JP4036623B2 - オゾン生成装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、オゾンガスを液化することにより濃縮した高濃度オゾンガスを供給可能にするオゾン生成装置に係り、特にオゾンチャンバ内の液体オゾンの貯留量を自動検出する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年オゾン(元素記号:03)の利用が、その強い酸化力を利用して上下水処理を始めとして種々の分野で進展している。中でも、半導体素子の製造分野では、Siウェーハ洗浄やTEOS−CVD(Tetra Ethyl Ortho Silicate-Chemical VaPor Deposition)への適用が検討されつつある。Siウェーハ洗浄は、オゾンガスを純水に溶かしたオゾン水を洗浄液として用いるもので、希ふっ酸水溶液等と併用することでSiウェーハ上の重金属や有機物を除去できることが発表されている(電子材料1999年3月号PP.13〜18)。TEOS−CVDは半導体素子を多層配線化する際の層間絶縁膜の形成に用いられ、電極によるウェーハ表面の凹凸を絶縁膜で平坦化できることが特長である。このTEOS−CVDにオゾンを添加することによって平坦化の性能が向上することが報告されている(JPn.J.APPl.Phys.Vol.32(1993)PP.L110-L112)。
【0003】
これらは10%程度の比較的低濃度のオゾンガスを利用した例であるが、80%以上の比較的高濃度のオゾンガスを利用することで従来のオゾンガス利用では考えられなかった新たな応用の可能性が指摘され始めている。一例を挙げれば、特開平8−335576号公報で開示されているSi半導体の酸化膜形成がある。この公報によれば、従来の熱酸化法では為し得ない比較的低温での酸化膜形成が可能で、亜酸化層や欠陥構造の少ない良質の酸化膜の形成が可能であることなどが紹介されている。
【0004】
ところで、オゾンガスの生成には一般に無声放電方式が用いられる。これは放電により酸素ガスからオゾンと酸素の混合ガスを発生させるもので、発生効率の限度と爆発の危険性のため、常温常圧下で約10体積%以上のオゾンガスを生成することは困難であった。そこで、発生したオゾンガスを一旦液化貯蔵して、その後に気化させることにより80%以上の高濃度オゾンガスを生成する方法が特公平5−17164号公報で紹介されている。この方法について図6に示す液体オゾン製造装置で説明する。
【0005】
この液体オゾンの製造装置は、オゾンガス発生装置および排気装置1の部分とオゾンを液化する液体オゾン生成装置2から構成されている。酸素ボンベ3から圧力調整バルブ4を介して酸素ガスがオゾナイザー5に送られる。オゾナイザー5では酸素ガスは無声放電により酸素にオゾンガスが混合されたオゾン含有酸素ガスとなり、流量を制御するためのマスフローコントローラー6およびオゾン含有ガス中の微粒子を除去するための微粒子除去フィルター7を通ってオゾンガスを液化する液体オゾン生成装置2に導入される。
【0006】
液体オゾン生成装置2では、図7にその詳細を示すように、オゾンガス発生装置から導入された酸素ガスにオゾンガスが混合されたオゾン含有酸素ガスが、流量調整バルブ8とオゾン含有酸素ガス導入管25を介してオゾンチャンバ9に導入される。オゾンチャンバ9は、あらかじめコンプレッサー21で駆動されている冷凍機20により冷却されているコールドヘッド19に熱的に結合されており、温度センサー24とヒーター23および温度制御装置22により0.1K以内の温度精度で精密に温度を制御可能であり、80K〜100Kの低温度に保たれている。
【0007】
オゾンガスの液化の原理は、オゾンと酸素の蒸気圧の差によってオゾンガスだけを液化するものである。例えば、1気圧のもとではオゾンは161Kの沸点であるが、酸素は90Kの沸点を有する。したがって、90K以上161K未満の温度に冷却すれば、オゾンは大部分が液体、酸素は大部分が気体状態となるのでオゾンだけを液体として分離できる。実際には高濃度オゾンの爆発性に対する安全上から減圧条件で取り扱うので、その際の温度と圧力条件下でのオゾンと酸素の蒸気圧の差で分離条件が決まる。例えば、温度90Kで圧力10mmHg(=13.3hPa)の場合を考えると、90Kではオゾンの蒸気圧はほぼ0mmHg(=0Pa)だが、酸素は約690mmHg(=918hPa)となりオゾンだけがこの条件下で液化される。
【0008】
オゾンチャンバ9ではこのように、冷却された温度でのオゾンと酸素の蒸気圧の差によってオゾンガスだけを液化する。オゾンガスを液化する時は、酸化処理容器16との間のバルブ15を閉じ、オゾンキラー11につながるバルブ10を開いた状態とする。オゾンチャンバ9に接続されたオゾン排出管26とバルブ10を通った液化されない酸素ガスは、若干残留するオゾンガスを外部へ排出させないよう加熱して酸素に変えるオゾンキラー11に導入され、オゾンキラー11で加熱された酸素ガスを冷却するためのガス冷却器12と、真空ポンプ14からの炭化物などによるオゾンチャンバへの汚染や混入を防ぐための液体窒素トラップ13を経て真空ポンプ14により外部へ排出される。
【0009】
液化された液体オゾン27を酸化処理容器16内で酸化等の使用目的に利用する時は、流量調整バルブ8およびバルブ10を閉じ、バルブ15を開く。温度センサー24とヒーター23および温度制御装置22によりコールドヘッド19に熱的に結合されたオゾンチャンバ9の温度を上昇させることにより、液体オゾンを気化しオゾンガスとしてオゾン排出管26とバルブ15を介して酸化処理容器16内に導入される。また、安全弁18は液体オゾンもしくは高濃度のオゾンガスが爆発性を有するので、万一の場合破壊してガスを排出するためのものである。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
オゾンは熱的に酸素に分解するが、100K以下の低温ではその確率は非常に小さく、原理的には液体オゾンは低温で保存可能である。しかし、(a)局所的な加熱や急激な温度上昇などの熱の侵入、(b)触媒作用物質の混入、(c)機械的な振動や衝撃、などの誘引でオゾン分解の連鎖反応で生じるオゾンガス爆発を起こすことがある。
【0011】
図6および図7に示す液体オゾン製造装置では、これらの爆発誘引となる条件をなくすため、十分熱的に遮断し、触媒作用の原因となる不純物が混入しないように、オゾン原料は高純度の酸素ガスを用い、さらに微粒子除去フィルター7を導入経路に設けている。
【0012】
また、万一の場合の爆発による被害を最小限にするために、安全弁18が爆発によるガスを弁が破壊されて逃がすようになっている。
【0013】
しかし、この安全弁の設計や、オゾンチャンバ9などの万一の場合の爆発に対する安全性の設計は、オゾンチャンバ9内に生成する最大量の液体オゾン量に対して設計を行う必要がある。すなわち、液体オゾンがオゾンチャンバ9に貯留する最大量を実際に貯めて爆発させる実験を行い、そのデータをもとに設計する。
【0014】
これにより、万一の場合のオゾンガス爆発に対する危険性を最小限にすることができるが、このためには、オゾンチャンバ9の中に生成した液体オゾンが設計値に基づく最大貯留量に達したら、流量調整バルブ8を閉じて液体オゾンの生成を止める必要がある。
【0015】
ここで問題となるのは、オゾンチャンバ9の中に生成して貯まった液体オゾンの貯留量を検出する方法が従来はなかったということである。
【0016】
なお、オゾンガス爆発の危険性から、液体オゾンや高濃度オゾンに接触する可能性のある部位にはゴム製などの有機性のパッキンやシール材を用いることができないため、オゾンチャンバの側面にのぞき窓のようなものも形成困難で、ステンレスやアルミニウム製のオゾンチャンバの中を覗くことは困難であった。
【0017】
本発明の目的は、オゾンチャンバ内の液体オゾン貯留量を自動検出できるようにしたオゾン生成装置を提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記の課題を解決するため、オゾンチャンバの上部から内部に液面評価管を突出させ、またオゾンチャンバ内の先端位置を液面検出レベル位置に設定または調節できるようにし、液体オゾンが液面評価管の先端位置まで達したときの液面評価管内の圧力変化等から液面レベルを検出するようにしたもので、以下の構成を特徴とする。
【0019】
オゾンチャンバにオゾン含有ガスを導入し、前記オゾンチャンバ内を冷却することにより該オゾンチャンバ内に液体オゾンを生成および貯留するオゾン生成装置において、
オゾンチャンバの上部から内部に液面評価管を突出させ、かつオゾンチャンバ内の先端位置を液体オゾンの液面検出レベル位置にし、
前記液面評価管内の圧力をオゾンチャンバ内の圧力と一致させる排気コントロールによって、前記液面評価管内を圧力制御しておき、
前記液面評価管内の圧力の低下または液面評価管からの排気量の低下からオゾンチャンバ内の液体オゾンの液面が前記液面評価管の前記先端位置に達したことを検出する構成を特徴とする。
【0020】
また、前記液面評価管内の前記圧力制御は、排気コントロール・ガス供給量制御・またはそれらの組合せにより行い、これら制御でのパラメータの変化から液面検出を行う構成を特徴とする。
【0024】
【発明の実施の形態】
(第1の実施形態)
図1は、本発明の実施形態になる液面レベル計測システムの構造を示す。この液面レベル計測システムは、図6または図7で示したオゾンチャンバ9の上部、図示では上面を貫通して内部の底面に向けて突出させた液面評価管30を設ける。この液面評価管30は、ステンレス、アルミニウムまたは石英製とする。また、液面評価管30の先端は液体オゾンの液面検出位置として設計しておき、反対側はオゾンチャンバ9の外部で液面評価管圧力計31に繋がっている。また、この圧力計31に繋がる部分は真空排気ができるようにポンプシステム(図示省略)に接続される。
【0025】
なお、液面評価管30は、その管体がオゾンチャンバ等と同等の金属にされて溶接や一体構造にされ、オゾン排出管26等と同様に、オゾンチャンバへの取り付けによって液体オゾンや高濃度オゾンに接触した場合やオゾンガス爆発にも耐える構造とすることができる。
【0026】
また、圧力計32は、オゾンチャンバ9内のガス圧を計測するためのものであり、後述の液面レベル検出に際しての圧力計31の計測値との比較を行う検出方式で利用される。
【0027】
上記の液面レベル計測システムによるオゾンチャンバ内の液体オゾンの最大貯留量の検出方式を図2を参照して説明する。図2の(a)は液体オゾンの液面が液面評価管30の先端に届いていない場合の状態を示している。オゾンガス生成装置の通常運転時には数%程度のオゾンガスを含む酸素ガス(蓄積ガス)をオゾンチャンバ9に流し込むため、オゾンチャンバ内の圧力は1000Pa以上となるが、図2の(a)の状態ではそのガスが液面評価管30を通って圧力計31に達することで、オゾンチャンバ内圧力と液面評価管圧力はほぼ同等の値となる。
【0028】
次に図2の(b)に示すように、液体オゾンの液面が評価管30の先端を超えると、オゾンチャンバ9内のオゾンガスと液面評価管30内が液体オゾンにより分離されるため、蓄積ガスが液面評価管30内へ入ることができるなくなる。液体オゾンの蒸発圧力は蓄積時には十分低いため、液面評価管30の排気を続けていると液面評価管の圧力が低下することとなる。
【0029】
よって、次の方法で図2の(a)の状態から同図の(b)の状態への変化、つまり液体オゾンの最大貯留量が評価管30の先端位置まで達したことを検出できる。
【0030】
(方法1)液面評価管の排気速度を一定とし、圧力の低下で検出する。
【0031】
(方法2)液面評価管の圧力をオゾンチャンバ内の圧力と一致するように排気コントロールを行う。これにより、図2の(b)の状態になるとガス流入量が低下し、排気バルブの開度が下がるので、排気バルブ開度(排気量)の変化で検出する。
【0032】
(第2の実施形態)
前記の実施形態ではオゾンチャンバ内の液体オゾンの最大貯留量の検出するものであったのに対し、本実施形態ではオゾンチャンバ内の液体オゾンの残量低下を検出するためのものである。
【0033】
本実施形態による残量低下検出方式は、図1とは構成を同じにするが、液面評価管30にはバルブ30Aを設けることで評価管内の排気とガス供給を行う点で異なる。
【0034】
図3は残量低下検出態様を示す。同図の(a)に示すように、液体オゾンの液面が評価管30の先端よりも高い位置まで貯留された後、液面評価管30内の圧力がオゾンチャンバ9内の圧力より幾分高くなるように制御してからバルブ30Aを閉じ、ガスを液面評価管内に封じる。なお、ここで「幾分高く」とは評価管内のコンダクタンスによる応答と使用する圧力センサの感度により決まるが、例えば1/8インチ以上のある程度太い管を使用し、オゾンチャンバ内の圧力の1.5〜2倍程度を確保できれば、有為的な差として検出することができる。
【0035】
なお、この時の圧力制御は、
(1)排気コントロールにより貯留ガスの一部を残す方法、
(2)一旦液体オゾン蒸気圧まで排気してから、別のガス(酸素若しくは窒素、ヘリウム等の液体オゾンより融点の低いガス)を供給する方法。なお、このとき使用するガスを酸素とし、液面評価管内の内容積を最小とすることで、オゾン濃度の低下等の影響を防ぐことができる。ここで、液面評価管内の内容積は、極端に細い管を使用すると、排気時のコンダクタンスが大きく、圧力変化が検出しにくくなり、また僅か残っている不純物ガス(水、炭酸ガス等)が先端で凍りついて検出ができなくなることも考えられるため、圧力センサの感度とセンサ部までの距離により多少の差はあるが、液面評価管内径の下限は1/8インチ(内径は1/16インチ)程度とすることが望ましい。
【0036】
(3)一旦液体オゾン蒸気圧まで排気してから、蒸発してきたオゾンガスを一部分解させ、酸素に戻すことで圧力を上げる方法等が使用できる。
【0037】
図3の(a)の状態で、オゾンチャンバ9内の液体オゾンを外部に供給することにより液面が低下し、同図の(b)の状態へ変化すると、液面評価管30内に封じたガスがオゾンチャンバ9内へ流れ、液面評価管30内の圧力が低下することから、これを圧力計31で検出することで、液面の低下を検出することができる。
【0038】
(第3の実施形態)
本実施形態は、複数の液面レベルを検出する方式であり、図4に示す構成にする。本実施形態による液面レベル検出原理は、第1の実施形態の場合と同様のものになり、図1と異なる部分は、図4に示すように、オゾンチャンバ9には、2本の長さの異なる液面評価管33、34を設け、それぞれのバルブ33A,34Aの操作で圧力計31でのガス圧検出対象の評価管を切りかえると共に、当該評価管での排気やガス供給を行って圧力制御することで、評価管33、34の先端位置の違いで2つの液面レベルを検出できるようにする。
【0039】
なお、3つ以上の液面レベルを検出する場合には、3本以上の液面評価管とその切換バルブを設けることで実現される。
【0040】
(第4の実施形態)
本実施形態は、1本の液面評価管を用いて、2つの液面レベルを検出する方式である。液面レベル検出原理は、第1の実施形態と同様のものになり、図1と異なる部分は、図5に示すように、液面評価管30をベローズ35を介在させてオゾンチャンバ9に設け、ベローズ35の圧縮・伸長によりオゾンチャンバ9の底部に対する液面評価管30の先端の高さ位置を調節可能にした点にある。
【0041】
なお、オゾンチャンバ9に対するベローズ35の取り付けには、評価管30の取り付けと同等にし、オゾンガス爆発にも耐える構造とすることができる。
【0042】
この構造により、液面評価管30をベローズ35により上下に移動することで、1本の評価管を用いて複数の液面レベルを検出できる。さらに、液面評価管30の上下動をモーターで駆動し、圧力計31の測定値を用いてフィードバックをかけることで、貯留中の液体オゾンの液面レベルを連続的に検出できる。
【0043】
なお、液面評価管は、室温部と液体オゾンとを熱的につなげる構成となるため、熱絶縁部を設けることが好ましい。熱絶縁部は、例えば、液面評価管の一部または全部に石英のような熱伝導率の低い材料を用いる方法や、液面評価管をステインレススチール(SUS)のみで形成する場合には管厚を薄くすることで熱抵抗を上げる構成とすることができる。このときの管厚としては、液面評価管内の圧力はオゾン供給時の圧力(数100Pa)より若干高い程度(例えば1000Pa)で良いので、その差圧等を考慮して、例えば0.1mmとすることが好ましい。
【0044】
【発明の効果】
以上のとおり、本発明によれば、オゾンチャンバの上部から内部に液面評価管を突出させ、またオゾンチャンバ内の先端位置を液面検出レベル位置に設定または調節できるようにし、液体オゾンが液面評価管の先端位置まで達したときの液面評価管内の圧力変化等から液面レベルを検出するようにしたため、オゾンチャンバ内の液体オゾン貯留量を自動検出でき、最大貯留量を超えた貯留を防止して、爆発の危険性を低くすることができる。
【0045】
また、液面の低下を検出して、残り供給量を調べたり、液体オゾンが無くなることによる突然の供給断を防止することができる。
【0046】
また、正確な貯留量を得られることから、装置の貯留速度をモニタすることができ、冷却部や装置内の状態の異常を検出して、爆発事故を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態を示す液面レベル計測システムの構造。
【図2】実施形態における最大貯留量検出態様。
【図3】実施形態における残量低下検出態様。
【図4】本発明の他の実施形態を示す複数の液面評価管による検出方式。
【図5】本発明の他の実施形態を示すベローズと液面評価管による検出方式。
【図6】従来の液体オゾン製造装置の例。
【図7】図6の液体オゾン生成装置の詳細図。
【符号の説明】
1…オゾンガス発生装置および排気装置
2…液体オゾン生成装置
3…酸素ボンベ
9…オゾンチャンバ
20…冷凍機
30、33、34…液面評価管
31…液面評価管圧力計
32…オゾンチャンバ内圧力計
30A、33A、34A…バルブ
35…ベローズ
Claims (2)
- オゾンチャンバにオゾン含有ガスを導入し、前記オゾンチャンバ内を冷却することにより該オゾンチャンバ内に液体オゾンを生成および貯留するオゾン生成装置において、
オゾンチャンバの上部から内部に液面評価管を突出させ、かつオゾンチャンバ内の先端位置を液体オゾンの液面検出レベル位置にし、
前記液面評価管内の圧力をオゾンチャンバ内の圧力と一致させる排気コントロールによって、前記液面評価管内を圧力制御しておき、
前記液面評価管内の圧力の低下または液面評価管からの排気量の低下からオゾンチャンバ内の液体オゾンの液面が前記液面評価管の前記先端位置に達したことを検出する構成を特徴とするオゾン生成装置。 - 前記液面評価管内の前記圧力制御は、排気コントロール・ガス供給量制御・またはそれらの組合せにより行い、これら制御でのパラメータの変化から液面検出を行う構成を特徴とする請求項1に記載のオゾン生成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001202923A JP4036623B2 (ja) | 2001-07-04 | 2001-07-04 | オゾン生成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001202923A JP4036623B2 (ja) | 2001-07-04 | 2001-07-04 | オゾン生成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003020210A JP2003020210A (ja) | 2003-01-24 |
JP4036623B2 true JP4036623B2 (ja) | 2008-01-23 |
Family
ID=19039637
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001202923A Expired - Lifetime JP4036623B2 (ja) | 2001-07-04 | 2001-07-04 | オゾン生成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4036623B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5242616B2 (ja) * | 2005-12-27 | 2013-07-24 | 住友重機械工業株式会社 | オゾン濃縮装置の運転方法 |
JP4653024B2 (ja) * | 2006-06-27 | 2011-03-16 | 住友重機械工業株式会社 | オゾン濃縮装置及びオゾン濃縮装置の運転方法 |
JP5470949B2 (ja) * | 2009-03-23 | 2014-04-16 | 株式会社明電舎 | 液体オゾン蓄積制御方法及びその装置 |
JP5245964B2 (ja) * | 2009-03-23 | 2013-07-24 | 株式会社明電舎 | 液体オゾン廃棄方法及び液体オゾン製造装置 |
-
2001
- 2001-07-04 JP JP2001202923A patent/JP4036623B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003020210A (ja) | 2003-01-24 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040611 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070215 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070417 |
|
A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070925 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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