JPH08279547A

JPH08279547A - ウェハ等の円板状体の中心決定方法、及びウェハ等の円板状体の中心決定装置

Info

Publication number: JPH08279547A
Application number: JP8219695A
Authority: JP
Inventors: Akira Ishihara; 明石原; Shingo Masumoto; 真悟増本
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 1995-04-07
Filing date: 1995-04-07
Publication date: 1996-10-22
Anticipated expiration: 2021-09-13
Also published as: JP3820278B2

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は、オリエーテーションフラット等の
不連続部分を含む円板状体の中心を高い精度でもって決
定することができる円板状体の中心決定方法を提供する
ことを目的とする。【構成】本発明に係る円板状体の中心決定方法は、ウ
ェハ等の円板状体の回転角度並びに該回転角度に対応す
る円板状体の周縁部の位置より円板状体の中心Ｏを決定
する方法であって、円板状体の一点Ｏ₁から円板状体の
複数の周縁部までの距離Ｒ_1m，Ｒ_2m，…をそれぞれ演算
して、該演算により得られた距離データのうち大きいも
のから所定割合の距離データについて分散Ｖc を計算す
ることにより中心Ｏを決定することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、円板状体の中心を決定
する方法、及び円板状体の中心を決定する装置に関する
ものであり、より詳しくは円周部にオリエーテーション
フラット又はノッチ等の切欠を有する半導体ウェハの中
心位置を決定する方法及び装置に関するものものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、円板状体の中心を決定する方法と
しては、特開平３−１３６２６４号公報記載のものが存
在した。該公報に記載される方法は、回転手段の回転軸
から、円板状体の任意の周縁部までの距離と、１８０度
回転させた周縁部までの距離とをそれぞれ測定演算して
中心を決定するものであり、該一対の周縁部を複数対測
定した結果によりオリエーテーションフラット等の不連
続部分を識別して、かかる不連続部分を除去した後に前
記測定結果を利用して最小二乗正弦法を適用して円板状
体の中心を求めるものであった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
３−１３６２６４号公報記載の如き従来の中心決定方法
では、オリエーテーションフラットが短い場合等は、不
連続部分が微小となり、不連続部分を識別することがで
きず、誤差を含んだまま最小二乗正弦法を適用して、正
確な中心を決定することができないおそれがあった。

【０００４】そこで、本発明はこのような問題点を解決
するためになされたもので、オリエーテーションフラッ
ト等の不連続部分を含む円板状体の中心を高い精度でも
って決定することができる円板状体の中心決定方法を提
供することを課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく、
本発明に係るウェハ等の円板状体の中心決定方法は、ウ
ェハ等の円板状体の回転角度並びに該回転角度に対応す
る円板状体の周縁部2aの位置より円板状体の中心を決定
する方法であって、円板状体の一点から円板状体の複数
の周縁部2a, …までの距離をそれぞれ演算して、該演算
により得られた距離データのうち大きいものから所定割
合の距離データについて分散を計算することにより中心
を決定するものである。

【０００６】

【作用】本発明に係るウェハ等の円板状体の中心決定方
法は、円板状体の一点から円板状体の複数の周縁部2a,
…までの距離をそれぞれ演算して、該演算により得られ
た距離データのうち大きいものから所定割合の距離デー
タについて分散を計算することにより中心を決定するも
のであるので、最小二乗法を適用することを必要とせ
ず、しかも、予めオリエーテーションフラット等の不連
続部分を判別する必要がない。即ち、本発明は、前記円
板状体の一点と円板状体の中心とが完全に一致する場合
には上記計算により求まる分散が略０となることを利用
したものであり、これにより、本発明に係るウェハ等の
円板状体の中心決定方法は、中心を決定するに際して、
最小二乗法を適用することを必要とせず、また予めオリ
エーテーションフラット等の不連続部分を判別する必要
がないのである。

【０００７】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参酌しながら
説明する。

【０００８】図１乃至図３は、本発明をウェハの中心決
定装置に応用した例を示す。図１乃至図３に示される中
心決定装置は、ウェハ2 を保持して回転する回転手段3
と、該回転手段3 に保持されたウェハ2 の周縁部2aを測
定する周縁部測定手段4 と、前記回転手段3 の回転角度
並びに該回転角度に対応するウェハ2 の周縁部2aの位置
を集積して演算する演算手段 (図示せず) と、前記回転
手段3 を回転軸に対して垂直平面方向に移動可能な移動
手段6 と、前記回転手段3 にウェハ2を搬入及び搬出す
る搬送手段7 とから構成されている。

【０００９】前記回転手段3 は、図１及び図２に示すよ
うに、上面に形成された吸着孔10aによりウェハ2 を吸
着する円筒状の保持ステージ10と、該保持ステージ10を
回転自在に保持するステージ受部18とから構成されてい
る。図２に於いて、11は、前記保持ステージ10の下部に
連設された回転用パルスモーターであり、該回転用パル
スモーター11によって回転手段3 は回転可能に設けられ
ている。ここで、該回転用パルスモーター11は前記移動
手段6 に固定されており、また、演算手段に接続され、
演算手段に一定角度ωごとにデジタル信号を送信してい
る。ここで、この一定角度ωは０．０３６度であり、回
転手段3 が一回転することにより演算手段には１０００
パルスのデジタル信号が送信される。また、前記吸着孔
10a には、前記ステージ受部18の孔18a を介して吸引装
置 (図示せず) が連通されており、ウェハ2 を吸着する
為の吸引力が付与されている。

【００１０】該回転手段3 を移動する前記移動手段6
は、Ｘ軸方向にスライド可能なＸ軸ステージ12と、Ｙ軸
方向に移動可能なＹ軸ステージ13とから構成されてい
る。該Ｘ軸ステージ12は、機枠1 に敷設されたＸ軸リニ
アガイド14に載置されており、機枠1 に固定されたＸ軸
パルスモーター15の駆動によってＸ軸方向へ移動可能に
設けられている。また、前記Ｙ軸ステージ13は、Ｘ軸ス
テージ12に敷設されたＹ軸リニアガイド16に載置されて
おり、Ｘ軸ステージ12に固定されたＹ軸パルスモーター
17の駆動によってＹ軸方向へ移動可能に設けられてな
り、該Ｙ軸ステージ13には前記ステージ受部18及び回転
用パルスモーター11が固定されている。

【００１１】前記周縁部測定手段4 は、ウェハ2 の周縁
部2aを測定すべく保持ステージ10の側方に設けられてお
り、該周縁部測定手段4 は、略Ｌ字状の筒体20と、該筒
体20の中に介在されたミラー21と、レンズ22と、線状光
センサー23とから構成されている。前記ミラー21は、筒
体20の略Ｌ字状の屈折部に、上方からの光を側方へ反射
すべく正面視斜め４５度で固定されている。前記線状光
センサー23は、ミラー21の側方の筒体20の端部に固定さ
れており、前記レンズ22はミラー21からの反射光を線状
光センサー23に集光すべくミラー21と線状光センサー23
との間にて筒体20に固定されている。ここで線状光セン
サー23は、複数の受光性素子が直線上に配列されたセン
サーであり、前記演算手段に接続されて演算手段に受光
のデータを送信している。

【００１２】さらに、該周縁部測定手段4 は、回転手段
3 の半径方向に移動可能な測定用ステージ24に固定され
ており、該測定用ステージ24は機枠1 に敷設された測定
用リニアガイド25に載置されている。これによって、周
縁部測定手段4 は、測定用ステージ24が測定用パルスモ
ーター26の駆動により移動することにより、回転手段3
の半径方向に移動することができる。また、該測定用ス
テージ24には、ウェハ2 の周縁部2aの位置を容易に検出
できるようウェハ2 の周縁部2a及びミラー21の上方に設
けられた光源27が固着されている。

【００１３】前記搬送手段7 は、図１及び図３に示すよ
うに、ウェハ搬送時にウェハ2 を吸着保持すべく先端部
に吸着溝30を有する吸着アーム31と、該吸着アーム31を
上下水平方向に自在に移動できるアーム移動テーブル32
とから構成されている。該アーム移動テーブル32は、上
下方向に移動自在に搬送器機枠33に取付けられたＺ軸ス
テージ34と、該Ｚ軸ステージ34に回転可能に取付けられ
たθ軸ステージ35と、該θ軸ステージ35の半径方向に進
出自在に該θ軸ステージ35に取付けられたＲ軸ステージ
36とから構成されている。ここで、Ｚ軸ステージ34、θ
軸ステージ35及びＲ軸ステージ36は、それぞれ搬送器機
枠33に載置固定されたＺ軸パルスモーター37、Ｚ軸ステ
ージ34に載置固定されたθ軸パルスモーター38、及び、
θ軸ステージ35に固定されたＲ軸パルスモーター39のそ
れぞれの駆動により移動又は回転可能に設けられてい
る。

【００１４】上述した全てのパルスモーター11,15,17,2
6,37,38,39は、保持ステージ10、Ｘ軸ステージ12、Ｙ軸
ステージ13、測定用ステージ24及び吸着アーム31の回転
又は移動を制御すべく、コントローラー (図示しない)
に接続されている。また、該コントローラーは、前記演
算手段の結果により各パルスモーター11,15,…を制御す
べく、演算手段に接続されている。

【００１５】前記演算手段は、図７に示す如く、ウェハ
2 の一点を仮想中心として定める仮中心決め工程Ａと、
該仮中心決め工程Ａで定められた仮想中心と円板状体の
複数の周縁部2a, …との距離を演算する距離演算工程Ｂ
と、該演算結果により得られた距離のうち最大距離から
所定割合の距離データの分散を計算する分散計算工程Ｃ
と、前記仮中心決め工程Ａにより定めた複数の仮想中心
についてそれぞれ距離演算工程Ｂ及び分散計算工程Ｃを
行い、複数の仮想中心のうち分散が最小となる仮想中心
を円板状体の中心と決定する中心決定工程Ｄと、上記各
工程により得られたデータをもとにオリエーテーション
フラットを検出する不連続部分検出工程Ｅとを具備して
いるコンピュータである。ここで、該演算手段は、回転
手段3 が角度ω回転するごとに回転用パルスモーター11
から送られてくるデータと、前記線状光センサー23から
送られてくる受光データとにより、各回転角度に対する
ウェハ2 の周縁部2aの位置を、図４に示す如く回転中心
Ｏc を原点とするＸＹ座標系に変換して、ウェハ2 の周
縁部2aをＸＹ座標に集積している。ウェハ2 の周縁部2a
の位置を示すＸ_m,Ｙ_mは、各回転角度φ_mに対する回転
中心Ｏc から周縁部2aの距離をＲ_mとして、次式により
計算される。Ｘ_m＝Ｒ_m× cosφ_m Ｙ_m＝Ｒ_m× sinφ_m ここで、ｍは、回転数を示し、回転用パルスモーター11
から送られた信号のうち何番目に送られたものかにより
定まり、φ_mはｍ番目の信号が送られた際の回転角度で
あり、ω×ｍにより求まる。

【００１６】該演算手段の一工程である前記仮中心決め
工程Ａは、ウェハ2 の回転中心ＯcにＸ軸方向及びＹ軸
方向に一定距離ｘ₁,ｙ₁を増減変更して仮想中心Ｏ₁を
決める工程である。ここで、ｘ₁及びｙ₁の正負は、Ｘ
軸方向及びＹ軸方向に増加する場合に正とする。

【００１７】前記距離演算工程Ｂは、仮中心決め工程Ａ
により決められた仮想中心Ｏ₁からウェハ2 の周縁部2a
の距離Ｒ_1mを計算する工程である。この計算は、次式に
より行われる。Ｒ_1m＝Ｓｑｒｔ｛ (Ｘ_m−ｘ₁)² ＋ (Ｙ_m−ｙ₁)² ｝ここで、Ｓｑｒｔ｛Ｆ（α）｝はＦ（α）の平方根を示
す。

【００１８】前記分散計算工程Ｃは、距離演算工程Ｂで
得られた距離Ｒ₁₁，Ｒ₁₂，…について、値が大きいもの
から一定個ＮのＲ_1mについての分散Ｖc₁を計算する工程
である。ここで一定個Ｎは、２０個としている。また、
分散Ｖc₁の計算は次式によって行われる。Ｖc₁＝｛Σ_NＲ_1m ² ＋ (Σ_NＲ_1m)²÷Ｎ｝÷Ｎここで、Σ_Nは、値が大きいものから一定個ＮのＲ_1mを
用いて計算される和を示す。

【００１９】前記中心決定工程Ｄは、仮中心決め工程Ａ
によって定めた複数の仮想中心Ｏ₁,Ｏ₂,…についてそれ
ぞれ距離演算工程Ｂ及び分散計算工程Ｃを行って得た複
数の分散Ｖc₁, Ｖc₂, …のうち分散が最小となる仮想中
心をウェハ2 の中心Ｏと決定する工程である。この分散
が最小となる仮想中心を求めて中心Ｏと決定する方法
は、ｙの値が同一の複数の仮想中心について分散Ｖc を
それぞれ計算して、該分散Ｖc を最小とするｘの値を中
心ＯのＸ座標の値と特定して、そして、このように特定
されたｘの値と同一の複数の仮想中心について分散Ｖc
をそれぞれ計算して、該分散Ｖcを最小とするｙの値を
中心ＯのＹ座標の値と特定することにより、中心ＯのＸ
座標及びＹ座標の値を特定して行われる。ここで、Ｘ座
標又はＹ座標の何れか一方の値が同一の複数の仮想中心
についての分散Ｖc と、該仮想中心の他方の座標の値と
は、図５に示す如き関係となる。

【００２０】前記不連続部分検出工程Ｅは、中心決定工
程Ｄにより決定された中心Ｏから各周縁部2a，…までの
距離Ｒ_Omの最小値に対応する回転数ｍを判別して、オリ
エーテーションフラットに対応する部分を検出する工程
である。

【００２１】本実施例のウェハの中心決定装置は以上の
構成からなるが、オリエーテーションフラットを有する
ウェハ2 を、ウェハハウスから搬送手段7 により取り出
し、ウェハ2 の中心を決定する方法について以下説明す
る。

【００２２】先ず、ウェハハウス内から吸着アーム31に
より取り出されたウェハ2 は、吸着アーム31が回転移動
することにより保持ステージ10上に載置され、該保持ス
テージ10に吸着されて保持される。この際、ウェハ2 の
中心と保持ステージ10の回転軸とは通常幾分かのズレを
有する。ここで、保持ステージ10及び吸着アーム31は何
れもウェハ2 の裏面を吸着により保持するのでウェハ2
の上面を清潔に保持することが可能である。

【００２３】そして、回転用パルスモーター11の駆動で
保持ステージ10が回転することによりウェハ2 は回転し
て、このウェハ2 の回転時に光源27からの光を線状光セ
ンサー23が受光して、該線状光センサー23による受光の
データが回転用パルスモーター11からのデータと共に演
算手段に送信される。これらのデータが送信された演算
手段は、各回転角度φ_mに対するウェハ2 の周縁部2aの
位置を、図４に示す如く回転中心Ｏc を原点とするＸＹ
座標系に変換して集積する。

【００２４】次に、演算手段の仮中心決め工程Ａによっ
て、一定距離ｘ₁,ｙ₁を増減変更して仮想中心Ｏ₁が定
められ、該仮想中心Ｏ₁からウェハ2 の各周縁部2a，…
までの距離Ｒ_1m，…を距離演算工程Ｂが計算して、この
距離Ｒ_1m，…について最大のものからＮ個のＲ_1m，…に
ついての分散Ｖc₁を分散計算工程Ｃは計算する。

【００２５】そして、中心決定工程Ｄによって、仮中心
決め工程Ａにより定めた複数の仮想中心Ｏ₁,Ｏ₂,…につ
いてそれぞれ距離演算工程Ｂ及び分散計算工程Ｃが行わ
れ、複数の分散Ｖ₁,Ｖ₂,…が計算され、複数の仮想中心
Ｏ₁,Ｏ₂,…のうち分散が最小となる仮想中心が選定され
てウェハ2 の中心Ｏと決定される。

【００２６】さらに、不連続部分検出工程Ｅによって、
中心Ｏから周縁部2a, …までの距離Ｒ_Omの最小値に対応
する回転数ｍ’が判別され、オリエーテーションフラッ
トに対応する部分が検出される。ここで、ウェハ2 の中
心Ｏから周縁部2aまでの距離Ｒ_Omと、回転手段3 の回転
数ｍとは、図６に示す如き関係となる。

【００２７】そして、ウェハ2 の中心ＯがＸＹ座標系の
原点に位置し、オリエーテーションフラットの直線部が
Ｘ軸と垂直となるように、Ｘ軸ステージ12及びＹ軸ステ
ージ13を移動し、回転手段3 の回転を行う。ここで、中
心ＯのＸＹ座標系の原点への一致並びにオリエーテーシ
ョンフラットの移動は、回転手段3 を回転した後にＸ軸
ステージ12及びＹ軸ステージ13を移動させることにより
行うことも可能である。

【００２８】以上の工程を経て、中心ＯをＸＹ座標系の
原点へ一致させ、オリエーテーションフラットの箇所も
特定したウェハ2 は、搬送手段7 により次工程へ搬出さ
れる。

【００２９】本実施例のウェハの中心決定装置は、上述
の方法により中心を決定するものゆえ、中心を決定する
に際して最小二乗正弦法を適用することを必要としない
ので、計算が簡単であり、高速処理が可能となる利点を
奏する。また、ウェハ2 の中心の決定を行うに際して、
予めオリエーテーションフラット等の不連続部分のデー
タを排除する必要がないので、オリエーテーションフラ
ット等の不連続部分が微小であっても、正確な中心を決
定することができるという利点を有する。

【００３０】さらに、本実施例のウェハの中心決定装置
は、各ステージ10,13,…の移動及び回転をコントローラ
ーで制御しているので、正確に各ステージ10,13,…を移
動することができ、ウェハ2 の移動等を正確且つ容易に
行うことができる。

【００３１】尚、上記実施例では上述の構成より以上の
ような効果を奏したが、本発明は上記実施例に限定され
るものではなく本発明の意図する範囲に於いて適宜設計
変更可能である。

【００３２】特に、本発明に係るウェハ等の円板状体の
中心決定方法は、上記実施例の如く中心を決定する方法
に限定される訳でなく、円板状体の一点から円板状体の
複数の周縁部2a_,…までの距離をそれぞれ演算して、該
演算により得られた距離データのうち最大距離から所定
割合の距離データについて分散を計算して中心を決定す
る方法であれば良い。例えば、円板状体の一点から周縁
部2a_,…までの距離をそれぞれ演算して得られた距離デ
ータのうち最大距離から所定割合のものについて分散を
計算して、この分散が所定値以下であれば該円板状体の
一点を中心として決定するものであっても良い。このよ
うに中心を決定するものであれば、中心を決定する円板
状体の形状が予め分かっている場合には、距離の演算及
び分散の計算が減少できるので、計算が更に迅速に処理
できるという利点を奏する。

【００３３】さらに、本発明が仮中心決め工程Ａと距離
演算工程Ｂと分散計算工程Ｃと中心決定工程Ｄとを具備
する場合であっても、上記実施例の如き不連続部分検出
工程Ｅは本発明の必須の要件ではないが、不連続部分検
出工程Ｅを具備することによってオリエーテーションフ
ラット等の不連続部分の位置を特定することが可能であ
るという利点を奏する。

【００３４】また、本発明が中心決定工程Ｄを具備する
場合にあっても、上記実施例のものに限定される訳では
ない。即ち、上記実施例の中心決定工程Ｄは、ｙの値が
同一の複数の仮想中心について分散Ｖc をそれぞれ計算
して、該分散Ｖc を最小とするｘの値を中心ＯのＸ座標
の値と特定して、そして、このように特定されたｘの値
と同一の複数の仮想中心について分散Ｖc をそれぞれ計
算して、該分散Ｖc を最小とするｙの値を中心ＯのＹ座
標の値と特定するものであったが、中心決定工程Ｄの中
心決定の手段はこれに限定されるものでなく、該中心決
定工程Ｄは複数の仮想中心Ｏ₁,Ｏ₂,…について得た複数
の分散Ｖc₁, Ｖc₂, …のうち分散が最小となる仮想中心
をウェハ2 の中心Ｏと決定する工程であれば良い。

【００３５】さらに、上記実施例においては回転用パル
スモーター11が演算手段に一定角度ωごとにデジタル信
号を送信しているが、本発明に係るウェハ等の円板状体
の中心決定装置に於いては、演算手段が回転手段3 の回
転角度を判別することが可能であれば、その具体的手段
は何であっても良い。

【００３６】即ち、本発明に係るウェハ等の円板状体の
中心決定装置に於いて、演算手段は、円板状体の周縁部
2aの回転角度のデータと、該回転角度に対応する周縁部
2aの位置とのデータとを複数対集積できるものであれば
良いのである。但し、この回転角度と周縁部2aの位置と
のデータの対は、分散の計算並びにオリエーテーション
フラットの位置の特定をするに際して多いほうが好まし
い。特に、上記実施例の如く一定角度ωごとに演算手段
に角度のデータが送信される場合、この一定角度ωを小
さくすることによって回転角度のデータと該回転角度に
対応する位置のデータとの対を多種類集積することがで
き、分散の計算並びにオリエーテーションフラットの位
置の特定を正確に行うことができるという利点がある。
しかし、この一定角度ωは０．００３６度以下であると
回転用パルスモーター11が高額になるという欠点がある
為、０．００３６度以上であることが好ましい。一方、
この一定角度ωの上限は９０度であり、９０度以下であ
れば何度であっても良く、９０度以下であれば少なくと
も回転角度に対応する位置のデータを四つ以上集積する
ことができ、オリエーテーションフラット等の不連続部
分以外の周縁部2aに対応するデータが三つ以上含まれる
ので、この三つのデータの分散を計算することにより中
心の決定を行うことが可能である。

【００３７】また、上記実施例に於いて分散を計算する
に際して、一定個Ｎの距離データの分散を求めている
が、本発明はこれに限定されず、本発明は距離データの
うち大きいものから所定割合の距離データについて分散
を計算するものであれば良く、例えば一定値以上の距離
データについての分散を計算をするものであっても良
い。さらに、本発明に於いて、上記実施例の如く一定個
Ｎの距離データの分散を求める場合は、その個数Ｎが上
記実施例の２０個に限定される訳ではなく、前述の回転
角度に対応する位置のデータの数Ｎ’により決定すれば
良い。つまり、分散を求める一定個Ｎは、回転角度に対
応する位置のデータの数Ｎ’からオリエーテーションフ
ラット等の不連続部分に対応すると考えられるデータの
個数を引いた数以下にあれば良い。

【００３８】また、上記実施例においては演算手段を一
のコンピュターで構成したが、本発明のウェハ等の円板
状体の中心決定装置はこれに限定されるわけではなく、
演算手段を複数のコンピュターで構成する等、適宜設計
変更することができる。

【００３９】さらに、本発明に係るウェハ等の円板状体
の中心決定装置に於いては、上記実施例の如き移動手段
6 及び搬送手段7 は必須の要件ではなく、中心を決定す
ることのみを目的するものであっても良い。

【００４０】また、本発明のウェハ等の円板状体の中心
決定装置が、上記実施例の如く中心ＯとＸＹ座標の原点
とを一致させる手段を有するものであっても、回転手段
3 を移動手段6 により移動させるものでなくとも良い。
例えば、決定された中心の位置ズレを、搬送手段7 によ
り次工程へ搬出する際に、補正するものであっても良
い。このように、搬送手段7 によって位置ズレを補正す
るならば、回転手段3 を移動する為の移動手段6 を設け
る必要でないので、製造費が安くなるという利点を奏す
る。

【００４１】また、移動手段6 を設けた場合であっても
上記実施例の如くＸ軸ステージ12とＹ軸ステージ13とか
ら構成する必要はなく、要は決定された円板状体の中心
をＸＹ座標の原点に一致させるべく回転手段3 を移動で
きるものであれば良い。

【００４２】さらに、上記実施例に於いては、周縁部測
定手段4 は回転手段3 の半径方向に移動可能な測定用ス
テージ24に固定されているので、ウェハ2 の大きさによ
って周縁部測定手段4 を半径方向に移動することが可能
であるという利点を奏するが、本発明のウェハ等の円板
状体の中心決定装置はこれに限定されるものではなく、
周縁部測定手段4 は移動できないものであっても良い。

【００４３】また、上記実施例に於いては周縁部測定手
段4 を筒体20とミラー21とレンズ22と線状光センサー23
とから構成するが、本発明のウェハ等の円板状体の中心
決定装置はこれに限定されるものではない。但し、本発
明のウェハ等の円板状体の中心決定装置に於いて、周縁
部測定手段4 を、レンズ22と、線状光センサー23と、該
レンズ22と線状光センサー23との間に設けた筒体20等の
外乱光排除手段とから構成して、光を線状光センサー23
に集光可能に前記レンズ22を設けることが好ましく、こ
れにより、外乱光が排除され且つレンズ22で集光された
光のみが線状光センサー23に到達するので、円板状体の
周縁部2aを容易に認識することができ、しかも廉価で製
造することができるという利点を奏する。

【００４４】

【発明の効果】叙上のように、本発明に係る円板状体の
中心決定方法は、中心を決定するに際して最小二乗正弦
法を適用することを必要としないので、高速処理が可能
となるという効果を奏する。

【００４５】また、本発明に係る円板状体の中心決定方
法は、予めオリエーテーションフラット等の不連続部分
を排除する必要がないので、計算が簡単であり、特にオ
リエーテーションフラット等の不連続部分が微小であっ
ても計算を正確に行うことも可能であるという効果も奏
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のウェハの中心決定装置の平
面図。

【図２】同実施例の一部断面正面図。

【図３】同実施例の搬送手段の断面正面図。

【図４】ウェハの周縁部を表すＸＹ座標系。

【図５】中心を決定するに際して仮想中心と分散との関
係を示すグラフ。

【図６】決定された中心からウェハの周縁部までの距離
と回転手段の回転数との関係を示すグラフ。

【図７】演算手段の工程を示す図。

【符号の説明】

２…ウェハ 2a…周縁部３…回転
手段４…周縁部測定手段６…移動手段７…搬送
手段 22…レンズ 23…線状光センサーＡ…仮中心決め工程Ｂ…距離演算工程Ｃ…分
散計算工程Ｄ…中心決定工程

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウェハ(2) 等の円板状体の回転角度並び
に該回転角度に対応する円板状体の周縁部(2a)の位置よ
り円板状体の中心を決定する方法であって、円板状体の
一点から円板状体の複数の周縁部(2a,…) までの距離を
それぞれ演算して、該演算により得られた距離データの
うち大きいものから所定割合の距離データについて分散
を計算することにより中心を決定することを特徴とする
ウェハ等の円板状体の中心決定方法。
【請求項２】円板状体の一点を仮想中心として定める
仮中心決め工程(A) と、該仮中心決め工程(A) で定めら
れた仮想中心と円板状体の複数の周縁部(2a,…) との距
離を演算する距離演算工程(B) と、該演算結果により得
られた距離のうち最大距離から所定割合の距離データの
分散を計算する分散計算工程(C) と、前記仮中心決め工
程(A) により定めた複数の仮想中心についてそれぞれ距
離演算工程(B) 及び分散計算工程(C) を行い、複数の仮
想中心のうち分散が最小となる仮想中心を円板状体の中
心と決定する中心決定工程(D) とからなる請求項１記載
のウェハ等の円板状体の中心決定方法。
【請求項３】ウェハ等の円板状体を保持して回転する
回転手段(3) と、該回転手段(3) に保持された円板状体
の周縁部(2a)の位置を測定する周縁部測定手段(4) と、
前記回転手段(3) の回転角度並びに該回転角度に対応す
る前記周縁部測定手段(4) による円板状体の周縁部(2a)
の位置を集積演算して中心を決定する演算手段とからな
るウェハ等の円板状体の中心決定装置であって、前記演
算手段が、中心を決定するに際して円板状体の一点から
円板状体の複数の周縁部(2a,…)までの距離をそれぞれ
演算して、該演算により得られた距離データのうち大き
いものから所定割合の距離データについて分散を計算す
る構成からなることを特徴とするウェハ等の円板状体の
中心決定装置。
【請求項４】前記演算手段が、仮想中心を定める仮中
心決め工程(A) と、該仮想中心と円板状体の複数の周縁
部(2a,…) との距離を演算する距離演算工程(B) と、該
演算結果により得られた距離のうち最大距離から所定割
合の距離データの分散を計算する分散計算工程(C) と、
前記仮中心決め工程(A) により定めた複数の仮想中心に
ついてそれぞれ距離演算工程(B) 及び分散計算工程(C)
を行い、複数の仮想中心のうち分散が最小となる仮想中
心を円板状体の中心と決定する中心決定工程(D) とから
なる請求項３記載のウェハ等の円板状体の中心決定装
置。
【請求項５】前記周縁部測定手段(4) が、レンズ(22)
と、線状光センサー(23)と、該レンズ(22)と線状光セン
サー(23)との間に設けられた外乱光排除手段とからな
り、前記レンズ(22)が光を線状光センサー(23)に集光可
能に設けられてなる請求項３又は４記載のウェハ等の円
板状体の中心決定装置。
【請求項６】前記回転手段(3) を回転軸に対して垂直
平面方向に移動する移動手段(6) が設けられてなる請求
項３又は４記載のウェハ等の円板状体の中心決定装置。
【請求項７】前記演算手段の演算結果により求められ
た円板状体の中心と回転軸とのズレを円板状体搬出時に
て補正すべく移動自在な円板状体保持部材を備えた搬送
手段(7) が設けられてなる請求項３又は４記載のウェハ
等の円板状体の中心決定装置。