JP3820278B2

JP3820278B2 - 円板状体の中心決定装置

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Publication number: JP3820278B2
Application number: JP8219695A
Authority: JP
Inventors: 明石原; 真悟増本
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 1995-04-07
Filing date: 1995-04-07
Publication date: 2006-09-13
Anticipated expiration: 2021-09-13
Also published as: JPH08279547A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、円板状体の中心を決定する方法、及び円板状体の中心を決定する装置に関するものであり、より詳しくは円周部にオリエーテーションフラット又はノッチ等の切欠を有する半導体ウェハの中心位置を決定する方法及び装置に関するものものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、円板状体の中心を決定する方法としては、特開平３−１３６２６４号公報記載のものが存在した。
該公報に記載される方法は、回転手段の回転軸から、円板状体の任意の周縁部までの距離と、１８０度回転させた周縁部までの距離とをそれぞれ測定演算して中心を決定するものであり、該一対の周縁部を複数対測定した結果によりオリエーテーションフラット等の不連続部分を識別して、かかる不連続部分を除去した後に前記測定結果を利用して最小二乗正弦法を適用して円板状体の中心を求めるものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平３−１３６２６４号公報記載の如き従来の中心決定方法では、オリエーテーションフラットが短い場合等は、不連続部分が微小となり、不連続部分を識別することができず、誤差を含んだまま最小二乗正弦法を適用して、正確な中心を決定することができないおそれがあった。
【０００４】
そこで、本発明はこのような問題点を解決するためになされたもので、オリエーテーションフラット等の不連続部分を含む円板状体の中心を高い精度でもって決定することができる円板状体の中心決定方法を提供することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく、本発明に係る円板状体の中心決定装置は、円板状体を保持して回転する回転手段と、該回転手段に保持された円板状体の周縁部の位置を測定する周縁部測定手段と、前記回転手段の回転角度並びに該回転角度に対応する前記周縁部測定手段による円板状体の周縁部の位置を集積演算して中心を決定する演算手段とからなり、演算手段が、中心を決定するに際して円板状体の一点から円板状体の複数の周縁部までの距離をそれぞれ演算して、該演算により得られた距離データのうち大きいものから所定割合の距離データについて分散を計算して分散が最小となる仮想中心を円板状体の中心と決定する。
【０００６】
【作用】
本発明に係る円板状体の中心決定装置によれば、円板状体の一点から円板状体の複数の周縁部までの距離をそれぞれ周縁部測定手段で測定して演算手段で演算して、該演算により得られた距離データのうち大きいものから所定割合の距離データについて分散を計算することにより中心が決定されるから、最小二乗法を適用することを必要とせず、しかも、予めオリエンテーションフラット等の不連続部分を判別する必要がない。
即ち、本発明は、前記円板状体の一点と円板状体の中心とが完全に一致する場合には上記計算により求まる分散が略０となることを利用したものであり、これにより、本発明に係る円板状体の中心決定装置によれば、中心を決定するに際して、最小二乗法を適用することを必要とせず、また予めオリエンテーションフラット等の不連続部分を判別する必要がないのである。
【０００７】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面を参酌しながら説明する。
【０００８】
図１乃至図３は、本発明をウェハの中心決定装置に応用した例を示す。
図１乃至図３に示される中心決定装置は、ウェハ2 を保持して回転する回転手段3 と、該回転手段3 に保持されたウェハ2 の周縁部2aを測定する周縁部測定手段4 と、前記回転手段3 の回転角度並びに該回転角度に対応するウェハ2 の周縁部2aの位置を集積して演算する演算手段 (図示せず) と、前記回転手段3 を回転軸に対して垂直平面方向に移動可能な移動手段6 と、前記回転手段3 にウェハ2 を搬入及び搬出する搬送手段7 とから構成されている。
【０００９】
前記回転手段3 は、図１及び図２に示すように、上面に形成された吸着孔10a によりウェハ2 を吸着する円筒状の保持ステージ10と、該保持ステージ10を回転自在に保持するステージ受部18とから構成されている。
図２に於いて、11は、前記保持ステージ10の下部に連設された回転用パルスモーターであり、該回転用パルスモーター11によって回転手段3 は回転可能に設けられている。ここで、該回転用パルスモーター11は前記移動手段6 に固定されており、また、演算手段に接続され、演算手段に一定角度ωごとにデジタル信号を送信している。
ここで、この一定角度ωは０．０３６度であり、回転手段3 が一回転することにより演算手段には１０００パルスのデジタル信号が送信される。
また、前記吸着孔10a には、前記ステージ受部18の孔18a を介して吸引装置 (図示せず) が連通されており、ウェハ2 を吸着する為の吸引力が付与されている。
【００１０】
該回転手段3 を移動する前記移動手段6 は、Ｘ軸方向にスライド可能なＸ軸ステージ12と、Ｙ軸方向に移動可能なＹ軸ステージ13とから構成されている。
該Ｘ軸ステージ12は、機枠1 に敷設されたＸ軸リニアガイド14に載置されており、機枠1 に固定されたＸ軸パルスモーター15の駆動によってＸ軸方向へ移動可能に設けられている。
また、前記Ｙ軸ステージ13は、Ｘ軸ステージ12に敷設されたＹ軸リニアガイド16に載置されており、Ｘ軸ステージ12に固定されたＹ軸パルスモーター17の駆動によってＹ軸方向へ移動可能に設けられてなり、該Ｙ軸ステージ13には前記ステージ受部18及び回転用パルスモーター11が固定されている。
【００１１】
前記周縁部測定手段4 は、ウェハ2 の周縁部2aを測定すべく保持ステージ10の側方に設けられており、該周縁部測定手段4 は、略Ｌ字状の筒体20と、該筒体20の中に介在されたミラー21と、レンズ22と、線状光センサー23とから構成されている。
前記ミラー21は、筒体20の略Ｌ字状の屈折部に、上方からの光を側方へ反射すべく正面視斜め４５度で固定されている。
前記線状光センサー23は、ミラー21の側方の筒体20の端部に固定されており、前記レンズ22はミラー21からの反射光を線状光センサー23に集光すべくミラー21と線状光センサー23との間にて筒体20に固定されている。
ここで線状光センサー23は、複数の受光性素子が直線上に配列されたセンサーであり、前記演算手段に接続されて演算手段に受光のデータを送信している。
【００１２】
さらに、該周縁部測定手段4 は、回転手段3 の半径方向に移動可能な測定用ステージ24に固定されており、該測定用ステージ24は機枠1 に敷設された測定用リニアガイド25に載置されている。
これによって、周縁部測定手段4 は、測定用ステージ24が測定用パルスモーター26の駆動により移動することにより、回転手段3 の半径方向に移動することができる。
また、該測定用ステージ24には、ウェハ2 の周縁部2aの位置を容易に検出できるようウェハ2 の周縁部2a及びミラー21の上方に設けられた光源27が固着されている。
【００１３】
前記搬送手段7 は、図１及び図３に示すように、ウェハ搬送時にウェハ2 を吸着保持すべく先端部に吸着溝30を有する吸着アーム31と、該吸着アーム31を上下水平方向に自在に移動できるアーム移動テーブル32とから構成されている。
該アーム移動テーブル32は、上下方向に移動自在に搬送器機枠33に取付けられたＺ軸ステージ34と、該Ｚ軸ステージ34に回転可能に取付けられたθ軸ステージ35と、該θ軸ステージ35の半径方向に進出自在に該θ軸ステージ35に取付けられたＲ軸ステージ36とから構成されている。
ここで、Ｚ軸ステージ34、θ軸ステージ35及びＲ軸ステージ36は、それぞれ搬送器機枠33に載置固定されたＺ軸パルスモーター37、Ｚ軸ステージ34に載置固定されたθ軸パルスモーター38、及び、θ軸ステージ35に固定されたＲ軸パルスモーター39のそれぞれの駆動により移動又は回転可能に設けられている。
【００１４】
上述した全てのパルスモーター11,15,17,26,37,38,39は、保持ステージ10、Ｘ軸ステージ12、Ｙ軸ステージ13、測定用ステージ24及び吸着アーム31の回転又は移動を制御すべく、コントローラー (図示しない) に接続されている。また、該コントローラーは、前記演算手段の結果により各パルスモーター11,15,…を制御すべく、演算手段に接続されている。
【００１５】
前記演算手段は、図７に示す如く、ウェハ2 の一点を仮想中心として定める仮中心決め工程Ａと、該仮中心決め工程Ａで定められた仮想中心と円板状体の複数の周縁部2a, …との距離を演算する距離演算工程Ｂと、該演算結果により得られた距離のうち最大距離から所定割合の距離データの分散を計算する分散計算工程Ｃと、前記仮中心決め工程Ａにより定めた複数の仮想中心についてそれぞれ距離演算工程Ｂ及び分散計算工程Ｃを行い、複数の仮想中心のうち分散が最小となる仮想中心を円板状体の中心と決定する中心決定工程Ｄと、上記各工程により得られたデータをもとにオリエーテーションフラットを検出する不連続部分検出工程Ｅとを具備しているコンピュータである。
ここで、該演算手段は、回転手段3 が角度ω回転するごとに回転用パルスモーター11から送られてくるデータと、前記線状光センサー23から送られてくる受光データとにより、各回転角度に対するウェハ2 の周縁部2aの位置を、図４に示す如く回転中心Ｏc を原点とするＸＹ座標系に変換して、ウェハ2 の周縁部2aをＸＹ座標に集積している。ウェハ2 の周縁部2aの位置を示すＸ_m,Ｙ_mは、各回転角度φ_mに対する回転中心Ｏc から周縁部2aの距離をＲ_mとして、次式により計算される。
Ｘ_m＝Ｒ_m× cosφ_m
Ｙ_m＝Ｒ_m× sinφ_m
ここで、ｍは、回転数を示し、回転用パルスモーター11から送られた信号のうち何番目に送られたものかにより定まり、φ_mはｍ番目の信号が送られた際の回転角度であり、ω×ｍにより求まる。
【００１６】
該演算手段の一工程である前記仮中心決め工程Ａは、ウェハ2 の回転中心Ｏc にＸ軸方向及びＹ軸方向に一定距離ｘ₁,ｙ₁を増減変更して仮想中心Ｏ₁を決める工程である。
ここで、ｘ₁及びｙ₁の正負は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に増加する場合に正とする。
【００１７】
前記距離演算工程Ｂは、仮中心決め工程Ａにより決められた仮想中心Ｏ₁からウェハ2 の周縁部2aの距離Ｒ_1mを計算する工程である。
この計算は、次式により行われる。
Ｒ_1m＝Ｓｑｒｔ｛ (Ｘ_m−ｘ₁)² ＋ (Ｙ_m−ｙ₁)² ｝
ここで、Ｓｑｒｔ｛Ｆ（α）｝はＦ（α）の平方根を示す。
【００１８】
前記分散計算工程Ｃは、距離演算工程Ｂで得られた距離Ｒ₁₁，Ｒ₁₂，…について、値が大きいものから一定個ＮのＲ_1mについての分散Ｖc₁を計算する工程である。
ここで一定個Ｎは、２０個としている。
また、分散Ｖc₁の計算は次式によって行われる。
Ｖc₁＝｛Σ_NＲ_1m ² ＋ (Σ_NＲ_1m)²÷Ｎ｝÷Ｎ
ここで、Σ_Nは、値が大きいものから一定個ＮのＲ_1mを用いて計算される和を示す。
【００１９】
前記中心決定工程Ｄは、仮中心決め工程Ａによって定めた複数の仮想中心Ｏ₁,Ｏ₂,…についてそれぞれ距離演算工程Ｂ及び分散計算工程Ｃを行って得た複数の分散Ｖc₁, Ｖc₂, …のうち分散が最小となる仮想中心をウェハ2 の中心Ｏと決定する工程である。
この分散が最小となる仮想中心を求めて中心Ｏと決定する方法は、ｙの値が同一の複数の仮想中心について分散Ｖc をそれぞれ計算して、該分散Ｖc を最小とするｘの値を中心ＯのＸ座標の値と特定して、そして、このように特定されたｘの値と同一の複数の仮想中心について分散Ｖc をそれぞれ計算して、該分散Ｖc を最小とするｙの値を中心ＯのＹ座標の値と特定することにより、中心ＯのＸ座標及びＹ座標の値を特定して行われる。
ここで、Ｘ座標又はＹ座標の何れか一方の値が同一の複数の仮想中心についての分散Ｖc と、該仮想中心の他方の座標の値とは、図５に示す如き関係となる。
【００２０】
前記不連続部分検出工程Ｅは、中心決定工程Ｄにより決定された中心Ｏから各周縁部2a，…までの距離Ｒ_Omの最小値に対応する回転数ｍを判別して、オリエーテーションフラットに対応する部分を検出する工程である。
【００２１】
本実施例のウェハの中心決定装置は以上の構成からなるが、オリエーテーションフラットを有するウェハ2 を、ウェハハウスから搬送手段7 により取り出し、ウェハ2 の中心を決定する方法について以下説明する。
【００２２】
先ず、ウェハハウス内から吸着アーム31により取り出されたウェハ2 は、吸着アーム31が回転移動することにより保持ステージ10上に載置され、該保持ステージ10に吸着されて保持される。この際、ウェハ2 の中心と保持ステージ10の回転軸とは通常幾分かのズレを有する。
ここで、保持ステージ10及び吸着アーム31は何れもウェハ2 の裏面を吸着により保持するのでウェハ2 の上面を清潔に保持することが可能である。
【００２３】
そして、回転用パルスモーター11の駆動で保持ステージ10が回転することによりウェハ2 は回転して、このウェハ2 の回転時に光源27からの光を線状光センサー23が受光して、該線状光センサー23による受光のデータが回転用パルスモーター11からのデータと共に演算手段に送信される。
これらのデータが送信された演算手段は、各回転角度φ_mに対するウェハ2 の周縁部2aの位置を、図４に示す如く回転中心Ｏc を原点とするＸＹ座標系に変換して集積する。
【００２４】
次に、演算手段の仮中心決め工程Ａによって、一定距離ｘ₁,ｙ₁を増減変更して仮想中心Ｏ₁が定められ、該仮想中心Ｏ₁からウェハ2 の各周縁部2a，…までの距離Ｒ_1m，…を距離演算工程Ｂが計算して、この距離Ｒ_1m，…について最大のものからＮ個のＲ_1m，…についての分散Ｖc₁を分散計算工程Ｃは計算する。
【００２５】
そして、中心決定工程Ｄによって、仮中心決め工程Ａにより定めた複数の仮想中心Ｏ₁,Ｏ₂,…についてそれぞれ距離演算工程Ｂ及び分散計算工程Ｃが行われ、複数の分散Ｖ₁,Ｖ₂,…が計算され、複数の仮想中心Ｏ₁,Ｏ₂,…のうち分散が最小となる仮想中心が選定されてウェハ2 の中心Ｏと決定される。
【００２６】
さらに、不連続部分検出工程Ｅによって、中心Ｏから周縁部2a, …までの距離Ｒ_Omの最小値に対応する回転数ｍ’が判別され、オリエーテーションフラットに対応する部分が検出される。
ここで、ウェハ2 の中心Ｏから周縁部2aまでの距離Ｒ_Omと、回転手段3 の回転数ｍとは、図６に示す如き関係となる。
【００２７】
そして、ウェハ2 の中心ＯがＸＹ座標系の原点に位置し、オリエーテーションフラットの直線部がＸ軸と垂直となるように、Ｘ軸ステージ12及びＹ軸ステージ13を移動し、回転手段3 の回転を行う。
ここで、中心ＯのＸＹ座標系の原点への一致並びにオリエーテーションフラットの移動は、回転手段3 を回転した後にＸ軸ステージ12及びＹ軸ステージ13を移動させることにより行うことも可能である。
【００２８】
以上の工程を経て、中心ＯをＸＹ座標系の原点へ一致させ、オリエーテーションフラットの箇所も特定したウェハ2 は、搬送手段7 により次工程へ搬出される。
【００２９】
本実施例のウェハの中心決定装置は、上述の方法により中心を決定するものゆえ、中心を決定するに際して最小二乗正弦法を適用することを必要としないので、計算が簡単であり、高速処理が可能となる利点を奏する。
また、ウェハ2 の中心の決定を行うに際して、予めオリエーテーションフラット等の不連続部分のデータを排除する必要がないので、オリエーテーションフラット等の不連続部分が微小であっても、正確な中心を決定することができるという利点を有する。
【００３０】
さらに、本実施例のウェハの中心決定装置は、各ステージ10,13,…の移動及び回転をコントローラーで制御しているので、正確に各ステージ10,13,…を移動することができ、ウェハ2 の移動等を正確且つ容易に行うことができる。
【００３１】
尚、上記実施例では上述の構成より以上のような効果を奏したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく本発明の意図する範囲に於いて適宜設計変更可能である。
【００３２】
特に、本発明に係るウェハ等の円板状体の中心決定方法は、上記実施例の如く中心を決定する方法に限定される訳でなく、円板状体の一点から円板状体の複数の周縁部2a_,…までの距離をそれぞれ演算して、該演算により得られた距離データのうち最大距離から所定割合の距離データについて分散を計算して中心を決定する方法であれば良い。
例えば、円板状体の一点から周縁部2a_,…までの距離をそれぞれ演算して得られた距離データのうち最大距離から所定割合のものについて分散を計算して、この分散が所定値以下であれば該円板状体の一点を中心として決定するものであっても良い。このように中心を決定するものであれば、中心を決定する円板状体の形状が予め分かっている場合には、距離の演算及び分散の計算が減少できるので、計算が更に迅速に処理できるという利点を奏する。
【００３３】
さらに、本発明が仮中心決め工程Ａと距離演算工程Ｂと分散計算工程Ｃと中心決定工程Ｄとを具備する場合であっても、上記実施例の如き不連続部分検出工程Ｅは本発明の必須の要件ではないが、不連続部分検出工程Ｅを具備することによってオリエーテーションフラット等の不連続部分の位置を特定することが可能であるという利点を奏する。
【００３４】
また、本発明が中心決定工程Ｄを具備する場合にあっても、上記実施例のものに限定される訳ではない。即ち、上記実施例の中心決定工程Ｄは、ｙの値が同一の複数の仮想中心について分散Ｖc をそれぞれ計算して、該分散Ｖc を最小とするｘの値を中心ＯのＸ座標の値と特定して、そして、このように特定されたｘの値と同一の複数の仮想中心について分散Ｖc をそれぞれ計算して、該分散Ｖc を最小とするｙの値を中心ＯのＹ座標の値と特定するものであったが、中心決定工程Ｄの中心決定の手段はこれに限定されるものでなく、該中心決定工程Ｄは複数の仮想中心Ｏ₁,Ｏ₂,…について得た複数の分散Ｖc₁, Ｖc₂, …のうち分散が最小となる仮想中心をウェハ2 の中心Ｏと決定する工程であれば良い。
【００３５】
さらに、上記実施例においては回転用パルスモーター11が演算手段に一定角度ωごとにデジタル信号を送信しているが、本発明に係るウェハ等の円板状体の中心決定装置に於いては、演算手段が回転手段3 の回転角度を判別することが可能であれば、その具体的手段は何であっても良い。
【００３６】
即ち、本発明に係るウェハ等の円板状体の中心決定装置に於いて、演算手段は、円板状体の周縁部2aの回転角度のデータと、該回転角度に対応する周縁部2aの位置とのデータとを複数対集積できるものであれば良いのである。
但し、この回転角度と周縁部2aの位置とのデータの対は、分散の計算並びにオリエーテーションフラットの位置の特定をするに際して多いほうが好ましい。
特に、上記実施例の如く一定角度ωごとに演算手段に角度のデータが送信される場合、この一定角度ωを小さくすることによって回転角度のデータと該回転角度に対応する位置のデータとの対を多種類集積することができ、分散の計算並びにオリエーテーションフラットの位置の特定を正確に行うことができるという利点がある。
しかし、この一定角度ωは０．００３６度以下であると回転用パルスモーター11が高額になるという欠点がある為、０．００３６度以上であることが好ましい。
一方、この一定角度ωの上限は９０度であり、９０度以下であれば何度であっても良く、９０度以下であれば少なくとも回転角度に対応する位置のデータを四つ以上集積することができ、オリエーテーションフラット等の不連続部分以外の周縁部2aに対応するデータが三つ以上含まれるので、この三つのデータの分散を計算することにより中心の決定を行うことが可能である。
【００３７】
また、上記実施例に於いて分散を計算するに際して、一定個Ｎの距離データの分散を求めているが、本発明はこれに限定されず、本発明は距離データのうち大きいものから所定割合の距離データについて分散を計算するものであれば良く、例えば一定値以上の距離データについての分散を計算をするものであっても良い。
さらに、本発明に於いて、上記実施例の如く一定個Ｎの距離データの分散を求める場合は、その個数Ｎが上記実施例の２０個に限定される訳ではなく、前述の回転角度に対応する位置のデータの数Ｎ’により決定すれば良い。
つまり、分散を求める一定個Ｎは、回転角度に対応する位置のデータの数Ｎ’からオリエーテーションフラット等の不連続部分に対応すると考えられるデータの個数を引いた数以下にあれば良い。
【００３８】
また、上記実施例においては演算手段を一のコンピュターで構成したが、本発明のウェハ等の円板状体の中心決定装置はこれに限定されるわけではなく、演算手段を複数のコンピュターで構成する等、適宜設計変更することができる。
【００３９】
さらに、本発明に係るウェハ等の円板状体の中心決定装置に於いては、上記実施例の如き移動手段6 及び搬送手段7 は必須の要件ではなく、中心を決定することのみを目的するものであっても良い。
【００４０】
また、本発明のウェハ等の円板状体の中心決定装置が、上記実施例の如く中心ＯとＸＹ座標の原点とを一致させる手段を有するものであっても、回転手段3 を移動手段6 により移動させるものでなくとも良い。
例えば、決定された中心の位置ズレを、搬送手段7 により次工程へ搬出する際に、補正するものであっても良い。
このように、搬送手段7 によって位置ズレを補正するならば、回転手段3 を移動する為の移動手段6 を設ける必要でないので、製造費が安くなるという利点を奏する。
【００４１】
また、移動手段6 を設けた場合であっても上記実施例の如くＸ軸ステージ12とＹ軸ステージ13とから構成する必要はなく、要は決定された円板状体の中心をＸＹ座標の原点に一致させるべく回転手段3 を移動できるものであれば良い。
【００４２】
さらに、上記実施例に於いては、周縁部測定手段4 は回転手段3 の半径方向に移動可能な測定用ステージ24に固定されているので、ウェハ2 の大きさによって周縁部測定手段4 を半径方向に移動することが可能であるという利点を奏するが、本発明のウェハ等の円板状体の中心決定装置はこれに限定されるものではなく、周縁部測定手段4 は移動できないものであっても良い。
【００４３】
また、上記実施例に於いては周縁部測定手段4 を筒体20とミラー21とレンズ22と線状光センサー23とから構成するが、本発明のウェハ等の円板状体の中心決定装置はこれに限定されるものではない。
但し、本発明のウェハ等の円板状体の中心決定装置に於いて、周縁部測定手段4 を、レンズ22と、線状光センサー23と、該レンズ22と線状光センサー23との間に設けた筒体20等の外乱光排除手段とから構成して、光を線状光センサー23に集光可能に前記レンズ22を設けることが好ましく、これにより、外乱光が排除され且つレンズ22で集光された光のみが線状光センサー23に到達するので、円板状体の周縁部2aを容易に認識することができ、しかも廉価で製造することができるという利点を奏する。
【００４４】
【発明の効果】
叙上のように、本発明に係る円板状体の中心決定方法は、中心を決定するに際して最小二乗正弦法を適用することを必要としないので、高速処理が可能となるという効果を奏する。
【００４５】
また、本発明に係る円板状体の中心決定方法は、予めオリエーテーションフラット等の不連続部分を排除する必要がないので、計算が簡単であり、特にオリエーテーションフラット等の不連続部分が微小であっても計算を正確に行うことも可能であるという効果も奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例のウェハの中心決定装置の平面図。
【図２】同実施例の一部断面正面図。
【図３】同実施例の搬送手段の断面正面図。
【図４】ウェハの周縁部を表すＸＹ座標系。
【図５】中心を決定するに際して仮想中心と分散との関係を示すグラフ。
【図６】決定された中心からウェハの周縁部までの距離と回転手段の回転数との関係を示すグラフ。
【図７】演算手段の工程を示す図。
【符号の説明】
２…ウェハ 2a…周縁部３…回転手段
４…周縁部測定手段６…移動手段７…搬送手段
22…レンズ 23…線状光センサー
Ａ…仮中心決め工程Ｂ…距離演算工程Ｃ…分散計算工程
Ｄ…中心決定工程

Claims

円板状体を保持して回転する回転手段（３）と、該回転手段（３）に保持された円板状体の周縁部（２ａ）の位置を測定する周縁部測定手段（４）と、前記回転手段（３）の回転角度並びに該回転角度に対応する前記周縁部測定手段（４）による円板状体の周縁部（２ａ）の位置を集積演算して中心を決定する演算手段とからなる円板状体の中心決定装置であって、前記演算手段が、中心を決定するに際して円板状体の一点から円板状体の複数の周縁部（２ａ，…）までの距離をそれぞれ演算して、該演算により得られた距離データのうち大きいものから所定割合の距離データについて分散を計算して分散が最小となる仮想中心を円板状体の中心と決定する構成からなることを特徴とする円板状体の中心決定装置。
前記演算手段が、仮想中心を定める仮中心決め工程（Ａ）と、該仮想中心と円板状体の複数の周縁部（２ａ，…）との距離を演算する距離演算工程（Ｂ）と、該演算結果により得られた距離のうち最大距離から所定割合の距離データの分散を計算する分散計算工程（Ｃ）と、前記仮中心決め工程（Ａ）により定めた複数の仮想中心についてそれぞれ距離演算工程（Ｂ）及び分散計算工程（Ｃ）を行い、複数の仮想中心のうち分散が最小となる仮想中心を円板状体の中心と決定する中心決定工程（Ｄ）とからなる請求項１記載の円板状体の中心決定装置。
前記周縁部測定手段（４）が、レンズ（２２）と、線状光センサー（２３）と、該レンズ（２２）と線状光センサー（２３）との間に設けられた外乱光排除手段とからなり、前記レンズ（２２）が光を線状光センサー（２３）に集光可能に設けられてなる請求項１又は２記載の円板状体の中心決定装置。
前記回転手段（３）を回転軸に対して垂直平面方向に移動する移動手段（６）が設けられてなる請求項１又は２記載の円板状体の中心決定装置。
前記演算手段の演算結果により求められた円板状体の中心と回転軸とのズレを円板状体搬出時にて補正すべく移動自在な円板状体保持部材を備えた搬送手段（７）が設けられてなる請求項１又は２記載の円板状体の中心決定装置。