JP2017123728A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 振動板と、
   前記振動板に配置された圧電素子と、
   前記圧電素子に配置された電極と、
   前記圧電素子および前記電極を保護する有機保護膜と、
   前記振動板の端部に配置された突起部と、
   前記圧電素子、前記電極、および前記有機保護膜を密封している封止部材と、を備えることを特徴とする圧電アクチュエーター。
2. 前記前記圧電素子、前記電極、および前記有機保護膜は前記振動板上で積層された積層体であり、
   前記封止部材は、凹形状を有する箱状をなしており、
   前記振動板に対して、前記凹形状を伏せた状態で重ねられるとともに、前記凹形状の外
   壁が前記振動板と接着されており、
   前記凹形状の底面と、前記積層体との間には、空間が形成されていることを特徴とする
   請求項１に記載の圧電アクチュエーター。
3. 前記駆動体は、第１駆動体と第２駆動体との２つが設けられ、
   前記第１駆動体には、前記封止部材としての第１蓋が接着され、
   前記第２駆動体には、前記封止部材としての第２蓋が接着されており、
   前記第１駆動体の振動板と、前記第２駆動体の振動板とが貼り合せられた複合駆動体を
   形成してなり、
   前記複合駆動体において、前記第１蓋を表面としたときに、前記第２蓋が裏面となるよ
   うに構成されていることを特徴とする請求項２に記載の圧電アクチュエーター。
4. 前記封止部材は、前記振動板の外形に沿ったリング状の部材であり、
   前記駆動体は、第１駆動体と第２駆動体との２つが設けられ、
   前記第１駆動体と前記第２駆動体とは、周縁部に前記封止部材を挟持した状態で、それ
   ぞれの前記積層体が向い合う状態で重ねられており、
   前記第１駆動体の積層体と、前記第２駆動体の積層体との間には、空間が構成されてい
   ることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエーター。
5. 前記空間における湿度は、２０％Rh以下であることを特徴とする請求項３または４に記
   載の圧電アクチュエーター。
6. 前記空間には、不活性ガスが封入されていることを特徴とする請求項３または４に記載
   の圧電アクチュエーター。
7. 振動板と、
   前記振動板に配置された圧電素子と、
   前記圧電素子に配置された電極と、
   前記圧電素子および前記電極を保護する有機保護膜と、
   前記振動板の端部に配置された突起部と、
   前記圧電素子、前記電極、および前記有機保護膜を密封している封止部材と、を備えることを特徴とする圧電アクチュエーターを有することを特徴とする電子機器。
8. 振動板と、
   前記振動板に配置された圧電素子と、
   前記圧電素子に配置された電極と、
   前記圧電素子および前記電極を保護する有機保護膜と、
   前記振動板の端部に配置された突起部と、
   前記圧電素子、前記電極、および前記有機保護膜を密封している封止部材と、を備えることを特徴とする圧電アクチュエーターを有することを特徴とするロボット。