JP2010256259A - 全反射蛍光x線分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】以下のように動作する制御手段24を備える。試料台2よりも大径の円板状の試料1について、試料台2に同心に載置されてたわんだ状態での試料表面1aを円錐台の上面と側面等で近似することにより、縦断面における試料表面1aの傾きを半径方向の距離の関数として求め、各測定点に対応するステージ座標に基づいて、各測定点を通る試料1の半径と平面視した1次X線3とのなすずれ角度δを算出し、前記ステージ座標および前記関数ならびに前記ずれ角度δに基づいて、各測定点における1次X線方向についての試料表面1aの傾きを算出してステージ角度の補正値とし、その補正値を用いて各測定点で1次X線3の入射角度αが適切になるようにステージ角度φを調整する。
【選択図】図1
Description
40≦r≦150では、k=−0.047
45≦r≦150では、k=−0.031
1a 試料表面
2 試料台
3 1次X線
5 蛍光X線
18 ステージ
24 制御手段
32 測定点
r 半径方向の距離
α 試料への1次X線の入射角度
δ ずれ角度
φ ステージ角度
Claims (1)
- 円板状の試料台と、その試料台に載置された試料の移動、回転および傾き調整が可能なステージとを備え、試料表面の複数の測定点に微小な入射角度で1次X線を入射させて、発生する蛍光X線の強度を測定し、測定強度の分布を求める全反射蛍光X線分析装置であって、
単結晶である試料の結晶格子に対して1次X線の入射方位を一定に保つように前記ステージを調整する制御手段を備え、
その制御手段が、
前記試料台よりも大径の円板状の試料について、前記試料台に同心に載置されてたわんだ状態での試料表面を円錐台の上面と側面または円錐の側面とそれに連なる円錐台の側面で近似することにより、前記試料台に同心に載置されてたわんだ状態での縦断面における試料表面の傾きを半径方向の距離の関数として求め、
各測定点に対応するステージ座標に基づいて、各測定点を通る試料の半径と平面視した1次X線とのなすずれ角度を算出し、
各測定点に対応するステージ座標および前記関数ならびに前記ずれ角度に基づいて、各測定点における1次X線方向についての試料表面の傾きを算出してステージ角度の補正値とし、その補正値を用いて各測定点に対応するステージ座標で1次X線の入射角度が適切になるようにステージ角度を調整する全反射蛍光X線分析装置。
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