JP2009137812A - オゾン供給方法及びその装置 - Google Patents
オゾン供給方法及びその装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009137812A JP2009137812A JP2007318091A JP2007318091A JP2009137812A JP 2009137812 A JP2009137812 A JP 2009137812A JP 2007318091 A JP2007318091 A JP 2007318091A JP 2007318091 A JP2007318091 A JP 2007318091A JP 2009137812 A JP2009137812 A JP 2009137812A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone
- chamber
- temperature
- ozone chamber
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
【解決手段】オゾンチャンバ9の温度を制御してオゾンチャンバ9内のオゾンを系外に供給するオゾン供給方法において、前記オゾンを系外に供給した後にオゾンチャンバ9の温度を制御してオゾンチャンバ9内に残留する窒素酸化物及び水を個別に排出する工程を有する。オゾンチャンバ9内の窒素酸化物と水の蒸気圧の差異に基づいて窒素酸化物及び水を個別に排出する。
【選択図】図1
Description
電子材料,1999年3月,pp.13〜18 Jpn.J.Appl.Phys.Vol.32(1993),pp.L110−L112
10,15,35…バルブ
14…オゾンキラー
16…酸化処理装置
19…コールドヘッド
23…ヒータ
26…オゾン排出管
30…オゾン供給装置
31…温度計
32…圧力計
Claims (12)
- オゾンチャンバの温度を制御してオゾンチャンバ内のオゾンを系外に供給するオゾン供給方法において、
前記オゾンを系外に供給した後に前記オゾンチャンバの温度を制御して前記オゾンチャンバ内に残留する窒素酸化物及び水を個別に排出する工程を有すること
を特徴とするオゾン供給方法。 - 前記オゾンチャンバ内の窒素酸化物と水の蒸気圧の差異に基づいて窒素酸化物及び水を個別に排出することを特徴とする請求項1に記載のオゾン供給方法。
- 前記オゾンチャンバの温度が220K以下での蒸気圧によって前記オゾンチャンバ内の窒素酸化物のみを排出することを特徴とする請求項2に記載のオゾン供給方法。
- 前記窒素酸化物を排出した後に前記オゾンチャンバの温度が220K以上での蒸気圧によって前記オゾンチャンバ内の水を排出することを特徴とする請求項3に記載のオゾン供給方法。
- 前記窒素酸化物を排出する工程では前記オゾンチャンバ内に希釈ガスを導入することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のオゾン供給方法。
- 前記希釈ガスを導入する工程ではオゾンチャンバの温度が260K以上に調節されることを特徴とする請求項5に記載のオゾン供給方法。
- オゾンチャンバの温度を制御してオゾンチャンバ内のオゾンを系外に供給するオゾン供給装置において、
前記オゾンチャンバの温度を調節するコールドヘッドと、
前記オゾンチャンバ内の温度を検出する温度検出手段と、
前記オゾンチャンバ内の圧力を検出する圧力検出手段と
を備え、
前記コールドヘッドが前記温度検出手段及び圧力検出手段によって検出された前記オゾンチャンバ内の温度及び圧力に基づいて前記オゾンチャンバの温度を調節することにより、前記オゾンチャンバ内に残留する窒素酸化物及び水を個別に系外に排出すること
を特徴とするオゾン供給装置。 - 前記オゾンチャンバ内の窒素酸化物と水の蒸気圧の差異に基づいて窒素酸化物及び水が個別に排出されることを特徴とする請求項7に記載のオゾン供給装置。
- 前記オゾンチャンバの温度が220K以下での蒸気圧によって前記オゾンチャンバ内の窒素酸化物のみが排出されることを特徴とする請求項8に記載のオゾン供給装置。
- 前記窒素酸化物を排出した後に前記オゾンチャンバの温度が220K以上での蒸気圧によって前記オゾンチャンバ内の水を排出することを特徴とする請求項9に記載のオゾン供給装置。
- 前記オゾンチャンバ内に希釈ガスを供給するための配管系を備え、
前記窒素酸化物が排出される過程で前記配管系から希釈ガスが前記オゾンチャンバ内に供給されること
を特徴とする請求項7から10のいずれか1項に記載のオゾン供給装置。 - 前記希釈ガスが供給される過程で前記コールドヘッドによってオゾンチャンバの温度が260K以上に調節されることを特徴とする請求項11に記載のオゾン供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007318091A JP5481783B2 (ja) | 2007-12-10 | 2007-12-10 | オゾン供給方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007318091A JP5481783B2 (ja) | 2007-12-10 | 2007-12-10 | オゾン供給方法及びその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009137812A true JP2009137812A (ja) | 2009-06-25 |
JP5481783B2 JP5481783B2 (ja) | 2014-04-23 |
Family
ID=40868839
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007318091A Active JP5481783B2 (ja) | 2007-12-10 | 2007-12-10 | オゾン供給方法及びその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5481783B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013150819A1 (ja) * | 2012-04-05 | 2013-10-10 | 三菱電機株式会社 | オゾン発生システムおよびオゾン発生方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1192113A (ja) * | 1997-09-17 | 1999-04-06 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | オゾン吸脱着装置 |
JP2001304756A (ja) * | 2000-04-20 | 2001-10-31 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | オゾン生成装置 |
JP2003020211A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-24 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | オゾン製造装置 |
WO2005058753A1 (ja) * | 2003-12-17 | 2005-06-30 | Tokyo Electron Limited | オゾン処理方法及びオゾン処理装置 |
JP2005279641A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-10-13 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | 排ガスから水分及び有害ガス成分を除去する方法及びシステム |
WO2008004278A1 (fr) * | 2006-07-04 | 2008-01-10 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | Procédé et dispositif de concentration / dilution de gaz spécifique |
-
2007
- 2007-12-10 JP JP2007318091A patent/JP5481783B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1192113A (ja) * | 1997-09-17 | 1999-04-06 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | オゾン吸脱着装置 |
JP2001304756A (ja) * | 2000-04-20 | 2001-10-31 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | オゾン生成装置 |
JP2003020211A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-24 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | オゾン製造装置 |
WO2005058753A1 (ja) * | 2003-12-17 | 2005-06-30 | Tokyo Electron Limited | オゾン処理方法及びオゾン処理装置 |
JP2005279641A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-10-13 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | 排ガスから水分及び有害ガス成分を除去する方法及びシステム |
WO2008004278A1 (fr) * | 2006-07-04 | 2008-01-10 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | Procédé et dispositif de concentration / dilution de gaz spécifique |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013150819A1 (ja) * | 2012-04-05 | 2013-10-10 | 三菱電機株式会社 | オゾン発生システムおよびオゾン発生方法 |
CN104144874A (zh) * | 2012-04-05 | 2014-11-12 | 三菱电机株式会社 | 臭氧产生机构以及臭氧产生方法 |
JP5693787B2 (ja) * | 2012-04-05 | 2015-04-01 | 三菱電機株式会社 | オゾン発生システムおよびオゾン発生方法 |
CN104144874B (zh) * | 2012-04-05 | 2016-04-27 | 三菱电机株式会社 | 臭氧产生机构以及臭氧产生方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5481783B2 (ja) | 2014-04-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9371229B2 (en) | Ozone-generating system and ozone generation method | |
JP2005354048A (ja) | アルゴン希釈剤と一緒に高圧f2プラズマを用いる高速エッチング | |
JP4285885B2 (ja) | オゾン生成装置 | |
JP5481783B2 (ja) | オゾン供給方法及びその装置 | |
JP5195527B2 (ja) | 流量制御装置及びプロセス装置 | |
JP2006298701A (ja) | 可変熱抵抗ブロック、加熱冷却装置及びオゾン供給装置 | |
JP5470948B2 (ja) | オゾン供給装置 | |
JP4036623B2 (ja) | オゾン生成装置 | |
JP5453844B2 (ja) | 高濃度オゾン供給方法及び液体オゾン蓄積用ベッセル | |
JP2008294169A (ja) | 高濃度オゾン水製造方法とその装置及び基板表面処理方法とその装置 | |
JP5544678B2 (ja) | 処理システム及び被処理物体の処理方法 | |
JP3922418B2 (ja) | 液体オゾン生成装置の爆発防止方法および液体オゾン生成装置 | |
JP2009001490A (ja) | 液体オゾン生成装置 | |
JP5470949B2 (ja) | 液体オゾン蓄積制御方法及びその装置 | |
JP3919989B2 (ja) | 液体オゾン製造装置 | |
JP5245964B2 (ja) | 液体オゾン廃棄方法及び液体オゾン製造装置 | |
JP3996358B2 (ja) | オゾン製造装置 | |
JP2004183966A (ja) | 液体オゾン製造装置 | |
JP5359380B2 (ja) | 液体オゾン蓄積量計測方法と液体オゾン蓄積量計測装置、その装置を備えた高濃度オゾンガス生成装置及びプロセス装置 | |
JP2004184195A (ja) | 残留オゾンチェック方法およびオゾン生成方法 | |
JP3964082B2 (ja) | オゾン生成装置 | |
JP4036622B2 (ja) | オゾン生成装置 | |
JP2001133141A (ja) | 液体オゾン製造装置 | |
JP4899451B2 (ja) | オゾン生成装置 | |
TW202430475A (zh) | 臭氧水的產生裝置及產生方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100603 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20120301 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20130205 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20130408 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Effective date: 20130408 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20140121 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20140203 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Country of ref document: JP Ref document number: 5481783 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |