JP2940047B2 - 熱処理装置および熱処理方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はランプを用いた熱処理装置および熱処理方法
に関し、特に半導体ウエハの熱処理に使用して好適な熱
処理装置および熱処理方法に関する。

［従来の技術］ イオン注入後の結晶性回復やドーパント活性化等のた
めに、半導体ウエハの表面をハロゲンランプ等の赤外線
ランプで急加熱し、その後急冷するランプアニール装置
が使用されている。その一例を第30図で説明すると、装
置ハウジングＨ内には石英ガラスのチューブH1が配設さ
れ、該チューブH1内には一端の小径開口より半導体材料
ガスが供給される。そして、チューブH1他端の大径開口
からは支持腕42に支持されて被加熱材たるウエハ２が装
入されている。

上記ハウジングＨ内には上記チューブH1を挟んで上下
位置に、チューブH1の長手方向へ等間隔でハロゲンラン
プ１が設けてある。これらハロゲンランプ１は第31図に
示す如く、反射板15を備えた棒状のものが一般に使用さ
れている。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、上記従来のランプアニール装置でウエハ２
を加熱した場合、ウエハ表面を検査すると、第32図に示
す如く、ウエハ板面を横切ってハロゲンランプ１の長手
方向（図の上下方向）へ比較的大きな温度差（最大40
℃）が生じ、結晶のすべりや、歪みによるウエハ２のそ
りが問題となる。

そこで、上下のランプ１を互いに直交方向へ配設する
ことが考えられ、これによると第33図に示す如く、温度
分布は略四角形の同心状となり、かつ温度差も小さく
（最大20℃）はなるが、未だ十分ではない。

本発明はかかる課題を解決するもので、ランプ加熱時
に被加熱材に生じる温度分布を十分に小さくすることが
可能なランプアニール装置を提供することを目的とす
る。

〔課題を解決するための手段〕

請求項１または請求項６記載の発明は、板状の被加熱
材の少なくとも一方の面に、所定位置を中心として略正
六角形の略同心状に複数の点状光源を配置させてなると
ともに、上記各略正六角形を構成する点状光源の個数が
上記所定位置から離れるに従って６個づつ増加し、複数
の上記略正六角形のうちの隣接する２つの略正六角形に
おいて、一方の略正六角形を構成する点状光源の１つ
と、他方の略正六角形を構成する点状光源のうち上記１
つの点状光源に最も近い点状光源との中心間距離が、各
略正六角形を構成する点状光源のうちの隣接する２つの
点状光源の中心間距離と同程度に設定されてなる光源群
を対向させ、上記光源群を上記所定位置からの距離に応
じた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、上記制御
ゾーン毎に上記複数の点状光源の光照射量を設定するこ
とで上記複数の点状光源の照射する光により上記被加熱
材を加熱することを特徴としている。

請求項２または請求項７記載の発明は、板状の被加熱
材の少なくとも一方の面に、各点状光源が隣接する６個
の点状光源の中心に位置するように複数の点状光源を配
置させてなるとともに、当該隣接する６個の点状光源が
略正六角形を構成し、この略正六角形を構成する６個の
点状光源の１つと上記中心に位置する点状光源との中心
間距離が、上記６個の点状光源のうちの隣接する２つの
中心間距離と同程度に設定されてなる光源群を対向さ
せ、上記光源群を上記被加熱材の中心からの距離に応じ
た略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、上記制御ゾ
ーン毎に上記複数の点状光源の光照射量を設定すること
で上記複数の点状光源の照射する光により上記被加熱材
を加熱することを特徴としている。

請求項３または請求項８記載の発明は、請求項１また
は請求項２、請求項６または請求項７のいずれかに記載
の発明における上記制御ゾーンが、略正六角形に配置さ
れる複数の点状光源からなるものとする。

請求項４または請求項９記載の発明では、請求項１な
いし請求項３、請求項６ないし請求項８のいずれかに記
載の発明における上記点状光源が、フィラメントを内包
するガラス球と、該ガラス球を包囲するとともに上記フ
ィラメントからの光を反射する筒状反射部からなるもの
とする。

請求項５または請求項10記載の発明は、板状の被加熱
材の少なくとも一方の面に、所定位置を中心として略正
六角形の略同心状に複数の点状光源を配置させてなると
ともに、複数の上記略正六角形の対応する頂点がそれぞ
れ略同一直線状に位置し、さらに上記略正六角形を構成
する点状光源の個数が上記所定位置から離れるに従って
増加するように上記複数の点状光源を配置させてなる光
源群を対向させ、上記光源群を上記所定位置からの距離
に応じた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、上記
制御ゾーン毎に上記複数の点状光源の光照射量を設定す
ることで上記複数の点状光源の照射する光により上記被
加熱材を加熱することを特徴としている。

〔作用〕

請求項１または請求項６記載の発明によれば、板状の
被加熱材の少なくとも一方の面に対向させる光源群を、
所定位置を中心として略正六角形の略同心状に複数の点
状光源を配置させるとともに、上記略正六角形を構成す
る点状光源の個数が上記所定位置から離れるに従って６
個づつ増加するように構成しているため、点状光源の周
方向の配置を密にすることが可能となる。また、複数の
上記略正六角形のうちの隣接する２つの略正六角形にお
いて、一方の略正六角形を構成する点状光源の１つと、
他方の略正六角形を構成する点状光源のうち上記１つの
点状光源に最も近い点状光源との中心間距離を、各略正
六角形を構成する点状光源のうちの隣接する２つの点状
光源の中心間距離と同程度に設定しているため、上記光
源群内の周方向および径方向において複数の点状光源が
均等に配置される。その結果、上記光源群内の周方向お
よび径方向において複数の点状光源を密に配置させるこ
とができる。

また、上記光源群を所定位置からの距離に応じた略同
心状の複数の制御ゾーンに区分けし、上記制御ゾーン毎
に上記複数の点状光源の光照射量を設定することで、被
加熱材の径方向の温度差を小さくできる。その結果、被
加熱材の各部の温度が均一化され、上記被加熱材内の温
度分布を小さくすることができる。

上記請求項２または請求項７記載の発明によれば、板
状の被加熱材の少なくとも一方の面に対向させる光源群
を、各点状光源が隣接する６個の点状光源の中心に位置
するように複数の点状光源を配置させるとともに、当該
隣接する６個の点状光源が略正六角形を構成し、この略
正六角形を構成する６個の点状光源の１つと上記中心に
位置する点状光源との中心間距離が、上記６個の点状光
源のうちの隣接する２つの点状光源の中心間距離と同程
度となるように構成しているため、上記光源群内の周方
向および径方向において複数の点状光源を密に配置させ
ることができる。

また、上記光源群を所定位置からの距離に応じた略同
心状の複数の制御ゾーンに区分けし、上記制御ゾーン毎
に上記複数の点状光源の光照射量を設定することで、被
加熱材の径方向の温度差を小さくできる。その結果、被
加熱材の各部の温度が均一化され、上記被加熱材内の温
度分布を小さくすることができる。

請求項３または請求項８記載の発明によれば、上記制
御ゾーンが略正六角形に配置される複数の点状光源から
なるため、上記効果に加え、上記制御ゾーン内に点状光
源を密に配置することができ、一制御ゾーン内の周方向
の照射ムラを低減することができる。

請求項４または請求項９記載の発明によれば、上記点
状光源が、フィラメントを内包するガラス球と、該ガラ
ス球を包囲するとともに上記フィラメントからの光を反
射する筒状反射部からなるため、上記フィラメントから
の光を効果的に上記被加熱材へ照射できる。

請求項５また請求項10記載の発明によれば、板状の被
加熱材の少なくとも一方の面に対向させる光源群を、所
定位置を中心として略正六角形の略同心状に複数の点状
光源を配置させてなるとともに、複数の上記略正六角形
の対応する頂点がそれぞれ略同一直線上に位置し、さら
に上記略正六角形を構成する点状光源の個数が上記所定
位置から離れるに従って増加するように構成しているた
め、上記光源群内の周方向および径方向において複数の
点状光源を密に配置させることができる。

また、上記光源群を所定位置からの距離に応じた略同
心状の複数の制御ゾーンに区分けし、上記制御ゾーン毎
に上記複数の点状光源の光照射量を設定することで、被
加熱材の径方向の温度差を小さくできる。その結果、被
加熱材の各部の温度が均一化され、上記被加熱材内の温
度分布を小さくすることができる。

〔第１実施例〕 第１図において、装置ハウジングＨ内は平行に配設し
た石英ガラス板41A、41Bにより上下に三室に区画されて
おり、上部室および下部室に赤外光を発する点状光源た
るハロゲンランプ１が複数設けてある。中間室は熱処理
室となっており、該熱処理室内には支持腕42に支持せし
めて被加熱材たる半導体ウエハ２が装入してある。

上記ウエハ２は円板形であり（第２図）、上記ハロゲ
ンランプ１は、上記ウエハの板面全体をカバーする領域
に、正六角形の同心状をなして上記板面に向け多数設け
てある。ハロゲンランプ１は、不活性ガスとハロゲンガ
スを封入したガラス球11（第３図（１）、（２））内に
タングステンフィラメント12を設けたもので、その配光
分布は、第４図に示す如く、水平面内におけるフィラメ
ントの延長方向で弱い。ここで、図中実線は垂直面内の
照度分布であり、鎖線は水平面内の照度分布である。な
お、本発明でいう点状光源は、ウエハ２側から見た時に
略円形の射影を有する形状の光源であることが好まし
い。

そこで、上記各ハロゲンランプ１は、第５図ないし第
６図に示す如く、そのフィラメント12の配設方向を異な
らしめて、照度分布の強弱を互いに補完するようにして
ある。すなわち、第５図では各フィラメント12を同心円
に沿う方向へ配し、また、第６図では放射線に沿う方向
へ配設してある。

第１図において、上述の如く配設された各ハロゲンラ
ンプ１は装置ハウジングＨの壁を貫通する配線により外
部の照射量設定手段としての照射量設定装置３に接続さ
れている。

照射量設定装置３は、電圧制御回路としての通電回路
31及び通電制御回路32、温度検出手段としての温度調節
計33及び放射温度計34より構成されており、放射温度計
34は上記ウエハ２の中心部温度を測定するようにハウジ
ング底壁に一台設置されている。本実施例では上記上下
の各ハロゲンランプ１はウエハ２の板面に対してそれぞ
れ中心より同心状に３ゾーンに区画され、その各ゾーン
について通電回路31と通電制御回路32が設けてある（１
ゾーンのみ図示）。

温度調節計33は、上記放射温度計34から得られる測定
温度を、中心ゾーンの設定温度（例えば1150℃）と比較
し、その偏差が零になるように、通電制御回路23中の増
幅回路321およびゲートパルス回路322を介して通電回路
31に設けた電源ユニット311のサイリスタを駆動する。
検出回路312からは、供給電流値が通電制御回路32の変
換回路323を経てフィードバックされている。

残る他のゾーンについても電力のフィードバック制御
を行っているが、その設定値は以下のように決定され
る。すなわち、ニッケル板やステンレス板で製作したダ
ミーウエハ上の、上記各ゾーンに対応した所定位置に熱
電対を取付け、この状態でハロゲンランプを点灯して、
各ゾーンの温度が中心ゾーンとほぼ同一温度になるよう
な電力設定値の比を決定する。

ところで、円板状の被加熱材を一定温度に保持した場
合の、各部からの放射エネルギ密度を一定条件下で計算
すると、第７図に示すように、中心から外周に向かうに
従って次第に増加する。したがって、これを補完するよ
うに、円形ウエハに対する供給電力は一般に、中心部を
小さくし、周辺部に向けて大きくすると良い。

しかして、本実施例では、かかる理論的背景も踏まえ
て、上述の熱電対による測定結果より、周辺の各ゾーン
のハロゲンランプ１への供給電力を一定の比で大きく
し、この結果、ウエハ２各部への入射エネルギ密度を、
第８図に示す如く、中心部より周辺部に向けて階段的に
増加せしめている。

かかるランプ照射量の制御によりウエハ２上の温度分
布は、例えば第９図に示す如く、同心状の変化を残しつ
つもその温度差は小さなものとなる（最大10℃）。

なお、上記ハロゲンランプ１の照射量制御は、同心状
のゾーン数を増すことにより、さらに高精度になすこと
が可能であり、この場合はウエハの温度分布もさらに均
一化する。また、上下のランプ群を、中心回りに互いに
ずらして配置することにより、ランプ境界部の温度分布
の変動を抑えることができる。上記のように、ハロゲン
ランプ１の配置を正六角形の同心状にすると設置密度を
大きくできる。

［第２〜第６実施例］ ハロゲンランプ１の配置は、上記実施例の如き正六角
形の同心状にすると最も設置密度を大きくできるが、各
ランプ１を第10図の如く同心円状に配置すれば、制御ゾ
ーンの区画が容易となる。また、ウエハ２の形状に応じ
て、ランプ配置を第11図の如き四角の同心状とすること
も可能である。

さらに、ハロゲンランプ１からの入射エネルギー密度
を大きくする必要があるウエハ２外周部で、これに対向
するランプ位置をウエハ２に近接せしめ（第12図）、こ
れより中心部に向けて漸次ウエハ２より遠ざかるように
配置すれば、階段的なゾーン制御の粗さを補うことがで
きる。同様の効果は、外部部より中心部に向けてハロゲ
ンランプ１のワット数を小さくすることによっても達成
される。

ハロゲンランプ１は、照射効率を向上せしめるため
に、第13図に示す如く、ガラス球11の後半部の内面ない
し外面に金、クロム、ジルコニア等のコーティング13を
施し、あるいは第14図に示す如く、反射傘14を設ける構
造としても良い。

上記構成のランプアニール装置において、ハロゲンラ
ンプは、ウエハの形状に応じて配設し、ウエハ各部の放
射熱量を補うように照射制御する。したがって、必ずし
も同心状配置される必要はなく、また、ウエハ各部の放
射熱量は、ウエハの形状により左右されることはもちろ
ん、熱処理室に導入したガスの流れによっても変動する
から、これらを考慮する必要がある。

なお、ランプ群は上下のいずれか一方のみでも良い。

［第７実施例］ ところで、上記構成のランプアニール装置において、
各ハロゲンランプ１は、通常、第15図に示す如く、フィ
ラメント12を内包するガラス球11とガイシ等の絶縁体よ
りなる口金部16からなり、口金部16をランプ受金51に取
付けて（第16図）、通電することによりフィラメント12
が加熱されるようになしてある。

フィラメント12の両端部には、第17図（１）（２）に
示す如く、厚さ数10μｍの金属箔を設けてあり、これ
を、ガラス球11内に封入されたハロゲンガスと外気を遮
断するための壁111に貫通せしめて封止部17となしてあ
る。

この封止部17は、フィラメント12が加熱されるとその
熱が伝わって温度上昇するが、その温度が250〜350℃以
上になると、封止部17が酸化して断線するおそれがあ
る。あるいは封止部17の熱膨張によりガラス球11内のハ
ロゲンガスが洩れてハロゲンガスの減少および大気のラ
ンプ内導入につながり、フィラメント12の断線原因とな
る。そこで、封止部17が250℃以上にならないように、
第16図に示す如く、ガラス球11周りに反射板６を設け
る。またはハロゲンランプ11を空冷することにより温度
の上昇を防ぐことができる。

［第８実施例］ 一方、ウエハ熱処理時には、ウエハ温度を250℃／秒
の割合で急速に上昇させ、かつウエハの温度分布が±５
℃以内を達成することが望ましい。そのためにはハロゲ
ンランプ１を、例えば第18図のように配列し、ハロゲン
ランプ１個あたり300Wの出力でかつハロゲンランプの並
びのピッチｌを最大25mm程度とするのがよい。ところ
が、通常使用されるハロゲンランプの直径は22mm程度で
あるので、ランプ周りに有効な反射板を設けるスペース
がない。またハロゲンランプを空冷しようとすると、ラ
ンプが互いの壁となって空気の流れが届かず、封止部の
冷却が十分でないことがある。

第19図はこのようにスペースが限られる場合の封止部
の冷却構造を示す。本実施例では、第20図、第21図に示
す如く、ハロゲンランプ１の口金部を口金上部18と口金
下部19を分離して、口金上部18を熱伝導性の良好な物質
で構成するとともに、下方に向けて縮径するテーパ状と
なしてある。ここでは（第19図）、テーパ角θ＝２°2
0′、直径Ｃ＝16mm、高さＤ＝12mmの銅製テーパ円筒と
した。またハロゲンランプ１間ピッチｌは25mmとした。

口金上部18の周囲には複数の水路71を有する水冷箱７
を配設してある（第19図）。水冷箱６は、ハロゲンラン
プ１設置位置に、口金上部18に対応するテーパ状の穴72
を有し（第22図）、該穴72にハロゲンランプ１を嵌合せ
しめて、口金上部18が水冷箱７に密着するようになして
ある。このときハロゲンランプ１個あたりの冷却水量は
200cc/分とした。

口金下部19はガイシ等の絶縁体からなり、外周のネジ
部にてランプ受金51に装着固定されている。ランプ受金
51の下端面にはピン52が一体に設けてあり、ピン52は受
金ホルダ53にバネ54を介して支持されている。

しかして、バネ力によりピン52、ランプ受金51、ハロ
ゲンランプ１が一体となって第19図矢印方向に引張ら
れ、口金上部18と水冷箱７との密着性はより向上する。
そして口金上部18からの熱放散がより良好に行なわれ、
封止部の温度上昇を抑制することができる。

ここで、封止部の温度が時間とともにどう変化するか
を調べた。第23図（ａ）はハロゲンランプ単独で点灯さ
せた場合、（ｂ）は第24図に示す如く９個のハロゲンラ
ンプ１（直径ｄ＝22mm）をランプ間ピッチを25mmとして
配した場合で、いずれも水冷箱、反射板等は設けず、風
量２m³／分の条件で空冷した。ハロゲンランプ１は色温
度2700℃、交流100V、300Wの仕様で、また（ｂ）は中心
部に位置するハロゲンランプについて測定を行なった。

図に明らかなように、（ａ）では封止部の温度が250
℃を越えて350℃前後まで上昇する。（ｂ）ではランプ
点灯から100秒で400℃を越えなお上昇している。

次に、上記（ｂ）の構成において、口金上部に密着さ
せて水冷箱を設け、同様の実験を行なった。ハロゲンラ
ンプ１個あたりの冷却水量は200cc/分とした。

その結果、水冷箱を設けた本実施例の構成では、第25
図に示す如く、ランプ点灯後120秒で温度は定常状態の1
50℃になった。このように本実施例の構成では、封止部
から奪える熱量が増大し、かつ各ハロゲンランプを均一
に冷却し得るので、限られたスペース内で大きな冷却効
果が得られる。

［第９〜第10実施例］ 上記第８実施例において、口金上部18の形状は円筒テ
ーパ形状に限らず、角筒（第26図）、円筒（第27図）の
ような他形状とすることも可能である。また水冷箱も口
金形状に合わせて加工することが可能である。

口金上部18の形状を第27図の円筒形とした場合につい
て、上記と同様の実験を行なった。ハロゲンランプ１
は、第28図に示す如く、口金上部18を直径Ｂ＝16mm、高
さＤ＝12mmの銅製円筒とした。

ただしこの場合、口金上部18と水冷箱７が密着せず、
水冷箱７との間にギャップＧが生ずる。そこで、十分な
冷却効果を得るためのギャップＧを、下記の熱通過の式
により求めた。

Ｑ＝Ｋ（t_A−t_B）２πＬ ……（１） L:管長 K:熱通過率 Q:通過熱量 α：流体の熱伝達率 r_i：管の最外半径 ρ_m：r_m／r_m-1（r_m：各管半径） λ：各管の熱伝導率 上記（１）、（２）式より、封止部が250℃以下にな
るためのギャップＧを計算で求めたところ、ギャップＧ
は0.02mm以下であればよいことがわかった。

ギャップＧを0.02mm以下とし、冷却水量、ランプ仕様
は上記実施例と同様にして実験を行なった。その結果、
第29図に示す如く、ランプ点灯後18秒で定常温度の220
℃となり、十分な冷却効果が得られることがわかる。

［発明の効果］ 以上の如く、本発明のランプアニール装置によれば、
種々の形状の板状被加熱材を均一に加熱することがで
き、特に半導体ウエハの種々の熱処理に使用して大きな
効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第９図は本発明の第１実施例に係り、第１
図は装置の全体構成図、第２図はハロゲンランプの配置
を示す平面図、第３図はハロゲンランプの側面図、第４
図はハロゲンランプの配光特性を示す図、第５図および
第６図はハロゲンランプのフィラメント方向を示す図、
第７図は円板ウエハの放射エネルギ密度を示す図、第８
図は円板ウエハに対する入射エネルギ密度を示す図、第
９図は円板ウエハの温度分布を示す平面図、第10図およ
び第11図はそれぞれ本発明の第２実施例および第３実施
例のハロゲンランプの配置を示す平面図、第12図は本発
明の第４実施例でハロゲンランプのさらに他の配置を示
す装置本体の断面図、第13図および第14図はそれぞれ本
発明の第５実施例および第６実施例を示すハロゲンラン
プの側面図および斜視図、第15図〜第17図は本発明の第
７実施例を示し、第15図はハロゲンランプの分解図、第
16図はハロゲンランプの側面図、第17図はガラス球の拡
大図であり、第18図〜第25図は本発明の第８実施例を示
し、第18図はハロゲンランプの配置例を示す図、第19図
はランプアニール装置の部分断面図、第20図はハロゲン
ランプの分解図、第21図はハロゲンランプの斜視図、第
22図は水冷箱の部分断面図、第23図（ａ）（ｂ）は封止
部の温度変化を示す図、第24図は封止部の温度変化を測
定するために使用した装置の構成を示す図、第25図は封
止部の温度変化を示す図であり、第26図は本発明の第９
実施例を示すハロゲンランプの斜視図、第27図〜第29図
は本発明の第10実施例を示し第27図および第28図はそれ
ぞれハロゲンランプの斜視図および側面図、第29図は封
止部の温度変化を示す図であり、第30図ないし第33図は
従来例に係り、第30図は装置本体の断面図、第31図はハ
ロゲンランプの斜視図、第32図および第33図は円板ウエ
ハの温度分布を示す平面図である。 １…ハロゲンランプ（赤外線ランプ） ２…ウエハ（被加熱材） ３…照射量設定回路（赤外線照射量設定手段） 31…通電回路 32…通電制御回路 33…温度調節計 34…放射温度計

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 廣瀬 祥司 愛知県西尾市下羽角町岩谷14番地 株式 会社日本自動車部品総合研究所内 (56)参考文献 特開 昭62−188221（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−269515（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−143815（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−186424（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−198735（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01L 21/26

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】板状の被加熱材の少なくとも一方の面に対
   向して配置され、所定位置を中心として略正六角形の略
   同心状に複数の点状光源を配置させてなるとともに、上
   記各略正六角形を構成する点状光源の個数が上記所定位
   置から離れるに従って６個づつ増加し、複数の上記略正
   六角形のうちの隣接する２つの略正六角形において、一
   方の略正六角形を構成する点状光源の１つと、他方の略
   正六角形を構成する点状光源のうち上記１つの点状光源
   に最も近い点状光源との中心間距離が、各略正六角形を
   構成する点状光源のうちの隣接する２つの点状光源の中
   心間距離と同程度に設定されてなる光源群、および 上記光源群を上記所定位置からの距離に応じた略同心状
   の複数の制御ゾーンに区分けし、上記制御ゾーン毎に上
   記複数の点状光源の光照射量を設定する照射量設定手
   段、 を備え、上記複数の点状光源の照射する光により上記被
   加熱材を加熱することを特徴とする熱処理装置。
2. 【請求項２】板状の被加熱材の少なくとも一方の面に対
   向して配置され、各点状光源が隣接する６個の点状光源
   の中心に位置するように複数の点状光源を配置させてな
   るとともに、当該隣接する６個の点状光源が略正六角形
   を構成し、この略正六角形を構成する６個の点状光源の
   １つと上記中心に位置する点状光源との中心間距離が、
   上記６個の点状光源のうちの隣接する２つの点状光源の
   中心間距離と同程度に設定されてなる光源群、および 上記光源群を上記被加熱材の中心からの距離に応じた略
   同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、上記制御ゾーン
   毎に上記複数の点状光源の光照射量を設定する照射量設
   定手段、 を備え、上記複数の点状光源の照射する光により上記被
   加熱材を加熱することを特徴とする熱処理装置。
3. 【請求項３】上記制御ゾーンは、略正六角形に配置され
   る複数の点状光源からなる請求項１または２記載の熱処
   理装置。
4. 【請求項４】上記点状光源は、フィラメントを内包する
   ガラス球と、該ガラス球を包囲するとともに上記フィラ
   メントからの光を反射する筒状反射部からなる請求項１
   ないし３のいずれか記載の熱処理装置。
5. 【請求項５】板状の被加熱材の少なくとも一方の面に対
   向して配置され、所定位置を中心として略正六角形の略
   同心状に複数の点状光源を配置させてなるとともに、複
   数の上記略正六角形の対応する頂点が夫々略同一直線上
   に位置し、さらに上記略正六角形を構成する点状光源の
   個数が上記所定位置から離れるに従って増加するように
   設定されてなる光源群、および 上記光源群を上記所定位置からの距離に応じた略同心状
   の複数の制御ゾーンに区分けし、上記制御ゾーン毎に上
   記複数の点状光源の光照射量を設定する照射量設定手
   段、 を備え、上記複数の点状光源の照射する光により上記被
   加熱材を加熱することを特徴とする熱処理装置。
6. 【請求項６】板状の被加熱材の少なくとも一方の面に、
   所定位置を中心として略正六角形の略同心状に複数の点
   状光源を配置させてなるとともに、上記各略正六角形を
   構成する点状光源の個数が上記所定位置から離れるに従
   って６個づつ増加し、複数の上記略正六角形のうちの隣
   接する２つの略正六角形において、一方の略正六角形を
   構成する点状光源の１つと、他方の略正六角形を構成す
   る点状光源のうち上記１つの点状光源に最も近い点状光
   源との中心間距離が、各略正六角形を構成する点状光源
   のうちの隣接する２つの点状光源の中心間距離と同程度
   に設定されてなる光源群を対向させ、上記光源群を上記
   所定位置からの距離に応じた略同心状の複数の制御ゾー
   ンに区分けし、上記制御ゾーン毎に上記複数の点状光源
   の光照射量を設定することで上記複数の点状光源の照射
   する光により上記被加熱材を加熱することを特徴とする
   熱処理方法。
7. 【請求項７】板状の被加熱材の少なくとも一方の面に、
   各点状光源が隣接する６個の点状光源の中心に位置する
   ように複数の点状光源を配置させてなるとともに、当該
   隣接する６個の点状光源が略正六角形を構成し、この略
   正六角形を構成する６個の点状光源の１つと上記中心に
   位置する点状光源との中心間距離が、上記６個の点状光
   源のうちの隣接する２つの中心間距離と同程度に設定さ
   れてなる光源群を対向させ、上記光源群を上記被加熱材
   の中心からの距離に応じた略同心状の複数の制御ゾーン
   に区分し、上記制御ゾーン毎に上記複数の点状光源の光
   照射量を設定することで上記複数の点状光源の照射する
   光により上記被加熱材を加熱することを特徴とする熱処
   理方法。
8. 【請求項８】上記制御ゾーンは、略正六角形に配置され
   る複数の点状光源からなる請求項６または７記載の熱処
   理方法。
9. 【請求項９】上記点状光源は、フィラメントを内包する
   ガラス球と、該ガラス球を包囲するとともに上記フィラ
   メントからの光を反射する筒状反射部からなる請求項６
   ないし８のいずれか記載の熱処理方法。
10. 【請求項１０】板状の被加熱材の少なくとも一方の面
    に、所定位置を中心として略正六角形の略同心状に複数
    の点状光源を配置させてなるとともに、複数の上記略正
    六角形の対応する頂点がそれぞれ略同一線状に位置し、
    さらに上記略正六角形を構成する点状光源の個数が上記
    所定位置から離れるに従って増加するように上記複数の
    点状光源を配置させてなる光源群を対向させ、上記光源
    群を上記所定位置からの距離に応じた略同心状の複数の
    制御ゾーンに区分けし、上記制御ゾーン毎に上記複数の
    点状光源の光照射量を設定することで上記複数の点状光
    源の照射する光により上記被加熱材を加熱することを特
    徴とする熱処理方法。