JP5556181B2 - 薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッド - Google Patents
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Description
前記薄膜層の両端または周縁を固定し、前記駆動信号による前記変位膜の伸長により、該薄膜層を膜面に垂直な方向に変位させる基板と、を備えた薄膜アクチュエータであって、
前記薄膜層は、非駆動時、膜面に沿った初期の圧縮応力を有し、
前記薄膜層の変位量は、前記圧縮応力の大きさにより変化し、
前記圧縮応力の値は、駆動時、前記薄膜層の変位量を最大にする前記圧縮応力の値よりも小さいことを特徴とする薄膜アクチュエータ。
前記変位膜を挟んで形成され、前記駆動信号が印加される2つの電極膜と、
前記2つの電極膜の一方の電極膜に沿って形成され、膜面に沿った応力を有する応力膜と、を有することを特徴とする前記1または2に記載の薄膜アクチュエータ。
前記基板の裏面に接合され、該基板に形成された開口に連通しインクを吐出するノズル孔が形成されたノズル基板と、を有し、
前記開口の内部は、前記インクを収容し、前記薄膜層の変位により圧力を発生する圧力室であることを特徴とするインクジェットヘッド。
1 薄膜アクチュエータ
10 薄膜層
101 基板(ボディ基板)
101a 開口(圧力室)
102 応力膜
103 下電極膜(共通電極膜)
104 変位膜
105 上電極膜(駆動電極膜)
2 ノズル基板
2a ノズル孔
3 中間ガラス基板
3a 孔
Claims (4)
- 駆動信号により膜面に沿った方向に伸縮する変位膜を有する薄膜層と、
前記薄膜層の両端または周縁を固定し、前記駆動信号による前記変位膜の伸長により、該薄膜層を膜面に垂直な方向に変位させる基板と、を備えた薄膜アクチュエータであって、
前記薄膜層は、非駆動時、膜面に沿った初期の圧縮応力を有し、
前記薄膜層の変位量は、前記圧縮応力の大きさにより変化し、
前記圧縮応力の値は、駆動時、前記薄膜層の変位量を最大にする前記圧縮応力の値よりも小さいことを特徴とする薄膜アクチュエータ。 - 駆動信号により膜面に沿った方向に伸縮する変位膜を有する薄膜層と、
前記薄膜層の両端または周縁を固定し、前記駆動信号による前記変位膜の伸長により、該薄膜層を膜面に垂直な方向に変位させる基板と、を備えた薄膜アクチュエータであって、
前記薄膜層は、非駆動時、膜面に沿った初期の圧縮応力を有し、
前記薄膜層の変位量は、前記圧縮応力の大きさにより変化し、
前記圧縮応力の値は、駆動時、前記薄膜層の変位量を最大の略半分にする前記圧縮応力の値よりも小さいことを特徴とする薄膜アクチュエータ。 - 前記薄膜層は、
前記変位膜を挟んで形成され、前記駆動信号が印加される2つの電極膜と、
前記2つの電極膜の一方の電極膜に沿って形成され、膜面に沿った応力を有する応力膜と、を有することを特徴とする請求項1または2に記載の薄膜アクチュエータ。 - 請求項1から3の何れか1項に記載の薄膜アクチュエータと、
前記基板の裏面に接合され、該基板に形成された開口に連通しインクを吐出するノズル孔が形成されたノズル基板と、を有し、
前記開口の内部は、前記インクを収容し、前記薄膜層の変位により圧力を発生する圧力室であることを特徴とするインクジェットヘッド。
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JP2010000360A JP5556181B2 (ja) | 2010-01-05 | 2010-01-05 | 薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2010000360A JP5556181B2 (ja) | 2010-01-05 | 2010-01-05 | 薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッド |
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Family Applications (1)
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JP2010000360A Active JP5556181B2 (ja) | 2010-01-05 | 2010-01-05 | 薄膜アクチュエータ、及びインクジェットヘッド |
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