JPH1144508A - 部品装着方法および装置 - Google Patents

部品装着方法および装置

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JPH1144508A
JPH1144508A JP9214179A JP21417997A JPH1144508A JP H1144508 A JPH1144508 A JP H1144508A JP 9214179 A JP9214179 A JP 9214179A JP 21417997 A JP21417997 A JP 21417997A JP H1144508 A JPH1144508 A JP H1144508A
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suction
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nozzle
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Genichi Tagata
源一 田形
Senjiyu Tagata
扇寿 田形
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 回転操作なしで、吸着部品を静止したままで
光を照射する角度を変えて、確実で高速に部品装着情報
を得ることである。 【解決手段】 角度を変えて光を対象物に照射して、射
影情報を得る。ノズルの中心座標は、精密な部品の投影
と円柱部の投影から計測算出する。部品情報を予め記録
し、効率的に部品装着情報を得る。吸着部品の位置補正
量、傾き角度、傾き方向、部品認識、外形点の座標など
を吸着部品の投影情報から得る。円柱部を有する部品ま
たは円柱部である異形部品の中心座標を得る。複数のヘ
ッドを設置し、複数の吸着部品を一括または選択的に処
理する。二対の発光部と受光部を直角に設置し、部品装
着情報を得る。平均操作で信頼性の向上を計る。移動中
に情報処理して、時間短縮を計る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術の属する技術分野】本発明は、部品をプリント基
板の所定の位置に正確に装着する部品装着方法及び装置
に関するものである。
【0002】
【従来技術】平行光を発する発光部と平行光を受ける受
光部を備えた従来の光学式部品装着装置は、次のように
して部品装着情報を得て、プリント基板に吸着部品を装
着する。 (1) 発光部から平行光を受光部に対して垂直のみに
吸着部品に向けて照射する。 (2) 部品を吸着したノズルを回転させて、複数の吸
着部品姿勢の投影情報を得る。 (3) この投影の情報からノズルの中心位置と吸着部
品の中心位置間の位置ずれを既知のノズルの位置情報を
基にして算出する。 (4) 吸着部品をプリント基板に装着する姿勢にする
ために、受光部にできる吸着部品の投影長さが最小にな
るように投影の長さを監視しながら吸着部品を回転させ
る。 (5) 吸着部品が装着する姿勢になったら、吸着部品
の位置ずれを補正して吸着部品をプリント基板に装着す
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の方式では次の課
題1から課題5が存在する。下記の課題1から課題5に
対して、本発明では (1) 部品情報を予め記録媒体に記録しておく。 (2) 回転操作なにでノズルに吸着させたままで部品
に斜めから平行光を照射して、吸着部品の装着情報を得
る。 によって解決を図る。
【0004】課題1:吸着部品の中心Y座標の情報を得
るために、吸着部品を複数回大きく回転させる必要があ
るので、 (1) 回転に多くの時間が掛かる。 (2) 回転によって吸着部品姿勢が変化することがあ
るとき、正確に装着に必要な情報が得られない。 の課題がある。そこで、本発明では、吸着部品を回転操
作しないで、吸着されたままで、実測される吸着部品の
複数の外形点からY軸方向の座標を得る、ことによって
解決を図る。
【0005】課題2:部品を吸着するノズル中心の受光
部に対する座標が不明であるので、 (1) 平行光の受光部座標系とノズル中心の部品装着
系との座標は完全に結合されていない。 (2) ノズルの座標位置情報は具備された光学系によ
る実測に基づいていない。 (3) 受光部のノズルに対する位置がずれていると、
補正値の正確な実測ができない。 (4) 静止したままで吸着部品の複数の外形点のX,
Y座標が決定できない。の課題がある。 そこで、本発明では、部品装着情報を得るのに十分な精
度のある部品を利用する。さらに(102−110)式
に示すようにノズルの円柱部の直接測定からノズルの中
心座標が判明し、これらより受光部系と部品装着系の座
標を結合させることによって解決を図る。
【0006】課題3:吸着部品の回転角度と吸着部品の
投影の長さは図9,図11と図12に示すようにピーク
値を持つので、 (1) ピーク値を持つために、ピーク値の周りでは投
影の長さの角度に対る変化率が小さく、投影の長さの少
しの変化に対して角度の変化が大きい。 (2) 広い範囲で1つの投影の長さに対して2つの角
度が存在し、角度と投影の長さは一対一対応していな
い。 から、正確に回転角度の設定が測定値からできない。そ
こで、本発明では、具体例1と2の(38)式で、吸着
部品の複数の外形点のY座標の差を利用する。具体例3
の(79−83)式で、吸着部品の複数の外形点の座標
の勾配から吸着部品の傾斜を求めることによって解決を
図る。
【0007】課題4: 吸着された部品の傾き方向が不
明であるので、 (1) 傾き方向を見るために、ノズルを左右回転させ
て吸着部品の回転方向を探さなければならない。 (2) 吸着部品の回転操作時間が必要になる。 の課題がある。そこで、本発明では、具体例1と2の
(15)式と(22)式または(32)式と(33)式
のように吸着部品の複数の外形点のY軸座標の差を利用
することよって解決を図る。さらに、具体例3で、吸着
部品の外形点の全ての測定から得られる(84−85)
の不等式で吸着部品の回転方向は解決する。
【0008】課題5:平行光は受光部に対して垂直にの
み放射するので、 (1) 吸着部品中心のY軸座標の値が、多くの回転操
作で求められる。 (2) 吸着部品中心のY軸座標の値を求めるのに多く
の手間を要する。 の課題がある。そこで、光学機構を回転させて、吸着部
品に斜めから平行光を照射して、吸着部品は回転させな
いで、静止のままで、斜めに光を吸着部品に照射するこ
とで(23)式と(26)式、(29)式と(34)
式、そして(91)式と(92)式に示すように吸着部
品の中心Y軸座標が投影の実測データから求めることに
よって解決を図る。
【0009】本発明では、吸着部品の回転操作をしない
で、吸着部品に複数の角度から平行光を照射することに
より、多くの部品装着情報が得られる。そこで、前記し
た課題を解決するための対策により確実で高速に部品装
着情報を求めるための部品装着方法および装着装置を提
供することを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ための本発明は、部品を吸着してこれを所定位置に装着
する方法と装置にあって、光センサ機構は発光部と受光
部から構成され、前記発光部は0度を含む任意角度から
光を吸着部品に照射し、前記受光部で前記吸着部品の投
影を受光する部品装着方法および装着装置である。
【0011】前記発光部は光学機構と回転機構から構成
され、前記光学機構は発光素子とレンズまたは発光素子
アレイから構成され、前記回転機構に設置され、そして
前記回転機構は回転角度制御され、光の照射角度を設定
する。
【0012】前記光学機構を具備する前記回転機構は、
直接駆動により前記回転角度制御される。
【0013】前記ノズルに吸着された部品装着情報を得
るのに十分な精度の部品を、前記回転機構で回転させ、
前記受光部に発生する前記吸着部品の投影が最小となる
回転角をもって前記吸着部品の傾き角度を算出し、前記
傾き角度により前記発光部の前記受光部に対する傾きを
補正し、前記発光部から前記受光部に垂直に光が照射さ
れる回転光学機構の0度を定める。
【0014】前記部品を吸着してこれを所定位置に装着
する方法と装置にあって、前記部品装着情報を得るのに
十分な精度の部品をノズルに吸着させ、前記吸着部品の
回転操作および光の照射角度操作により、前記受光部に
おける吸着部品の投影情報から演算により実測ノズル中
心座標を求める部品装着方法および装着装置である。
【0015】前記部品を吸着してこれを所定位置に装着
する方法と装置にあって、ノズルの円柱部に0度を含む
複数の角度から光を前記発光部から照射し、前記受光部
における前記円柱部の投影情報から前記実測ノズル中心
座標を求める部品装着方法および装着装置である。
【0016】前記部品を吸着してこれを所定位置に装着
する方法と装置にあって、光を前記受光部に対して0度
を含む複数の角度から前記ノズルに吸着された前記部品
に前記発光部から照射し、前記受光部における前記吸着
部品の投影情報から、ノズル中心座標の導入または導入
なしで、前記部品装着情報を演算で求める部品装着方法
および装着装置である。
【0017】前記部品を吸着してこれを所定位置に装着
する方法と装置にあって、円柱部を有する吸着部品また
は円柱部からなる吸着部品の前記円柱部に0度を含む複
数の角度から光を前記発光部から照射し、前記受光部に
おける前記円柱部の投影情報から前記円柱部の中心座標
を得て、ノズル中心座標の導入または導入なしで、前記
部品装着情報を求める部品装着方法および装着装置であ
る。
【0018】部品情報をメモリに予め記録し、これを用
いて前記受光部における前記吸着部品の投影情報から前
記部品装着情報を演算により求める。
【0019】前記ノズルを回転することなく、前記ノズ
ルに吸着された前記部品を静止のままの姿勢で、前記受
光部における前記吸着部品の投影情報から前記部品装着
情報を演算により求める。
【0020】吸着部品外形の複数点の座標を求める。
【0021】回転補正前の吸着部品の中心座標とノズル
中心座標との中心位置差に傾き角度の回転補正が必要な
ときのみ回転補正を行い、装着姿勢の吸着部品の中心座
標とノズル中心座標とのずれである補正値を基に所定の
位置に吸着部品を装着する。
【0022】前記吸着部品外形の複数点の座標から吸着
部品の部品情報を算出する。
【0023】前記部品情報の導出、そしてまたは導出さ
れた前記部品情報と予め記録された前記部品情報との比
較に基づき前記吸着部品の認識を許容範囲内で行う。
【0024】前記吸着部品外形の複数点のY軸方向の座
標の差による極値をもたない曲線により吸着部品の傾き
角を導く。
【0025】前記吸着部品外形の複数点のX軸方向の座
標差と前記Y軸方向の座標の差との交点の前後で傾きの
大きな曲線により前記吸着部品の傾き角度を求める。
【0026】前記吸着部品外形の複数点の座標の比較に
より吸着部品の回転方向を定める。
【0027】前記吸着部品外形の複数点の座標から吸着
部品の傾き角を算出する。
【0028】前記吸着部品外形の複数点の座標の差の微
分から吸着部品の装着姿勢を定める。
【0029】前記ノズルに吸着された前記部品に、前記
回転機構を回転させ、前記発光部により前記受光部に発
生する前記吸着部品の投影が最小となる回転角により吸
着された前記部品の傾き角度と傾き方向を算出し、そし
てまたは回転角と前記吸着部品の投影情報から算出され
る前記吸着部品情報と予め記録された前記部品情報との
比較による部品認識を前記許容範囲内で行う。
【0030】前記部品装着情報を導く課程で、前記吸着
部品の形状などの諸原因による誤差を軽減するために平
均操作をする。
【0031】前記ノズルに吸着された前記部品の投影に
よる部品情報が記録された前記部品情報と比較して異常
なときには、前記部品が前記ノズルに異常に吸着された
ことを判別する。
【0032】複数のノズルに吸着された複数の前記吸着
部品が前記吸着部品の相互の投影位置が前記受光部で重
ならないように配列され、かつ選択的にまたは全ての前
記吸着部品を同時または逐次部品装着情報処理する。
【0033】前記ノズルにより前記部品を吸着後、前記
吸着部品を所定の位置に装着する間に前記部品装着情報
を導出する。
【0034】前記光センサ機構により前記吸着部品の投
影情報から演算により前記部品装着情報を求める。
【0035】照射角度設定ができるレーザビームを照射
する前記発光部を走行させながらレーザビームで対象物
を照射し、前記受光部における前記対象物の投影情報か
ら前記部品装着情報を求める。
【0036】画像処理装置と前記光センサ機構を併用し
前記部品装着情報を求める。
【0037】前記発光部と前記受光部からなる前記光セ
ンサ機構を2対設置し、前記部品装着情報を求める。
【0038】
【発明の実施の形態】本発明の実施例を図面に基づいて
説明する。
【0039】部品装着情報とは、部品装着装置10にお
いて、部品を吸着して装着するあらゆることに関する本
発明に記述するまたは導き出される情報である。部品装
着情報処理とは部品装着処理を行う過程である。ノズル
中心座標の導入または導入なしと表しているのは、ノズ
ル中心座標と装着姿勢に修正された吸着部品の中心座標
とのずれである補正値の算出には、ノズル中心座標の導
入が必要である部品装着情報であるが、部品の傾きなど
はノズル中心座標の導入がなくても求まる部品装着情報
であるためである。
【0040】具体例の説明では、平行光で行う。しかし
ながら、光は照射角度が任意に設定でき、部品装着情報
が得られる光でよい。平行光やレーザービームも光の例
である。例えば、図32に示すようにレーザービーム4
7を吸着部品43に照射する角度が変えられるレーザビ
ーム発光部45を受光部12と平行に移動体46を走行
させて本発明と同様にノズル、部品などの対象物の投影
情報処理で部品装着情報が得られる。投影情報とは、発
光部から対象物に光を照射して対象物に光が遮られて受
光部12に生ずる投影に関する情報である。
【0041】移動体46はレーザビーム発光部45を具
備している。レーザビーム発光部45はレーザビーム4
7の照射角度を可変できる。移動体46はガイドレール
44をAからBの間を左右に移動できる。受光部12と
ガイドレール44との平行度の誤差はレーザビーム47
の照射角度によって補正する。レーザビーム発光部45
をある角度に設定する。Aから移動体46をBの方向に
移動させる。受光部12でレーザビーム47を受光す
る。(b)の位置を過ぎるとレーザビーム47は受光部
12に吸着部品43に遮られて影となる。この位置x1
を記録する。(a)の位置でレーザビーム47は受光部
12に検出される。この位置x2を記録する。これら受
光部12における端の投影情報を処理して下記の具体例
に従って部品装着情報を得る。これより、投影情報と
は、発光部から光が対象物に照射され、受光部における
対象物により生ずる投影に関するものである。
【0042】図25に示すように、コンベア部1のベル
トコンベアで運ばれてきたプリント基板2が部品を装着
するヶ所で固定機構で固定される。部品供給部8にセッ
トされているフィーダ9から部品をヘッドユニット4に
あるヘッドで吸着する。部品をノズルに吸着後、吸着部
品を装着するのに関する情報処理は、Y軸サーボモータ
5によりX軸ガイドレール6をY軸方向にY軸ガイドレ
ール7に沿って移動させ、X軸サーボモータ3によりヘ
ッドを搭載したヘッドユニット4をX方向に移動させる
間に行い、プリント基板2の措定の位置に吸着部品を装
着する間に行われる。こうすれば、ヘッドユニット4が
移動する時間が有効に活用できるので、吸着部品の装着
時間が短縮できる。移動間に吸着部品の装着に関する情
報処理を完了するために、回転操作が不要になるように
部品をノズル22で吸着したままでヘッドユニット4に
ある光センサ機構41で吸着部品の実測処理を行い、吸
着部品の装着時間短縮を実現する。
【0043】平行光を照射し、照射角度が可変できる回
転光学機構11について説明する。発光部21と受光部
12から構成される光センサ機構41の外観は図31の
上部に示してある。回転光学機構11の概要を図1に示
す。回転光学機構11は回転機能を持つ発光部21の一
種である。
【0044】受光部12と平行な位置O−O’から左右
にθ1とθ2の角度にレーザダイオード13とレンズ14
から構成される光学機構15が傾斜した場合を示してい
る。図2に示すようにノズルに吸着された部品に、平行
光18を斜め方向から照射するためには、回転機構16
により光学機構15から照射される平行光18を斜めに
しなければならない。回転光学機構11は、回転機構1
6と光学機構15を装着し、回転角制御によって回転角
が設定される。レーザダイオード13から放射されるレ
ーザ光19をレンズ14で平行光18にする。レーザダ
イオード13とレンズ14から構成されている光学機構
15は、回転する回転機構16に設置されている。光学
機構15の回転中心はレンズ14の中心Oc とレーザダ
イオード13の中心を結ぶ線AーA’の線上にあればよ
い。図1と図2では、レンズ14の中心Oc を中心にし
て、平行光18の照射角度が設定される。平行光18が
CCDやホトダイオードアレイのような受光部12の受
光範囲内に平行光18が照射されるように左右に回転さ
れる回転機構16の角度は制限されている。この回転機
構16はレンズ14の中心Ocに左右に回転する。
【0045】エンコーダ組み込みの超音波モータ駆動、
モータ駆動によりベルトやギヤーなしので回転機構16
を直接回転させ、パルス数で回転角度設定によって回転
制御が行われる光学機構15は軽量であるので、この回
転機構16で十分角度設定ができる。
【0046】図2には、受光部12と平行な位置O−
O’から左右にθ1とθ2の角度に光学機構15を傾斜さ
せ、平行光18を吸着部品17に照射するようすを示し
ている。図2のO−O’の受光部12との平行度は以下
のように計測される。図3に示すように、ノズル22に
横の長さABがLである部品装着情報を得るのに十分な
精度のある部品20を装着させる。
【0047】受光部12と平行になるように回転光学機
構11をセットする。光学機構15から平行光18を吸
着部品20に照射する。受光部12での投影の長さが最
小になるように吸着部品20をノズル22で回転させ
る。受光部12での投影の長さがS1−S2とする。S1
−S2=Lのときは、光学機構15と受光部12は平行
である。S1−S2>Lのときは、光学機構15と受光部
12は平行でないので、
【数1】 φ=arccos{L/(S1−S2)} …(1) だけ、吸着部品20は受光部12より傾いていることに
なる。吸着部品20が傾いている方向は不明であるの
で、光学機構15と吸着部品20をそれぞれ同一方向に
φだけ回転させる。受光部12での投影の長さがLとな
る位置が光学機構15が受光部12と平行になる位置で
あるので、回転光学機構11の回転角の0度を決定す
る。これは、発光部21が受光部に垂直に光を照射する
ことに相当する。吸着部品20の辺ABは図2のO−
O’と平行となる。
【0048】(1)式を導き出す課程を利用すると、ノ
ズルに吸着された部品の傾斜角度と傾斜方向が判明す
る。この傾斜角度と最小投影幅から吸着された吸着部品
の寸法が判明し、予め記録された部品情報との比較によ
り許容範囲内での部品認識に役立つ。
【0049】図4によりノズル22の座標を実測データ
の投影情報に基づいて算出する。ノズル22は偏芯する
ことなくヘッドに正しく付けなければならない。ノズル
22の偏芯は、ノズル22の回転から生ずる受光部12
のノズル22の投影のゆらぎから検定できる。発光部2
1は、図1と図2に示すように0度を含む複数の角度か
ら光を照射する光学系である。
【0050】平行光18が発光部21から受光部12に
垂直に照射される平行光18の照射角を0度とする。受
光部12軸上をX軸とし、X軸の垂直方向をY軸の原点
とする。X,Y軸の原点は図4に示すように受光部12
の左端Oとする。このX,Y座標は本発明で以後も使わ
れる。
【0051】平行光18を照射して受光部12に対する
ノズル22の中心央座標Qc(xc、yc)を実測データ
から算出する。
【0052】回転機構16によって光18を受光部12
に対して垂直に照射するように設定する。円柱部のノズ
ル22に平行光18を照射して、図4のように受光部1
2上の影となるノズル22の円柱部両端の位置をN1と
N2とする。N1とN2の中間がノズル中心のX座標xcに
なるので、受光部12に対するノズル22のX軸方向の
座標xcがつぎのように定まる。
【数2】 xc=(N1+N2)/2 …(2)
【0053】図5の吸着部品201と吸着部品202の
各辺は、受光部12から吸着部品201と吸着部品20
2を吸着するノズル22の位置を正確に実測するのに、
十分な精度のある部品であるとする。吸着部品201と
202は辺の長さがL1とL2(L1≧L2)であるとす
る。L1は辺ABとDCの長さである。L2は辺DAとC
Bの長さである。
【0054】吸着部品201の一辺L2が受光部12と
水平になるようにノズル22に吸着させてノズル22を
回転させて調整する。この状態で、受光部12に垂直に
平行光18を吸着部品201に照射する。吸着部品20
1外形点AとBの投影位置をK1とする。吸着部品20
1の外形点DとCの投影位置をK2とする。吸着部品2
01の投影が受光部12でK1−K2=L2となるように
ノズル22を回転させて調整する。そこで、吸着部品2
01の外形点Aの座標をA(K1、M1)とすると、他の
外形点はB(K1、M1−L1)、C(K1−L2、M1−L
1)とD(K1−L2、M1)になる。
【0055】光学機構15を時計と反対方向に角度α回
転させて、平行光18を吸着部品201に照射し、外形
点CのX軸上での投影をp1とすると、
【数3】 tanα=(p1−K2)/(M1−L1) …(3) が得られる。図5から、L1とcotαは予め与えら
れ、p1とK2は実測できるので、
【数4】 M1=L1+(p1−K2)cotα …(4) になる。
【0056】平行光18が受光部12に対して垂直に照
射するように光学機構15を0度にする。吸着部品20
2の外形点A’とD’の投影位置をK3とする。吸着部
品202の外形点B’とC’の投影位置をK4とする。
次に、ノズル22を時計方向に(時計と逆方向でも良
い)90度回転させて、図5のように吸着部品202の
投影の位置が受光部軸上のK3とK4に生じ、L1=K3−
K4になるようにノズル22を回転させて吸着部品20
2の姿勢を調整する。そこで、吸着部品202の各外形
点の座標は、A’(M1−yc,−K1+xc)、B’(M
1−L1−yc,−K1+xc)、C’(M1−L1−yc,−
K1+L2+xc)とD’(M1−yc,−K1+L2+xc)
となる。A’のX軸上の投影の位置は、
【数5】 K3=M1−yc …(5) となる。(4)式と(5)式から、
【数6】 yc=L1+(p1−K2)cotα−K3 …(6) が得られ、L1とcotαは予めわかり、p1、K2とK3
は測定できるので、受光部12に対してノズル22のY
軸方向の座標ycが定まる。
【0057】平行光18の照射角度をαにする。吸着部
品202のB’が受光部12のP2に投影されると、
【数7】 cotα=(−K1+xc)/(P2−K4) …(7) になる。この式から
【数8】 xc=(P2−K4)cotα+K1 …(8) が得られる。K1、K4とxcは測定できるので、吸着部
品201と202の測定からノズル22の中心座標が求
まる。以上より、吸着部品の回転操作と光の照射角度操
作で、受光部12に対するノズル22の中心座標Qc
(xc,yc)が決定できた。
【0058】このように実測によって定まるノズル中心
を実測ノズル中心座標と定義する。(6)式と(8)式
の中心座標はたとえノズルの形状が円柱でなくても、任
意のノズルの形状に適用できる。この特徴は非常に重要
なものである。ノズル22の中心座標が部品装着装置に
おける座標として分かっているので、これで、受光部1
2に対するX,Y座標系が、ノズル22の中心座標を介
して、ノズル22の中心座標を含む部品装着装置10の
座標と結合した。
【0059】図4に示すように受光部12の原点0は部
品装着装置10の1座標として定義できる。ノズル中心
座標は、次の場合がある。 (1) 上述の実測値のX,Y座標を使用する。 (2) 部品装着機のX,Y座標を使用する。 (3) 実測値と部品装着機における既知座標の組み合
わせである。 そこで、これらから1つを任意に選んで部品装着情報を
得ることができる。さらに、これらから1つを随時選ぶ
こともできる。
【0060】図17と図19に示すようにノズルの数が
単数、複数の場合でも各座標は測定できる。
【0061】部品装着情報の取得についての方法につい
て以下に説明する。平行光18が吸着部品に斜めから照
射されると、ノズルの取り扱いで述べたように吸着部品
の複数の外形点のY座標が測定できる。吸着部品がどん
なに傾いていても、吸着部品の2つの外形点は平行光1
8で測定可能である。そこで、少なくとも2つの異なる
角度から、平行光18を吸着部品に照射して、吸着部品
の中心座標を決定する。
【0062】具体例について同様の処理を行う。
【0063】具体例1では、図6に示すように2つの異
なる角度から発光部21から平行光18を受光部12に
照射する。3以上の異なる角度からの照射も可能であ
る。この場合には、吸着部品23の2つの外形点の受光
部12からのY軸の座標が3以上求まり、それらの平均
操作から、吸着部品23の複数の外形点の形状ひずみな
どの諸原因によるY軸の座標のゆらぎが少なくなる。操
作や処理に時間が掛かるので、2回の最小限の角度操作
ですませる。図6において、吸着部品23の中心をPc
(xg,yg)、部品23を吸着したノズル22の中央
位置をQc(xc,yc)、部品装着姿勢24の中心座標
を、P0(xk,yk)とする。受光部12上をX軸と
し、Y軸の0軸とする。X軸の原点は受光部12の左端
とする。吸着部品23は時計方向に角度θ傾いてノズル
22に吸着されているとする。吸着部品23の外形点の
座標を、A(x1,y1)、B(x2,y2)、C(x3,
y3)とD(x4,y4)とする。
【0064】図6に示すように吸着部品23に受光部1
2に対してα1とα2の角度から平行光18を照射する。
ここで、α1≠α2で、α1≠0とα2≠0とする。図6の
外形点Aで、吸着部品23の外形点Aの投影の位置をR
1とR2とすると、
【数9】 tanα1=(R1−x1)/y1 …(9) tanα2=(R2−x1)/y1 …(10) となる。(9)式と(10)式でy1は共通であるの
で、
【数10】 tanα1/tanα2=(R1−x1)/(R2−x1) …(11) が成り立つ。(9)式から、
【数11】 x1=(R1・tanα2−R2・tanα1)/(tanα2−tanα1) …(12) となる。
【0065】(9)式と(10)式より、
【数12】 y1=(R1−x1)cotα1 …(13) =(R2−x1)cotα2 …(14) となる。(13)式と(14)式の平均を行って、
【数13】 <y1>=[{(R1−x1)cotα1}+{(R2−x1)cotα2}]/2 …(15) を採用してもよい。以後< >は平均を表す。すなわ
ち、少なくとも2つの角度から平行光18を吸着部品2
3に照射すると、吸着部品23の外形点のY座標が複数
求まり、平均操作によって吸着部品23の複数の外形点
の形状のばらつきを軽減することができる。(13−1
5)式の差が許容範囲内にあれば、(13−15)式の
いずれを採用してもよい。角度α1とα2は与えられ、R
1とR2は実測できるので、吸着部品23の外形点Aのx
1と、吸着部品23の外形点Aから受光部12までの距
離y1が定まる。
【0066】同様に、図6の吸着部品23の外形点Cか
ら、
【数14】 tanα1=(R3−x3)/y3 …(16) tanα2=(R4−x3)/y3 …(17) となる。y3は共通であるので、
【数15】 tanα1/tanα2=(R3−x3)/(R4−x3) …(18) が成り立つ。(18)式から、
【数16】 x3=(R3・tanα2−R4・tanα1)/(tanα2−tanα1) …(19) となる。
【0067】(16)式と(17)式より、
【数17】 y3=(R3−x3)cotα1 …(20) =(R4−x3)cotα2 …(21) となる。(20)式と(21)式の平均を行って、
【数18】 <y3>=[{(R3−x3)cotα1}+{(R4−x3)cotα2}]/2 …(22) を採用してもよい。(22)式から角度α1とα2は与え
られ、R3とR4は実測でき、x3は(19)式から導か
れるので、るので、吸着部品23の外形点Cのy3は定
まる。(20−22)式の差が許容範囲内にあれば、
(20−22)式のいずれを採用してもよい。以上から
吸着部品の複数の外形点のAとBの座標が求まった。
【0068】x1とx3は実測できるので、ノズル22で
吸着された部品23のX軸の中心xgは、
【数19】 xg=(x1+x3)/2 …(23) である。ノズル22で吸着された部品23のY軸の中心
ygは、
【数20】 yg=(y1+y3)/2 =(R1+R3−x1−x3)cotα1/2 =(R2+R4−x1−x3)cotα2/2 =(R1−x1)cotα1+(R4−x3)cotα2 …(24) =(R2−x1)cotα2+(R3−x3)cotα1 …(25) である。ygの平均を行って、
【数21】 <yg>=[{(R1+R3−x1−x3)cotα1/2} +{(R2+R4−x1−x3)cotα2/2}]/2 …(26) を採用してもよい。(24−26)式の差が許容範囲内
にあれば、(24−26)式のいずれを採用してもよ
い。(23)式と(26)式から吸着された部品23の
中心座標は決定できた。
【0069】そこで、ノズル22中心座標と吸着部品2
3の中心座標のずれ(xh,yh)は、(xc,yc)とし
てノズル中心座標を使えば、吸着部品23の中心座標で
平均値を使うと、
【数22】 xh=xg−xc …(27) yh=<yg>−yc …(28) となる。最終補正値(xf,yf)は吸着部品23の傾き
角度θで補正された(49)式と(50)式で与えられ
る。
【0070】具体例2は、上述の具体例1のα1=0と
α2=αの場合である。具体例1は2つの異なる角度か
ら平行光18を受光部12に照射する一般的な取り扱い
である。α1=0とは、平行光18を受光部12に対し
て垂直に照射することである。α1=0も平行光18の
照射角度0度も角度設定の1つとする。α1=0とする
と、具体例1の(13)式などが成立しないので、特別
に取り扱う。tanα1=0となり、式の計算が簡単に
なるので、より実用的である。
【0071】図7において、傾いてノズル22に吸着さ
れた部品23の中心をPc(xg,yg)、部品23を
吸着したノズル22の中央位置は上述で実測されたまた
は予め機械系として与えられたQc(xc,yc)、部品
装着姿勢24の中心座標をP0(xk,yk)とする。ノ
ズル22に吸着された部品23の吸着部品の外形点の座
標をA(x1,y1)、B(x2,y2)、C(x3,y3)
とD(x4,y4)とする。
【0072】平行光18を吸着部品23に受光部12に
対して垂直に照射する。これは具体例1のα1=0に相
当する。吸着部品23の外形点のAとCが受光部12上
のR1とR3に影ができる。これより、吸着部品23中心
xgが次式で求まる。
【数23】 xg=(R1+R3)/2 …(29)
【0073】次に、吸着部品23は固定のままで、平行
光18を受光部12に対して角度α傾けて吸着部品23
に照射する。吸着部品23外形点のAとCが受光部12
上のR2とR4に影ができる。図7の吸着部品23の外形
点AとCから、
【数24】 tanα=(R2−R1)/y1 …(30) =(R4−R3)/y3 …(31) となる。(30)式と(31)式より、
【数25】 y1=(R2−R1)cotα …(32) y3=(R4−R3)cotα …(33) となる。以上から吸着部品の複数の外形点のAとBの座
標が求まった。
【0074】これより、吸着部品23のY軸方向の中心
ygは、
【数26】 yg=(y1+y3)/2 =(R2−R1+R4−R3)cotα …(34) になる。(29)と(34)式から傾いて吸着された部
品23の中心座標(xg,yg)が定まる。
【0075】そこで、ノズル22中心座標と吸着部品2
3の中心座標のずれ(xh,yh)は、(xc,yc)とし
てノズル中心座標を使えば、
【数27】 xh=xg−xc …(35) yh=yg−yc …(36) となる。具体例1の(27)式と(28)式と同様の式
が得れる。
【0076】具体例1と具体例2では、以下に述べる事
項は同じであるので、具体例2で議論を進める。
【0077】平行光18を受光部12に対して垂直に照
射するように設定する。吸着部品23の傾きについて調
べる。吸着部品23時計方向に傾いていると、吸着部品
23の外形点AとCに平行光18が当たる。吸着部品2
3が時計と反対方向に傾いていると、外形点BとDの座
標に平行光18が当たる。しかし、吸着部品23の実際
の傾きは実測するまで判別できない。
【0078】2つの外形点AとB(またはBとD)が測
定されると、回転方向は(15)式と(22)式または
(32)式と(33)式から導き出されるy1の大きさ
とy3の大きさを比較することによって判別できる。そ
こで、(15)式と(22)式または(32)式と(3
3)式からy1とy3の大きさを比較することによって吸
着部品23を回転する方向が判別できる。すなわち、x
1>x3でy1>y3ならば、ノズル22に吸着された部品
23は時計方向に傾いている。反対に、x2>x4でy2
<y4ならば、ノズル22に吸着された部品23は時計
と反対方向に傾いている。この場合は、B(x2,y2)
とD(x4,y4)が実測され、外形点AとCが外形点D
とBに相当する。
【0079】照射角が0度であるとき、2つの外形点A
とCは最初に検出される。具体例1では、α1の設定は
0度から始めればよい。吸着された部品の傾き方向は最
初に検出される複数の外形点の座標から決定できる。こ
れは他の具体例にも適用できる。
【0080】図6と図7の吸着部品24が角度θ時計方
向に傾いてノズル22で吸着されているとする。そし
て、図6と図7に示すように吸着部品23の辺の大きさ
L1とL2の部品情報が予めメモリに記録されて、わかっ
ているとする。後で示す図9や図11のような特性は、
θ=0を対称軸に±90度の範囲内で左右対称である。
傾いた方向が実測による計算で分かるので、時計と反対
方向に傾いている場合に、ノズル22に吸着された部品
23を吸着部品24にするには、時計方向に回転すれば
よい。時計方向に傾いた吸着部品23は時計と反対方向
に回転すればよい。すなわち、回転の方向のみ異なるだ
けで、時計方向に傾いた状態で解析した結果は両者に適
用できる。
【0081】そこで、以下、吸着部品23は時計方向に
傾いた状態で議論を進める。
【0082】図26で吸着部品の両辺L1とL2は予め部
品情報として記録されてるので、利用できる。図26か
らBGはL1sinθで、HBはL2cosθで、AGは
L1cosθで、FGはL2sinθで、AFは(L1c
osθ−L2sinθ)となるので、x1−x3=HGと
y1−y3=AFが成り立つ。そこで、次式が得られる。
【数28】 x1−x3=L1sinθ+L2cosθ …(37) y1−y3=L1cosθ−L2sinθ …(38) (37)と(38)式から、
【数29】 ここで、φ=arctan(L2/L1)とする。(3
9)式と(40)式から、
【数30】 θ=arcsin{(x1−x3)/L0}−φ …(41) θ=arccos{(y1−y3)/L0}−φ …(42) が得られる。ここで、
【数31】 とする。
【0083】発光部21から平行光18が受光部12に
対して、垂直に照射された状態にあるとする。図8に示
すように、縦長の吸着部品25が受光部12に対して平
行にある状態から左右に±90度変化させる。(37)
式と(38)式を使用するとき、時計方向のときはθは
正で、時計と反対方向のときはθは負になる。
【0084】(37)式と(48)式でL1=1.0、
L2=0.5とすると、図9のグラフが得られる。図1
0に示すように、横長の吸着部品26が受光部12に対
して平行にある状態から左右に±90度変化させる。L
1=0.5、L2=1.0で(37)式と(48)式の計
算結果を図11に示す。吸着部品25は(a)L1=
1.1,L2=0.6、(b)L1=1.0,L2=0.
5、(c)L1=0.9,L2=0.4のように10%の
寸法誤差が許されている場合、吸着部品姿勢が図8につ
いて(37)式と(38)式の変化のグラフを図12に
示す。
【0085】部品情報として吸着部品23の縦L1と横
L2の長さが予めわかっているので、吸着部品23のA
とCの外形点の座標から図7に示す吸着部品24にする
ために回転すべき角度θが(41)式と(42)式から
算出できる。なお、傾き角度θが許容範囲内で少なけれ
ば、回転補正は行わわれない。この回転補正とは、吸着
部品を装着姿勢にするのに必要な回転である。
【0086】そこで、図7の場合はこの(41)式と
(42)式のθ角度を利用して吸着部品23を吸着して
いるノズル22を、受光部12の吸着部品投影が最小に
なるまで、時計と反対方向に回転させて、このずれを補
正してプリント基板2に吸着部品24を装着する。
【0087】ここで、吸着部品23の傾斜している角度
θが計測される。まず、図8に示すように部品25が縦
長に吸着された場合について傾斜角度を求める。±45
度以内では、受光部12における投影の長さが図10の
横長の吸着部品姿勢の方が図8の縦長の吸着部品姿勢の
方より大きいので図8の縦長と図12の横長の区別は簡
単にできる。現実には部品供給機から吸着部品23をノ
ズル22で吸着するときは、45度も傾くことはまれで
あるので、吸着部品姿勢の判別は受光部12における投
影の長さから簡単にできる。
【0088】なお、図9と図11から分かるように、
(37)式によるグラフには角度の変化に対してピーク
が存在する。ところが、(38)式のグラフにはピーク
が存在しないので、受光部12の投影の長さから吸着部
品傾斜の角度を算出するには、(38)式が適してい
る。しかし、図9と図11より、(37)式と(38)
式の特性を上手に利用すれば希望の吸着部品姿勢にする
ことができる。
【0089】(37)式と(38)式の左辺が等しいと
きの角度をθa≧0とすると、
【数32】 L1sinθa+L2cosθa=L1cosθa−L2sinθa …(44) になる。L1≧L2のとき、(44)式から、
【数33】 θa=arctan(L1−L2)/(L1+L2) …(45) が得れれる。図9の交点はθaに相当する。L1≦L2の
ときは、図11から存在しないことが分かる。このθa
は(37)式と(38)式が交わる交点の角度である。
【0090】(37)式と(38)式をθで微分する
と、
【数34】 d(x1−x3)/dθ=L1cosθ−L2sinθ …(46) d(y1−y3)/dθ=−(L1sinθ+L2cosθ) …(47) となる。図9から分かるように交差点付近では、角度θ
が減少するときは、(37)式と(38)式の傾きは正
反対である。角度θに対する(37)式と(38)式の
内から左辺の変化が大きい方が、回転角度の算出には有
効である。このように、角度θ対する投影の変化が大き
いことを判別するのは、精度よく吸着部品23の回転を
設定するのには大切なことである。
【0091】いま、傾斜の大きさの比較を行うために、
(46)式と(47)式を同符号にする。そこで、(4
7)式の負の符号を取り除く。そして、(46)式と
(47)式の傾斜が等しいときには、
【数35】 L1sinθ+L2cosθ=L1cosθ−L2sinθ …(48) が成り立つ。この(48)式は(44)式と同一であ
る。これより、(44)式の有効性が示された。
【0092】(41)式と(42)式から設定回転角度
θを算出する。(44)式から交差角度θaを算出す
る。図9から、θa>θのときは、図12から誤差によ
る影響が、(38)式は少なく、 角度に対する変化量
の大きな(38)式による回転角度θを採用する。0≦
θa≦θのときは、(37)式のL1sinθが優勢であ
るから、(41)式の吸着部品傾斜角度を主に採用す
る。
【0093】しかし、図12から、実際にノズル22で
吸着される部品23の誤差は不明であるから、(41)
式と(42)式から算出される吸着部品傾斜角度との差
が少なければ、(41)式の吸着部品傾斜角度を採用す
る。差が大きい場合は、(42)式の吸着部品傾斜角度
を採用する。
【0094】平行光18は受光部12に対して垂直に照
射されている。ノズル22で吸着部品23を回転させ
て、θaを越えたとき、(44)式より交点のθaより小
さな傾斜角度θでは、(38)式より傾斜の大きな(3
7)式を使って投影の長さが極小になる吸着部品姿勢を
観測しながら探索する。(46)式と(47)式の両式
ともに0度近傍では、曲線の極性が著しく変わるので、
(37)式と(38)式を計算しながら監視すると、精
度よく投影の長さが最小になる吸着部品姿勢の探索が可
能である。投影の長さが最小になる位置でノズル22の
回転を停止させて、吸着部品23の傾きの補正を終了す
る。
【0095】図10の横長姿勢の場合は、図11から
(42)式より吸着部品傾斜角度を算出したほうがよ
い。(38)式は、ピークを持たない、角度に対する変
化の傾斜が大きいので、吸着部品傾斜角度の算出に適し
ている。平行光18は受光部12に対して垂直に照射し
ているので、(46)式と(47)式の両者ともに0度
近傍では、曲線の極性が著しく変わるので、両者を計算
しながら監視すると、精度よく投影の長さが最小になる
吸着部品姿勢の探索が可能である。そこで、投影の長さ
が最小になる角度が実測できる(37)式で確認する。
図10の場合、この回転操作で吸着部品の傾きの補正を
完了する。以上より、吸着部品外形の複数点の座標から
吸着部品の傾き角を算出することができた。
【0096】プリント基板2に装着するために吸着部品
24の投影幅が最小になる位置まで吸着部品23を回転
させた後、吸着部品24の中心座標とノズル22中心座
標とのずれは回転角θで計算しなければならない。
【0097】ノズル中心座標を用いて、装着姿勢の吸着
部品24とノズル22の中心値の間のずれを補正値(x
f,yf)とすると、(27)式と(28)式または(3
5)式と(36)式から、
【数36】 xk−xc=xf=xhcosθ−yhsinθ …(49) yk−yc=yf=yhcosθ+xhsinθ …(50) となる。
【0098】吸着部品23の回転姿勢は修正されたの
で、(49)式と(50)式を使って部品装着の修正を
行い、プリント基板2に吸着部品24を装着する。以上
の議論は、吸着部品25が縦長L1≧L2としたが、横長
L1<L2の吸着部品26にも適用できる。
【0099】発明の具体例3について述べる。
【0100】ノズルに部品を吸着したままで部品装着情
報を得る。一般的に、部品供給部8にある部品27の姿
勢は、プリント基板2に装着する姿勢に近く、ノズル2
2に吸着された部品27は希望姿勢に対して大きく左右
に傾くことは少ない。このような場合は、本方式ではよ
り多くの情報が得られる。そこで、左右に余り大きく傾
いていない場合について述べる。
【0101】図7と6に示すように他の2つの外形点は
吸着部品によって遮られるために、大きく傾いている吸
着部品の外形の4点が実測不能のときは、具体例1また
は2で処理する。
【0102】図13と図14において、傾いてノズル2
2に吸着された部品27の中心をPc(xg,yg)、
部品27を吸着したノズル22の中央位置は上述で実測
された、または機械座標系として与えられた、または両
者の組み合わせによるQc(xc,yc)、部品装着姿勢
の中心座標をP0(xk,yk)とする。図13と図14
のノズル22に吸着された部品27の外形点の座標を、
A(x1,y1)、B(x2,y2)、C(x3,y3)とD
(x4,y4)とする。辺ABの長さをL1a、辺CDの長
さをL1b、辺ADの長さをL2a、辺BCの長さをL2bと
する。
【0103】図13のようにノズル22に吸着された部
品27に時計と反対方向に傾いた2つの角度α1とα2か
ら平行光18を照射する。時計方向であっても、全く同
様の処理ができるので、問題はない。吸着部品27の外
形点AとCによりX軸上にできる投影の端の位置をR
1、R2、R3とR4する。
【0104】次に、図14のようにノズル22に吸着さ
れた部品27に時計と同じ方向に傾いた2つの角度β1
とβ2から平行光18を照射する。吸着部品27の外形
点BとDによりX軸上にできる投影の端の位置をR5、
R6、R7とR8する。
【0105】α1≠0、α2≠0とα1≠α2とする。α1
=0を満たすときは図7に示す具体例2従って処理しな
ければならない。図13から、Aについては
【数37】 tanα1=(R1−x1)/y1 …(51) tanα2=(R2−x1)/y1 …(52) となる。(51)式と(52)式よりx1を消去する
と、
【数38】 tanα1−tanα2=(R1−R2)/y1 …(53) が得られる。α1≠α2であるから、(53)式より、
【数39】 y1=(R1−R2)/(tanα1−tanα2) …(54) となる。
【0106】(51)式と(52)式から、
【数40】 x1=R1−y1・tanα1 …(55) x1=R2−y1・tanα2 …(56) となる。ここで、(55)式と(56)式の平均をとっ
て、
【数41】 <x1>={R1+R2−y1(tanα1+tanα2)}/2 …(57) を採用してもよい。(55−57)式の差が許容範囲内
にあれば、(55−57)式のいずれを採用してもよ
い。これで、A(x1,y1)の座標が決定された。
【0107】そして、Cについては、
【数41】 tanα1=(R3−x3)/y3 …(58) tanα2=(R4−x3)/y3 …(59) (58)式と(59)式よりx3を消去すると、
【数42】 tanα1−tanα2=(R3−R4)/y3 …(60) が得られる。α1≠α2であるから、(60)式より
【数43】 y3=(R3−R4)/(tanα1−tanα2) …(61) が得られる。
【0108】(58)式と(59)式から、
【数44】 x3=R3−y3・tanα1 …(62) x3=R4−y3・tanα2 …(63) となる。ここで、吸着部品27の形状誤差の影響を少な
くするために、(62)式と(63)式の平均をとっ
て、
【数45】 <x3>={R3+R4−y3(tanα1+tanα2)}/2 …(64) を採用してもよい。(62−64)式の差が許容範囲内
にあれば、(62−64)式のいずれを採用してもよ
い。これで、Cの座標(x3,y3)が決定された。
【0109】図14から、Bについては
【数46】 tanβ1=(R5−x2)/y2 …(65) tanβ2=(R6−x2)/y2 …(66) (65)式と(66)式よりx2を消去すると、
【数47】 tanβ1−tanβ2=(R5−R6)/y2 …(67) が得られる。β1≠β2であるから、(67)式より
【数48】 y2=(R5−R6)/(tanβ1−tanβ2) …(68) となる。
【0110】(65)式と(66)式から、
【数49】 x2=R5−y2tanβ1 …(69) x2=R6−y2tanβ2 …(70) となる。ここで、吸着部品27の誤差の影響を少なくす
るために、(69)式と(70)式の平均をとって、
【数50】 x2={R5+R6−y2(tanβ1+tanβ2)}/2 …(71) を採用してもよい。(69−71)式の差が許容範囲内
にあれば、(69−71)式のいずれを採用してもよ
い。これで、B(x2,y2)の座標が決定された。
【0111】そして、Dについては、
【数51】 tanβ1=(R7−x4)/y4 …(72) tanβ2=(R8−x4)/y4 …(73) (72)式と(73)式よりx4を消去すると、
【数52】 tanβ1−tanβ2=(R6−R7)/y4 …(74) が得られる。β1≠β2であるから、(74)式より
【数53】 y4=(R7−R8)/(tanβ1−tanβ2) …(75)
【0112】
【数54】 x4=R7−y4 tanβ1 …(76) x4=R8−y4 tanβ1 …(77) となる。ここで、吸着部品27の誤差の影響を少なくす
るために、(76)式と(77)式の平均をとって、
【数55】 <x4>={R7+R8−y3(tanβ1+tanβ2)}/2 …(78) を採用してもよい。(76−78)式の差が許容範囲内
にあれば、(76−78)式のいずれを採用してもよ
い。これで、Dの座標(x4,y4)が決定された。以上
から吸着部品の複数の外形点のA、B、CとDの座標が
求まった。
【0113】吸着部品27の外形点A(x1,y1)、B
(x2,y2)、C(x3,y3)とD(x4,y4)の座標
が実測算出できたので、吸着された部品27の傾きθが
算出できる。
【0114】吸着部品27の複数の外形点の座標の比較
から傾きの方向が判明する。そこで、吸着部品27の傾
きの方向が分かっているので、符号を取り除くために絶
対値をとる。吸着部品の複数の外形点AとB、BとC、
CとD、DとAの各座標から
【数56】 θ1=arctan|(y1−y2)/(x1−x2)| …(79) θ2=arctan|(y2−y3)/(x2−x3)| …(80) θ3=arctan|(y3−y4)/(x3−x4)| …(81) θ4=arctan|(y4−y1)/(x4−x1)| …(82) が求まる。吸着部品27の誤差の影響を少なくするため
に、(79−82)式の平均を取って、
【数55】 θ=(θ1+θ2+θ3+θ4)/4 …(83) を吸着部品27の傾き角度θとする。(79−83)式
の差が許容範囲内にあれば、(79−83)式のいずれ
を採用してもよい。
【0115】吸着部品27の傾きの方向は、外形点Dが
外形点Aより上、または外形点Cが外形点Bより上にあ
れば、吸着部品27は時計方向に傾いている。すなは
ち、
【数56】 y4>y1またはy3>y2 …(84) である。(78)と逆の不等式
【数57】 y4<y1またはy3<y2 …(85) が成り立てば、時計と反対回りに吸着部品27は傾いて
いる。この具体例3では、予め記録された部品情報を全
く使わないで傾き方向と角度が分かる。これより、吸着
部品外形の複数点の座標の比較により吸着部品の回転方
向を定めることができた。
【0116】吸着された部品27の中心点は、
【数58】 xg1=(x1+x2)/2 …(86) xg2=(x3+x4)/2 …(87) yg1=(y1+y2)/2 …(88) yg2=(y3+y4)/2 …(89) となる。吸着部品27の誤差の影響を少なくするため
に、それぞれの平均を取ると、
【数59】 <xg>=(xg1+xg2)/2 …(90) <yg>=(yg1+yg2)/2 …(91) になる。
【0117】ノズル22の中心と吸着部品27の中心と
のずれは、
【数60】 xh=<xg>−xc …(92) yh=<yg>−yc …(93) になる。(92)式と(93)式の<xg>と<yg>は
(86−91)式の差が許容範囲内にあれば、(86−
91)式のいずれを採用してもよい。
【0118】受光部12に平行光18が垂直に照射され
ている。プリント基板2の適切な姿勢で装着するために
吸着部品27を角度θをめどに吸着部品27の投影が最
小になるまで回転させるので、装着する吸着部品の中心
とノズル22の中心とのずれを回転角θで計算するとよ
い。ここで、ノズル中心座標は、実測値または部品装着
装置系の既知の値または実測値と部品装着装置系の既知
の値の組み合わせである。装着部品とノズル22の中心
値の間のずれを補正値(xf,yf)とすると、実際のず
れは次のようになる。
【数61】 xk−xc=xf=xhcosθ−yhsinθ …(94) yk−yc=yf=yhcosθ+xhsinθ …(95)
【0119】辺ABと辺CDの大きさは、
【数62】 になる。
【0120】同様に、辺ADと辺BCの大きさは、
【数63】 になる。
【0121】吸着部品27の誤差の影響を少なくするた
めに、平均を取ると、吸着部品の両辺の長さは、
【数64】 <L1>=(L1a+L1b)/2 …(100) <L2>=(L2a+L2b)/2 …(101) となる。(100)式と(101)式の<L1>と<L2
>は(96−99)式の差が許容範囲内にあれば、(9
6−99)式のいずれを採用してもよい。これより、部
品情報として吸着部品27の寸法が許容範囲で判明する
ので、現在ノズル22に吸着されている部品27が該当
する部品であるかが予め記録された部品情報との比較に
よって許容範囲内で認識し検証できる。以上のことは、
吸着部品が縦長L1≧L2としたが、横長L1<L2にも適
用できる。
【0122】具体例4では、2つの発光部と受光部によ
る処理について述べる。
【0123】同じ部品装着情報が上述の具体例1から3
までの方法で二対の発光部と受光部から得られる。具体
例1から3を参照してノズルの中心点と吸着部品36に
関する情報が簡単に得られるためには、受光部12Aと
12Bは直行するように設定されなければならない。発
光部と受光部の平行度の補正は(1)式で行う。受光部
12Aと12Bは互いに独立しているので、原点をノズ
ル中心とすると便利である。ノズル中心を原点にして
も、各座標は平行移動するのみであるから、得られる特
徴にはなんの影響はない。吸着部品36の外形点の座標
をA(x1,y1),B(x2,y2),C(x3,y3)D
(x4,y4)とする。
【0124】図5または図30で受光部12Aと12B
からのノズルの位置を計測する。または、受光部12A
と12Bからのノズルの位置は部品装着系のノズルの座
標を利用する。ノズルの中心を通して受光部12Aと1
2Bは結合する。
【0125】図27において、受光部12Aの両端をF
とEとする。光部12Bの両端をFとGとする。受光部
12Aのノズル中心をOaとする。受光部12Bのノズ
ル中心をObとする。受光部12AはX軸と平行で、受
光部12BはY軸と平行とする。
【0126】ノズル中心を原点としているので、吸着部
品の中心点はP0(xg−xc,yg−yc)である。補正
値が吸着部品中心になる。
【0127】具体例1または2の方法で、吸着部品36
のA(x1,y1)とC(x3,y3)は受光部12Aの投
影からは定まる。同様に、吸着部品36のBとDは受光
部12Bの投影からB(x2,y2)とD(x4,y4)は
定まる。具体例3の方法では、受光部12Aと12Bの
投影からA(x1,y1)、B(x2,y2)、C(x3,
y3)とD(x4,y4)がそれぞれ求まる。平均操作に
よって吸着部品36の形状ゆらぎが減少する。
【0128】この結果を利用してノズルの中心座標の実
測、具体例1、2、3と5など本発明で述べた同様の部
品装着情報が得られる。あらゆる吸着部品姿勢にも有効
で、図16から24図の場合も処理できる。
【0129】ノズル22に部品28が正常に吸着された
状態を図15に示す。図16のように部品29が立った
状態で吸着されると、上述の情報処理を行うと、部品情
報としてあらかじめ吸着部品29の外形寸法が分かって
いるので、不適切な投影が得られる。このような部品2
9の吸着は誤りとして処理し、吸着した部品29を所定
の位置に捨てる。部品の吸着をやり直す。上述の発明を
利用した複数ノズル22の同時または選択的処理につい
て図19から24を使って述べる。
【0130】通常は、図17と図18のように1つのヘ
ッドが装備され、平行光18が1つの吸着部品31に照
射される。チップ部品のように小さな吸着部品31を処
理するには、図17と図18は平行光18の受光利用効
率がよくない。そこで、図19−24のように複数のヘ
ッドを同一の光学機構15に装備し、同時に吸着部品3
2−34の部品装着情報処理を行えば時間が短縮でき
る。
【0131】図19と図20は複数のノズル22に吸着
された部品32に平行光18を照射して部品装着情報処
理を行う状態を示している。
【0132】図21と図22は、平行光18で利用でき
る領域を有効に利用して、吸着部品33をノズル22で
吸着する位置を意図的に大きくずらすして、図20より
大きな吸着部品33を同時処理する。
【0133】図23と図24は、平行光18で処理でき
る最大吸着部品34を処理するものである。
【0134】図19−24では、複数のヘッドで平行光
18で処理できる領域を最大に利用して、吸着部品32
−34の部品装着情報処理ができる。
【0135】具体例5について述べる。
【0136】発光部21から平行光18が受光部12に
垂直に照射するように設定する。図28に示す円柱部3
8と矩形部37を有する異形部品39の円柱部38に平
行光18を吸着部品39を停止した状態で照射する。円
柱部の中心をP0(x0,y0)とする。Bの座標を(x
1,y1)、Aの座標を(x2,y2)、Cの座標を(x
3,y3)、Dの座標を(x4,y4)とする。Qcは部品
39を吸着したノズル22の中心座標である。
【0137】円柱部38のBとAの投影をx1とx2とす
る。平行光が受光部12に対して時計方向に(反時計方
向でもよい)角度αになるように設定する。平行光18
が接する円柱部38のCとDの投影をK1とK2とする。
平行光18はCとDで接するので、直線DCと直線AC
の角度はαになる。
【0138】点AとBを時計方向にα回転させるとDと
Cになるので、
【数65】 x3=(x1−x0)cosα+x0 …(102) y3=−(x1−x0)sinα+y0 …(103) x4=(x2−x0)cosα+x0 …(104) y4=−(x2−x0)sinα+y0 …(105) となる。
【0139】そして、DとCでは、
【数66】 y3/(x3−K1)=cotα …(106) y4/(x4−K2)=cotα …(107) が成り立つ。
【0140】P0(x0,y0)は、
【数67】 x0=(x1+x2)/2 …(108) y0=(y3+y4)/2 …(109) である。x1とx2は測定できるので、x0は定まる。
(102−105)式を(109)に代入すると、
【数68】 y0=(2x0−K1−K2)cotα/2 …(110) になる。K1とK2は測定され、x0とcotαは定まっ
ているのでy0は決定できる。そこで、P0は(108)
式と(110)式で決まる。
【0141】ノズルの中心Qc(xc,yc)とすると、
円柱部38を有する吸着部品39の補正値(xf,yf)
【数69】 xf=x0−xc …(111) yf=y0−yc …(112) である。以上から、円柱部38を有する吸着部品39を
静止したままで補正値が決定できる。
【0142】x1−x2とK1−K2は円柱部38の直径に
等しいので、予め記録された部品情報との比較から吸着
部品39の認識が許容範囲内できる。
【0143】複数の角度αiから円柱部38の投影位置
K1iとK2iから(110)式のy0の平均値をとり、円
柱部の揺らぎを次式によって減らすことができる。
【数70】 円柱部からなる部品にも適用できる。
【0144】吸着部品39の部分形状37が矩形のとき
は、具体例1,2または3の方法でできる。吸着部品3
9の矩形部37が複雑な場合、吸着部品39の傾きと傾
き方向は画像処理のような他の方法を取らなければなら
ない。平行光18を吸着部品の複雑な形状部分または部
品のリードに斜めから照射しても、吸着部品の有効な情
報は得られない。そこで、図31に示すように光センサ
機構41と画像取得センサ機構42の両方を装備すれ
ば、機能と性能は一段と向上する。
【0145】光センサ機構41は図1と図5他のように
発光部21と受光部12を有する。画像取得センサ機構
42は、照明機構、カメラとCCDのような受光部から
なる。画像取得信号は吸着部品の有効な情報を得るため
に画像処理によって処理される。図31は、光センサ機
構41と画像取得センサ機構42が共に部品装着装置1
0に備えられている様子を示している。吸着部品は光セ
ンサ機構41によって吸着部品を回転することなく静止
させたままで処理されるので、画像取得センサ機構42
によって取得される吸着部品の静止画像を処理するには
画像処理は有効である。光センサ機構41によって本発
明の部品装着情報は同様に得られる。
【0146】図4のノズル22の円柱は図29の円柱3
8と同じで形状あるので、図29の円柱から得られる中
心座標は図30のズルの中心座標に適用できる。そこ
で、(102−110)式はそのままノズル22に適用
できる。図4の投影位置N1とN2は図29の投影位置x
1とx2に相当する。ノズル22のX軸の中心座標を示す
(2)式は(108)式と同じである。ノズル22のY
軸の中心座標は(110 )式と同じで与えられる。
【0147】ノズル22の中心座標が部品装着装置にお
ける座標として分かっているので、受光部12に対する
X,Y座標系が、ノズル22の座標を介して、ノズル2
2の中心を含む部品装着装置10の座標と結合した。
【0148】この方法で、図17と図19に示す単体の
ノズル22と複数のノズル22のX,Y座標が測定でき
る。以上に述べてたように本発明の主眼は、部品装着情
報を得るのに回転操作なしで、静止のままの姿勢で0度
を含む複数の角度から光を対象物に照射して、投影情報
の処理を行い、部品装着情報を得ることにある。
【0149】
【発明の効果】本発明の効果を下記に示す。
【0150】ノズルの中心座標の測定効果を次に示す。 (1) (2)式、(6)式と(8)式に示すように部
品装着情報を得るのに十分な精度のある部品を使って受
光部に対して部品を吸着するノズル中心のX,Y座標が
実測データから算出できる。 (2) (108)式と(110)式に示すようにノズ
ルの円柱部の実測データからノズルのX,Y座標が算出
できる。 (3) そして、受光部の座標系と吸着部品をプリント
基板2に装着する機械座標系がノズルの中心座標を通し
て完全に結合できる。
【0151】具体例1と2の作用効果は次の通りであ
る。 (1) 平行光は受光部に対して0度を含む異なる複数
の角度から照射を行うので、吸着部品の複数点のXとY
座標が実測データから算出される。 (2) ノズルに吸着されて、回転操作をしないで静止
のままで吸着部品の装着姿勢に対する傾きと、吸着され
たノズルの中心と吸着部品の中心とのずれが実測データ
から演算式で算出できる。 (3) 部品情報を予め記録しておくと、吸着部品の外
形複数点のXとY座標方向の差による吸着部品の傾き角
度変化の式が(37)式と(38)式として得られるの
で、吸着部品の回転角度が算出できる。 (4) 吸着部品の外形複数点のY座標方向の差から吸
着部品の傾き角度変化の(38)式が極値を持たない曲
線である。(38)式の角度と吸着部品投影の長さは一
対一対応している。これを利用して、回転角度全域にわ
たってどんな吸着部品姿勢でも吸着部品の回転角度が算
出できる。 (5) (37)式と(38)式より吸着部品の外形複
数点のXとY方向の角度変化の式の交点の前後から傾き
の大きな式によって吸着部品の回転角度がより正確に算
出できる。 (6) 吸着部品の複数点のY座標が分かるので、吸着
部品の複数点のY軸方向の差から吸着部品が時計方向か
時計と反対方向に傾いているかが(15)式と(22)
式または(32)式と(33)式の比較から判別でき
る。 (7) 移動中測定を行い、部品装着情報処理を行うこ
とができる。 (8) 吸着部品が大きくまたは少し傾いてノズルに吸
着された場合でも、あらゆる姿勢に対しても本手法は有
効である。 (9) 複数の吸着された部品も同時または順次に処理
できる。
【0152】具体例3の作用効果は次の通りである。 (1) 吸着部品に平行光を左右から複数の角度で放射
する。 (2) 部品がノズルで吸着され、回転操作を行わない
静止したままで、吸着部品の外形点全てが投影の実測デ
ータから判明する。 (3) 吸着部品の全外形点座標から吸着部品の傾きが
(79−83)式から算出できる。 (4) 吸着部品をカメラで全体を捕らえる画処処理と
同等の情報が得られる。 (5) 部品がノズルで吸着され、回転操作を行わない
静止したままで、吸着部品の回転角度が吸着部品の寸法
誤差の影響を平均操作によって軽減されて求まる。 (6) ノズルの中心と装着姿勢の吸着部品の中心のず
れである補正値は吸着部品の寸法誤差の影響を平均操作
によって軽減されて求まる。 (7) 吸着部品の外形寸法が平均値で算出できるの
で、吸着部品の検証ができる。 (8) 吸着部品を装着する姿勢矯正角度の算出と処
置、補正値の算出処理は吸着部品をプリント基板に移動
中に処理できる。 (9) 吸着部品の全外形点座標から吸着部品の傾きを
算出する。 (10) 複数の吸着された部品も同時または順次に処
理できる。
【0153】具体例4では、2対の発光部と受光部によ
ってあらゆる姿勢の吸着部品の部品装着情報が得られ
る。
【0154】具体例5では、円柱部を有する部品または
円柱部の部品である異形部品の中心座標とノズルの中心
座標が同一方法で計測算出できる。上述等の格別な効果
を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】光学系の回転機構の概略図である。
【図2】回転角度制御できる回転機構に具備された光学
機構よりノズルに吸着された部品に左右斜めから平行光
を照射する概略図である。
【図3】発光部と受光部を平行にするために補正角度を
計測する図である。
【図4】ノズル中央のX座標を実測する図である。
【図5】2つの精度のある吸着部品姿勢から、ノズルの
中心座標を実測データから算出する図である。
【図6】異なる2つの角度からノズルに吸着された部品
の2つの外形点に光を照射して、吸着部品の投影から部
品装着情報を実測データから求める図である。
【図7】吸着された部品に、1つは受光部に対して垂直
に光を照射し、もう1つは斜めから吸着部品の複数の外
形点に光を照射して、吸着部品の投影から部品装着情報
を実測データから求める図である。
【図8】縦長に吸着された部品を左右に回転するようす
である。
【図9】平行光が受光部に対して垂直に照射されなが
ら、図8のように縦長に吸着された部品が左右±90度
回転したとき、(37)式と(38)式の変化を表して
いる。
【図10】垂直方向に横長に吸着された部品を左右に回
転するようすである。
【図11】光が受光部に対して垂直に照射されながら、
図10のように縦長に吸着された部品が左右±90度回
転したとき、(37)と(38)式の変化を表してい
る。
【図12】吸着部品の縦と横の長さが(a):1×0.
6、(b):1×0.5と(c):0.9×0.4と変
化したとき、(37)式と(38)式の変化を示してい
る。
【図13】異なる2つの角度からノズルに吸着された部
品の2つの外形点に平行光を照射して、吸着部品のそれ
ぞれの外形点のX,Y座標を実測データから求める図で
ある。
【図14】図13と異なる方向から、異なる2つの角度
からノズルに吸着された部品の2つの外形点に光を照射
して、吸着部品のそれぞれの外形点のX,Y座標を実測
データから求める説明図である。
【図15】正常にノズルに部品が吸着されたようすであ
る。
【図16】ノズルに部品が異常に吸着されたようすであ
る。
【図17】発光部と受光部の間に部品を吸着するヘッド
とノズルを1セット装備されたようすを示す図である。
【図18】発光部と受光部の間にヘッドとノズルが1セ
ット装備したユニットで、吸着された部品に光が当たる
ようすをしめしている。
【図19】発光部と受光部の間に部品を吸着するヘッド
とノズルを複数セット装備したようすである。
【図20】発光部と受光部の間にヘッドとノズルが複数
セット装備したユニットで、吸着された部品に光が当た
るようすである。
【図21】発光部と受光部の間に部品を吸着する複数セ
ット装備したヘッドとノズルで、発光部と受光部の大き
さを効率よく利用するようすを示す図である。
【図22】発光部と受光部の間に部品を吸着する複数セ
ット装備したヘッドとノズルで、吸着された部品に光が
当たるようすである。
【図23】発光部と受光部の間にヘッドとノズルが複数
セット装備したユニットで、1つのノズルで大きな部品
を吸着したときのようすである。
【図24】発光部と受光部の間にヘッドとノズルが複数
セット装備したユニットで、1つのノズルで大きな部品
を吸着したときに、吸着部品に光を当てるようすであ
る。
【図25】部品供給機のフィーダから部品を吸着して、
吸着した部品の情報処理をプリント基板の所定の位置に
装着する間に終了させるようすを示す図である。
【図26】図9,11と12のグラフの式を導く図であ
る。
【図27】2対の発光部と受光部によって吸着部品に光
を交互に照射して部品装着情報を得る図である。
【図28】円柱部を有する異形部品の吸着状態を示す図
である。
【図29】異形部品の円柱部の中心座標を求める図であ
る。
【図30】ノズルの円柱部からノズルの中心座標を求め
る図である。
【図31】画像処理装置と光センサユニットが併用され
る図である。
【図32】移動可能な発光部の概念図である。
【符号の説明】
11 回転光学機構 12 受光部 13 レーザダイオード 14 レンズ 15 光学機構 17 吸着部品 18 平行光 19 レーザ光 21 発光部 41 光センサ機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H05K 13/04 G06F 15/62 405C 13/08 15/64 C 325G

Claims (28)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 部品を吸着してこれを所定位置に装着す
    る方法と装置にあって、光センサ機構は発光部と受光部
    から構成され、前記発光部は0度を含む任意角度から光
    を吸着部品に照射し、前記受光部で前記吸着部品の投影
    を受光することを特徴とする部品装着方法および装着装
    置。
  2. 【請求項2】 前記発光部は光学機構と回転機構から構
    成され、前記光学機構は発光素子とレンズまたは発光素
    子アレイから構成され、前記回転機構に設置され、そし
    て前記回転機構は回転角度制御され、光の照射角度を設
    定することを特徴とする請求項1記載の部品装着方法お
    よび装着装置。
  3. 【請求項3】 前記光学機構を具備する前記回転機構
    は、直接駆動により前記回転角度制御されることを特徴
    とする請求項2記載の部品装着方法および装着装置。
  4. 【請求項4】 前記ノズルに吸着された部品装着情報を
    得るのに十分な精度の部品を、前記回転機構で回転さ
    せ、前記受光部に発生する前記吸着部品の投影が最小と
    なる回転角をもって前記吸着部品の傾き角度を算出し、
    前記傾き角度により前記発光部の前記受光部に対する傾
    きを補正し、前記発光部から前記受光部に垂直に光が照
    射される回転光学機構の0度を定めることを特徴とする
    請求項1記載の部品装着方法および装着装置。
  5. 【請求項5】 前記部品を吸着してこれを所定位置に装
    着する方法と装置にあって、前記部品装着情報を得るの
    に十分な精度の部品をノズルに吸着させ、前記吸着部品
    の回転操作および光の照射角度操作により、前記受光部
    における吸着部品の投影情報から演算により実測ノズル
    中心座標を求めることを特徴とする部品装着方法および
    装着装置。
  6. 【請求項6】 前記部品を吸着してこれを所定位置に装
    着する方法と装置にあって、ノズルの円柱部に0度を含
    む複数の角度から光を発光部から照射し、前記受光部に
    おける前記円柱部の投影情報から前記実測ノズル中心座
    標を求めることを特徴とする部品装着方法および装着装
    置。
  7. 【請求項7】 前記部品を吸着してこれを所定位置に装
    着する方法と装置にあって、光を前記受光部に対して0
    度を含む複数の角度から前記ノズルに吸着された前記部
    品に前記発光部から照射し、前記受光部における前記吸
    着部品の投影情報から、ノズル中心座標の導入または導
    入なしで、前記部品装着情報を演算で求めることを特徴
    とする部品装着方法および装着装置。
  8. 【請求項8】 前記部品を吸着してこれを所定位置に装
    着する方法と装置にあって、円柱部を有する吸着部品ま
    たは円柱部からなる吸着部品の前記円柱部に0度を含む
    複数の角度から光を前記発光部から照射し、前記受光部
    における前記円柱部の投影情報から前記円柱部の中心座
    標を得て、ノズル中心座標の導入または導入なしで、前
    記部品装着情報を求めることを特徴とする部品装着方法
    および装着装置。
  9. 【請求項9】 部品情報をメモリに予め記録し、これを
    用いて前記受光部における前記吸着部品の投影情報から
    前記部品装着情報を演算により求めることを特徴とする
    請求項7記載の部品装着方法および装着装置。
  10. 【請求項10】 前記ノズルを回転することなく、前記
    ノズルに吸着された前記部品を静止のままの姿勢で、前
    記受光部における前記吸着部品の投影情報から前記部品
    装着情報を演算により求めることを特徴とする請求項7
    記載の部品装着方法および装着装置。
  11. 【請求項11】 吸着部品外形の複数点の座標を求める
    ことを特徴とする請求項7記載の部品装着方法および装
    着装置。
  12. 【請求項12】 回転補正前の吸着部品の中心座標とノ
    ズル中心座標との中心位置差に傾き角度の回転補正が必
    要なときのみ回転補正を行い、装着姿勢の吸着部品の中
    心座標とノズル中心座標とのずれである補正値を基に所
    定の位置に吸着部品を装着することを特徴とする請求項
    7記載の部品装着方法および装着装置。
  13. 【請求項13】 前記吸着部品外形の複数点の座標から
    吸着部品の部品情報を算出することを特徴とする請求項
    7記載の部品装着方法および装着装置。
  14. 【請求項14】 前記部品情報の導出、そしてまたは導
    出された前記部品情報と予め記録された前記部品情報と
    の比較に基づき前記吸着部品の認識を許容範囲内で行う
    ことを特徴とする請求項7記載の部品装着方法および装
    着装置。
  15. 【請求項15】 前記吸着部品外形の複数点のY軸方向
    の座標の差による極値をもたない曲線により吸着部品の
    傾き角を導くことを特徴とする請求項7記載の部品装着
    方法および装着装置。
  16. 【請求項16】 前記吸着部品外形の複数点のX軸方向
    の座標差と前記Y軸方向の座標の差との交点の前後で傾
    きの大きな曲線により前記吸着部品の傾き角度を求める
    ことを特徴とする請求項7記載の部品装着方法および装
    着装置。
  17. 【請求項17】 前記吸着部品外形の複数点の座標の比
    較により吸着部品の回転方向を定めることを特徴とする
    請求項7記載の部品装着方法および装着装置。
  18. 【請求項18】 前記吸着部品外形の複数点の座標から
    吸着部品の傾き角を算出することを特徴とする請求項7
    記載の部品装着方法および装着装置。
  19. 【請求項19】 前記吸着部品外形の複数点の座標の差
    の微分から吸着部品の装着姿勢を定めることを特徴とす
    る請求項7記載の部品装着方法および装着装置。
  20. 【請求項20】 前記ノズルに吸着された前記部品に、
    前記回転機構を回転させ、前記発光部により前記受光部
    に発生する前記吸着部品の投影が最小となる回転角によ
    り吸着された前記部品の傾き角度と傾き方向を算出し、
    そしてまたは回転角と前記吸着部品の投影情報から算出
    される前記吸着部品情報と予め記録された前記部品情報
    との比較による部品認識を前記許容範囲内で行うことを
    特徴とする請求項7記載の部品装着方法および装着装
    置。
  21. 【請求項21】 前記部品装着情報を導く課程で、前記
    吸着部品の形状などの諸原因による誤差を軽減するため
    に平均操作をすることを特徴とする請求項7記載の部品
    装着方法および装着装置。
  22. 【請求項22】 前記ノズルに吸着された前記部品の投
    影による部品情報が記録された前記部品情報と比較して
    異常なときには、前記部品が前記ノズルに異常に吸着さ
    れたことを判別することを特徴とする請求項7記載の部
    品装着方法および装着装置。
  23. 【請求項23】 複数のノズルに吸着された複数の前記
    吸着部品が前記吸着部品の相互の投影位置が前記受光部
    で重ならないように配列され、かつ選択的にまたは全て
    の前記吸着部品を同時または逐次部品装着情報処理する
    ことを特徴とする請求項7記載の部品装着方法および装
    着装置。
  24. 【請求項24】 前記ノズルにより前記部品を吸着後、
    前記吸着部品を所定の位置に装着する間に前記部品装着
    情報を導出することを特徴とする請求項7記載の部品装
    着方法および装着装置。
  25. 【請求項25】 前記光センサ機構により前記吸着部品
    の投影情報から演算により前記部品装着情報を求めるこ
    とを特徴とする請求項7〜24記載の部品装着方法およ
    び装着装置。
  26. 【請求項26】 照射角度設定ができるレーザビームを
    照射する前記発光部を走行させながらレーザビームで対
    象物を照射し、前記受光部における前記対象物の投影情
    報から前記部品装着情報を求めることを特徴とする請求
    項3〜24記載の部品装着方法および装着装置。
  27. 【請求項27】 画像処理装置と前記光センサ機構を併
    用し前記部品装着情報を求めることを特徴とする請求項
    1〜26記載の部品装着方法および装着装置。
  28. 【請求項28】 前記発光部と前記受光部からなる前記
    光センサ機構を2対設置し、前記部品装着情報を求める
    ことを特徴とする請求項1〜27記載の部品装着方法お
    よび装着装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2002529685A (ja) * 1998-11-03 2002-09-10 サイバーオプティクス コーポレーション 陰影像センサデータからの電子部品のトモグラフィー的再構成
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WO2022201356A1 (ja) * 2021-03-24 2022-09-29 株式会社Fuji 測定装置および部品装着機

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