JP2010538462A - 集積回路ダイのパッケージング方法 - Google Patents

集積回路ダイのパッケージング方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2010538462A
JP2010538462A JP2010522986A JP2010522986A JP2010538462A JP 2010538462 A JP2010538462 A JP 2010538462A JP 2010522986 A JP2010522986 A JP 2010522986A JP 2010522986 A JP2010522986 A JP 2010522986A JP 2010538462 A JP2010538462 A JP 2010538462A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
die
adhesive coating
release film
support substrate
bond pad
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010522986A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2010538462A5 (ja
JP5187863B2 (ja
Inventor
エイチ． ライトル、ウィリアム
アール． フェイ、オーウェン
シュー、ジャンウェン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NXP USA Inc
Original Assignee
NXP USA Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NXP USA Inc filed Critical NXP USA Inc
Publication of JP2010538462A publication Critical patent/JP2010538462A/ja
Publication of JP2010538462A5 publication Critical patent/JP2010538462A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5187863B2 publication Critical patent/JP5187863B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
    • H01L21/568—Temporary substrate used as encapsulation process aid
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
    • H01L23/3114—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed the device being a chip scale package, e.g. CSP
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/19—Manufacturing methods of high density interconnect preforms
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/82—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by forming build-up interconnects at chip-level, e.g. for high density interconnects [HDI]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/93—Batch processes
    • H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
    • H01L24/96—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being encapsulated in a common layer, e.g. neo-wafer or pseudo-wafer, said common layer being separable into individual assemblies after connecting
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/93—Batch processes
    • H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
    • H01L24/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/04105—Bonding areas formed on an encapsulation of the semiconductor or solid-state body, e.g. bonding areas on chip-scale packages
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/12105—Bump connectors formed on an encapsulation of the semiconductor or solid-state body, e.g. bumps on chip-scale packages
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01—Chemical elements
    • H01L2924/01006—Carbon [C]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01—Chemical elements
    • H01L2924/01029—Copper [Cu]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01—Chemical elements
    • H01L2924/01033—Arsenic [As]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01—Chemical elements
    • H01L2924/01047—Silver [Ag]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01—Chemical elements
    • H01L2924/01079—Gold [Au]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01—Chemical elements
    • H01L2924/01082—Lead [Pb]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11—Device type
    • H01L2924/14—Integrated circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181—Encapsulation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Die Bonding (AREA)

Abstract

パッケージ工程中に集積回路ダイ（３８）を保持するための構造は、支持基板（４２）、同支持基板（４２）に取着されて離型フィルム（４４）、及び膨潤剤（６０）を含む。ダイ（３８）をパッケージングする方法は、活性面（４２）及びボンドパッド（５４）を前記離型フィルム（４４）と接触させた状態で前記支持基板（４２）上にダイ（３８）を配置する工程を含む。膨潤剤（６０）は、離型フィルム（４４）の接着性コーティング（５０）上に塗布される。膨潤剤（６０）は、ボンドパッド（５４）と接触するように接着性コーティング（５０）を膨張させること、及びダイ（３８）の周囲に接着性コーティング（５０）の隅肉を形成することの何れか一つを生じさせる。ダイ（３８）は成型材料（７２）内でカプセル化され、ダイ（３８）のパネル（７４）として基板（４２）から分離される。ボンドパッド（５４）の周囲における接着性コーティング（５０）の膨張が、成型材料（７２）がボンドパッド（５４）上に漏れることを防止する。

Description

本発明は、概して集積回路ダイのパッケージに関する。より詳しくは、本発明は、集積回路ダイのチップファースト・パッケージ工程中におけるボンドパッドの汚染を防止する方法に関する。
集積回路のパッケージ工程は、小型かつ高性能の半導体デバイスを提供するプロセスでは重大な工程である。そのため、それは、コンピュータから携帯電話さらに内蔵プロセッサに至るエンドユーザ・デバイスの外見及び機能に対して甚大な影響を及ぼす。大部分の電子機器では、半導体デバイスをより小型化し、より高性能化し、より低コスト化する傾向にある。集積回路（ＩＣ）パッケージは、例えば、ＳｉＰ（System in Package）、ＰｏＰ（Package on Package）、チップファースト・パッケージ等の多様な種類のパッケージ技術を通じて発展してきた。これらのパッケージ技術は、高い集積度、より高い機能性、サイズ及び重量の低減、並びに相応のコスト低減という観点で利点を提供する。
ＳｉＰは、小さな領域内にデバイスエレクトロニクスの完全なセットを提供しながら、一つのパッケージ内にいくつかの集積回路を配置することを可能にする技術である。ＰｏＰは、より複雑な集積及びより高い相互接続密度のために一つのチップを別のチップ上に配置する。一般に、ＳｉＰ及びＰｏＰ技術は、ＩＣダイ及びパッケージを接続するためにワイヤボンディングを使用する。残念ながら、ワイヤボンディングはパッケージ技術には便利であるが、ワイヤが貴重な基盤スペースを占めることになる。従って、ワイヤボンディングを廃止するために、フリップチップ技術が開発された。フリップチップ・プロセスでは、ＩＣダイがボールグリッドアレイ又は他の導電バンプを用いて基盤又は基板に裏向けに接続される。この技術は、ワイヤ接続を廃止し、速度を増大し、サイズを低減する。
チップファースト・パッケージは、ワイヤボンディング及びいくらかのボールグリッドアレイ技術の制限を無効とするために開発された。あるチップファースト・パッケージ技術は、一又は複数のＩＣダイを剥離可能な接着剤に裏向けに配置した後、ダイ周辺に拡張表面を形成するようにダイをカプセル化することを必要とする。結果として形成されるアレイ構造は基板から取り外され、相互接続回路がＩＣダイ及び拡張表面の上に形成される。相互接続が回路基盤の一体部分のプロセスとしてＩＣダイに形成されるため、ワイヤボンド、ＴＡＢ（Tape Automated Bonds）、又ははんだバンプに対する必要性を排除する。
図１は、従来技術のチップファースト・パッケージプロセス下にあるＩＣダイ２０の側面を示す。チップファースト・パッケージでは、一般に、ＩＣダイ２０で示される裸のＩＣダイが、ＩＣダイの上に相互接続回路を形成する前に保護パッケージを形成すべく成型材料２２でカプセル化される。カプセル化されたＩＣダイ２０は同ＩＣダイ２０を劣化させ得る条件から保護し、ＩＣダイ２０を搬送し、取り扱い、他の部品と容易に統合することを可能にする。また、カプセル化は、ＩＣダイ２０上の回路を再分配するためのプラットフォームを形成しながら、ＩＣダイ２０の表面を拡張する。これにより、チップレイアウトが効果的により拡大されるため、それはより粗いピッチの回路基盤に接続可能である。カプセル化では、定位置に保持するために活性表面を下向きにした状態でＩＣダイ２０を接着剤２６に取り付けることが必要である。ＩＣダイ２０の活性表面２４は、ボンドパッド２８を有するＩＣダイ２０の面を指す。ＩＣダイ２０は型の中に配置され、成型材料１２２（例えば、充填されたエポキシ樹脂）でカプセル化された後、成型材料１２２が焼成される。
残念ながら、接着剤２６の表面における不均一さ及び機械的な配置によって、ＩＣダイ２０の下にギャップが残る。これらギャップによって、ここでは樹脂漏れと称する成型材料２２の漏れがＩＣダイ２０の下に生じることがある。その後、この成型材料２２は、ボンドパッド２８を不必要に覆う。焼成工程中、成型材料２２は、開回路を形成してＩＣダイ２０を使い物にならなくしながら、永久にボンドパッド２８に取り付けられる。
樹脂漏れ問題を解決するために、多数の方法が試みられてきた。例えば、いくつかの従来の技術では、樹脂漏れを防止するために、ＩＣダイの周囲にウエル、トレンチ、又はダムが用いられる。他の方法では、ＩＣパッケージの露出したボンドパッド上への樹脂漏れを防止するために、リードフレーム及び成型フィーチャ、並びに強力なクランプ力が使用される。さらに他の方法では、ＩＣダイの外縁の周囲にシールリングが使用されたり、ボンドパッドを覆るが後に除去される犠牲層が使用されたりする。残念ながら、これらの従来技術では、複雑さが増大して、追加の設計及び処理工程が必要となるため、コストが上昇して信頼性の問題が生じる可能性がある。従って、求められているものは、既存のパッケージ手順で容易に実施可能なチップファースト・パッケージ工程中に、ＩＣダイのボンドパッドが樹脂漏れすることを効果的に防止するための方法である。
従来技術のチップファースト・パッケージプロセス下にある集積回路（ＩＣ）を示す側面図。 本発明の一実施形態に係るＩＣダイのパッケージプロセスを示すフローチャート。 図２のＩＣダイのパッケージプロセスに係り、パッケージ工程の初期段階における多数のＩＣダイの一部を示す側面図。 更に進行したプロセスにおいて図３に示すＩＣダイの同一部分を示す側面図。 更に進行したプロセスにおいて図４に示すＩＣダイの同一部分を示す側面図。 更に進行したプロセスにおいて図５に示すＩＣダイの同一部分を示す側面図。 更に進行したプロセスにおいて図６に示すＩＣダイの同一部分を示す側面図。 更に進行したプロセスにおいて図７に示すＩＣダイの同一部分を示す側面図。 図２のＩＣダイのパッケージプロセスを実施して得られたＩＣダイのパッケージを示す側面図。
図面を通じて同様の参照番号が同様の部材を示す図面を一緒に考慮しながら詳細な説明及び特許請求の範囲を参照することによって、本発明をより良く完全に理解することができる。
図２は、本発明の一実施形態に係る集積回路（ＩＣ）のパッケージングプロセス３４のフローチャートを示す。ＩＣダイのパッケージングプロセス３４は、チップファースト・パッケージ法を説明している。その方法は、成型材料のカプセル化及び焼成中に支持基板上にＩＣダイを保持するために使用される接着性コーティングを膨張させるべく選択された溶媒を塗布する工程を含む。接着剤の膨張により、ＩＣダイの下にあるギャップが充填されること、及びＩＣダイの外縁の周囲に膨張した接着剤からなる隅肉が形成されることの少なくとも何れか一つが行われる。これにより、成型材料がＩＣダイの下から漏れることが防止される。
ＩＣダイのパッケージングプロセス３４は、工程３６から開始する。工程３６において、ＩＣダイは離型テープを介して支持基板に取着される。工程３６に関連して図３を参照すると、図３はＩＣパッケージングプロセス３４の工程に係るパッケージングの最初の段階における複数のＩＣダイのうちの一部のＩＣダイを示す側面図である。ＩＣダイ３８のパッケージ工程中にＩＣダイ３８を一時的に保持するための構造は、概して支持基板４２と、同支持基板４２の一表面４６に取着された離型フィルム４４とを含む。一実施形態において、離型フィルム４４は、表面４６に積層又は固定されたポリイミドのライナ４８を含む。ライナ４８は、シリコンポリマの接着性コーティング５０で被覆されている。工程３６において、分離されたＩＣダイ３８は、各ＩＣダイ３８の活性表面を接着性コーティング５０上に下向きにした状態で支持基板４２上に支持されている。ＩＣダイ３８の活性表面５２とは、ボンドパッド５４を有する各ＩＣダイ３８の面を指す。図示するように、接着性コーティング５０は、不均一な表面５６を有する。不均一な表面５６によって、ボンドパッド５４及び接着性コーティング５０間に間隙が生じる。
本発明は、分離した、即ち個々のＩＣダイ３８のパッケージングについて説明している。しかしながら、本発明は、マルチチップ・モジュールのパッケージングにも同様に適用される。各マルチチップ・モジュールは、各種機能を実行可能な複数の分離したＩＣダイを含む。
再度図２に示すように、工程３６の次に工程５８が実行される。工程５８において、膨張剤が接着性コーティングの表面上に噴霧されるとともに、蒸発することが許容される。工程５８に関連して図４を参照すると、図４は、更に進行したプロセスにおいて図３に示すＩＣダイ３８の同一部分を示す側面図である。構造４０は、膨張剤６０を更に含む。一実施形態において、膨張剤６０は、従来の噴霧器の噴霧ノズル６２から霧状の噴霧液として接着性コーティング５０及びＩＣダイ３８の上方に均一に散布される。
図４において、ノズル６２はＩＣダイ３８及び接着性コーティング５０が接近しているように見えるが、ノズル６２とＩＣダイ３８との間の距離は、０．２５４ミリメートル（０．０１インチ）まで接近した位置からＩＣダイ３８から約５０．８センチメートル（約２０インチ）離れた位置まで変更可能である。より詳しくは、ノズル６２は、ＩＣダイ３８から１０．１６センチメートル（４インチ）から２５．４センチメートル（１０インチ）離れていてもよい。ノズル６２から噴霧される膨張剤の噴霧圧は、３４４７〜３４４７４パスカル（０．５〜８０ポンド／平方インチ）、より典型的には３４４７〜５５１５８１パスカル（０．５〜５ポンド／平方インチ）で変更可能である。地形、即ち接着性コーティング５０の表面５６の形状及び外形の変化を誘発する任意の噴霧を制限するために、比較的に低い噴霧圧が好ましい。つまり、高い噴霧圧は、例えば、表面５６をくぼませたりして接着性コーティング５０の表面５６の粗さ変化させることがある。接着性コーティング５０の粗い表面５６は、後述するように材料のカプセル化に悪影響を与えるとともに、カプセル化されたＩＣダイ３８の後の処理にとって問題となる。
ノズル６２の移動経路は静的であり、即ち上方からの単一の噴霧である。これに代えて、ノズル６２の移動経路は、円形の移動であってもよいし、或いは、直線状にライン毎の移動、即ちＩＣダイ３８からＩＣダイ３８への移動であってもよい。なお、ＩＣダイ３８の上部を噴霧する必要がないため、ノズル６２はＩＣダイ３８の上部を横切って移動する必要はない。むしろ、接着性コーティング５０のみを噴霧する必要がある。従って、プログラム可能な噴霧器を用いることにより、ノズル６２は、ＩＣダイ３８間の間隙において、ＩＣダイ３８の上部より下方に配置されてもよい。
噴霧期間は、ノズル６２の移動経路に依存する。例えば、上方からの単一噴霧は、概ね僅か数秒で行われる。しかしながら、ノズル６２を直線状にライン毎に移動させる場合、より長い時間かかり、例えばＩＣダイ３８の直径３００ミリメートルのパネルに対して最大１５分かかる。上述したように、膨張剤６０は霧状の噴霧液として提供される。霧状の噴霧液として、膨張剤６０の小滴サイズは、数マイクロメートルを超えるものではない。この膨張剤６０の霧状の噴霧液は、接着性コーティング５０の再生可能かつ一貫した膨張を得るものであることが好ましい。
ＩＣダイのパッケージ処理である工程５８（図２）に関連する図５を参照すると、図５は、更に進行したプロセスにおいて図４に示すＩＣダイの同一部分を示す側面図である。膨張剤６０（図４）の塗布に反応して、接着性コーティング５０は、ボンドパッド４３と接触するように、かつＩＣダイ３８の縁に近い活性表面の周囲で膨張することが許容される。膨張剤６０は、ボンドパッド５４と接着性表面５６との間に存在し得る間隙を充填すべく、ボンドパッド５４と接触するように膨張する。加えて、またはこれに代えて、膨張した接着性コーティング５０からなる隅肉６４が、各ＩＣダイ３８の外縁の周囲に形成される。そして、任意の残りの膨張剤６０は、接着性表面５６及びＩＣダイ３８から蒸発する。
一実施形態において、膨張剤６０は溶媒、即ち一般に固体、液体、又はガス状の溶質を溶解可能な液体である。しかしながら、溶媒の膨張剤６０を適切に選択しかつ膨張剤６０を適切に塗布することにより、膨張剤６０によって溶解したものよりもむしろ溶媒の膨張剤６０の存在下で、シリコンポリマの接着性コーティング５０が膨張する。溶媒の膨張剤６０を適切に選択することにより、適切な溶解パラメータ、溶媒極性、沸点等を有する溶媒を選択する結果となる。溶媒の膨張剤６０が、接着性コーティングを適量膨張させ、かつ接着表面５６の形状をほとんど変化させないことが好ましい。更に、適切な膨張剤６０により、シリコンポリマの接着性コーティング５０及び離型フィルム４４のライナ４８とほとんど又は全く化学反応しないことが好ましい。
溶媒の溶解度を考慮する場合、膨張剤６０として提供されるのに好ましい溶媒は、接着性コーティング５０を溶解させず、かつ接着性コーティング５０を過度に膨張させないものである。膨張した接着性コーティング５０からなる隅肉６４の高さは、０．５マイクロメートルから１００マイクロメートルの間であり、より詳しくは２マイクロメートルから１０マイクロメートルの間であることが好ましい。高さ６６は、接着性コーティング５０を膨張させるための膨張剤６０に関する傾向によって直接的に影響される。従って、接着性コーティング５０の過度の膨張により、１００マイクロメートルよりも大きい高さを有する隅肉６４が生じることになる。過度に高い隅肉６４は、後述する後の絶縁体形成工程中にボイドが生じる可能性を高めることになる。加えて、接着性コーティング５０の過度の膨張は、接着表面５６の均一性を変化させることがある。それにより、カプセル化されたＩＣダイ３８の形状が変化し、後の絶縁体形成工程中に問題を生じることになる。
溶解パラメータは、特定の溶媒の相対的な溶解力の性質を示す数値である。液体及び固体が、分子間力によって一緒に保持される。生成される溶液について、溶媒の分子は、溶質内の分子間力に打ち勝ち、かつ溶質の分子の間及び周囲に漂う。同時に、溶媒の分子自身は、溶質の分子によって互いに離間する。この分子間力は、ファン・デル・ワールス力として知られている。最も広範囲に適用可能な溶解度の尺度の一つは、溶媒の全てのファン・デル・ワールス力を反映するヒルデブラントの溶解度パラメータとして知られている。実験を通じて、ヒルデブラントの溶解度パラメータ１８．３（ＳＩ単位）を有するトルエンは、（所望の膨張を除いて）シリコンポリマの接着性コーティング５０の表面形状を大幅に変化させることなく、シリコンポリマの接着性コーティング５０を適度に膨張させる。しかしながら、ヒルデブラントの溶解度パラメータ１４．９（ＳＩ単位）を有するヘキサンは、接着性コーティングを過剰に膨張させる。ヒルデブラントの溶解度パラメータ１９．７（ＳＩ単位）を有するアセトンは、接着性コーティングを適切に膨張させないが、むしろシリコンポリマの接着性コーティング５０を溶解させる。
膨張剤６０は、その極性についても選択される。溶媒は、極性及び無極性溶媒に大きく分類される。溶媒の極性は、その溶媒が溶解可能な化合物の種類を決定するとともに、その溶媒が混合可能な他の溶媒又は液体の化合物を決定する。経験則として、極性溶媒は極性化合物を最も良好に溶解し、非極性溶媒は非極性化合物を最も良好に溶解する。この経験則は、ときどき「似たものは似たものに溶ける」と言われる。極性溶媒は、シリコンポリマの接着性コーティング５０及び横たわるポリイミドのライナ４８の結合を攻撃する。この攻撃により、接着性コーティング５０がライナ４８から剥がれる。また、極性溶媒は、接着性コーティング５０の表面に甚大な変化を生じさせる。それにより、後の絶縁体形成工程中に問題が生じる。従って、一実施形態において、膨張剤６０は、膨張剤６０及びシリコンポリマの接着性コーティング５０間の化学反応を防止及び制限すべく非極性溶媒、例えばトルエンである。
溶媒の別の重要な特性は沸点である。溶媒の沸点によって蒸発速度が決まる。膨張剤６０が迅速に蒸発することが好ましい。その場合、残留溶媒が接着性コーティング５０上に残らない。この残留溶媒は、後述するカプセル化が行われるとき、或いは材料をモールドするときに問題を生じる。加えて、溶媒の膨張剤６０の小さな分子量及びサイズに起因して、膨張剤６０がより長時間にわたって接着性コーティング５０上に滞在するほど、膨張剤６０が接着性コーティング５０中により深くまで浸透する。これにより、隅肉６４の高さ６６が過剰に大きくなってしまう。従って、溶媒の噴霧及び蒸発プロセスが迅速に蒸発させるべく室温で行われる場合、溶媒の膨張剤６０の沸点は、５０℃から１５０℃の範囲内にあるべきである。例えば、トルエンの沸点は。１１０．６℃である。周囲より低いは周囲より高いプロセス温度の条件下では、適切な蒸発率を実現するために、トルエンより低い又はより高い沸点を有する異なる溶媒の膨張剤６０が選択されることが分かる。
ポリイミドのライナ４８及びシリコンポリマの接着性コーティング５０から形成される離型フィルム４４と組み合わせて使用する場合、上述したようにトルエンは適切な溶媒の膨張剤６０である。トルエンは適切な溶解度を有し、かつ非極性溶媒であり、さらに比較的に迅速に蒸発するのに適切な沸点を有するため、トルエンは適切な溶媒である。しかしながら、ここで溶媒のトルエンについて説明したが、接着性コーティング５０を溶解したり接着性コーティング５０の表面を変化させたりすることなく、接着性コーティング５０を適度に膨張させる他の溶媒が使用可能であることを当業者は理解することが分かる。
ここで、ＩＣダイのパッケージングプロセス３４（図２）に戻ると、膨張剤６０を塗布して（図４）、その後の工程５８における蒸発の後、プロセス３４は工程７０から開始する。工程７０において、ＩＣダイ３８は、ＩＣダイ３８のパネルを形成すべく成型材料でカプセル化される。工程６６に関連して図６を参照すると、図６は、更に進行したプロセスにおいて図５に示すＩＣダイ３８の同一部分を示す側面図である。更に示すように、ＩＣダイ３８は、成型材料７２内でカプセル化される。一つの例示的な成型材料７２は、シリカが充填されたエポキシ樹脂成型材料（EMC：Epoxy Molding Compound）である。ただし、他の公知の成型材料７２及び将来出てくる成型材料７２が使用されてもよい。なお、ボンドパッド５４と接触するように膨張した接着性コーティング５０とともに、接着性コーティング５０の隅肉６４によって、ボンドパッド５４に対して成型材料７２が漏れることが防止される。ＩＣダイ３８が一旦カプセル化されると、複数のＩＣダイ３８を含むパネル７４が形成される。
再度図２を参照すると、工程７０の後に、工程７６が実施される。工程７６において、パネル７４が焼成される。例えば、焼成プロセスは、パネル７４を１００℃で６０分間にわたって露出し、即座に続いてパネル７４を１５０℃で更に６０分間にわたって露出することを必要とする。特定の成型材料に対して適切な他の焼成プロセスが使用されてもよいことを当業者は理解する。
次に、工程７８が実施される。工程７８において、パネル７４は従来のプロセスによって適切な厚さまで裏面が研削される。別の実施形態において、パネル７４は当業者にとって公知であるように適切な厚みに成型されてもよい。
工程７８の後、工程７９において、パネル７４が支持基板４２（図３）及び接着性コーティング５０（図３）から取り外され、従来のプロセスによってボンドパッド５４からクリーニングされる。工程８０に関連して図７を参照すると、図７は、更に進行したプロセスにおいて図６に示すＩＣダイ３８の同一部分を示す側面図である。支持基板４２及び接着性コーティング５０を取り外した後、接着性コーティング５０の隅肉６４が位置していた場所である、各ＩＣダイ３８の外縁の周囲にボイド８２が残る。次に、当業者には公知であるように、ＩＣダイ３８のパネル７４は後の処理のためにキャリア８４に取り付けられる。
概ね０．５マイクロメートルから１００マイクロメートルの範囲の高さ６６（図５）に制御された隅肉６４が繰り返されている。続いて、ボイド８２の対応する高さ８６は、隅肉６４と概ね同じ高さ６６である。隅肉６４が過剰に高い場合、過剰に深いボイド８２が形成されるため、後の絶縁体堆積プロセス中に問題を生じることがある。例えば、スピンコーティングプロセス中には、過剰に深いボイド８２によって、絶縁体には不適合な段差又は他の表面が生じる。加えて、過剰に深いボイド８２により、ＩＣダイ３８を所定の位置に保持するために、ＩＣダイ３８を取り囲む成型材料７２の量が不適切になる。
再度図２に示すように、工程８０の後に、工程８８が実施される。工程８８において、ＩＣダイ３８のパネル７４は、各ＩＣダイ３８の活性表面５２上のボンドパッド５４間に信号線、電力線、及び接地線を配線するための処理を経る。図２及び図８を参照すると、図８は、更に進行したプロセスにおいて図７に示すＩＣダイ３８の同一部分を示す側面図である。配線の形成は、標準的なシリコン製造装置を用いて行われる。これらのプロセス工程は、電気めっき技術による銅金属化層の堆積を含む。一般に、金属層は、バッチプロセスリソグラフィを用いて写真現像可能な絶縁体をパターニングして一般的に形成された絶縁層によって分離されている。金属層及び絶縁層の組み合わせは、図８における代表的な層９０によってまとめて示されている。パッケージにおける金属層の数は、パッケージサイズ、ランドグリッドアレイ又はボールグリッドアレイのピッチ要件、入出力の数、電力及び接地要件、並びに配線経路の設計ルールによって指示される。金属層は、活性表面上のボンドパッド５４をパネル７４の外表面９４上に配置されたパッド９２に接続する。そして、パッド９２には、ランドグリッドアレイ（ＬＧＡ）用のニッケル金（ＮｉＡｕ）合金又ははんだの仕上げ、或いはボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）用のはんだボール９６が提供される。
図２のＩＣダイのパッケージングプロセス３４に戻ると、工程８８の後に、工程９８が実施される。工程９８において、パネル７４は、個々のＩＣダイパッケージに分離される。工程９８の後、ＩＣダイのパッケージングプロセス３４が終了する。
図９は、図２のＩＣダイのパッケージプロセス１００を実施して得られたＩＣダイのパッケージ１００を示す側面図である。この時点で、ＩＣダイパッケージ１００は、同ＩＣダイパッケージ１００を電子機器に組み込むための準備において公知のプロセスによって処理可能である。
ここで説明した実施形態は、集積回路（ＩＣ）ダイをパッケージする方法を含む。パッケージング方法は、パッケージが裸のＩＣダイの周りに形成されるチップファースト技術を必要とする。ＩＣダイのカプセル化の前に、ＩＣダイは、活性表面を接着性コーティング上に下向きに配置される。接着性コーティングは、ＩＣダイを支持基板上に固定する。その後、接着性コーティングは、非極性溶媒の形態にある膨張剤で噴霧される。膨張剤は、活性表面上に位置するボンドパッドと接触するように接着性コーティングを膨張させること、及び、接着性コーティングからなる隅肉をＩＣダイの周囲に形成するように接着性コーティングを膨張させることの少なくとも何れかを行う。従って、適切に選択された溶媒で接着性コーティングを膨張させるプロセスにより、カプセル化する際、樹脂、即ち成型材料の漏れからＩＣダイのボンドパッドが効果的に保護される。ＩＣチップのパネル形成工程における従来の装置を用いて、ボンドパッドを保護するための膨張剤を簡単かつ費用効果の高い方法で利用することができる。従って、この方法は、既存のパッケージ技術において容易に実施可能である。

Claims (20)

  1. ボンドパッドを有する集積回路（ＩＣ）ダイのパッケージング方法であって、前記ボンドパッドは前記ＩＣダイの活性表面上に配置されており、前記方法は、
    支持基板の上に離型フィルムを取着する工程であって、前記離型フィルムが前記支持基板と反対側の前記離型フィルムの一面上に配置された接着性コーティングを有する、工程と、
    前記活性表面が前記離型フィルムと接触した状態で前記支持基板上に前記ＩＣダイを配置する工程と、
    前記接着性コーティングの上方に膨張剤を塗布する工程と、
    前記膨張剤の塗布に反応して、前記接着性コーティングが前記ボンドパッドと接触するように膨張することを許容する工程と、
    成型材料内で前記ＩＣダイをカプセル化する工程と、
    前記支持基板から前記ＩＣダイを取り外す工程と、を備える方法。
  2. 請求項１に記載の方法において、前記膨張剤として溶媒を選択する工程を更に備える方法。
  3. 請求項２に記載の方法において、前記選択する工程は無極性溶媒を選択する工程を含む、方法。
  4. 請求項２に記載の方法において、沸点が５０℃から１５０℃の範囲内である一群の溶媒から前記溶媒を選択する工程を更に備える方法。
  5. 請求項１に記載の方法において、前記膨張剤としてトルエンを選択する工程を更に備える方法。
  6. 請求項１に記載の方法において、シリコンポリマから形成される前記接着性コーティングを有する前記離型フィルムを選択する工程を更に備える方法。
  7. 請求項１に記載の方法において、前記塗布する工程が前記膨張剤を前記接着性コーティングの上方に均一に散布する工程を含む、方法。
  8. 請求項１に記載の方法において、前記塗布する工程が前記膨張剤を霧状の噴霧液として前記接着性コーティングの上方に散布する工程を含む、方法。
  9. 請求項１に記載の方法において、前記塗布する工程が前記膨張剤を前記接着性コーティングの上方に３４４７〜３４４７４パスカル（０．５〜５ポンド／平方インチ）の範囲内の圧力で噴霧する工程を含む、方法。
  10. 請求項１に記載の方法において、前記許容する工程が、前記接着性コーティングからなる隅肉を前記ＩＣダイの外縁の周囲に形成する工程を含み、前記隅肉が概ね０．５マイクロメートルから１００マイクロメートルの範囲の高さを有する、方法。
  11. 請求項１に記載の方法において、前記接着性コーティングが前記ＩＣダイの少なくとも活性表面の周囲で膨張することにより、前記成型材料が前記ＩＣダイの前記ボンドパッド上に流れることを防止する工程を更に備える方法。
  12. 請求項１に記載の方法において、前記ＩＣダイは複数のＩＣダイのうちの一つであり、前記複数のＩＣダイの各々が前記活性表面を有し、前記方法は更に、
    前記活性表面が前記離型フィルムと接触した状態で前記支持基板上に前記複数のＩＣダイの各々を配置する工程と、
    前記離型フィルムの前記接着性コーティングの上に膨張剤を塗布する工程と、
    前記膨張剤の塗布に反応して、前記接着性コーティングが前記複数のＩＣダイの各々の前記活性表面上における前記ボンドパッドと接触するように膨張することを許容する工程と、
    前記塗布する工程後に、前記成型材料内に前記複数のＩＣダイを一斉にカプセル化する工程と、
    前記カプセル化する工程後に、パネルとしての前記支持基板から前記複数のＩＣダイを取り外す工程と、
    個々のＩＣパッケージを形成するために前記パネルの前記複数のＩＣダイを分離する工程と、を備える方法。
  13. 集積回路（ＩＣ）ダイのパッケージ工程中に少なくとも一つのＩＣダイを一時的に保持するための構造であって、前記ＩＣダイが同ＩＣダイの活性表面に配置されたボンドパッドを有し、前記構造は、
    支持基板と、
    前記支持基板の一表面を覆う離型フィルムとを備え、同離型フィルムはシリコンポリマの接着性コーティングで被覆されたポリイミドのライナを含み、前記接着性コーティングは少なくとも一つの前記ＩＣダイの前記活性表面を前記支持基板上の所望の位置に一時的に保持するとともに、前記接着性コーティングを膨張させるように適合された溶媒の塗布に反応して前記ＩＣダイの少なくとも前記活性表面をカプセル化する量だけ膨張し、前記溶媒は、前記接着性コーティングが前記ボンドパッドと接触するように膨張して前記ＩＣダイの少なくとも前記活性表面をカプセル化するように、前記接着性コーティングの上方に霧状の噴霧液として均一に散布される、構造。
  14. 請求項１３に記載の構造において、前記溶媒が５０℃から１５０℃の範囲内の沸点を有する、構造。
  15. 請求項１３に記載の構造において、前記溶媒は無極性溶媒である、構造。
  16. 請求項１３に記載の構造において、前記溶媒はトルエンを含む、構造。
  17. ボンドパッドを有する集積回路（ＩＣ）ダイのパッケージング方法であって、前記ボンドパッドは前記ＩＣダイの活性表面上に配置されており、前記方法は、
    支持基板の上に離型フィルムを取着する工程であって、前記離型フィルムが前記支持基板と反対側の前記離型フィルムの一面上に位置する接着性コーティングを有する、工程と、
    前記活性表面が前記離型フィルムと接触した状態で前記支持基板上に前記ＩＣダイを配置する工程と、
    前記接着性コーティングの上方に霧状の噴霧液として膨張剤を均一に散布することにより、前記接着性コーティングの上方に前記膨張剤を塗布する工程と、
    前記膨張剤の塗布に反応して、前記接着性コーティングが前記ボンドパッドと接触するように膨張することを許容する工程と、
    成型材料内に前記ＩＣダイをカプセル化する工程であって、前記接着性コーティングが前記ＩＣダイの周囲で膨張するとき、前記成型材料が前記ＩＣダイの前記ボンドパッド上に流れることが防止される、工程と、
    前記ＩＣダイをカプセル化する工程後、前記支持基板から前記ＩＣダイを取り外す工程と、を備える方法。
  18. 請求項１７に記載の方法において、シリコンポリマから形成される前記接着性コーティングを有する前記離型フィルムを利用する工程と、
    前記膨張剤として無極性溶媒を選択する工程と、を更に備える方法。
  19. 請求項１７に記載の方法において、沸点が５０℃から１５０℃の範囲内である一群の溶媒から溶媒を選択する工程を更に備える方法。
  20. 請求項１７に記載の方法において、前記許容する工程が、前記接着性コーティングからなる隅肉を前記ＩＣダイの外縁の周囲に形成する工程を含み、前記隅肉が概ね０．５マイクロメートルから１００マイクロメートルの範囲の高さを有する、方法。
JP2010522986A 2007-08-29 2008-06-25 集積回路ダイのパッケージング方法及びパッケージ工程中に集積回路ダイを一時的に保持するための構造 Expired - Fee Related JP5187863B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/846,671 US7595226B2 (en) 2007-08-29 2007-08-29 Method of packaging an integrated circuit die
US11/846,671 2007-08-29
PCT/US2008/068076 WO2009032389A1 (en) 2007-08-29 2008-06-25 Method of packaging an integrated circuit die

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2010538462A true JP2010538462A (ja) 2010-12-09
JP2010538462A5 JP2010538462A5 (ja) 2011-08-11
JP5187863B2 JP5187863B2 (ja) 2013-04-24

Family

ID=40408116

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010522986A Expired - Fee Related JP5187863B2 (ja) 2007-08-29 2008-06-25 集積回路ダイのパッケージング方法及びパッケージ工程中に集積回路ダイを一時的に保持するための構造

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7595226B2 (ja)
EP (1) EP2186125A1 (ja)
JP (1) JP5187863B2 (ja)
KR (1) KR101483419B1 (ja)
CN (1) CN101790781B (ja)
TW (1) TWI423350B (ja)
WO (1) WO2009032389A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016534543A (ja) * 2013-09-26 2016-11-04 ベシ ネーデルランズ ビー．ヴイ．Ｂｅｓｉ Ｎｅｔｈｅｒｌａｎｄｓ Ｂ．Ｖ． 電子部品の成型及び表面処理方法並びにこの方法で製造された電子部品

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI360207B (en) 2007-10-22 2012-03-11 Advanced Semiconductor Eng Chip package structure and method of manufacturing
US8035216B2 (en) * 2008-02-22 2011-10-11 Intel Corporation Integrated circuit package and method of manufacturing same
US8580612B2 (en) * 2009-02-12 2013-11-12 Infineon Technologies Ag Chip assembly
TWI456715B (zh) * 2009-06-19 2014-10-11 Advanced Semiconductor Eng 晶片封裝結構及其製造方法
TWI466259B (zh) * 2009-07-21 2014-12-21 Advanced Semiconductor Eng 半導體封裝件、其製造方法及重佈晶片封膠體的製造方法
TWI405306B (zh) 2009-07-23 2013-08-11 Advanced Semiconductor Eng 半導體封裝件、其製造方法及重佈晶片封膠體
US20110084372A1 (en) 2009-10-14 2011-04-14 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Package carrier, semiconductor package, and process for fabricating same
US20110108999A1 (en) * 2009-11-06 2011-05-12 Nalla Ravi K Microelectronic package and method of manufacturing same
JP5551568B2 (ja) * 2009-11-12 2014-07-16 日東電工株式会社 樹脂封止用粘着テープ及びこれを用いた樹脂封止型半導体装置の製造方法
US8378466B2 (en) 2009-11-19 2013-02-19 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Wafer-level semiconductor device packages with electromagnetic interference shielding
US8901724B2 (en) 2009-12-29 2014-12-02 Intel Corporation Semiconductor package with embedded die and its methods of fabrication
US8742561B2 (en) 2009-12-29 2014-06-03 Intel Corporation Recessed and embedded die coreless package
US8569894B2 (en) 2010-01-13 2013-10-29 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Semiconductor package with single sided substrate design and manufacturing methods thereof
US8372689B2 (en) 2010-01-21 2013-02-12 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Wafer-level semiconductor device packages with three-dimensional fan-out and manufacturing methods thereof
US8320134B2 (en) 2010-02-05 2012-11-27 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Embedded component substrate and manufacturing methods thereof
TWI411075B (zh) 2010-03-22 2013-10-01 Advanced Semiconductor Eng 半導體封裝件及其製造方法
US8368232B2 (en) * 2010-03-25 2013-02-05 Qualcomm Incorporated Sacrificial material to facilitate thin die attach
US8535989B2 (en) 2010-04-02 2013-09-17 Intel Corporation Embedded semiconductive chips in reconstituted wafers, and systems containing same
US8624374B2 (en) 2010-04-02 2014-01-07 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Semiconductor device packages with fan-out and with connecting elements for stacking and manufacturing methods thereof
US8278746B2 (en) 2010-04-02 2012-10-02 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Semiconductor device packages including connecting elements
US8319318B2 (en) 2010-04-06 2012-11-27 Intel Corporation Forming metal filled die back-side film for electromagnetic interference shielding with coreless packages
US8618652B2 (en) 2010-04-16 2013-12-31 Intel Corporation Forming functionalized carrier structures with coreless packages
US9847308B2 (en) 2010-04-28 2017-12-19 Intel Corporation Magnetic intermetallic compound interconnect
US8939347B2 (en) 2010-04-28 2015-01-27 Intel Corporation Magnetic intermetallic compound interconnect
US8313958B2 (en) 2010-05-12 2012-11-20 Intel Corporation Magnetic microelectronic device attachment
US8434668B2 (en) 2010-05-12 2013-05-07 Intel Corporation Magnetic attachment structure
US8609532B2 (en) 2010-05-26 2013-12-17 Intel Corporation Magnetically sintered conductive via
US20120001339A1 (en) 2010-06-30 2012-01-05 Pramod Malatkar Bumpless build-up layer package design with an interposer
US8372666B2 (en) 2010-07-06 2013-02-12 Intel Corporation Misalignment correction for embedded microelectronic die applications
US8754516B2 (en) 2010-08-26 2014-06-17 Intel Corporation Bumpless build-up layer package with pre-stacked microelectronic devices
US8501544B2 (en) * 2010-08-31 2013-08-06 Stats Chippac, Ltd. Semiconductor device and method of forming adhesive material over semiconductor die and carrier to reduce die shifting during encapsulation
US8304913B2 (en) 2010-09-24 2012-11-06 Intel Corporation Methods of forming fully embedded bumpless build-up layer packages and structures formed thereby
US8941222B2 (en) 2010-11-11 2015-01-27 Advanced Semiconductor Engineering Inc. Wafer level semiconductor package and manufacturing methods thereof
US9406658B2 (en) 2010-12-17 2016-08-02 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Embedded component device and manufacturing methods thereof
US8937382B2 (en) 2011-06-27 2015-01-20 Intel Corporation Secondary device integration into coreless microelectronic device packages
US8848380B2 (en) 2011-06-30 2014-09-30 Intel Corporation Bumpless build-up layer package warpage reduction
US9245773B2 (en) * 2011-09-02 2016-01-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Semiconductor device packaging methods and structures thereof
US9257368B2 (en) 2012-05-14 2016-02-09 Intel Corporation Microelectric package utilizing multiple bumpless build-up structures and through-silicon vias
CN104321864B (zh) 2012-06-08 2017-06-20 英特尔公司 具有非共面的、包封的微电子器件和无焊内建层的微电子封装
CN102842564B (zh) * 2012-09-12 2014-06-25 矽力杰半导体技术(杭州)有限公司 集成开关电源的倒装封装装置及其倒装封装方法
US11075173B2 (en) * 2018-10-31 2021-07-27 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Semiconductor device and method of forming same
KR20210011276A (ko) * 2019-07-22 2021-02-01 삼성전자주식회사 반도체 패키지 및 그 제조 방법

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002093830A (ja) * 2000-09-14 2002-03-29 Sony Corp チップ状電子部品の製造方法、及びその製造に用いる疑似ウェーハの製造方法
JP2005243706A (ja) * 2004-02-24 2005-09-08 Nitto Denko Corp 半導体装置製造用耐熱性粘着テープおよび半導体装置の製造方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4918811A (en) * 1986-09-26 1990-04-24 General Electric Company Multichip integrated circuit packaging method
US5032543A (en) * 1988-06-17 1991-07-16 Massachusetts Institute Of Technology Coplanar packaging techniques for multichip circuits
US5250843A (en) * 1991-03-27 1993-10-05 Integrated System Assemblies Corp. Multichip integrated circuit modules
US5144747A (en) * 1991-03-27 1992-09-08 Integrated System Assemblies Corporation Apparatus and method for positioning an integrated circuit chip within a multichip module
US5353498A (en) * 1993-02-08 1994-10-11 General Electric Company Method for fabricating an integrated circuit module
US5866952A (en) * 1995-11-30 1999-02-02 Lockheed Martin Corporation High density interconnected circuit module with a compliant layer as part of a stress-reducing molded substrate
US5841193A (en) * 1996-05-20 1998-11-24 Epic Technologies, Inc. Single chip modules, repairable multichip modules, and methods of fabrication thereof
US6099959A (en) * 1998-07-01 2000-08-08 International Business Machines Corporation Method of controlling the spread of an adhesive on a circuitized organic substrate
US6211462B1 (en) * 1998-11-05 2001-04-03 Texas Instruments Incorporated Low inductance power package for integrated circuits
KR100361640B1 (ko) * 1999-08-30 2002-11-18 한국과학기술원 도포된 이방성 전도 접착제를 이용한 웨이퍼형 플립 칩 패키지 제조방법
US6555908B1 (en) * 2000-02-10 2003-04-29 Epic Technologies, Inc. Compliant, solderable input/output bump structures
US6734534B1 (en) 2000-08-16 2004-05-11 Intel Corporation Microelectronic substrate with integrated devices
US6518097B1 (en) * 2000-08-29 2003-02-11 Korea Advanced Institute Of Science And Technology Method for fabricating wafer-level flip chip package using pre-coated anisotropic conductive adhesive
US6673653B2 (en) * 2001-02-23 2004-01-06 Eaglestone Partners I, Llc Wafer-interposer using a ceramic substrate
US6661083B2 (en) * 2001-02-27 2003-12-09 Chippac, Inc Plastic semiconductor package
TW544882B (en) * 2001-12-31 2003-08-01 Megic Corp Chip package structure and process thereof
US6908784B1 (en) * 2002-03-06 2005-06-21 Micron Technology, Inc. Method for fabricating encapsulated semiconductor components
US6953985B2 (en) * 2002-06-12 2005-10-11 Freescale Semiconductor, Inc. Wafer level MEMS packaging
JP3595323B2 (ja) * 2002-11-22 2004-12-02 沖電気工業株式会社 半導体装置及びその製造方法
US20060170096A1 (en) * 2005-02-02 2006-08-03 Yang Jun Y Chip scale package and method for manufacturing the same
TWI324378B (en) * 2005-10-21 2010-05-01 Freescale Semiconductor Inc Method of making semiconductor package with reduced moisture sensitivity
WO2009020467A1 (en) * 2007-08-07 2009-02-12 Skyworks Solutions, Inc. Near chip scale package integration process

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002093830A (ja) * 2000-09-14 2002-03-29 Sony Corp チップ状電子部品の製造方法、及びその製造に用いる疑似ウェーハの製造方法
JP2005243706A (ja) * 2004-02-24 2005-09-08 Nitto Denko Corp 半導体装置製造用耐熱性粘着テープおよび半導体装置の製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016534543A (ja) * 2013-09-26 2016-11-04 ベシ ネーデルランズ ビー．ヴイ．Ｂｅｓｉ Ｎｅｔｈｅｒｌａｎｄｓ Ｂ．Ｖ． 電子部品の成型及び表面処理方法並びにこの方法で製造された電子部品

Also Published As

Publication number Publication date
JP5187863B2 (ja) 2013-04-24
KR20100051692A (ko) 2010-05-17
EP2186125A1 (en) 2010-05-19
TW200915441A (en) 2009-04-01
WO2009032389A1 (en) 2009-03-12
US20090061564A1 (en) 2009-03-05
KR101483419B1 (ko) 2015-01-16
US7595226B2 (en) 2009-09-29
CN101790781B (zh) 2012-06-13
TWI423350B (zh) 2014-01-11
CN101790781A (zh) 2010-07-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5187863B2 (ja) 集積回路ダイのパッケージング方法及びパッケージ工程中に集積回路ダイを一時的に保持するための構造
US10157849B2 (en) Packages with molding structures and methods of forming the same
CN109937476B (zh) 晶片级封装和方法
US8236609B2 (en) Packaging an integrated circuit die with backside metallization
CN106356340B (zh) 半导体器件及其制造方法
TWI761342B (zh) 半導體封裝及其製造方法
JP2010157695A (ja) チップパッケージ化における保護薄膜コーティング
US7445963B2 (en) Semiconductor package having an interfacial adhesive layer
CN113140519A (zh) 采用模制中介层的晶圆级封装
US20230268328A1 (en) Method for fabricating electronic package
US20170018526A1 (en) Semiconductor device and method
US10056294B2 (en) Techniques for adhesive control between a substrate and a die
TW201838108A (zh) 封裝結構
TW202002192A (zh) 晶片封裝件
US8872335B2 (en) Electronic device and method of manufacturing same
TWI779741B (zh) 半導體元件及其製作方法
US20230361070A1 (en) Method for fabricating semiconductor package
US20170178993A1 (en) Electronic component and methods of manufacturing the same
US9922949B2 (en) Semiconductor device and method
Briindel et al. Substrateless sensor packaging using wafer level fan-out technology
CN112397460A (zh) 多晶粒封装结构、芯片封装结构以及各自的制作方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110622

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110622

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20120227

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120815

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120821

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20121114

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20121225

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130117

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160201

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees