JPH0819273A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JPH0819273A JPH0819273A JP6149403A JP14940394A JPH0819273A JP H0819273 A JPH0819273 A JP H0819273A JP 6149403 A JP6149403 A JP 6149403A JP 14940394 A JP14940394 A JP 14940394A JP H0819273 A JPH0819273 A JP H0819273A
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- Japan
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- ultrasonic motor
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- electromechanical conversion
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電極および接合部材の劣化を防止し、耐環境
性に優れた超音波モータを提供する。 【構成】 両面の電極１３ａ，１３ｂに入力される駆動
信号により励振される電気機械変換素子１２と、電気機
械変換素子１２の一方の電極１３ａ側に接合される弾性
体１１とを備え、電気機械変換素子１２と弾性体１１と
の接合部１５の外周１５ａ、内周１５ｂは保護膜４ａ，
４ｂで覆われる。保護膜４ａ，４ｂはアクリル樹脂，エ
ポキシ樹脂，シリコン樹脂等の合成高分子やガラスコー
トで形成される。 【効果】 電極１３ａ，１３ｂや接着剤１４において周
囲環境に晒される部分に保護膜４ａ，４ｂを設けたた
め、水やイオン等の進入や酸化等の周囲環境の影響によ
る電極１３ａ，１３ｂや接着剤１４の劣化を防止するこ
とができる。
性に優れた超音波モータを提供する。 【構成】 両面の電極１３ａ，１３ｂに入力される駆動
信号により励振される電気機械変換素子１２と、電気機
械変換素子１２の一方の電極１３ａ側に接合される弾性
体１１とを備え、電気機械変換素子１２と弾性体１１と
の接合部１５の外周１５ａ、内周１５ｂは保護膜４ａ，
４ｂで覆われる。保護膜４ａ，４ｂはアクリル樹脂，エ
ポキシ樹脂，シリコン樹脂等の合成高分子やガラスコー
トで形成される。 【効果】 電極１３ａ，１３ｂや接着剤１４において周
囲環境に晒される部分に保護膜４ａ，４ｂを設けたた
め、水やイオン等の進入や酸化等の周囲環境の影響によ
る電極１３ａ，１３ｂや接着剤１４の劣化を防止するこ
とができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波モータに関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、新しい駆動源として、小型で騒音
の少ない超音波モータが注目されている。以下、図７と
図８とを用いて従来の超音波モータの説明を行う。図７
は従来の円管型超音波モータの概略を示す図であり、図
８は図７の矢印VIIIから見た断面の詳細を示す拡大図で
ある。固定子１は、鉄、ステンレス、インバー、リン青
銅、ジェラルミン等の金属から形成される弾性体１１と
電気機械変換素子１２を備えている。電気機械変換素子
１２の両面には電極１３ａ，１３ｂが設けられている。
弾性体１１は接着剤１４により電極１３ａ側に接合され
ている。接合部１５は弾性体１１と電気機械変換素子１
２との接合部であり、接合部１５の外周を１５ａ、内周
を１５ｂで示す。移動子２は移動子母材２１と摺動材２
２とを備えている。
の少ない超音波モータが注目されている。以下、図７と
図８とを用いて従来の超音波モータの説明を行う。図７
は従来の円管型超音波モータの概略を示す図であり、図
８は図７の矢印VIIIから見た断面の詳細を示す拡大図で
ある。固定子１は、鉄、ステンレス、インバー、リン青
銅、ジェラルミン等の金属から形成される弾性体１１と
電気機械変換素子１２を備えている。電気機械変換素子
１２の両面には電極１３ａ，１３ｂが設けられている。
弾性体１１は接着剤１４により電極１３ａ側に接合され
ている。接合部１５は弾性体１１と電気機械変換素子１
２との接合部であり、接合部１５の外周を１５ａ、内周
を１５ｂで示す。移動子２は移動子母材２１と摺動材２
２とを備えている。
【０００３】電極１３ａ，１３ｂを介して電気機械変換
素子１２に駆動信号が入力されると、電気機械変換素子
１２は弾性体１１との接合面に沿った方向に励振され
る。電気機械変換素子１２が振動すると、弾性体１１に
微小振動が励起される。移動子２の摺動材２２は弾性体
１１に接触しており、弾性体１１の微小振動により移動
子２が回転駆動される。
素子１２に駆動信号が入力されると、電気機械変換素子
１２は弾性体１１との接合面に沿った方向に励振され
る。電気機械変換素子１２が振動すると、弾性体１１に
微小振動が励起される。移動子２の摺動材２２は弾性体
１１に接触しており、弾性体１１の微小振動により移動
子２が回転駆動される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述の超音波モータで
は、接合部１５の外周１５ａと内周１５ｂとが露出し周
囲環境に直接晒されているため、電極１３ａや接着剤１
４は水分やイオン等の侵入または酸化等により劣化し、
特に、電極１３ａや接着剤１４は電気機械変換素子１２
によって接合面に沿う方向に変形させられるため、亀裂
が生じて電気機械変換素子１２が弾性体１１から剥がれ
る問題点があった。また、電極１３ｂは全面が露出して
おり、酸化されひび割れが生じる等の問題点があった。
は、接合部１５の外周１５ａと内周１５ｂとが露出し周
囲環境に直接晒されているため、電極１３ａや接着剤１
４は水分やイオン等の侵入または酸化等により劣化し、
特に、電極１３ａや接着剤１４は電気機械変換素子１２
によって接合面に沿う方向に変形させられるため、亀裂
が生じて電気機械変換素子１２が弾性体１１から剥がれ
る問題点があった。また、電極１３ｂは全面が露出して
おり、酸化されひび割れが生じる等の問題点があった。
【０００５】本発明の目的は、電極や接合部の劣化を防
止し、耐環境性に優れた超音波モータを提供することに
ある。
止し、耐環境性に優れた超音波モータを提供することに
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】実施例を示す図１に対応
付けて説明すると、請求項１の発明は、両面の電極１３
ａ，１３ｂから入力される駆動信号により励振される電
気機械変換素子１２と、電気機械変換素子１２の一方の
電極１３ａ側に接合される弾性体１１とを備えた超音波
モータに適用される。そして、電気機械変換素子１２と
弾性体１１との接合部１５の周囲１５ａ，１５ｂを保護
膜４ａ，４ｂで覆い上述した目的を達成する。図３に対
応付けて説明すると、請求項２の発明では、弾性体１１
との接合部１５と反対側に位置する電極１３ｂを保護膜
６ａで覆い上述した目的を達成する。図５に対応付けて
説明すると、請求項３の発明では、電気機械変換素子１
２と弾性体１１との接合部１５の周囲１５ａ，１５ｂ
と、弾性体１１との接合部１５と反対側に位置する電極
１３ｂとを保護膜８ａで一体に覆い上述した目的を達成
する。なお、請求項４では、保護膜４ａ，４ｂ，６ａお
よび８ａは合成高分子により形成される。
付けて説明すると、請求項１の発明は、両面の電極１３
ａ，１３ｂから入力される駆動信号により励振される電
気機械変換素子１２と、電気機械変換素子１２の一方の
電極１３ａ側に接合される弾性体１１とを備えた超音波
モータに適用される。そして、電気機械変換素子１２と
弾性体１１との接合部１５の周囲１５ａ，１５ｂを保護
膜４ａ，４ｂで覆い上述した目的を達成する。図３に対
応付けて説明すると、請求項２の発明では、弾性体１１
との接合部１５と反対側に位置する電極１３ｂを保護膜
６ａで覆い上述した目的を達成する。図５に対応付けて
説明すると、請求項３の発明では、電気機械変換素子１
２と弾性体１１との接合部１５の周囲１５ａ，１５ｂ
と、弾性体１１との接合部１５と反対側に位置する電極
１３ｂとを保護膜８ａで一体に覆い上述した目的を達成
する。なお、請求項４では、保護膜４ａ，４ｂ，６ａお
よび８ａは合成高分子により形成される。
【０００７】
【作用】請求項１の発明では、電気機械変換素子１２と
弾性体１１との接合部１５が保護膜４ａ，４ｂによって
周囲環境から遮断される。請求項２の発明では、弾性体
１１との接合部１５と反対側に位置する電極１３ｂが保
護膜６ａによって周囲環境から遮断される。請求項３の
発明では弾性体１１との接合部１５の外周１５ａ、内周
１５ｂと、接合部１５と反対側に位置する電極１３ｂと
が保護膜８ａによって周囲環境から遮断される。なお、
請求項４の発明のように、保護膜４ａ，４ｂ，６ａおよ
び８ａを形成する物質に合成高分子を用いてもよい。
弾性体１１との接合部１５が保護膜４ａ，４ｂによって
周囲環境から遮断される。請求項２の発明では、弾性体
１１との接合部１５と反対側に位置する電極１３ｂが保
護膜６ａによって周囲環境から遮断される。請求項３の
発明では弾性体１１との接合部１５の外周１５ａ、内周
１５ｂと、接合部１５と反対側に位置する電極１３ｂと
が保護膜８ａによって周囲環境から遮断される。なお、
請求項４の発明のように、保護膜４ａ，４ｂ，６ａおよ
び８ａを形成する物質に合成高分子を用いてもよい。
【０００８】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段と作用の項では、本発明を分かり易
くするために実施例の図を用いたが、これにより本発明
が実施例に限定されるものではない。
解決するための手段と作用の項では、本発明を分かり易
くするために実施例の図を用いたが、これにより本発明
が実施例に限定されるものではない。
【０００９】
【実施例】以下、図１〜図６を参照して本発明の実施例
を説明する。なお、図１〜図６において図７および図８
と共通部分には同一の符号を付け、説明を省略する。 −第１実施例− 図１は、本発明を図７に示す円管型超音波モータの固定
子に適用した例を、図８に対応させて示すものである。
４は固定子であり、両面に電極１３ａ，１３ｂが設けら
れた電気機械変換素子１２が接合部材１４により弾性体
１１に接合されている。弾性体１１と電気機械変換素子
１２との接合部１５の外周１５ａ、内周１５ｂは、保護
膜４ａ，４ｂにより覆われる。したがって、固定子４の
周囲環境に存在する水分やイオン等の侵入や酸化等によ
る電極１３ａ，接着剤１４の劣化が生じることなく、電
気機械変換素子１２が弾性体１１から剥がれるのを防
ぐ。
を説明する。なお、図１〜図６において図７および図８
と共通部分には同一の符号を付け、説明を省略する。 −第１実施例− 図１は、本発明を図７に示す円管型超音波モータの固定
子に適用した例を、図８に対応させて示すものである。
４は固定子であり、両面に電極１３ａ，１３ｂが設けら
れた電気機械変換素子１２が接合部材１４により弾性体
１１に接合されている。弾性体１１と電気機械変換素子
１２との接合部１５の外周１５ａ、内周１５ｂは、保護
膜４ａ，４ｂにより覆われる。したがって、固定子４の
周囲環境に存在する水分やイオン等の侵入や酸化等によ
る電極１３ａ，接着剤１４の劣化が生じることなく、電
気機械変換素子１２が弾性体１１から剥がれるのを防
ぐ。
【００１０】なお、保護膜４ａ，４ｂとしては、耐候性
の良いエポキシ樹脂、シリコン樹脂や、振動を阻害しな
いアクリル樹脂等の合成高分子やガラスコートで形成さ
れることが好ましい。また、保護膜４ａ，４ｂを形成す
る前に電気機械変換素子１２に対してリン酸エステル等
のコート剤を用い、その後に保護膜４ａ，４ｂを形成し
てもよい。
の良いエポキシ樹脂、シリコン樹脂や、振動を阻害しな
いアクリル樹脂等の合成高分子やガラスコートで形成さ
れることが好ましい。また、保護膜４ａ，４ｂを形成す
る前に電気機械変換素子１２に対してリン酸エステル等
のコート剤を用い、その後に保護膜４ａ，４ｂを形成し
てもよい。
【００１１】−第２実施例− 図２は本発明をリニア型超音波モータの固定子に適用し
たものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ
Ａ’断面図である。図２において、図７および図８と共
通部分には同一の符号を付ける。リニア型超音波モータ
は固定子５と不図示の移動子とを備えている。弾性体５
１は、下面に突起５１ａ，５１ｂが設けられ、上面には
両面に電極１３ａ，１３ｂが設けられた２組の電気機械
変換素子１２が接着剤１４により接合されている。電気
機械変換素子１２は弾性体５１との接合面に沿った方向
に励振され、電気機械変換素子１２により励起された弾
性体１１の微小振動は突起５１ａ，５１ｂから取り出さ
れる。そして、突起５１ａ，５１ｂに接触している不図
示の移動子が駆動される。ここで、電気機械変換素子１
２と弾性体５１との接合部１５の周囲１５ａ（二点鎖線
で示す）は、保護膜５ａにより覆われる。なお、保護膜
５ａは第１実施例の保護膜４ａ，４ｂと同じ材質で形成
されている。
たものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ
Ａ’断面図である。図２において、図７および図８と共
通部分には同一の符号を付ける。リニア型超音波モータ
は固定子５と不図示の移動子とを備えている。弾性体５
１は、下面に突起５１ａ，５１ｂが設けられ、上面には
両面に電極１３ａ，１３ｂが設けられた２組の電気機械
変換素子１２が接着剤１４により接合されている。電気
機械変換素子１２は弾性体５１との接合面に沿った方向
に励振され、電気機械変換素子１２により励起された弾
性体１１の微小振動は突起５１ａ，５１ｂから取り出さ
れる。そして、突起５１ａ，５１ｂに接触している不図
示の移動子が駆動される。ここで、電気機械変換素子１
２と弾性体５１との接合部１５の周囲１５ａ（二点鎖線
で示す）は、保護膜５ａにより覆われる。なお、保護膜
５ａは第１実施例の保護膜４ａ，４ｂと同じ材質で形成
されている。
【００１２】−第３実施例− 図３は、本発明による第３実施例を示し、円管型超音波
モータの固定子６の断面図である。弾性体１１との接合
部と反対側に位置する電極１３ｂは保護膜６ａで覆われ
る。そのため、電極１３ｂは周囲環境の水分やイオン等
の進入が防止され、酸化等による電極１３ｂの劣化を防
ぐことができる。なお、保護膜６ａは第１実施例の保護
膜４ａ，４ｂと同じ材質で形成されている。
モータの固定子６の断面図である。弾性体１１との接合
部と反対側に位置する電極１３ｂは保護膜６ａで覆われ
る。そのため、電極１３ｂは周囲環境の水分やイオン等
の進入が防止され、酸化等による電極１３ｂの劣化を防
ぐことができる。なお、保護膜６ａは第１実施例の保護
膜４ａ，４ｂと同じ材質で形成されている。
【００１３】−第４実施例− 図４は、本発明による第４実施例を示し、リニア型超音
波モータの固定子７の断面図である。ここでは、２つの
電極１３ｂは保護膜７ａにより覆われる。なお、保護膜
７ａは第１実施例の保護膜４ａ，４ｂと同じ材質で形成
されている。
波モータの固定子７の断面図である。ここでは、２つの
電極１３ｂは保護膜７ａにより覆われる。なお、保護膜
７ａは第１実施例の保護膜４ａ，４ｂと同じ材質で形成
されている。
【００１４】−第５実施例− 図５は、本発明による第５実施例を示し、円管型超音波
モータの固定子８の断面図である。電気機械変換素子１
２と弾性体１１との接合部１５の外周１５ａ、内周１５
ｂと、接着剤１４と反対側に位置する電極１３ｂとは保
護膜８ａで一体に覆われる。よって、電極１３ａ，１３
ｂおよび接着剤１４の劣化を防止することができる。さ
らに、電極１３ｂと接合部１５の外周１５ａ、内周１５
ｂを一体に保護膜８ａで覆うため、それぞれを別々に保
護膜で覆う場合に比べ作業工程が少なくて済む。なお、
保護膜８ａは第１実施例の保護膜４ａ，４ｂと同じ材質
で形成されている。
モータの固定子８の断面図である。電気機械変換素子１
２と弾性体１１との接合部１５の外周１５ａ、内周１５
ｂと、接着剤１４と反対側に位置する電極１３ｂとは保
護膜８ａで一体に覆われる。よって、電極１３ａ，１３
ｂおよび接着剤１４の劣化を防止することができる。さ
らに、電極１３ｂと接合部１５の外周１５ａ、内周１５
ｂを一体に保護膜８ａで覆うため、それぞれを別々に保
護膜で覆う場合に比べ作業工程が少なくて済む。なお、
保護膜８ａは第１実施例の保護膜４ａ，４ｂと同じ材質
で形成されている。
【００１５】−第６実施例− 図６は、本発明による第６実施例を示し、リニア型超音
波モータの固定子９の断面図である。２つの電気機械変
換素子１２は、それぞれについて電極１３ｂと接合部１
５の周囲１５ａとが保護膜９ａで一体に覆われる。よっ
て、電極１３ａ，１３ｂおよび接着剤１４の劣化を防止
することができる。さらに、それぞれ一体に保護膜９ａ
で覆われるため、電極１３ｂと接合部１５の周囲１５ａ
とを別々に保護膜で覆う場合に比べ作業工程が少なくて
済む。
波モータの固定子９の断面図である。２つの電気機械変
換素子１２は、それぞれについて電極１３ｂと接合部１
５の周囲１５ａとが保護膜９ａで一体に覆われる。よっ
て、電極１３ａ，１３ｂおよび接着剤１４の劣化を防止
することができる。さらに、それぞれ一体に保護膜９ａ
で覆われるため、電極１３ｂと接合部１５の周囲１５ａ
とを別々に保護膜で覆う場合に比べ作業工程が少なくて
済む。
【００１６】なお、上述の例では、２つの電気機械変換
素子１２の電極１３ｂと接合部１５の周囲１５ａとが個
別に保護膜９ａで一体に覆われたが、２つの電気機械変
換素子１２の電極１３ｂと接合部１５の周囲１５ａとが
一体に１つの保護膜９ａで覆われるようにしてもよい。
この場合、個別に保護膜９ａで覆う場合に比べ作業工程
がさらに少なくて済む。ここで、保護膜９ａは第１実施
例の保護膜４ａ，４ｂと同じものである。
素子１２の電極１３ｂと接合部１５の周囲１５ａとが個
別に保護膜９ａで一体に覆われたが、２つの電気機械変
換素子１２の電極１３ｂと接合部１５の周囲１５ａとが
一体に１つの保護膜９ａで覆われるようにしてもよい。
この場合、個別に保護膜９ａで覆う場合に比べ作業工程
がさらに少なくて済む。ここで、保護膜９ａは第１実施
例の保護膜４ａ，４ｂと同じものである。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
電極や接合部の周囲環境に晒される部分に保護膜を設け
たため、水やイオン等の進入や酸化等の周囲環境の影響
による電極や接合部の劣化を防止することができ、超音
波モータの駆動性能の低下や、電極が絶縁されたり接合
部が破壊されたりするのを防ぐことができる。
電極や接合部の周囲環境に晒される部分に保護膜を設け
たため、水やイオン等の進入や酸化等の周囲環境の影響
による電極や接合部の劣化を防止することができ、超音
波モータの駆動性能の低下や、電極が絶縁されたり接合
部が破壊されたりするのを防ぐことができる。
【図１】本発明の第１実施例に係る円管型超音波モータ
の固定子の断面図である。
の固定子の断面図である。
【図２】本発明の第２実施例に係るリニア型超音波モー
タを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の
ＡＡ’断面図である。
タを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の
ＡＡ’断面図である。
【図３】本発明の第３実施例に係る円管型超音波モータ
の固定子の断面図である。
の固定子の断面図である。
【図４】本発明の第４実施例に係るリニア型超音波モー
タの固定子の断面図である。
タの固定子の断面図である。
【図５】本発明の第５実施例に係る円管型超音波モータ
の固定子の断面図である。
の固定子の断面図である。
【図６】本発明の第６実施例に係るリニア型超音波モー
タの固定子の断面図である。
タの固定子の断面図である。
【図７】従来の円管型超音波モータの固定子および移動
子の概略図である。
子の概略図である。
【図８】図７の矢印VIIIから見た断面の詳細を示す拡大
図である。
図である。
４ａ，４ｂ，５ａ，６ａ，７ａ，８ａ，９ａ 保護膜 １１，５１ 弾性体 １２ 電気機械変換素子 １３ａ，１３ｂ 電極 １４ 接着剤 １５ 接合部 １５ａ 外周 １５ｂ 内周 ５１ａ，５１ｂ 突起
Claims (4)
- 【請求項１】 両面の電極から入力される駆動信号によ
り励振される電気機械変換素子と、前記電気機械変換素
子の一方の電極側に接合される弾性体とを備えた超音波
モータにおいて、 前記電気機械変換素子と前記弾性体との接合部の周囲を
保護膜で覆ったことを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項２】 両面の電極から入力される駆動信号によ
り励振される電気機械変換素子と、前記電気機械変換素
子の一方の電極側に接合される弾性体とを備えた超音波
モータにおいて、 前記弾性体との接合部と反対側に位置する他方の電極を
保護膜で覆ったことを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項３】 両面の電極から入力される駆動信号によ
り励振される電気機械変換素子と、前記電気機械変換素
子の一方の電極側に接合される弾性体とを備えた超音波
モータにおいて、 前記電気機械変換素子と前記弾性体との接合部の周囲
と、前記弾性体との接合部と反対側に位置する他方の電
極とを保護膜で一体に覆ったことを特徴とする超音波モ
ータ。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の超音波
モータにおいて、 前記保護膜は、合成高分子により形成されることを特徴
とする超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6149403A JPH0819273A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6149403A JPH0819273A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 超音波モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0819273A true JPH0819273A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15474376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6149403A Pending JPH0819273A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0819273A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017123728A (ja) * | 2016-01-07 | 2017-07-13 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーター、電子機器、及びロボット |
-
1994
- 1994-06-30 JP JP6149403A patent/JPH0819273A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017123728A (ja) * | 2016-01-07 | 2017-07-13 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーター、電子機器、及びロボット |
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