JP2009086370A - 光走査装置の製造方法及び光走査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】光走査装置に使用される圧電素子に水分が浸入して、電極が劣化することを防止する保護層を、製造工程を増加させないで形成する。
【解決手段】揺動可能な反射部1を備える可動部と、可動部を保持する固定部5と、可動部の一部と固定部5の一部に跨って設置される圧電素子7と、固定部5が設置される筐体9とを備える光走査装置25の製造方法において、圧電素子7に保護層17を形成する保護層形成工程と、固定部5を筐体9に接着する接着工程とを同時に行う。
【選択図】図1
【解決手段】揺動可能な反射部1を備える可動部と、可動部を保持する固定部5と、可動部の一部と固定部5の一部に跨って設置される圧電素子7と、固定部5が設置される筐体9とを備える光走査装置25の製造方法において、圧電素子7に保護層17を形成する保護層形成工程と、固定部5を筐体9に接着する接着工程とを同時に行う。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧電素子を用いた光走査装置に係り、特に圧電素子の表面に保護層を設けて劣化を防止した光走査装置の製造方法及び光走査装置に関する。
従来から、固定部と可動部からなる基体にPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)やBaTiO3(チタン酸バリウム)からなる圧電素子を固定した光走査装置が知られている。図13(a)は、この種の光走査装置の模式的外観図であり、図13(b)は、1つの圧電素子107の領域の断面図である(特許文献1を参照)。図13(a)において、光走査装置は、光を反射する反射面が形成された反射部101と、この反射部101を両側から支持するバネ部102、102と、反射部101の周囲を取り囲む形状を有する固定枠105と、バネ部102と固定枠105との間を連結する2つの二股形状の梁部103、103と、2つの梁部103に設置された4つの圧電素子107とを備える光走査部100と、中央部に凹部108が形成され、光走査部100の固定枠105と接合して光走査部100を保持する筐体109により構成されている。
固定枠105の表面には電極端子106が形成され、圧電素子107に形成されている図示しない電極と配線104により電気的に接続されている。梁部103の2つの圧電素子107に互いに逆相の交番電圧を印加することにより、2つの梁部103は交互に上下方向に曲げ振動する。この振動によりバネ部102には回転トルクが与えられ、反射部101はバネ部102を揺動軸として揺動する。これにより、反射部1に入射した光束は、所定の周期の走査光束に変換される。
図13(b)は、圧電素子107が設置されている領域の模式的な部分断面図である。バネ部102及び梁部103からなる可動部は、固定枠105に連結している。圧電素子107は、圧電体110が上部電極111と下部電極112により挟まれる構造を有している。圧電素子107は、可動部の梁部103と固定枠105との間に跨って設置されている。固定枠105の上面には電極端子106が形成され、圧電素子の上部電極111とワイヤーからなる配線104により電気的に接続されている。圧電素子107は、上部電極111と下部電極112との間に交番電圧を印加することにより、可動部である梁部103が上下に振動する。
ところで、この種の光走査装置においては、圧電素子107を長時間振動させると上部電極111が酸化して変色してくる。更に継続して駆動すると、圧電体110上の上部電極111が圧電体110から剥がれる、或いは上部電極111が断線する、という劣化現象が現れることが知られている。この劣化現象は、梁部103と固定枠105との境界領域の上部電極111に発生しやすい。光走査装置として使用する場合、反射部101の揺動運動は高精度で制御する必要がある。しかし、電極の剥がれや断線が発生する前の電極の酸化に伴って、揺動の周期が変動してくる。この揺動の変動は、例えば光走査により画像を表示する際に走査線長の不均一を引き起こすことから表示画像の品質劣化を生ずる。従って、このような上部電極111の酸化、剥がれ、断線等の劣化現象を発生させないようにする必要がある。
図14(a)は、上記劣化現象の一つの原因について説明するための説明図である。圧電素子107の領域は、下から順に梁部103、下部電極112、PZTからなる圧電体110、金属電極からなる上部電極111の積層構造を有する。圧電体110は互いに結晶方位が異なる微結晶の集合体である。微結晶間は結晶粒界114により仕切られ、成膜時に結晶粒界114には空隙113が形成される。例えば金などからなる上部電極111も同様に結晶方位の異なる多結晶の集った構造を有し、各結晶間は結晶粒界114により仕切られている。結晶粒界114には不純物が析出しやすく、また、外部からは水分115が侵入しやすい。上部電極111や圧電体110の結晶粒界114に水分115が進入すると、結晶粒界114に電流パスが形成され、これまでコンデンサとして機能していたものが、電気的に導通し、抵抗として機能することとなる。すると、それまでアクチュエータとして変位を生じさせるために上部電極111と下部電極112に高電圧を印加していたが、その高電圧がそのまま結晶粒界114の抵抗成分にかかり発熱する。その結果、初期の段階では電極の酸化、性質変化として現れ、更に進行して発熱部の上部電極が剥がれ、或いは断線する。
上記経時的な劣化を防止するために、例えば図14(b)に示すように、圧電素子107の全露出面を封止樹脂116で覆うようにすることができる。また、圧電素子107を含む光走査部100或いは光走査装置全体を密閉する容器に収納し、内部を真空にする或いは不活性ガス封入する等の対策を講ずることができる。
特開2005−181477号公報
しかしながら、圧電素子の全露出面を樹脂封止するための封止工程を追加する必要があること、また、真空封止や不活性ガス封止を行うためには新たに封止用のパッケージを付加し、更に真空引きの工程が必要となり、光走査装置の容積が増大するとともに製造コストを上昇させる要因になる、という課題があった。
本発明は、上記の課題を解決するために以下の手段を講じた。
請求項1に係る発明においては、揺動可能な反射部を備える可動部と、前記可動部を保持する固定部と、前記可動部の一部と前記固定部の一部に跨って設置される圧電素子と、前記固定部が設置される筐体とを備える光走査装置の製造方法において、前記圧電素子に保護層を形成する保護層形成工程と、前記固定部を前記筐体に接着する接着工程とを同時に行うことを特徴とする光走査装置の製造方法とした。
請求項2に係る発明においては、前記保護層形成工程は、前記圧電素子が露出する露出面の全面に溶液状の保護材料を塗布する工程の後に前記塗布した保護材料を固化する工程からなり、前記接着工程は、前記固定部と前記筐体との間に前記保護材料を介在させる工程の後に前記保護材料を固化する工程からなり、前記圧電素子に前記保護材料を塗布する工程と前記固定部と前記筐体との間に前記保護材料を介在させる工程とを同時に行い、前記塗布された保護材料を固化する工程と前記介在させた保護材料を固化する工程とを同時に行うことを特徴とする請求項1に記載の光走査装置の製造方法とした。
請求項3に係る発明においては、前記保護材料は接着剤であることを特徴とする請求項2に記載の光走査装置の製造方法とした。
請求項4に係る発明においては、前記筐体と前記筐体よりも剛性が低い保護部材とを一体的に連結した筐体部材を形成する工程を更に含み、前記保護層形成工程は、前記保護部材を前記可動部の圧電素子に積層して接着し、前記保護部材により前記保護層を形成する工程であり、前記接着工程は、前記固定部に前記筐体を積層して接着する工程であることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置の製造方法とした。
請求項5に係る発明においては、前記保護層形成工程は、前記筐体部材を加熱して軟化させた後に、前記圧電素子を前記筐体部材に圧入する工程であり、前記接着工程は、前記圧入の際に前記固定部と筐体とを接着する工程であることを特徴とする請求項4に記載の光走査装置の製造方法とした。
請求項6に係る発明においては、揺動可能な反射部を備える可動部と、前記可動部を保持する固定部と、前記可動部の一部と前記固定部の一部に跨って設置される圧電素子と、前記固定部が設置される筐体とを備える光走査装置において、前記圧電素子に形成した保護層と、前記固定部を前記筐体に接着する接着材とが同一材料からなることを特徴とする光走査装置とした。
請求項1の発明においては、光反射部を備える可動部と、この可動部を保持する固定部と、可動部の一部と固定部の一部に跨って設置される圧電素子と、固定部が設置される筐体とを含む光走査装置の製造方法において、圧電素子に保護層を形成する保護層形成工程と、固定部を筐体に接着する接着工程とを同時に行うようにした。これにより、圧電素子を水分等の浸入から防止するための保護層を形成する工程を新たに付加することなく、電極の経時的な劣化を防止することができる、という利点を有する。
請求項2の発明においては、圧電素子に溶液状の保護材料を塗布する工程と、固定部と筐体との間に上記保護材料を介在させる工程とを同時に行い、圧電素子に塗布された保護材料と、固定部と筐体との間に介在させた保護材料とを同時に固化するようにした。保護材料が溶液状であるために、圧電素子の露出面全面を薄く且つ容易に覆うことができる。その結果、可動部の質量の増加及び梁剛性の増大に伴う可動部の振動の変化を低減させ、かつ、外部からの水分等の浸入を防止することができるとともに、固定部と筐体との間に保護材料が浸透しやすいので固定部と筐体との間の接着面積を拡大させて、互いに強固に固定することができる、という利点を有する。
請求項3の発明においては、保護材料は接着剤とした。これにより、固定部と筐体とをより強固に接着することができる、という利点を有する。
請求項4の発明においては、筐体と筐体よりも剛性が低い保護部材とを一体的に連結した筐体部材を形成する工程を更に含み、保護層形成工程は、保護部材を可動部の圧電素子に積層して接着し、保護部材により前記保護層を形成する工程であり、接着工程は、固定部に筐体を積層して接着する工程とした。これにより、圧電素子に保護層となる材料を供給するために、圧電素子の位置に位置合わせを行い、保護層を所望の厚さにするために適量の材料を供給するディスペンサー等の精密装置を用いることなく、圧電素子の表面に保護層用の材料を供給することができる、という利点を有する。
請求項5の発明においては、保護層形成工程は、筐体部材を加熱して軟化させた後に、圧電素子を筐体部材に圧入する工程であり、接着工程は、圧入の際に固定部と筐体とを接着する工程とした。これにより、圧電素子及び固定部の表面に保護部材と筐体とを密着させて接着することができる、という利点を有する。
請求項6の発明においては、揺動可能な反射部を備える可動部と、可動部を保持する固定部と、可動部の一部と固定部の一部に跨って設置される圧電素子と、固定部が設置される筐体とを備える光走査装置において、圧電素子に形成した保護層と、固定部を筐体に接着する接着材とが同一材料からなることを特徴とする光走査装置とした。これにより、圧電素子を水分等の浸入から防止するための保護層を形成する工程を新たに付加することなく、電極の経時的な劣化を防止することができる、という利点を有する。
以下、図面を用いて本発明について詳細に説明する。
<第1の実施形態>
図1は、本発明の第1の実施形態に係る光走査装置の製造方法を表す工程図である。図2は、光走査部15と筐体9を準備した状態、図3は、光走査部15を筐体9に装着してワイヤーボンディングを行った状態、図4は、保護層を形成して光走査部15と筐体9を接着する状態をそれぞれ説明するための模式的な斜視図である。各図において、同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る光走査装置の製造方法を表す工程図である。図2は、光走査部15と筐体9を準備した状態、図3は、光走査部15を筐体9に装着してワイヤーボンディングを行った状態、図4は、保護層を形成して光走査部15と筐体9を接着する状態をそれぞれ説明するための模式的な斜視図である。各図において、同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
図1に示すように、本発明の光走査装置の製造方法は、基本的には可動部と固定部と圧電素子からなる光走査部15と筐体9を準備するA準備工程と、圧電素子に保護層を形成するB護層形成工程と、固定部に筐体9を接着するC接着工程ならなり、特にB保護層形成工程とC接着工程とを同時に行うことを特徴とする。より具体的には、A準備工程は、光走査部15と筐体9とを形成する「a1光走査部と筐体を形成」工程と、光走査部15を筐体9に載置する「a2光走査部を筐体に載置」工程と、光走査部15の電極端子と筐体9の電極端子とを結線する「a3ワイヤーボンディング」工程からなる。B保護層形成工程は、保護材料を圧電素子の露出面全面に塗布する「b1保護材料を圧電素子の表面に塗布」工程と、保護材料を固化して保護層を形成する「b2保護材料を固化して保護層を形成」工程とからなる。C接着工程は、保護材料を固定部と筐体間に介在させる「c1保護材料を固定部と筐体間に介在」工程と、保護材料を固化して固定部と筐体とを接着する「c2保護材料を固化して接着」工程とからなる。ここで、b1の塗布工程とc1の介在工程とを同時に行い、b2の固化工程とc2の固化工程とを同時に行う。
図2及び図3を用いて、A準備工程を詳しく説明する。図2は、「a1光走査部と筐体を形成」工程において形成した光走査部15と筐体9の模式的な斜視図である。光走査部15は、反射膜(図示しない)が形成された反射部1と、この反射部1を両側から支持し、反射部の揺動軸をなすバネ部2、2と、バネ部2、2を指示する二股形状の梁部3、3と、反射部1の周囲を囲う形状を有し、梁部3、3を保持する固定部5と、固定部5と梁部3に跨って固定される4つの圧電素子7とから構成されている。圧電素子7は、圧電体10と、この圧電体10を挟むように上下面に形成された上部電極11と下部電極12を有している。固定部5の表面には圧電素子7の下部電極12と接続する電極端子6が形成されている。ここで可動部は、梁部3、バネ部2及び反射部1である。
筐体9の上面には、光走査部15を収納するための段差部13と、その内側には、反射部1の揺動空間をなす凹部8が形成されている。筐体9の表面にはパッド電極14a、14b、14c、14d、14e、14fが形成され、光走査部15の上部電極11及び電極端子6とワイヤーボンディングにより接続する。筐体9の側面の凹部には接続用端子30a、30b、30c、30d、30e、30fが形成されている。接続用端子とパッド電極とは筐体9内部に設けた配線により接続する。具体的には、パッド電極14aが内部配線を介して接続用端子30cに接続し、パッド電極14bが内部配線を介して接続用端子30eに接続し、パッド電極14cが内部配線を介して接続用端子30dに接続し、パッド電極14dが内部配線を介して接続用端子30aに接続し、パッド電極14eが内部配線を介して接続用端子30bに接続し、パッド電極14fが内部配線を介して接続用端子30fに接続している。
光走査部15は、例えば次のようにして形成する。まず、シリコン半導体基板を用意する。次に、シリコン半導体基板を酸素雰囲気中にて熱処理を行い、表面に酸化膜を形成する。次に、シリコン半導体基板の表面に感光性樹脂を形成し、フォトリソグラフィプロセス及びエッチング工程を通して、反射部1、バネ部2、梁部3及び固定部5を残してシリコン半導体基板をエッチング除去する。次に、シリコン半導体基板を酸素雰囲気中にて熱処理を行い、表面に酸化膜を形成する。次に、位置あわせを行ったマスクを用いたスパッタリング法又は蒸着法等を用いて白金、チタン等からなる金属膜を堆積し、下部電極12、電極端子6及びこれらを接続する配線部を形成する。用いるマスクは、たとえばシリコンウエットエンチングにより形成したものが利用できる。次に、シリコン半導体基板の表面にメタルマスクを設置する。メタルマスクには圧電素子7が形成されるべき領域に圧電体10を堆積するための貫通孔が形成されている。メタルマスクを設置したシリコン半導体基板上にPZTからなる圧電材料をAD(エアロゾルデポジッション)法を用いて堆積し、圧電体10を形成する。圧電体10は、可動部である梁部3と固定部5に跨って形成される。次に、下部電極と同様にして圧電体10の表面に金等からなる上部電極11を堆積する。筐体9は、セラミックスの焼結体を使用する。凹部8及び段差部13を形成し、更に外周表面にパッド電極14を形成した。また、セラミックス内部にて当該電極同士の電気的導通を施した。
なお、以上の構成及び製造方法は一例である。シリコン半導体基板に代えて、ガラス基板や金属板を使用することができる。圧電体10をAD法により形成したが、これに代えて、上部電極及び下部電極を形成したバルク状圧電体を梁部3と固定部5の上に跨って接着しても良い。また圧電体はPZTに限らず、BaTiO3等の圧電材料を使用しても良い。筐体9の材料として、セラミックスに代えてプラスチック等を使用することができる。
図3は、「a2光走査部を筐体に載置」した工程の後に「a3ワイヤーボンディング」を行った状態を表す模式的な斜視図である。光走査部15を筐体9に形成した段差部13に収納する。この状態では、光走査部15の表面と筐体9の外周表面の高さは略一致している。次に、ワイヤーボンダーにより金線からなるリード線4を電極端子6とパッド電極14の間、及び、圧電素子7の上部電極11とパッド電極14とを接続する。具体的には、右下の圧電素子7の上部電極11とパッド電極14aと、右側の電極端子6とパッド電極14bと、右上の圧電素子7の上部電極11とパッド電極14cと、左下の圧電素子7の上部電極11とパッド電極14dと、左側の電極端子6とパッド電極14eと、左上の圧電素子7の上部電極11とパッド電極14fとを夫々ワイヤーボンディングを行う。その結果、圧電素子7の全ての端子は筐体9の側面に形成した接続用端子30と電気的に接続する。
次に、B保護層形成工程とC接着工程を詳しく説明する。図4は、「b1保護材料を圧電素子の表面に塗布」する塗布工程を行い、同時に、「c1保護材料を固定部と筐体間に介在」させる介在工程を行う状態を表している。光走査部15を筐体9に設置し、リード線4を配線した光走査装置を図示しないステージに設置する。次に、ディスペンサー18のノズル19を圧電素子7の上部及び固定部5と筐体9の境界27に移動して、溶液状の保護材料16を滴下して塗布する。保護材料16は溶液状であるために、圧電素子7の上部電極11、圧電体10の露出表面の全面に渡り塗布することができる。また、固定部5と筐体9の境界27の間隙に毛細管現象により浸透する。その結果、筐体9の段差部13の表面と固定部5の外周部との間に広く浸透させることができる。なお、保護材料16として、エポキシ系樹脂からなる接着剤や、シアノアクリレートからなる瞬間接着剤や、紫外線硬化型の接着剤等を使用することができる。
次に、「b2保護材料を固化して保護層を形成」する工程と、「c2保護材料を固化して接着」する工程とを同時に行う。保護材料16として室温硬化型の接着剤を使用する場合は室温で硬化させ、加温処理が必要である場合には加温して硬化させる。また、保護材料として紫外線硬化型である場合には、紫外線を照射して硬化させる。保護材料16を硬化して圧電素子7の表面に保護層17を形成する。また、保護材料16が光走査部15の固定部5の外周部と筐体9の段差部13との間に広く浸透しているので、光走査部15と筐体9とを強固に接着することができる。また、ワイヤーや電極面が保護材料により覆われているので、汚れ等が付着し難い。従って、上部電極11及び圧電素子7を覆う保護材料16は、同時に固定部5と筐体9との間の接着材として機能する。
光走査装置として使用する際には、パッド電極14bと14aの間(接続用端子30eと30cの間)に交番電圧を印加し、パッド電極14bと14cの間(接続用端子30eと30dの間)に逆相の交番電圧を印加して、圧電素子7を上下方向に振動させる。二股形状の梁部3が交互に上下方向に振動することにより、バネ部2に回転トルクが与えられ、バネ部2を揺動軸として反射部1が揺動する。圧電素子7の可動部に他の材料が付着して圧電素子7の質量及び剛性が変化すると、揺動の周波数や振幅が変化する。そのために、可動部上の圧電素子7に形成する保護層17は、その圧電素子上に占める体積をあまりに大きくすることができない。そこで、可動部上の圧電素子7に形成する保護層17は、膜厚100nmから1μmの範囲に設定するのが好ましい。この膜厚の範囲であれば、反射部1の揺動の共振周波数や振幅にほとんど影響を与えず、外部からの水分の侵入を防止することができるからである。
なお、上記実施形態において、筐体9の表面に段差部13を形成して、光走査部15をこの段差部13に収納するようにしたが、筐体9の表面に段差部13を設けないで、筐体9の上面に光走査部15を載置して接着してもよい。また、光走査部15の外周を筐体9の外周に合わせ形成し、光走査部15をその固定部5の下面と筐体9の上面とを対面して載置し、保護材料16を固定部5と筐体9の間に介在させて接着してもよい。この場合は、筐体9にパッド電極14を形成せず、固定部5の表面に上部電極11と接続する電極端子6を新たに形成し、この電極端子6を外部電源に接続するようにしてもよい。
<第2の実施形態>
図5は、本発明の第2の実施形態に係る光走査装置の製造方法を示す工程図である。図6は光走査部15と筐体部材20の模式的な斜視図である。図7は、光走査部15に筐体部材20を載置して接着する状態を表す模式的な部分断面図である。図8は、光走査装置25をパッケージ23に装着する状態を表す模式的な斜視図である。同一の部分又は同一の機能を表す部分には同一の符号を付している。
図5は、本発明の第2の実施形態に係る光走査装置の製造方法を示す工程図である。図6は光走査部15と筐体部材20の模式的な斜視図である。図7は、光走査部15に筐体部材20を載置して接着する状態を表す模式的な部分断面図である。図8は、光走査装置25をパッケージ23に装着する状態を表す模式的な斜視図である。同一の部分又は同一の機能を表す部分には同一の符号を付している。
図5に示すように、本発明の光走査装置の製造方法は、可動部と固定部5と圧電素子7からなる光走査部15と筐体部材20とを準備するA準備工程と、圧電素子7に保護層17を形成するB保護層形成工程と、固定部に筐体9を接着するC接着工程なからなり、上記図1に示した実施形態と同様である。より具体的には、A準備工程は、光走査部15と筐体部材20とを形成した「a1光走査部と筐体部材を形成」工程からなる。筐体部材20は、可動部の圧電素子7が設置される領域に対応し、筐体9よりも剛性が低い保護部材22と、固定部5に対応する筐体9とを一体的に連結している。B保護層形成工程は、保護部材22を圧電素子7に積層する「b1保護部材を圧電素子に積層」工程と、保護部材22を加熱する「b2保護部材を加熱」工程と、保護部材22を圧電素子7に接着する「b3保護部材を圧電素子に接着」工程からなる。C接着工程は、筐体9を固定部に積層する「c1筐体を固定部に積層」工程と、筐体9を加熱する「c2筐体を加熱」工程と、筐体9を固定部5に接着する「c3筐体を固定部に接着」工程からなる。ここで、b1及びc1の積層工程と、b2及びc2の加熱工程と、b3及びc3の接着工程は夫々同時に行われる。
図6を用いてA準備工程を詳しく説明する。図6(a)は、光走査部15と筐体部材20の模式的な斜視図であり、図6(b)はその右下部分の拡大図である。光走査部15は、図2に示した構造とほぼ同様であるが、固定部5の表面に形成した電極端子6の形成位置が異なる。そこで、異なる部分について説明し、その他は説明を省略する。圧電素子7は可動部である梁部3と固定部5とに跨って設置されている。圧電素子7の下部電極12は固定部5の表面に形成した配線21bを介して固定部5の側面に形成した電極端子6bに接続する。圧電素子7の上部に形成した上部電極11は、圧電体10の側面と固定部5の表面に形成した配線21aを介して固定部5の側面に形成した電極端子6aに接続する。この側面に形成した電極端子6a、6bが外部の電極と接続して圧電素子7を駆動する駆動電圧を入力し、又は圧電素子7に生じた信号を外部に出力する。
光走査部15の製造方法は既に説明したと同様なので、説明を省略する。なお、上部電極11は、金を斜め蒸着又は斜めスパッタリング法により堆積して、フォトリソグラフィ及びエッチング工程を通してパターン化した。また、フォトリソグラフィ及びエッチング工程を通さないで、メタルマスクを用いて上部電極11を形成することができる。上部電極11の形状を有する貫通孔をメタルマスクに形成し、このメタルマスクを圧電体10と固定部5の表面近傍に設置し、金を斜め蒸着法やスパッタリング法を用いて堆積する。このようにすれば、工程数を減少させて光走査部15を形成することができる。
筐体部材20は筐体9と保護部材22から構成されている。保護部材22は筐体9の内壁底部から内側に突出するように形成されている。筐体9は、光走査部15の固定部5に対応し、額縁状の形状を有する。保護部材22は、可動部の上に設置される圧電素子7に対応する。保護部材22は、筐体9よりも厚さが薄く、剛性が低い。筐体部材20は合成樹脂の射出成形により一体的に形成することができる。例えばEVA(エチレン・酢酸ビニル共重合体)をベースとした合成樹脂を使用することができる。EVAは熱可塑性を有し、150℃以上の温度で軟化する。
図7を用いてB保護層形成工程及びC接着工程について詳しく説明する。図7(a)は、光走査部15の上に筐体部材20を載置した状態を表す模式的な部分断面図であり、図7(b)は、保護部材22と筐体9とを加熱して光走査部15に接着した状態を表す模式的な部分断面図である。可動部である梁部3と固定部5とは連結している。下部電極12は、梁部3と固定部5とに跨って形成されている。圧電体10は、下部電極12を覆うようにして、可動部である梁部3と固定部5に跨って形成されている。上部電極11は、圧電体10の上に下部電極12に対応して形成されている。また、上部電極11は、固定部5の上に形成された配線21aと固定部5の側面に形成された電極端子6aに接続している。
図7(a)に示すように、光走査部15に筐体部材20を積層する。即ち、保護部材22を可動部である梁部3の上部の圧電素子7の上に載置し(b1保護部材を圧電素子に積層)、同時に筐体9を固定部5の上に載置する(c1筐体を固定部に積層)。次に、図7(b)に示すように、筐体部材20の保護部材22の表面にレーザー光を照射して、保護部材22を加熱して軟化させる(b2保護部材を加熱)。同時に、筐体9の表面にレーザー光を照射して、筐体9を軟化させる(c2筐体を加熱)。そして、筐体部材20を上部から押圧して圧電素子7を筐体9に圧入する。これにより、圧電素子7の露出面全面に保護部材22を密着させるとともに、筐体9の外周側の表面を固定部5の表面に密着させて、保護部材22を圧電素子7に接着し(b3保護部材を圧電素子に接着)、同時に筐体9を固定部5に接着する(c3筐体を固定部に接着)。従って、本実施形態においても、保護部材22と筐体9とを同一の材料を使用すれば、上部電極11及び圧電素子7を覆う保護層と固定部5と筐体9とを接着する接着材とは同一の材料となる。
その結果、圧電素子7を構成する圧電体10及び上部電極11の露出面全面を保護層17で覆い、固定部5の表面と筐体9の外周表面とを接着することができる。この場合も、反射部1の振動の変動を防止するために、保護層17は厚さ100nm〜1μmとするのが好ましい。
図8は、光走査装置25をパッケージ23に収納する状態を表す模式的な斜視図である。光走査装置25は上記の製造方法により形成した。光走査装置25は、光走査部15の上に筐体9が積層接着されている。圧電素子7の表面には保護層17が形成されている。筐体9は、反射部1の揺動空間を構成している。パッケージ23は、光走査装置25を収納するための内部空間26が形成されている。パッケージ23の側壁底部には、接続用端子24a、24bが形成されている。パッケージ23は、プラスチック材料を使用している。接続用端子24a、24bは、パッケージの側壁を貫通して内壁面に露出している。内壁面に露出している電極と光走査部15の側壁に形成した電極端子6a、6bとが接触して導通する。従って本実施の形態においては、ワイヤーボンディングを行う必要がない。
<第3の実施形態>
図9から図12を用いて本発明の第3の実施形態について説明する。図9は、第3の実施形態に係る光走査装置の製造方法を示す工程図である。図10は光走査部15と筐体部材20の模式的な斜視図である。図11は、筐体部材20の筐体9の段差部31の表面と保護部材22を加熱した状態を示す模式的な斜視図である。図12は、光走査部15を筐体部材20の段差部31に装着した状態を表す模式的な斜視図である。同一の部分又は同一の機能を表す部分には同一の符号を付している。
図9から図12を用いて本発明の第3の実施形態について説明する。図9は、第3の実施形態に係る光走査装置の製造方法を示す工程図である。図10は光走査部15と筐体部材20の模式的な斜視図である。図11は、筐体部材20の筐体9の段差部31の表面と保護部材22を加熱した状態を示す模式的な斜視図である。図12は、光走査部15を筐体部材20の段差部31に装着した状態を表す模式的な斜視図である。同一の部分又は同一の機能を表す部分には同一の符号を付している。
図9において、光走査部15と筐体部材20とを準備するA準備工程と、圧電素子7に保護層17を形成するB保護層形成工程と、固定部5に筐体9を接着するC接着工程からなる。より具体的には、A準備工程は、光走査部15と筐体部材20とを形成する「a1光走査部と筐体部材を形成」工程からなる。筐体部材20は、可動部の圧電素子7が設置される領域に対応し、筐体9よりも剛性が低い保護部材22と、固定部5に対応する筐体9とを一体的に連結している。B保護層形成工程は、保護部材22を加熱する「b1保護部材を加熱」工程と、保護部材22に圧電素子7を積層する「b2保護部材に圧電素子を積層」工程と、保護部材22を圧電素子7に接着する「b3保護部材を圧電素子に接着」工程からなる。C接着工程は、筐体9を加熱する「c1筐体を加熱」工程と、筐体9に固定部5を積層する「c1筐体に固定部を積層」工程と、筐体9を固定部5に接着する「c3筐体を固定部に接着」工程からなる。ここで、b1及びc1の加熱工程と、b2及びc2の積層工程と、b3及びc3の接着工程は夫々同時に行われる。
図10を用いてA準備工程を詳しく説明する。光走査部15は、反射部1と、反射部1を両側から支持するバネ部2、2と、このバネ部2を保持し固定部5に固定される二股形状の梁部3、3により形成されている。そして、梁部3、3の二股部の裏面には4つの圧電素子7が設置されている。各圧電素子7は、梁部3、3の二股部と固定部に跨って設置されている。反射部1の裏面には図示しない反射面が形成されている。圧電素子7は、図示しない上部電極11と下部電極12により挟まれている。上部電極11は最下面に位置し、下部電極12は圧電体10と梁部3及び固定部5との間に位置する。固定部5の下面であり、2つの圧電体10の間には下部電極12と接続する電極端子6が形成されている。なお、光走査部15の製造方法は、第1の実施形態において説明したものと同様なので、説明を省略する。
筐体部材20は、段差部31が形成された筐体9と、可動部の圧電素子7に対応する位置に突出して形成された保護部材22とから一体的に形成されている。保護部材22は厚さを薄くして剛性を低下させて形成されている。例えばEVA(エチレン・酢酸ビニル共重合体)をベースとした合成樹脂を使用することができる。EVAは熱可塑性を有し、150℃以上の温度で軟化する。
筐体9の上面には段差部31が形成され、光走査部15がこの段差部31に収納される。筐体9の側面には凹部が形成され、この凹部には接続用端子30a、30b、30c、30d、30e、30fが形成されている。また、筐体9の段差部上面には、パッド電極14a、14b、14c、14d、14e、14fが形成されている。接続用端子30とパッド電極14とは筐体9内部に設けた配線により接続する。具体的には、パッド電極14aが内部配線を介して接続用端子30cに接続し、パッド電極14bが内部配線を介して接続用端子30eに接続し、パッド電極14cが内部配線を介して接続用端子30dに接続し、パッド電極14dが内部配線を介して接続用端子30aに接続し、パッド電極14eが内部配線を介して接続用端子30bに接続し、パッド電極14fが内部配線を介して接続用端子30fに接続している。
図11を用いてB保護層形成工程及びC接着工程について説明する。図11に示すように、まず、保護部材22と筐体9の段差部31の表面を同時に加熱する(図11のハッチング領域)。加熱は、上部の光走査部15をいったん除去し、当該表面にレーザー光を照射して行う。次に、筐体9の段差部31に光走査部15を収納して積層する。次に、筐体部材20と保護部材22が軟化している間に、圧電素子7を筐体9に圧入する。これにより、圧電素子7と上部電極11の露出面全面に保護部材22を密着させて覆うとともに、筐体9の段差部31の表面に光走査部15の固定部5を密着させ、保護部材22を圧電素子7に接着し、同時に筐体9を固定部に接着する。なお、ここでは、筐体20の構造やレーザ加熱部位を明らかにするため、図11に示すように光走査部15を筐体20の上部に位置させる形で説明を行ったが、この一連の作業は説明図11に示された位置関係の上下を反転して行ったほうが作業効率がよい。その場合、加熱され軟化した保護部材22が対応する圧電素子7上に重力により広がる作用が期待できるからである。
また、上記接着工程により、圧電素子7の表面に形成した上部電極11と筐体9の段差部表面に形成したパッド電極14a、14c、14d、14fと、また、電極端子6とパッド電極14b、14eとが接合して導通する。これにより、圧電素子7に形成した電極と接続用端子30とをワイヤーボンディングを行うことなく電気的に接続することができる。
図12は、上記方法により製造した光走査装置25の模式的な斜視図である。図11に示す光走査部15と筐体部材22とを上下反転した状態を表している。筐体9の底部に光走査部15が接着されている。圧電素子7の表面及び上部電極11の表面の全面が保護層17及び筐体9により覆われている。更に、下部電極12の表面も外部に露出しない。その結果、水分による劣化を防止することができ、高信頼性の光走査装置25を実現することができる。
1 反射部
2 バネ部
3 梁部
4 上部電極
5 固定部
6 電極端子
7 圧電素子
8 凹部
10 圧電体
20 筐体部材
22 保護部材
25 光走査装置
2 バネ部
3 梁部
4 上部電極
5 固定部
6 電極端子
7 圧電素子
8 凹部
10 圧電体
20 筐体部材
22 保護部材
25 光走査装置
Claims (6)
- 揺動可能な反射部を備える可動部と、前記可動部を保持する固定部と、前記可動部の一部と前記固定部の一部に跨って設置される圧電素子と、前記固定部が設置される筐体とを備える光走査装置の製造方法において、
前記圧電素子に保護層を形成する保護層形成工程と、前記固定部を前記筐体に接着する接着工程とを同時に行うことを特徴とする光走査装置の製造方法。 - 前記保護層形成工程は、前記圧電素子が露出する露出面の全面に溶液状の保護材料を塗布する工程の後に前記塗布した保護材料を固化する工程からなり、前記接着工程は、前記固定部と前記筐体との間に前記保護材料を介在させる工程の後に前記保護材料を固化する工程からなり、
前記圧電素子に前記保護材料を塗布する工程と前記固定部と前記筐体との間に前記保護材料を介在させる工程とを同時に行い、前記塗布された保護材料を固化する工程と前記介在させた保護材料を固化する工程とを同時に行うことを特徴とする請求項1に記載の光走査装置の製造方法。 - 前記保護材料は接着剤であることを特徴とする請求項2に記載の光走査装置の製造方法。
- 前記筐体と前記筐体よりも剛性が低い保護部材とを一体的に連結した筐体部材を形成する工程を更に含み、
前記保護層形成工程は、前記保護部材を前記可動部の圧電素子に積層して接着し、前記保護部材により前記保護層を形成する工程であり、
前記接着工程は、前記固定部に前記筐体を積層して接着する工程であることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置の製造方法。 - 前記保護層形成工程は、前記筐体部材を加熱して軟化させた後に、前記圧電素子を前記筐体部材に圧入する工程であり、前記接着工程は、前記圧入の際に前記固定部と筐体とを接着する工程であることを特徴とする請求項4に記載の光走査装置の製造方法。
- 揺動可能な反射部を備える可動部と、前記可動部を保持する固定部と、前記可動部の一部と前記固定部の一部に跨って設置される圧電素子と、前記固定部が設置される筐体とを備える光走査装置において、
前記圧電素子に形成した保護層と、前記固定部を前記筐体に接着する接着材とが同一材料からなることを特徴とする光走査装置。
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JP2007256849A JP2009086370A (ja) | 2007-09-28 | 2007-09-28 | 光走査装置の製造方法及び光走査装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011150038A (ja) * | 2010-01-20 | 2011-08-04 | Brother Industries Ltd | 光スキャナ及び光スキャナの製造方法 |
JP2015507374A (ja) * | 2012-03-06 | 2015-03-05 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングOsram Opto Semiconductors GmbH | オプトエレクトロニクス半導体チップの製造方法、およびオプトエレクトロニクス半導体チップ |
JP2017016018A (ja) * | 2015-07-03 | 2017-01-19 | 株式会社リコー | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ装置、およびレーダ装置 |
-
2007
- 2007-09-28 JP JP2007256849A patent/JP2009086370A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
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