JP2010222168A - オゾン供給装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】オゾン供給装置1はオゾン含有ガスが供されると共に液体オゾンを貯留するベッセル10とこのベッセル10内で赤外光領域の光を照射する光源11とを備える。光源11は発光の出力を調整して前記ベッセル内の圧力を調節することよりオゾンの気化量を制御する。ベッセル10内には前記オゾン含有ガスが供される区画と前記液体オゾンが貯留される区画に区分すると共に前記光源の光の照射を受けてオゾンより蒸気圧を有する不純物をトラップする隔壁ブロックを備えるとよい。前記液体オゾンが貯留される区画には紫外線領域の光を照射する光源を備えるとよい。また、前記紫外光線領域の光が照射された区画内の照度を検出する照度検出手段を備えるとよい。
【選択図】図1
Description
そして、このオゾンガス濃度が最小となるように、バルブ21によって液体オゾンの蓄積工程でオゾンと酸素の混合ガスの排気ラインの排気量が制御される。すなわち、液体オゾンの蓄積工程で最もトラップ効果がよいベッセル10の圧力の設定が可能となる。これによりオゾンガスの液化率(液体オゾン貯蔵速度)が向上する。
10…ベッセル
11…光源
12…伝熱ブロック
13…圧力計
22…照射筒
23…隔壁ブロック,221,231…フィン
31…光源、32…照度検出器
Claims (10)
- オゾン含有ガスが供されると共に液体オゾンを貯留するベッセルと、
このベッセル内で赤外光領域の光を照射する光源と
を備え、
前記光源は発光の出力を調整して前記ベッセル内の圧力を調節することよりオゾンの気化量を制御すること
を特徴とするオゾン供給装置。 - 前記ベッセルは前記オゾン含有ガスが供される区画と前記液体オゾンが貯留される区画に区分すると共に前記光源の光の照射を受けてオゾンより蒸気圧を有する不純物をトラップする隔壁ブロックを備え、
前記光源は前記オゾン含有ガスが供される区画の圧力値に基づき発光の出力を調整して前記隔壁ブロックの温度を制御すること
を特徴とする請求項1に記載のオゾン供給装置。 - 前記液体オゾンが貯留される区画に紫外線領域の光を照射する光源を備えることを特徴とする請求項2に記載のオゾン供給装置。
- 前記紫外光線領域の光が照射された区画内の照度を検出する照度検出手段を備え、この照度検出手段によって検出された照度に基づき前記区画内のオゾンガス濃度が算出されること請求項3に記載のオゾン供給装置。
- 前記隔壁ブロックは器状に形成され、その内面には複数のフィンを備えたことを特徴とする請求項1に記載のオゾン供給装置。
- 前記光源は前記赤外線領域の光を透過する材料からなる照射筒に収納され、この照射筒は外面に複数のフィンを備えたことを特徴とする請求項5に記載のオゾン供給装置。
- 前記オゾン含有ガスが供される区画と前記液体オゾンが貯留される区画とを連通させる配管を備える共に前記配管には前記両者のうちいずれかの区画内の圧力を計測する圧力計を備え、
前記光源は前記圧力計によって計測された前記いずれかの圧力値に基づいて発光の出力を調節すること
を特徴とする請求項2に記載のオゾン供給装置。 - 前記光源は液体オゾンの蓄積工程時に前記オゾンガス濃度の値に基づき発光の出力を調節することにより前記ベッセル内の酸素オゾン混合ガスの排気量を調整することを特徴とする請求項7に記載のオゾン供給装置。
- 前記光源は前記ベッセル内のオゾンの廃棄工程時に前記オゾンガス濃度の値に基づき発光の出力を調節することを特徴とする請求項7に記載のオゾン供給装置。
- 前記光源は前記赤外線領域の光として波長400nmより長い波長を有する光を発することを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載のオゾン供給装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160121563A (ko) * | 2014-02-14 | 2016-10-19 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 주입 어셈블리를 갖는 상부 돔 |
CN108163814A (zh) * | 2018-02-24 | 2018-06-15 | 曹恒 | 一种高效节能的流体除杂灭活装置 |
JP7403592B1 (ja) | 2022-07-08 | 2023-12-22 | 明電ナノプロセス・イノベーション株式会社 | オゾンガス供給システム |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001133142A (ja) * | 1999-11-09 | 2001-05-18 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | 液体オゾン製造装置 |
JP2001139310A (ja) * | 1999-11-09 | 2001-05-22 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | 高濃度オゾンガス発生装置およびそのオゾンガス発生量制御方法 |
JP2001302214A (ja) * | 2000-04-20 | 2001-10-31 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | オゾン生成装置 |
JP2001304756A (ja) * | 2000-04-20 | 2001-10-31 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | オゾン生成装置 |
JP2007056968A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Toshiaki Nishino | 液化ガスの気化方法と、その装置 |
JP2008246429A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Meidensha Corp | オゾン分解装置 |
-
2009
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001133142A (ja) * | 1999-11-09 | 2001-05-18 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | 液体オゾン製造装置 |
JP2001139310A (ja) * | 1999-11-09 | 2001-05-22 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | 高濃度オゾンガス発生装置およびそのオゾンガス発生量制御方法 |
JP2001302214A (ja) * | 2000-04-20 | 2001-10-31 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | オゾン生成装置 |
JP2001304756A (ja) * | 2000-04-20 | 2001-10-31 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | オゾン生成装置 |
JP2007056968A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Toshiaki Nishino | 液化ガスの気化方法と、その装置 |
JP2008246429A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Meidensha Corp | オゾン分解装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6013004104; 日本化学会編: 標準化学用語辞典 第2版 , 20050331, p.361, 丸善 * |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160121563A (ko) * | 2014-02-14 | 2016-10-19 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 주입 어셈블리를 갖는 상부 돔 |
JP2017511974A (ja) * | 2014-02-14 | 2017-04-27 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 射出アセンブリ付きの上方ドーム |
KR102381816B1 (ko) * | 2014-02-14 | 2022-04-04 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 주입 어셈블리를 갖는 상부 돔 |
CN108163814A (zh) * | 2018-02-24 | 2018-06-15 | 曹恒 | 一种高效节能的流体除杂灭活装置 |
WO2019161612A1 (zh) * | 2018-02-24 | 2019-08-29 | 曹恒 | 一种高效节能的流体除杂灭活装置 |
CN108163814B (zh) * | 2018-02-24 | 2019-11-05 | 恒天摩尔科技(山东)有限公司 | 一种高效节能的流体除杂灭活装置 |
JP7403592B1 (ja) | 2022-07-08 | 2023-12-22 | 明電ナノプロセス・イノベーション株式会社 | オゾンガス供給システム |
WO2024009699A1 (ja) * | 2022-07-08 | 2024-01-11 | 明電ナノプロセス・イノベーション株式会社 | オゾンガス供給システム |
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