JP2011119333A - 窒化物半導体発光素子 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 205
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 title claims abstract description 199
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 12
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 16
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 7
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 4
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 abstract description 13
- 239000000470 constituent Substances 0.000 abstract description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 255
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 33
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 25
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 239000010408 film Substances 0.000 description 19
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 14
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 13
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 4
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 3
- OTRPZROOJRIMKW-UHFFFAOYSA-N triethylindigane Chemical compound CC[In](CC)CC OTRPZROOJRIMKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- MHYQBXJRURFKIN-UHFFFAOYSA-N C1(C=CC=C1)[Mg] Chemical compound C1(C=CC=C1)[Mg] MHYQBXJRURFKIN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- VOITXYVAKOUIBA-UHFFFAOYSA-N triethylaluminium Chemical compound CC[Al](CC)CC VOITXYVAKOUIBA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N triethylgallium Chemical compound CC[Ga](CC)CC RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
- H01L33/38—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape
- H01L33/382—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape the electrode extending partially in or entirely through the semiconductor body
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- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/44—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
- H01L33/46—Reflective coating, e.g. dielectric Bragg reflector
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/20—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
- H01L33/22—Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Led Devices (AREA)
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Abstract
【解決手段】窒化物半導体発光ダイオード素子20は、n型窒化物半導体層12と、n型窒化物半導体層12上に形成された発光層13と、発光層13上に形成された第1のp型窒化物半導体層14と、第1のp型窒化物半導体層14の表面を被覆する部分と露出させる部分とが繰り返されるように第1のp型窒化物半導体層上に形成された中間層15と、中間層15の上に形成された第2のp型窒化物半導体層16とを備え、中間層15は、SiとNとを構成元素として含む化合物からなる。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の窒化物半導体発光素子の好ましい一例である窒化物半導体発光ダイオード素子の積層体を示す模式的な断面図である。積層体10は、基板1と、基板1上に形成されたn型窒化物半導体層2と、n型窒化物半導体層2上に形成された発光層3と、発光層3上に形成された第1のp型窒化物半導体層4と、第1のp型窒化物半導体層4の表面を被覆する部分と露出させる部分とが繰り返されるように第1のp型窒化物半導体層4上に形成された中間層5と、中間層5の上に形成された第2のp型窒化物半導体層6とを備える。中間層5は、SiとNとを構成元素として含む化合物から構成される。
基板1としては、たとえば、窒化ガリウム(GaN)基板、炭化ケイ素(SiC)基板、サファイア基板、スピネル基板または酸化亜鉛(ZnO)基板などの様々な基板を用いることができる。なお、基板1としては、サファイア基板を用いることが好ましい。基板1としてサファイア基板を用いた場合には、本実施形態の窒化物半導体発光ダイオード素子の製造コストを低減することができるとともに、安定して本実施形態の窒化物半導体発光ダイオード素子を製造することができる。
n型窒化物半導体層2は、単層のみに限られるものではなく複数層を積層したものであってもよい。このようなn型窒化物半導体層2としては、たとえば低温バッファ層、AlNバッファ層、アンドープ層、n型ドーピング層等を用いることができる。窒化物半導体がアンドープである場合、一般的にはn型導電を示すのでn型窒化物半導体層2としてアンドープ窒化物半導体層を用いることもできる。
発光層3は、GaNからなる障壁層とInを含む窒化物半導体からなる井戸層とを含むことが好ましい。井戸層の厚さは、井戸層が発光する波長により最適な層厚は異なるが、2〜20nmの範囲であることが好ましく、n型窒化物半導体層2の結晶品質が高まるにつれて、井戸層の層厚は厚くすることができる。このような発光層3の構造は、量子構造に限られるものではなく、単一井戸構造、多重井戸構造、多重量子井戸構造等のいずれであってもよい。量子構造とは井戸構造の厚さが10nm以下のときを示す。
第1のp型窒化物半導体層4は、単層または複数層のいずれであってもよく、GaN、AlGaN、InAlGaN、またはInGaNに対しp型不純物をドープしたものを用いることができる他、アンドープのものを用いてもよい。p型窒化物半導体層6が複数層の場合は、InGaN/GaN、InGaN/AlGaN、AlGaN/GaN、InGaN/InGaNのような積層構造であってもよい。なお、中間層5と接する表面を形成する層はp型GaNからなる構成が好ましい。GaNは、発光波長における吸収係数が小さく光取り出し効率低下を防ぐことができる点、および直上の中間層5との接触抵抗を低くすることができる点からから好ましく用いられる。
次に、第1のp型窒化物半導体層4の表面を被覆する部分と露出させる部分とが繰り返されるように第1のp型窒化物半導体層4上に中間層5を形成する。中間層5は、自然形成によりパターニングされ形成されたものが好ましい。ここで、自然形成によりパターニングされた中間層5とは、結晶成長後にたとえばエッチングなどにより一部を除去してパターンニングし形成したパターンではなく、結晶成長と同時にパターニングが進行し形成されたパターンを言う。
第1のp型窒化物半導体層4の表面に中間層5が形成され、さらにその上に、第2のp型窒化物半導体層6が形成される。上述のように、第1のp型窒化物半導体層4上は、中間層5により、露出領域と、被覆領域とに区別される。被覆領域では、その上に形成される第2の窒化物半導体層6の結晶成長が阻害される。したがって、被覆領域では第2の窒化物半導体層6の結晶は成長しない。一方、露出領域では垂直方向に第2の窒化物半導体層6の結晶が成長していく。そして、露出領域から始まった結晶成長はやがて横方向に広がり、中間層5の上部に回り込む。中間層の上部は特定の結晶方位を有していないのでこの部分では単結晶化し易く、この部分の半導体層は転位が生じにくく、半導体層の結晶性が向上する。あるいは、第1の窒化物半導体層4の転位が中間層5で止められ、第2のp型窒化物半導体層6の形成工程における再度の核形成過程を経て、転位が横方向に曲げられることにより、貫通転位低減を図ることが可能であり、これにより第2のp型窒化物半導体層6の結晶品質が向上する。
次に、たとえばスパッタ法などによって、第2の窒化物半導体層6の表面上にp側透光性導電膜7を積層して積層体10を形成する。
次に、図1に示す窒化物半導体発光ダイオード素子の積層体10の一部をエッチングなどにより除去することによって、n型窒化物半導体層2の表面の一部を露出させる。
Claims (8)
- n型窒化物半導体層と、
前記n型窒化物半導体層上に形成された発光層と、
前記発光層上に形成された第1のp型窒化物半導体層と、
第1のp型窒化物半導体層の表面を被覆する部分と露出させる部分とが繰り返されるように第1のp型窒化物半導体層上に形成された中間層と、
前記中間層の上に形成された第2のp型窒化物半導体層とを備え、
前記中間層は、SiとNとを構成元素として含む化合物からなる、窒化物半導体発光素子。 - 前記中間層は、自然形成によりパターニングされ形成されている、請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 第2のp型窒化物半導体層の上面は、凹凸形状となっている、請求項1または2に記載の窒化物半導体発光素子。
- 第2のp型窒化物半導体層上に形成されたp側透光性導電膜をさらに備え、窒化物半導体発光ダイオード素子である請求項1〜3のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記p側透光性導電膜は、酸化インジウムスズ、二酸化スズ、酸化亜鉛のいずれかからなる、請求項4に記載の窒化物半導体発光素子。
- 第1のp型窒化物半導体層の前記中間層と接する面はp型GaN層である、請求項1〜5のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 第2のp型窒化物半導体層の前記中間層と接する面はp型GaN層である、請求項1〜6のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記中間層は、10nm以下の厚さである、請求項1〜7のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009273328A JP2011119333A (ja) | 2009-12-01 | 2009-12-01 | 窒化物半導体発光素子 |
US12/950,747 US8350278B2 (en) | 2009-12-01 | 2010-11-19 | Nitride semiconductor light-emitting device |
CN201010569367.7A CN102097551B (zh) | 2009-12-01 | 2010-12-01 | 氮化物半导体发光元件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009273328A JP2011119333A (ja) | 2009-12-01 | 2009-12-01 | 窒化物半導体発光素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011119333A true JP2011119333A (ja) | 2011-06-16 |
Family
ID=44068178
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009273328A Pending JP2011119333A (ja) | 2009-12-01 | 2009-12-01 | 窒化物半導体発光素子 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8350278B2 (ja) |
JP (1) | JP2011119333A (ja) |
CN (1) | CN102097551B (ja) |
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN102097551B (zh) | 2014-06-11 |
US20110127539A1 (en) | 2011-06-02 |
CN102097551A (zh) | 2011-06-15 |
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