JP2010161192A - 半導体ウエハのアライメント装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハWの外形以上の大きさを有する保持ステージ1と、保持ステージ1に載置されて吸着保持された半導体ウエハWの周縁位置を光学的に検知する光センサ2とを備えている。保持ステージ1は、例えば、その周縁に載置された半導体ウエハWの外周部に臨むスリット10を上下に貫通して形成する。このスリット10を上下から挟んで対向配備された投光器2aと受光器2bとからなる透過型の光センサ2でスリット10の部分で保持ステージ1から露出するウエハWの周縁を計測する。
【選択図】図1
Description
すなわち、第1の発明は、半導体ウエハの周縁情報に基づいて位置合わせを行う半導体ウエハのアライメント装置であって、
前記半導体ウエハの外形以上の大きさを有する保持ステージと、
前記保持ステージに載置されて吸着保持された半導体ウエハの周縁位置を光学的に検知する光学センサと、
前記保持ステージを回転させる駆動機構と、
前記光学センサの検出結果に基づいて半導体ウエハの位置合わせを行う制御部と、
を備えたことを特徴とする。
前記保持ステージの周方向の複数個所に、載置された半導体ウエハの外周部に臨むスリットを上下に貫通して形成し、
前記光センサを、前記スリットを挟んで対向配備された投光器と受光器とからなる透過型に構成してある、
ことを特徴とする。
前記保持ステージに半導体ウエハ搬送用のロボットアームの先端に備えられた吸着保持部が上下に抜差し可能な切欠き部を形成してある、
ことを特徴とする。
前記切欠き部を保持ステージの上下に貫通して形成してある、
ことを特徴とする。
前記保持ステージの少なくともウエハ外周部分の載置領域を透明部材で構成し、
前記光センサを、保持ステージを上下から挟んで対向配備された投光器と受光器とからなる透過型に構成してある、
ことを特徴とする。
前記保持ステージを、半導体ウエハの中心領域を載置する中央載置部と、
前記中央載置部を外囲する透明部材からなる環状の周部載置部とで構成し、
前記中央載置部が周部載置部より上方に突出するウエハ搬入搬出状態と、前記中央載置部と周部載置部とが面一となる半導体ウエハ載置状態とに切換え可能に、中央載置部と周部載置部とを相対的に昇降可能に構成してある、
ことを特徴とする。
ウエハ外周部分に形成された位置決め部を検出する光学カメラを備えた
ことを特徴とする。
2 … 光センサ
2a… 投光器
2b… 受光器
10 … スリット
11 … ロボットアーム
11a… 吸着保持部
12 … 切欠き
Claims (7)
- 半導体ウエハの周縁情報に基づいて位置合わせを行う半導体ウエハのアライメント装置であって、
前記半導体ウエハの外形以上の大きさを有する保持ステージと、
前記保持ステージに載置されて吸着保持された半導体ウエハの周縁位置を光学的に検知する光学センサと、
前記保持ステージを回転させる駆動機構と、
前記光学センサの検出結果に基づいて半導体ウエハの位置合わせを行う制御部と、
を備えたことを特徴とする半導体ウエハのアライメント装置。 - 請求項1に記載の半導体ウエハのアライメント装置において、
前記保持ステージの周方向の複数個所に、載置された半導体ウエハの外周部に臨むスリットを上下に貫通して形成し、
前記光センサを、前記スリットを挟んで対向配備された投光器と受光器とからなる透過型に構成してある、
ことを特徴とする半導体ウエハのアライメント装置。 - 請求項1または請求項2に記載の半導体ウエハのアライメント装置において、
前記保持ステージに半導体ウエハ搬送用のロボットアームの先端に備えられた吸着保持部が上下に抜差し可能な切欠き部を形成してある、
ことを特徴とする半導体ウエハのアライメント装置。 - 請求項3に記載の半導体ウエハのアライメント装置において、
前記切欠き部を保持ステージの上下に貫通して形成してある、
ことを特徴とする半導体ウエハのアライメント装置。 - 請求項1に記載の半導体ウエハのアライメント装置において、
前記保持ステージの少なくともウエハ外周部分の載置領域を透明部材で構成し、
前記光センサを、保持ステージを上下から挟んで対向配備された投光器と受光器とからなる透過型に構成してある、
ことを特徴とする半導体ウエハのアライメント装置。 - 請求項5に記載の半導体ウエハのアライメント装置において、
前記保持ステージを、半導体ウエハの中心領域を載置する中央載置部と、
前記中央載置部を外囲する透明部材からなる環状の周部載置部とで構成し、
前記中央載置部が周部載置部より上方に突出するウエハ搬入搬出状態と、前記中央載置部と周部載置部とが面一となる半導体ウエハ載置状態とに切換え可能に、中央載置部と周部載置部とを相対的に昇降可能に構成してある、
ことを特徴とする半導体ウエハのアライメント装置。 - 請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の半導体ウエハのアライメント装置において、
ウエハ外周部分に形成された位置決め部を検出する光学カメラを備えた
ことを特徴とする半導体ウエハのアライメント装置。
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