JP2010519736A5

JP2010519736A5 -

Info

Publication number: JP2010519736A5
Application number: JP2009549709A
Authority: JP
Filing date: 2008-02-14
Publication date: 2011-06-16

Claims

一対のリードに取り付けられた少なくとも１つの放射発生フィラメントを包囲し、内面及び外面を有する電球と、
前記一対のリードを受け入れるように構成されたランプベースと、
該ランプベースを囲み、ポッティングコンパウンドが充填された、銅又はアルミニウムのスリーブと、
を具備するランプアセンブリであって、
前記銅のスリーブが少なくとも約０.０２０インチの壁厚を有し、
基板処理チャンバ内で少なくとも約１１００℃までの温度に基板を加熱するのに使用するよう適応された、ことを特徴とするランプアセンブリ。
前記スリーブが銅である、請求項１に記載のランプアセンブリ。
前記スリーブが、アルミニウムであって、少なくとも約０.０４０インチの壁厚を有する、請求項１に記載のランプアセンブリ。
前記スリーブが、ポッティングコンパウンドを内部に含まない又はほとんど含まない管、を具備する、請求項１に記載のランプアセンブリ。
前記管が、ワイヤのために設けられたコンジットを有する、実質的に中実なものである、請求項４に記載のランプアセンブリ。
一対のリードに取り付けられた少なくとも１つの放射発生フィラメントを包囲し、内面、外面を有している電球と、
上記一対のリードを受け入れるように構成されたランプベースと、
上記ランプベースを囲み、更に、ポッティングコンパウンドが充填された金属製スリーブと、
を備えるランプアセンブリであって、
上記スリーブは、壁厚が少なくとも約０．０１３インチで、且つ上記ポッティングコンパウンドは、熱伝導率が約１００Ｗ／（Ｋ−ｍ）を越え、基板処理チャンバ内で少なくとも約１１００℃までの温度に基板を加熱するのに使用するよう適応された、前記ランプアセンブリ。
上記ポッティングコンパウンドは、熱伝導率が約１５０Ｗ／（Ｋ−ｍ）を越える、請求項６に記載のランプアセンブリ。
上記ポッティングコンパウンドは、熱伝導率が約２００Ｗ／（Ｋ−ｍ）を越える、請求項６に記載のランプアセンブリ。
上記スリーブの壁厚は、約０．０４０インチを越える、請求項７に記載のランプアセンブリ。
上記スリーブの壁厚は、約０．０５０インチを越える、請求項８に記載のランプアセンブリ。
上記スリーブは、銅又はアルミニウムで形成される、請求項６に記載のランプアセンブリ。
上記ポッティングコンパウンドは、リン酸マグネシウム結合の窒化アルミニウムを含む、請求項６に記載のランプアセンブリ。
上記ポッティングコンパウンドは、エポキシ系ポッティングコンパウンドを備える、請求項６に記載のランプアセンブリ。
上記エポキシ系ポッティングコンパウンドは、銅又は銀を更に備える、請求項１３に記載のランプアセンブリ。
上記スリーブの断面形状は、ランプベースの断面形状に実質的に適合する、請求項６に記載のランプアセンブリ。
上記スリーブの断面形状は、実質的に長方形である、請求項１５に記載のランプアセンブリ。
一対のリードに取り付けられた少なくとも１つの放射発生フィラメントを包囲し、内面、外面を有している電球と、
上記一対のリードを受け入れるように構成されたランプベースと、
上記ベースを囲み、熱伝導率が約１００Ｗ／（Ｋ−ｍ）を越える第１のポッティングコンパウンドと、
を備え、基板処理チャンバ内で少なくとも約１１００℃までの温度に基板を加熱するのに使用するよう適応されたランプアセンブリ。
上記ポッティングコンパウンドの熱伝導率は、約１５０Ｗ／（Ｋ−ｍ）を越える、請求項１７に記載のランプアセンブリ。
上記ポッティングコンパウンドの熱伝導率は、約２００Ｗ／（Ｋ−ｍ）を越える、請求項１７に記載のランプアセンブリ。
上記ポッティングコンパウンドを囲む銅又はアルミニウムのスリーブを更に備えた、請求項１７に記載のランプアセンブリ。
上記電球に隣接して配置された第２のポッティングコンパウンドを更に備え、この第２のポッティングコンパウンドは、上記第１のポッティングコンパウンドよりも熱伝導率が低く且つ反射率が高い、請求項２０に記載のランプアセンブリ。
上記第１のポッティングコンパウンドは、エポキシ系窒化アルミニウムコンパウンドを含み、上記第２のポッティングコンパウンドは、ジルコニア系ポッティングコンパウンドを含む、請求項２１に記載のランプアセンブリ。
上記第２のポッティングコンパウンドは、厚みが約１ｍｍ未満の層で存在する、請求項２１に記載のランプアセンブリ。
上記金属製スリーブは、壁厚が少なくとも約０．０２０インチである、請求項２０に記載のランプアセンブリ。
上記金属製スリーブは、壁厚が少なくとも約０．０４０インチである、請求項２１に記載のランプアセンブリ。