JP2010245002A - 誘導加熱装置、その制御方法、及びプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インバータ18の電流振幅制御と電流同期制御とを行うとき、電流と電圧のdq成分をそれぞれ分けて独立に制御するdq制御法を用いる。dq演算部71は、インバータ18の出力電流iからd軸電流成分Idとq軸電流成分Iqを求める。加算器72が目標電流I0とd軸電流成分Idとの差分電流を求め、PI制御部74がこの差分電流からd軸電圧成分Vdを求める。また、加算器73がq軸電流成分Iqを零にするように、PI制御部75がq軸電圧成分Vqを求める。d軸電圧成分Vd、及びq軸電圧成分Vqは、dq−δθ変換部76によって通電幅δ、及び電圧位相角θに変換されてインバータ18へ送信される。インバータ18は、通電幅δによって電流振幅制御を行い、電圧位相角θによって電流同期制御を行う。
【選択図】図7
Description
(誘導加熱装置の構成、及び動作)
図1は、ZCIHシステムの電源ユニットとしてインバータのみを用いた本発明の第1実施形態に係る誘導加熱装置10の回路構成図である。この誘導加熱装置10は、発熱体(例えば、カーボングラファイト)を誘導加熱するための複数の誘導加熱コイル20(20a,20b)と、それぞれの誘導加熱コイル20に個別に電力を供給するための電源ユニットとを含んで構成されている。なお、この誘導加熱装置10は、説明の便宜上、及び図面の簡略化から、2ゾーンのZCIHシステムを示しているが、それより多くのゾーン(例えば、6ゾーン)の構成であっても構わない(図2参照)。
図2は、ウェハの熱処理に用いるRTA(Rapid Thermal Annealing)装置の構成図である。RTA装置は、複数の誘導加熱コイル20a,20b,…、20nが凹部に埋設された耐熱板と、耐熱板の表面に設けられた発熱体と、電源ユニット(図1)であるZCIH(Zone Controlled Induction Heating)インバータとを備える。このRTA装置は、誘導加熱コイル20a,20b,…,20nの各々が高周波磁束を発生し、この高周波磁束が、例えばカーボングラファイトで形成された発熱体に渦電流を流し、この渦電流がカーボングラファイトの抵抗成分に流れることによって発熱させ、発熱体が輻射熱により被加熱物であるガラス基板やウェハを減圧雰囲気中で加熱させる。
図3は、図1に示すインバータ18(18a,18b)を備えた誘導加熱装置10において、ZCIHシステムの電流制御法を説明するための等価回路図である。
図3に示すように、誘導加熱コイル20(20a、20b)が2ゾーンに分割され、それぞれが、共通の直流電源(バッテリ11)に接続されたインバータ18(18a、18b)に接続されている。なお、直流電源11の出力電圧は、Vdcとしている。
また、それぞれのインバータ18の出力側には、直列共振回路を構成するために、誘導加熱コイル20と直列に、キャパシタンスC1,C2のコンデンサ22(22a,22b)が接続されている。
また、ゾーン1に流れる電流をI1とし、インバータ18aの出力電圧をV1とし、ゾーン2に流れる電流をI2とし、インバータ18bの出力電圧をV2としている。
また電源ユニットは、三相整流器14を共通電源とし、2ゾーンに分割された各インバータ18がそれぞれの誘導加熱コイル20に接続されている。なお、インバータ18は、誘導加熱コイル20へ供給する出力電流の周波数を制御し、三相整流器14によって整流された直流電力を交流電力に変換して出力するための逆変換器である。なお、インバータ18と、コンデンサ22とで共振型インバータを構成している。
なお、2Vdc/πは、インバータ18の矩形波電圧(a)のデューティが100%のときのインバータ18の基本波電圧(b)の実効値である。
前記のように、近接配置され、相互インダクタンスMの影響を受ける複数の誘導加熱コイル20a,20bに流れる電流の位相を各々揃え、かつ、複数の誘導加熱コイルの電流振幅を独立制御することにより、インバータ18a,18b間の循環電流を抑制することができると共に、各誘導加熱コイル間の干渉を低減させて発熱分布を均一にすることができる。このとき、電流振幅制御と電流同期制御とを行う場合、インバータ18の電流をd軸成分とq軸成分に分け、インバータ18の出力電圧のd軸成分とq軸成分を独立に制御するように、Phase Shift制御の通電幅δの値と電圧位相角θを与えるdq制御法を用いることが可能である。なお、dq成分とは、電圧または電流の成分を、ベクトル的に互いに直交するd軸成分(有効成分)とq軸成分(無効成分)とに分けた状態を云う。
i=√2Imcos(ωt+φ)=√2Im{cosωt・cosφ−sinωt・sinφ} (2)
このとき、d軸成分の電流Id、及びq軸成分の電流Iqは、それぞれ、次の式(3)、及び式(4)で表わすことができる。
Id=Imcosφ (3)
Iq=Imsinφ (4)
したがって、誘導加熱コイル20に流れる電流iは、次の式(5)のようになる。
i=√2Id・cosωt−√2Iq・sinωt (5)
d軸成分の電流Idとq軸成分の電流Iqは、それぞれ、前述の式(3)、及び式(4)で表わされる。
θ=tan-1(Vd/Vq) (10)
また、通電幅δは次の式(11)によって求められる。
δ=cos−1(πVm/2・√2・Vdc) (11)
但し、Vmは、次の式(12)で求められた値である。
Vm=(Vd 2+Vq 2)1/2 (12)
ここで、インバータ18(18a,18b)の矩形波電圧の基本波周波数fがf=1/(2π√L1C1)の共振状態であるとき、共振回路には、抵抗成分(有効成分)のみのベクトル電圧V11が発生し、このベクトル電圧V11は、出力電圧V1と相互誘導電圧V12とのベクトル和に等しい。
第1実施形態においては共振型インバータをPhase Shift制御してdq制御法で電流振幅制御と電流位相制御とを独立して行ったが、第2実施形態として、インバータ18をPWM制御してdq制御法で電流振幅制御と電流位相制御とを独立して行うこともできる。
図10は、インバータ18をPWM制御したときのdq制御法の制御系の構成図である。
電流検出値iにcosωt又はsinωtを乗算して、この乗算値の移動平均により所定時間内の積分が実行され、この積分値を√2倍することにより、(6)式、(7)式のd軸成分の電流Idとq軸成分の電流Iqが演算される。この電流Id、Iqと目標電流Iref、0との差分電流を比例積分(PI)演算することにより、dq成分電圧指令値Vd *、Vq *が演算される。さらに、dq成分電圧指令値Vd *、Vq *にcosωt又はsinωtを乗算して、互いに加算し、加算値を√2倍することにより電圧指令値V*が演算され、この電圧指令値V*と三角波とを比較することによりPWM信号が生成され、インバータのGATE信号が得られる。
第3実施形態として、インバータ18をワンパルス制御してdq制御法で電流振幅制御と電流位相制御とを独立して行うこともできる。図11は、インバータ18をワンパルス制御したときのdq制御法の制御系の構成図である。
電流検出値iにcosωt又はsinωtを乗算して、この乗算値の移動平均により所定時間内の積分が実行され、この積分値を√2倍することにより、(6)式、(7)式のd成分の電流Idとq成分の電流Iqが演算される。この電流Id、Iqと目標電流Iref、0との差分電流を比例積分(PI)演算することにより、dq成分電圧指令値Vd *、Vq *が演算される。dq成分電圧指令値Vd *、Vq *の二乗和により電圧指令値V*が演算され、dq成分電圧指令値Vd *、Vq *の逆正接を演算することにより電圧位相角指令値θ*が演算される。さらに、電圧指令値V*と直流電圧Vdcとの比から演算された通電幅指令値δ*及び電圧位相角指令値θ*がインバータに入力される。
第4実施形態として、インバータの前段に降圧チョッパを用いてdq制御法で電流振幅制御と電流位相制御とを独立して行うこともできる。図12は、インバータ18の前段に降圧チョッパ16(図13)を用いたときのdq制御法の制御系の構成図である。この場合、インバータ18は180度通電の方形波電圧を出力する。すなわち、降圧チョッパの出力電圧とインバータ18の出力電圧振幅は比例関係になる。したがって、降圧チョッパでインバータ18の出力電圧の振幅Vを操作し,インバータ18で電圧位相角θを操作することができる。
電圧指令値V*、及び電圧位相角指令値θ*が演算されることまでは、前記第3実施形態と同様であり、電圧指令値V*をπ/(2√2)で乗算し、乗算結果である矩形波電圧の振幅値指令値Vdc*が降圧チョッパに入力され、電圧位相角指令値θ*がインバータに入力される。
図13は、ZCIHシステムの電源ユニットとして降圧チョッパ16aとインバータ18とを用いた誘導加熱装置10aの回路構成図である。この誘導加熱装置10aは、図1に示す誘導加熱装置10の構成に対して、インバータ18(18a、18b)の前段に、三相整流器14の出力電圧を降圧制御する降圧チョッパ16(16a,16b)と、インバータ18に印加する電圧を平滑するための平滑コンデンサ34が追加されている。その他の構成は図1と同じであるので重複する説明は省略する。なお、降圧チョッパ16内部のインダクタ32と平滑コンデンサ34とで、DUTYを可変した矩形波電圧を平均化して直流電圧を生成する平均化回路を構成している。
したがって、ゾーン1の電流I1aの位相をゼロにさせるために、図17(c)のようにゾーン1の電圧V1の位相を電圧V1aまで進ませるが、相互誘導電圧V12が大きいために、ゾーン1の電流I1aの位相がゼロに近づかずに、さらに遅れ位相の電流I1bとなる。したがって、インバータによる電流位相制御は正常に作動しない(同期制御の不具合)。
11 バッテリ(直流電源)
12 三相交流電源
14 三相整流器
16(16a、16b) 降圧チョッパ
18(18a、18b) インバータ
20(20a、20b) 誘導加熱コイル
22(22a、22b) コンデンサ
24(24a、24b) 内部抵抗
26(26a、26b) 変圧器(PT)
28(28a、28b) 変流器(CT)
30、34 平滑コンデンサ
32 インダクタ
41、41a 電流実効値演算部
42、42a、46、46a、72、73 加算器
43、43a、47、47a、74、75 PI制御器
44 f(x)関数器
45、45a 電流位相演算部
50 制御ユニット(制御手段)
52 位相差検出部
54 電流・電圧検出部
56 駆動制御部
58 演算部
60 記憶部
62 設定手段
71 dq演算部
76 dq−δθ変換部
Claims (16)
- 近接して配置された複数の誘導加熱コイルと、この誘導加熱コイルの各々に直列接続されたコンデンサを有する複数の共振型インバータと、前記複数の共振型インバータを一括して制御する制御手段とを備えた誘導加熱装置であって、
前記制御手段は、
前記共振型インバータが対応する誘導加熱コイルへ供給する電流の振幅を制御する電流振幅制御と、
前記共振型インバータの何れかが対応する誘導加熱コイルへ供給する電流の位相と、他の共振型インバータが対応する誘導加熱コイルへ供給する電流の位相とを一致させる電流同期制御とを一括して行い、それぞれの制御を非干渉化する
ことを特徴とする誘導加熱装置。 - 前記制御手段は、インバータ出力電圧の位相をシフトしながら通電幅を制御することを特徴とする請求項1に記載の誘導加熱装置。
- 前記制御手段は、前記共振型インバータをPWM制御して通電幅を制御することを特徴とする請求項1に記載の誘導加熱装置。
- 前記制御手段は、前記共振型インバータをワンパルス制御して通電幅を制御することを特徴とする請求項1に記載の誘導加熱装置。
- 前記制御手段は、
前記共振型インバータの通電幅δを調整して前記電流振幅制御を行い、
何れかの前記共振型インバータに流れる電流の位相と他の共振型インバータに流れる電流の位相とが一致するように電圧位相角θを調整して前記電流同期制御を行うことを特徴とする請求項2又は請求項4に記載の誘導加熱装置。 - 前記制御手段は、
前記共振型インバータが流す電流をd軸電流成分とq軸電流成分とに分解し、前記d軸電流成分によって前記電流振幅制御を行い、前記q軸電流成分によって前記電流同期制御を行うことを特徴とする請求項1又は請求項5に記載の誘導加熱装置。 - 前記制御手段は、
前記共振型インバータが対応する誘導加熱コイルを含む共振回路へ印加する電圧をd軸電圧成分とq軸電圧成分とに分解し、
前記d軸電圧成分によって前記電流振幅制御を行い、前記q軸電圧成分によって前記電流同期制御を行うことを特徴とする請求項5に記載の誘導加熱装置。 - 近接して配置された複数の誘導加熱コイルと、この誘導加熱コイルの各々に直列接続されたコンデンサを有する複数の共振型インバータと、この複数の共振型インバータの各々の入力電圧を制御する複数の降圧チョッパと、前記複数の共振型インバータ、及び前記複数の降圧チョッパを一括して制御する制御手段とを備えた誘導加熱装置であって、
前記制御手段は、
前記降圧チョッパの出力電圧を制御することにより、前記共振型インバータが対応する誘導加熱コイルへ供給する電流の振幅を制御する電流振幅制御をd成分電流によって行い、
前記共振型インバータの何れかが対応する誘導加熱コイルへ供給する電流の位相と、他の共振型インバータが対応する誘導加熱コイルへ供給する電流の位相とを一致させる電流同期制御をq軸電流成分によって行うことを特徴とする誘導加熱装置。 - 近接して配置された複数の誘導加熱コイルと、この誘導加熱コイルの各々に直列接続されたコンデンサを有する複数の共振型インバータと、前記複数の共振型インバータを一括して制御する制御手段とを備えた誘導加熱装置の制御方法であって、
前記制御手段が、
前記共振型インバータが対応する誘導加熱コイルへ供給する電流の振幅を制御する電流振幅制御と、
前記共振型インバータの何れかが対応する誘導加熱コイルへ供給する電流の位相と、他の共振型インバータが対応する誘導加熱コイルへ供給する電流の位相とを一致させる電流同期制御とを一括して行い、それぞれの制御を非干渉化する
ことを特徴とする誘導加熱装置の制御方法。 - 前記制御手段が、前記共振型インバータの出力電圧の位相をシフトしながら通電幅を制御することを特徴とする請求項9に記載の誘導加熱装置の制御方法。
- 前記制御手段が、前記共振型インバータをPWM制御して通電幅を制御することを特徴とする請求項9に記載の誘導加熱装置の制御方法。
- 前記制御手段が、前記共振型インバータをワンパルス制御して通電幅を制御することを特徴とする請求項9に記載の誘導加熱装置の制御方法。
- 前記制御手段が、
前記共振型インバータの通電幅δを調整して前記電流振幅制御を行い、
前記共振型インバータの何れかに流れる電流の位相と他の共振型インバータに流れる電流の位相とが一致するように電圧位相角θを調整して前記電流同期制御を行う
ことを特徴とする請求項10乃至請求項12のいずれか1項に記載の誘導加熱装置の制御方法。 - 前記制御手段が、
前記共振型インバータに流れる電流をd軸電流成分とq軸電流成分とに分解し、
前記d軸電流成分によって前記電流振幅制御を行い、前記q軸電流成分によって前記電流同期制御を行うことを特徴とする請求項13に記載の誘導加熱装置の制御方法。 - 前記制御手段は、
前記共振型インバータが対応する誘導加熱コイルを含む共振回路へ印加する電圧をd軸電圧成分とq軸電圧成分とに分解し、
前記d軸電圧成分によって前記電流振幅制御を行い、前記q軸電圧成分によって前記電流同期制御を行うことを特徴とする請求項13に記載の誘導加熱装置の制御方法。 - 請求項9乃至請求項15のいずれか1項の制御方法をコンピュータに実行させるプログラム。
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