光性を利用してパターニング可能なものもあるため、無機保護膜に対して工程が少なくて済む、といった利点も有する。その上、無機保護膜と比較して有機保護膜は一般的にヤング率が低く圧電素子の変位を阻害せずに駆動できるといったメリットもある。
これにより、有機保護膜14aを使用しつつも水分起因の信頼性劣化の抑制が可能な圧電アクチュエーター100を提供することができる。
図6は、実施形態2に係る圧電アクチュエーターの斜視図であり、図1に対応している。図7は、実施形態2に係る圧電アクチュエーターの斜視分解図であり、図3に対応している。まず、実施形態2に係る圧電アクチュエーター110の概要について説明する。なお、実施形態1と同一の構成部位については、同一の符号を附して、重複する説明は省略する。
本実施形態の圧電アクチュエーター110は、実施形態1と同様に感光性有機保護膜を用いつつ高い信頼性実現を可能とした圧電アクチュエーターである。また、本実施形態においては、実施形態1とは異なる特徴ある封止構造を用いることで、実施形態1と比較して部品点数の削減及び薄型化を実現している。
図8は、図6のQ−Q断面における側断面図である。
続いて、図8に示す圧電アクチュエーター110の側断面図を用いて、本実施形態に係る封止構造について説明する。
封止部材18は、好適例として基板11a,11bと同じSi基板を採用している。これは両者の線膨張係数が異なっていると、接着時の加熱によりゆがみが生じ兼ねないからである。なお、同一の材料に限定するものではなく、線膨張係数が近い材料であれば良く、例えば、セラミックや、金属を用いても良い。
封止部材18の厚さは、向い合う、駆動体1aの積層構造と、駆動体1bの積層構造とが干渉しない寸法に設定されている。なお、封止部材18の形成は、研削したSi基板に対して、フォトリソグラフィーおよびドライエッチングを行うことで形成可能である。
まず、額縁状をなした封止部材18の表面に、転写法をもちいて接着剤19aを塗布した後、基板11aの外周縁が封止部材18の表面に重なるように駆動体1aを貼り合せる。なお、接着剤19a,19bは、実施形態1と同じエポキシ系の熱硬化型接着剤を用いている。所定の温度で加熱して、接着剤19aを硬化(半硬化でも良い)させる。
同様に、額縁状をなした封止部材18の裏面に、転写法をもちいて接着剤19bを塗布した後、基板11bの外周縁が封止部材18の裏面に重なるように駆動体1b貼り合せる。その後、所定の温度で加熱して、接着剤19bを硬化させる。
なお、この接合工程は上記工程に限定するものではなく、3者を一体に接合可能な工程であれば良く、例えば、基板11a,11bの周縁部に接着剤を塗布した後、封止部材18を両者で挟み込んだ状態で、加熱硬化することであっても良い。または、基板11a,11bおよび封止部材18は、同じSi基板で構成されているため、接着剤を用いずに、3者をSi‐Si接合により直接接合しても良い。
本実施形態によれば、1つの額縁状の封止部材18により、封止構造を実現することができる。さらに、2つの封止蓋を用いた構成に比べて、1つの封止部材18の厚さで良いため、圧電アクチュエーター110の総厚を薄くすることができる。
従って、シンプルかつ薄型で、長期信頼性に優れた圧電アクチュエーター110を提供することができる。
上記実施形態において、圧電アクチュエーターの封止環境を減圧乾燥下(湿度20%以下)としたが、湿度20%以下で封止環境が担保できればこの構成に限定するものではなく、例えば、不活性ガス(窒素、アルゴンなど)を充填した構成であっても良いし、シリコンオイルや、エポキシ等の有機材料を封入した構成であっても良い。
図4を用いて説明する。
上記実施形態において、保護膜14a,14bとして有機保護膜を形成するとしたが、この構成に限定するものではなく、有機保護膜を含む構成であれば良い。例えば、圧電素子の側壁保護のために、30nm以上100nm以下の無機系保護膜を圧電素子上に下地層として形成した後、有機保護膜を形成したハイブリッドの層構成としても良い。
図9は、変形例3に係る駆動体の平面図であり、図2Aに対応している。なお、実施形態1での説明と重複する部分については、同じ符号を附して説明する。
上記実施形態では、駆動体1a,1bに配置される圧電素子の個数は4つであるものとして説明したが、この構成に限定するものではなく、振動伝達部2において左右回転を促す楕円軌跡を生じさせ得る数(配置態様)であれば良い。
例えば、図9に示すように、本変形例の駆動体61aでは、4つの圧電素子5a,6a,7a,8aに加えて、駆動体61aの中央に、5つめの圧電素子9aを設けている。圧電素子9aは、長方形をなした駆動体61aの中央に、長辺に沿って帯状に配置されている。平面視において、圧電素子9aの左横には圧電素子5a,8aが配置されており、右横には圧電素子6a,7aが配置されている。
右回転の場合、実施形態1と同様に、2つの圧電素子5a,7aに駆動信号が印加されるとともに、圧電素子9aにも駆動信号が印加される。残りの圧電素子6a、8aには、駆動信号が印加されない。長辺方向に沿って真直ぐに伸縮する圧電素子9aの動きは、圧電素子5a,7aによる屈曲振動(正方向)を増強する働きを奏し、振動伝達部2が右回転を促す楕円軌道を描くことになる。
同様に、左回転の場合、2つの圧電素子6a,8aに駆動信号が印加されるとともに、圧電素子9aにも駆動信号が印加される。残りの圧電素子5a、7aには、駆動信号が印加されない。長辺方向に沿って真直ぐに伸縮する圧電素子9aの動きは、圧電素子6a,8aによる屈曲振動(逆方向)を増強する働きを奏し、振動伝達部2が左回転を促す楕円軌道を描くことになる。
本変形例に係る駆動体61aによれば、より駆動力(トルク)を高めることができる。
図10は、電子機器としての腕時計の日めくりカレンダー機構の概略平面図である。
腕時計150には、リング状の日めくりカレンダー22が組み込まれている。
日めくりカレンダー22は、動力源として上記実施形態、または変形例に記載の圧電アクチュエーター100(110)を備えている。圧電アクチュエーター100が駆動されると、複数の歯車などから構成された輪列部21が駆動されて、日めくりカレンダー22の内周に形成された駆動歯車51を回転駆動する。
上述した通り、腕時計150は、電磁モーターよりも小型軽量で、長期信頼性に優れた、圧電アクチュエーター100(110)を備えている。従って、小型軽量で、長期信頼性に優れた腕時計を提供することができる。
図11Aは、ロボットの外観を示す斜視図である。図11Bは、ロボットのハンドの平面図である。
ロボット160は、六軸の多関節ロボットであり、人間の腕を模した複数のリンクの末端に、人間の手に相当するハンド部31を備えている。ハンド部31には、人間の親指と人差し指とに相当する2本の指が設けられており、当該2本の指で部品を把持することができる。指は、3つのリンク32,34、36、およびジョイント33、35、37などから構成されている。
リンク32とジョイント33とで、人間の指の第1関節の機能を果たす。同様に、リンク34とジョイント35とで第2関節、リンク36とジョイント37とで第3関節の機能を果たしている。
上述した通り、ロボット160は、電磁モーターよりも省電力かつ精密な動きが可能で、長期信頼性に優れた、圧電アクチュエーター100(110)を備えている。従って、省電力かつ精密な動きが可能で、長期信頼性に優れたロボット160を提供することができる。
Claims (8)
- 振動板と、
前記振動板に配置された圧電素子と、
前記圧電素子に取り付けられた電極と、
前記圧電素子および前記電極を覆う有機保護膜を含む駆動体と、
前記駆動体の端部に取り付けられた突起部と、
前記有機保護膜を含む前記振動板上に積層された積層体を減圧環境下で密封する封止部材と、を備えることを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 前記封止部材は、凹形状を有する箱状をなしており、
前記振動板に対して、前記凹形状を伏せた状態で重ねられるとともに、前記凹形状の外壁が前記振動板と接着されており、
前記凹形状の底面と、前記積層体との間には、空間が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエーター。 - 前記駆動体は、第1駆動体と第2駆動体との2つが設けられ、
前記第1駆動体には、前記封止部材としての第1蓋が接着され、
前記第2駆動体には、前記封止部材としての第2蓋が接着されており、
前記第1駆動体の振動板と、前記第2駆動体の振動板とが貼り合せられた複合駆動体を形成してなり、
前記複合駆動体において、前記第1蓋を表面としたときに、前記第2蓋が裏面となるように構成されていることを特徴とする請求項2に記載の圧電アクチュエーター。 - 前記封止部材は、前記振動板の外形に沿ったリング状の部材であり、
前記駆動体は、第1駆動体と第2駆動体との2つが設けられ、
前記第1駆動体と前記第2駆動体とは、周縁部に前記封止部材を挟持した状態で、それぞれの前記積層体が向い合う状態で重ねられており、
前記第1駆動体の積層体と、前記第2駆動体の積層体との間には、空間が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエーター。 - 前記空間における湿度は、20%Rh以下であることを特徴とする請求項3または4に記載の圧電アクチュエーター。
- 前記空間には、不活性ガスが封入されていることを特徴とする請求項3または4に記載の圧電アクチュエーター。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の圧電アクチュエーターを備えたことを特徴とする電子機器。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の圧電アクチュエーターを備えたことを特徴とするロボット。
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