JPH1070177A

JPH1070177A - 円板形状体の位置決め方法及び装置

Info

Publication number: JPH1070177A
Application number: JP22540096A
Authority: JP
Inventors: Izuru Matsuda; 出松田; Hideo Haraguchi; 秀夫原口; Shigeyuki Yamamoto; 重之山本; Masashi Matsumori; 正史松森; Yukihiro Minamida; 幸廣南田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1996-08-27
Filing date: 1996-08-27
Publication date: 1998-03-10
Anticipated expiration: 2016-08-27
Also published as: JP3662357B2

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な構成で精密な位置決めを自動制御によ
り実現する円板形状体の位置決め方法及び装置を提供す
ることを目的とする。【解決手段】位置決め点上に回転中心がある回転ステ
ージ２上にウエハ（円板形状体）１０を置き、所定角度
毎の回転中心からウエハ１０の周縁までの距離を測距セ
ンサ８で測定し、回転中心とウエハ１０中心との位置ず
れ角度と位置ずれ距離とを演算し、位置ずれ角度だけ回
転ステージ２を回動させた後、ウエハ１０を一時離脱さ
せた状態でクラッチ５により回転ステージ２の回転をカ
ム４に伝達することにより、回転ステージ２を位置ずれ
距離だけ直線移動させる。ウエハ１０を再び回転ステー
ジ２上に置くとウエハ１０中心と回転中心とが一致する
ので、カム４により回転ステージ２を元の位置に戻す
と、位置決めがなされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウエハ等
のように外周の一部に切り欠き部であるオリエンテーシ
ョンフラット（以下、オリフラと略記する）又はノッチ
を有する円板形状体を所定位置に位置決めする円板形状
体の位置決め方法及び装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】円板形状体の一例である半導体ウエハを
加工あるいは検査する装置では、ウエハを所定位置に精
密に位置決めすることが要求される。単純には、円板形
状体を位置決め点上に移動させるには、円板形状体の側
面を機械的に位置決め点方向に押し出せばよいが、半導
体ウエハのように微細加工がなされたものでは治具等の
機械的な接触物から発生する微細な粉塵等も避ける必要
があり、多くはウエハを載置した回転ステージの位置を
移動制御することにより、ウエハを所定の位置決め点上
に移動させる方法が採用されている。

【０００３】例えば、図５に示す従来構成に係る位置決
め装置では、Ｘ−Ｙステージ３１上に搭載された回転テ
ーブル３５上にウエハ３０を載置し、ウエハ３０を回転
テーブル３５で回転させたときの所定角度毎のウエハ３
０の周縁位置を一次元走査光電変換によるセンサ３３で
測定する。センサ３３は移動距離が認識できる直線移動
ステージ３２上に搭載されているので、前記所定角度毎
にウエハ３０の周縁が検出されるまで直進移動した距離
から、回転中心とウエハ３０の中心位置との位置ずれ量
を検出し、その位置ずれ量だけＸ−Ｙステージ３１を移
動させることにより、ウエハ３０を所定位置に位置決め
している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術によれば、Ｘ−Ｙステージを使用しているため、
装置が複雑化しコスト高になる問題点があった。また、
センサを移動させる直線移動ステージを採用しているた
め、この移動精度や組付け精度、更には一次元走査光電
変換によるセンサの性能により、微小な位置ずれが検出
できない場合があり、回転テーブル上にウエハを載置す
る際に故意に大きな位置ずれ状態にして載置する等の手
間を要する問題点があった。

【０００５】本発明は、装置構造を小型化、簡易化しな
がらも精密な位置決め動作を自動化した円板形状体の位
置決め方法及び装置を提供することを目的とするもので
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本願の第１発明は、上記
目的を達成するため、周縁の一部にオリエンテーション
フラットまたはノッチが形成された円板形状体の中心位
置を所定位置に位置決めする円板形状体の位置決め方法
において、位置決め点上に回転中心がある状態を原位置
とする回転ステージ上に前記円板形状体を載置し、前記
回転ステージを１周回転させる３６０度を少なくとも５
分割７２度毎に前記回転中心から円板形状体の周縁まで
の距離を測定し、各測定値と既知の円板形状体の半径と
から、前記回転中心と円板形状体の中心位置との偏心状
態を偏心角度と偏心距離として演算し、前記回転ステー
ジを前記偏心角度だけ回動させた後、載置された円板形
状体を回転ステージ上から一時離脱させ、前記回転ステ
ージを前記偏心距離だけ移動させて円板形状体を再び回
転ステージ上に載置し、回転ステージの回転中心を前記
原位置に戻すようにしたことを特徴とする。

【０００７】上記位置決め方法によれば、円板形状体を
載置する回転ステージの回転中心は位置決め点上の原位
置にあり、測定と演算とにより求めた回転中心と円板形
状体の中心との偏心量だけ回転ステージを原位置から移
動させ、再び原位置に戻せば円板形状体の中心は位置決
め点上に位置決めされる。位置決めするための動作が簡
単なので、これに用いる装置構造も簡易化できる。

【０００８】また、本願の第２発明は、上記目的を達成
するため、周縁の一部にオリエンテーションフラットま
たはノッチが形成された円板形状体の中心位置を所定位
置に位置決めする円板形状体の位置決め装置において、
位置決め点上に回転中心がある状態を原位置として前記
円板形状体を保持して所定角度毎に回動する回転ステー
ジと、この回転ステージに連動して回動するカムと、こ
のカムの前記回転ステージとの連動を任意に着脱させる
連動着脱手段と、前記カムの回動により前記回転ステー
ジを前記原位置から所定方向に進退移動させる直線移動
手段と、前記回転ステージ上に載置された円板形状体の
周縁位置を測定する測距センサと、前記回転ステージ上
に円板形状体を搬送すると共に載置状態から任意のタイ
ミングで前記回転ステージから離脱させる搬送手段と、
前記回転ステージの所定角度毎に前記測距センサで測定
された前記回転中心から円板形状体の周縁までの距離測
定データと既知の円板形状体の半径とから前記回転中心
と円板形状体の中心との偏心角度及び偏心距離を演算す
る演算手段と、この演算手段の演算データに基づいて各
動作部の動作を制御する制御手段とを具備してなること
を特徴とする。

【０００９】上記構成によれば、回転ステージの所定角
度毎に測距センサにより測定された回転中心から円板形
状体の周縁までの距離と既知の円板形状体の半径とか
ら、演算手段により回転中心と円板形状体の中心との位
置ずれが偏心角度と偏心距離として演算できる。回転ス
テージの回転中心は位置決め点上の原位置にあるので、
演算された偏心角度だけ回転ステージを回転させ、角度
のずれをなくした後、搬送手段により円板形状体を回転
ステージ上から一時離脱させた状態で、回転ステージと
カムとの連動を連動着脱手段によりオンにすると、カム
の回動により直線移動手段が動作して回転ステージを原
位置から移動させる。この移動距離は偏心距離に相当す
る距離である。再び円板形状体を回転ステージ上に戻す
と、回転中心と円板形状体の中心とが一致しているの
で、回転ステージの回動によるカムの回動により回転ス
テージを原位置に戻すと、円板形状体の中心は位置決め
点上に位置決めされる。

【００１０】上記構成におけるカムは、ハート形カムを
採用することができる。ハート形カムの円運動から得ら
れる直線移動手段の直線運動が等速往復運動となるた
め、回動角度と直線移動距離とが比例関係になり、制御
が簡単で構造も簡単になる。

【００１１】また、上記回動動作着脱手段は、クラッチ
を採用することができる。クラッチにより位置決め動作
の任意のタイミングでカムへの回動を着脱できる。

【００１２】また、上記測距センサは、透過形レーザー
測長センサを採用することができる。透過形レーザー測
長センサは一次元走査光電変換センサに比して、精密な
測定ができるので、測定データから演算される位置ずれ
量の検出が正確になり、精密な位置決めが可能となる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の一実施形態について説明し、本発明の理解に供する。
尚、以下に示す実施形態は本発明を具体化した一例であ
って、本発明の技術的範囲を限定するものではない。

【００１４】図１は、本発明の一実施形態に係る円板形
状体の位置決め装置の構成を示す構成図で、円板形状体
として周縁の１箇所にノッチ１５が形成されたウエハ
（円板形状体）１０を位置決め対象物とし、このウエハ
１０の中心位置を所定の位置決め点上に位置決めすると
共に、前記ノッチ１５を所定の角度位置に位置決めする
構成がなされている。

【００１５】図１において、位置決め装置１は、回転ス
テージ２と、この回転ステージ２の回転中心に固定され
た回転軸１１を任意角度に回動させるモータ３と、前記
回転軸１１に電磁クラッチ（連動着脱手段）５を介して
取り付けられたハート形溝カム４と、このハート形溝カ
ム４のハート形状に形成された溝に滑動自在に嵌め込ま
れたカムフォロア６と、このカムフォロア６を軸支する
と共に前記モータ３を搭載した支持台（直線移動手段）
１２を所定方向に直線移動自在に支持する直線移動台
（直線移動手段）７と、前記回転ステージ２上に載置さ
れたウエハ１０の周縁位置を測定する測距センサ８と、
アーム１３上にウエハ１０を保持して搬送する搬送部９
と、各動作部の動作を位置決め動作手順に従って制御す
る制御部１６と、前記測距センサ８による測定値と予め
記憶しておいたデータをもとに位置決め動作を行うため
の演算を行う演算部１７とを具備して構成されている。

【００１６】尚、上記構成において、回転ステージ２及
び搬送部９のアーム１３には、図示は省略しているが、
載置されたウエハ１０の載置位置が移動しないように真
空吸着等の保持手段が設けられている。また、測距セン
サ８は透過形レーザー測長センサ、モータ３はステッピ
ングモータが用いられている。

【００１７】上記構成による位置決め動作を、図２に示
すフローチャートの手順に基づいて以下に説明する。
尚、同図に示されているＳ１、Ｓ２……は、動作手順を
示すステップ番号であって、本文に添記した番号に一致
する。

【００１８】位置決め対象とするウエハ１０は、図示し
ないウエハキャリアによって所定位置に移送され、次い
で搬送部９のアーム１３上に保持されて搬送され、回転
ステージ２上に載置される。搬送部９にはアーム１３を
昇降駆動させるシリンダ１４が設けられているので、ア
ーム１３によりウエハ１０を回転ステージ２上に載置し
た後、その位置でアーム１３は下降して待機する（Ｓ
１）。

【００１９】搬送部９によって回転ステージ２上にウエ
ハ１０が載置された状態を平面図として示すと、図３に
示すようになる。この載置状態では、回転ステージ２の
回転中心Ｏと、載置されたウエハ１０の中心Ｐとの間に
は、位置ずれが生じている。

【００２０】また、ノッチ１５の角度位置も位置ずれし
ている。回転ステージ２の回転中心Ｏは位置決め点上に
あり、これを回転ステージ２の原位置として、図示する
ようにウエハ１０が位置ずれした状態から、ウエハ１０
の中心Ｐを回転中心Ｏに一致させ、ノッチ１５を所定角
度位置に合わせるのが、本位置決めの目的である。

【００２１】図３に示すように、回転ステージ２の回転
中心Ｏを通るＸ軸線上に測距センサ８が配設されている
ので、まず、搬送されてきた状態（この状態を回動角度
０度とする）でのウエハ１０の回転中心ＯからＸ線上の
周縁までの距離Ｄを測距センサ８で測定する。測距セン
サ８は上記したように透過形レーザー測長センサを用い
ているので、センサを形成する発光体と受光体との間を
ウエハ１０が遮る長さから周縁の位置を精密に測定する
ことができる。この測距センサ８で測定されたデータは
演算部１７に入力され、予め記憶されている回転中心Ｏ
から測距センサ８までの距離データをもとに、測定され
た距離Ｄから回動角度０におけるＸ線上の周縁までの距
離Ｄ₁が演算される。

【００２２】上記回転中心Ｏからウエハ１０の周縁まで
の距離測定及び演算を、回転ステージ２が１周回転する
３６０度を等分割した５分割７２度毎に実行する。ま
ず、回転ステージ２の回転動作により、ウエハ１０を時
計方向に７２度回動させ、このときのＸ線上の周縁まで
の距離を測定演算し、回動角度７２度での距離Ｄ₂を求
める。同様にして、回動角度１４４度（回動角度０度か
らの回動角度、以下同じ）での距離Ｄ₃、回動角度２１
６度での距離Ｄ₄、回動角度２８８度での距離Ｄ₅を求
める。これによりウエハ１０を１周３６０度回転させて
７２度毎５分割した角度位置での周縁までの距離Ｄ₁〜
Ｄ₅が求められる（Ｓ２）。

【００２３】尚、上記ウエハ１０の周縁までの距離Ｄを
１周３６０度を５分割した７２度毎に測定するのは、ウ
エハ１０にノッチ１５が形成されているためであり、こ
のノッチ１５の位置で周縁までの距離Ｄを測定したデー
タが１つでもあると、ウエハ１０の正しい円の形状が求
められないため、最低４つの周縁までの距離データを得
るべく、少なくとも５分割７２度毎に周縁までの距離Ｄ
を測定する。

【００２４】上記測定演算によって求められた距離Ｄ₁
〜Ｄ₅と、既知のウエハ１０の半径Ｒのデータとをもと
にして、演算部１７は回転中心Ｏとウエハ１０の中心Ｐ
との位置ずれ距離（偏心距離）ｒ及び位置ずれ角度（偏
心角度）θを余弦定理及び三角関数加法定理を用いた演
算により求める（Ｓ３）。

【００２５】以下に示す式（１）から式（５）までが位
置ずれ距離ｒ及び位置ずれ角度θを求めるための前記余
弦定理を用いた演算式である。

【００２６】

【数１】

【００２７】上記したように、ウエハ１０にはノッチ１
５が形成されており、１周３６０度を７２度毎に５分割
して測定した各距離Ｄ₁〜Ｄ₅のうち、前記ノッチ１５
がＸ線上にある角度状態で測定されたデータが含まれて
いる可能性がある。ノッチ１５位置で測定されたデータ
はウエハ１０の正しい円周上の周縁までの距離とはなら
ない。そこで、上記式（１）〜式（５）を用いた三角関
数加法定理による演算で求められる位置ずれ距離ｒか
ら、ノッチ１５の位置で検出されたデータを除外する演
算を実行する。この演算処理は、次のようになされる。

【００２８】〈1〉式（１）、（２）、（３）を用いて
求められた位置ずれ距離ｒをｒ₁とする。

【００２９】〈2〉式（１）、（２）、（４）を用いて
求められた位置ずれ距離ｒをｒ₂とする。

【００３０】〈3〉式（１）、（２）、（５）を用いて
求められた位置ずれ距離ｒをｒ₃とする。

【００３１】〈4〉式（１）、（３）、（４）を用いて
求められた位置ずれ距離ｒをｒ₄とする。

【００３２】〈5〉式（１）、（３）、（５）を用いて
求められた位置ずれ距離ｒをｒ₅とする。

【００３３】〈6〉式（１）、（４）、（５）を用いて
求められた位置ずれ距離ｒをｒ₆とする。

【００３４】〈7〉式（２）、（３）、（４）を用いて
求められた位置ずれ距離ｒをｒ₇とする。

【００３５】〈8〉式（２）、（３）、（５）を用いて
求められた位置ずれ距離ｒをｒ₈とする。

【００３６】〈9〉式（２）、（４）、（５）を用いて
求められた位置ずれ距離ｒをｒ₉とする。

【００３７】〈10〉式（３）、（４）、（５）を用いて
求められた位置ずれ距離ｒをｒ₁₀とする。

【００３８】この演算処理〈1〉〜〈10〉で求められた
ｒ₁〜ｒ₁₀のうち、元のデータにノッチ１５位置で測定
したデータが含まれている場合、実数で同じ値となるの
は４個以上である。仮に、測定された距離Ｄ₁がノッチ
１５位置であったとすると、式（１）を用いて演算され
たｒ₁からｒ₆はすべて異なる値となる。しかし、距離
Ｄ₁を含まないで演算されたｒ₇からｒ₁₀は同じ値とな
るので、これが正しい位置ずれ距離ｒとなる。

【００３９】次に、位置ずれ角度θを求めるため、上記
演算処理によって求められた位置ずれ距離ｒを式
（１）、（２）、（３）に代入して、それぞれ位置ずれ
角度θを演算する。この式（１）、（２）、（３）に
も、ノッチ１５位置で測定した距離Ｄ₁〜Ｄ₃が含まれ
ている可能性があるが、少なくとも２個は同じ位置ずれ
角度θが演算結果として出るので、これが正しい位置ず
れ角度θとなる。

【００４０】上記演算により、回転中心Ｏとウエハ１０
の中心Ｐとの間の位置ずれ距離ｒと位置ずれ角度θとが
演算部１７によって求められた後、このデータは制御部
１６に入力され、入力データにもとづく制御動作がなさ
れる。

【００４１】まず、モータ３により回転ステージ２を位
置ずれ角度θの角度に回動させる。

【００４２】この動作により、ウエハ１０の中心ＰがＸ
線上に移動する（Ｓ４）。次に、搬送部９のシリンダ１
４を動作させて、ウエハ１０の下で待機状態にあるアー
ム１３を上昇させ、ウエハ１０を回転ステージ２上から
一時離脱させる（Ｓ５）。次いで、電磁クラッチ５を動
作させ、ハート形溝カム４と回転軸１１とを結合させ、
モータ３を動作させると、ハート形溝カム４が回動する
（Ｓ６）。

【００４３】図４はハート形溝カム４の形状を示す平面
図である。図示するように、回転軸１１を中心として偏
心した状態の溝がハート形に形成されているので、ハー
ト形溝カム４が回動すると、溝に滑動自在に嵌め込まれ
たカムフォロア６は、ハート形溝カム４の回動角度に対
応してＸ軸方向の位置が変化する。図１に示したよう
に、カムフォロア６は支持台１２上に軸支されているの
で、カムフォロア６の移動により直線移動台７上を摺動
自在に支持された支持台１２が移動する。ハート形溝カ
ム４の回動角度に対する直線移動ステージ７の直線移動
量を予め制御部１６に記憶させておけば、演算部１７か
ら入力された位置ずれ距離ｒの距離だけ支持台１２を移
動させることができる。そこで、モータ３によりハート
形溝カム４を回動させ、支持台１２を位置ずれ距離ｒだ
け移動させると、この支持台１２に支持されたモータ３
の回転軸１１上にある回転ステージ２もＸ軸方向に距離
ｒだけ移動する（Ｓ７）。

【００４４】続いて、搬送部９のシリンダ１４を動作さ
せ、回転ステージ２の上方で待機しているウエハ１０を
回転ステージ２上に再び載置する。先の動作ステップ
（Ｓ４）でウエハ１０の中心ＰはＸ軸上に移動してお
り、前の動作ステップ（Ｓ７）で回転ステージ２は位置
ずれ距離ｒだけＸ線上を移動しているので、載置された
ウエハ１０の中心Ｐと回転ステージ２の回転中心Ｏとが
一致する（Ｓ８）。

【００４５】ウエハ１０を位置決めしたい位置は、回転
ステージ２が移動しない原位置なので、モータ３を動作
させてハート形溝カム４を回動させ、カムフォロア６を
元位置（ハート形状の凹部）に戻すことにより、直線移
動台７上の支持台１２も元の位置に戻るので、回転ステ
ージ２をウエハ１０を載置して原位置に戻すことができ
る。これによって、位置決め点上の回転ステージ２の回
転中心Ｏにウエハ１０の中心Ｐを一致させた状態に位置
決めされる（Ｓ９）。この後、電磁クラッチ５の動作を
オフにして、回転軸１１とハート形溝カム４との結合を
解除する（Ｓ１０）。

【００４６】次に、ウエハ１０のノッチ１５を所定角度
位置に位置決めするため、モータ３により回転ステージ
２を回転させ、測距センサ８でノッチ１５を検出する
（Ｓ１１）。ノッチ１５が検出されたら、ノッチ１５が
所定の角度位置になるようにして回転ステージ２を停止
させる（Ｓ１２）。以上の動作手順によりウエハ１０の
所定位置への位置決めが終了する。

【００４７】上記構成においては、回転ステージ２を直
線移動させる手段としてハート形溝カム４を採用してい
るが、これを外形がハート形のハートカムとして、その
外周にカムフォロアを接触させる構造を用いることもで
きる。また、回転軸１１とハート形溝カム４との結合の
着脱に電磁クラッチ５を採用しているが、ワンウェイク
ラッチを用いて、モータ３を逆回転させたときにのみハ
ート形溝カム４が回動できるように構成することもでき
る。

【００４８】また、上記位置決め動作では、ウエハ１０
を１周３６０度を５分割した７２度毎に周縁までの距離
Ｄを測定しているが、５分割以上の角度で連続的に測定
・演算して、位置決め速度を高めることもできる。

【００４９】

【発明の効果】以上の説明の通り、本願の第１発明に係
る位置決め方法によれば、円板形状体を載置する回転ス
テージの回転中心は位置決め点上の原位置にあり、測定
と演算とにより求めた回転中心と円板形状体の中心との
偏心量だけ回転ステージを原位置から移動させ、再び原
点に戻せば円板形状体は位置決めされるので、位置決め
するための動作が簡単であり、これに用いる装置構造も
簡易化できる。

【００５０】また、本願の第２発明に係る位置決め装置
によれば、回転ステージの所定角度毎に測距センサによ
り測定された回転中心から円板形状体の周縁までの距離
と既知の円板形状体の半径とから、回転中心と円板形状
体の中心との位置ずれが偏心角度と偏心距離として演算
できる。この演算データに基づいて、回転テーブルの偏
心角度分の回動と、カムによる直線移動手段の偏心距離
分の移動とが制御手段によりなされるので、円板形状体
の中心は回転ステージの回転中心と一致する。

【００５１】この後、回転ステージを原位置にもどせ
ば、この原位置は位置決め点上なので、円板形状体はの
中心は位置決め点上に位置決めされる。このように、位
置決め点上にある回転ステージをカムによる直線移動に
より任意のタイミングで移動できる構成なので、構造が
簡単で自動制御により容易に精度のよい位置決めができ
る。

【００５２】上記構成におけるカムとしてハート形カム
を採用することができ、ハート形カムの円運動から得ら
れる直線移動手段の直線運動が等速往復運動となるた
め、回動角度と直線移動距離とが比例関係になり、制御
が簡単で構造も簡単になる。

【００５３】また、クラッチにより任意のタイミングで
カムへの駆動力の伝達を着脱できるので、装置の小型
化、簡易化がなされる。

【００５４】また、測距センサとして透過形レーザー測
長センサを採用すると、一次元走査光電変換センサに比
して、精密な測定ができるので、測定データから演算さ
れる位置ずれ量の検出が正確になり、精密な位置決めが
可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る円板形状体の位置決
め装置の構成を示す斜視図。

【図２】上記円板形状体の位置決め装置を用いた位置決
め動作の手順を示すフローチャート。

【図３】実施形態に係る位置ずれ角度と位置ずれ距離と
を求める方法を説明する平面図。

【図４】実施形態に係るハート形溝カムの構成を示す平
面図。

【図５】従来技術に係る円板形状体の位置決め装置の構
成を示す斜視図。

【符号の説明】

１位置決め装置２回転ステージ４ハート形溝カム（カム）５電磁クラッチ（連動着脱手段）７直線移動台（直線移動手段）８測距センサ９搬送部（搬送手段）１０ウエハ（円板形状体）１２支持台（直線移動手段）１５ノッチ１６制御部（制御手段）１７演算部（演算手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者松森正史大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者南田幸廣大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】周縁の一部にオリエンテーションフラッ
トまたはノッチが形成された円板形状体の中心位置を所
定位置に位置決めする円板形状体の位置決め方法におい
て、位置決め点上に回転中心がある状態を原位置とする回転
ステージ上に前記円板形状体を載置し、前記回転ステー
ジを１周回転させる３６０度を少なくとも５分割７２度
毎に前記回転中心から円板形状体の周縁までの距離を測
定し、各測定値と既知の円板形状体の半径とから、前記
回転中心と円板形状体の中心位置との偏心状態を偏心角
度と偏心距離として演算し、前記回転ステージを前記偏
心角度だけ回動させた後、載置された円板形状体を回転
ステージ上から一時離脱させ、前記回転ステージを前記
偏心距離だけ移動させて円板形状体を再び回転ステージ
上に載置し、回転ステージの回転中心を前記原位置に戻
すようにしたことを特徴とする円板形状体の位置決め方
法。
【請求項２】周縁の一部にオリエンテーションフラッ
トまたはノッチが形成された円板形状体の中心位置を所
定位置に位置決めする円板形状体の位置決め装置におい
て、位置決め点上に回転中心がある状態を原位置として前記
円板形状体を保持して所定角度毎に回動する回転ステー
ジと、この回転ステージに連動して回動するカムと、こ
のカムの前記回転ステージとの連動を任意に着脱させる
連動着脱手段と、前記カムの回動により前記回転ステー
ジを前記原位置から所定方向に進退移動させる直線移動
手段と、前記回転ステージ上に載置された円板形状体の
周縁位置を測定する測距センサと、前記回転ステージ上
に円板形状体を搬送すると共に載置状態から任意のタイ
ミングで前記回転ステージから離脱させる搬送手段と、
前記回転ステージの所定角度毎に前記測距センサで測定
された前記回転中心から円板形状体の周縁までの距離測
定データと既知の円板形状体の半径とから前記回転中心
と円板形状体の中心との偏心角度及び偏心距離を演算す
る演算手段と、この演算手段の演算データに基づいて各
動作部の動作を制御する制御手段とを具備してなること
を特徴とする円板形状体の位置決め装置。
【請求項３】カムがハート形カムであることを特徴と
する請求項２記載の円板形状体の位置決め装置。
【請求項４】連動着脱手段が、クラッチであることを
特徴とする請求項２記載の円板形状体の位置決め装置。
【請求項５】測距センサが、透過形レーザー測長セン
サであることを特徴とする請求項２記載の円板形状体の
位置決め装置。