JP4211817B2 - 形状可変ミラーの製造方法 - Google Patents
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Description
2 支持基板
3 ミラー基板
4 圧電体
5 支柱
6 反射膜
7 弾性膜
Claims (4)
- 支持基板と、この支持基板に対向しつつ支柱を介在して支持され、外面上に反射膜を有するミラー基板と、前記支持基板と前記ミラー基板との間に挟持され、電 界の印加により伸縮して前記ミラー基板と共に前記反射膜を変形させる圧電体と、を備える形状可変ミラーの製造方法であって、
前記支持基板と前記ミラー基板との間に前記支柱及び前記圧電体を挟み込み、前記支持基板と前記支柱、前記支持基板と前記圧電体、前記ミラー基板と前記支柱、及び前記ミラー基板と前記圧電体のうち、少なくとも前記支持基板と前記支柱、前記支持基板と前記圧電体、及び前記ミラー基板と前記支柱を互いに接合する接合工程と、
前記ミラー基板の外面全域に外面が平坦化された弾性膜を形成する弾性膜形成工程と、
前記弾性膜上に反射膜を形成する反射膜形成工程と、
を含み、
前記弾性膜形成工程を前記接合工程よりも後に行い、
前記反射膜形成工程を前記弾性膜形成工程よりも後に行う
ことを特徴とする形状可変ミラーの製造方法。 - 前記弾性膜が樹脂製であることを特徴とする請求項1に記載の形状可変ミラーの製造方法。
- 前記接合工程において、前記支持基板と前記支柱との接合部分、及び前記支持基板と前記圧電体との接合部分に、金属の薄層を介在させ、互いを押圧しながら加熱することにより拡散接合することを特徴とする請求項1又は2に記載の形状可変ミラーの製造方法。
- 前記接合工程において、前記ミラー基板と前記支柱との接合部分、及び前記ミラー基板と前記圧電体との接合部分に、金属の薄層を介在させ、互いを押圧しながら加熱することにより拡散接合することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の形状可変ミラーの製造方法。
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