JP6971879B2 - 曲率半径計測装置および曲率半径計測方法 - Google Patents
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Description
図1は、実施の形態1に係る曲率半径計測装置を示す断面図である。図1に示されるように、曲率半径計測装置100Aは、被計測物1上のN個(Nは3以上の整数)の測定点pi(i=1〜Nの整数)における座標値を非接触で測定する測定機10Aと、被計測物1の曲率半径を算出する計算機20とを備える。被計測物1は、たとえば湾曲した液晶パネルを保護する保護ガラスであり、ステージ2上に載置される。
xi=Li×sinθi 式(1)
zi=zo−Li×cosθi 式(2)
ここで、zoは、アーム12の回転軸11のz座標値である。Liは、回転軸11からレーザ変位センサ13の測定原点までの距離Loとレーザ変位センサ13によって測定された距離diとの和(=Lo+di)である。Loは、形状が既知の校正治具により、予め測定される。
図4は、実施の形態2に係る曲率半径計測装置を示す断面図である。図4に示されるように、曲率半径計測装置100Bは、図1に示す曲率半径計測装置100Aと比較して、測定機10Aの代わりに測定機10Bを備える点でのみ相違する。計算機20については実施の形態1と同様であるため説明を省略する。
xi=xio+(di+do)×cosθi 式(3)
zi=zio+(di+do)×sinθi 式(4)
ここで、xioは、X軸ステージ16の位置から求められる。zioは、Z軸ステージ17の位置から求められる。θiは、回転ステージ18の回転角度から求められる。doは、回転ステージ18とレーザ変位センサ13との相対位置から予め測定される。なお、回転ステージ18の回転軸18aとレーザ変位センサ13の測定原点とを一致させた場合には、do=0となる。
実施の形態1または実施の形態2では、被計測物1を水平面であるXY平面に平行になるようセットされる。しかしながら、実施の形態3では、被計測物1をXZ平面に平行になるようにセットする。このとき、レーザ変位センサ13をXY平面に平行な面に沿って回転または円弧補間動作させる。
Claims (6)
- 被計測物上のN個の測定点における座標値を非接触で測定する測定機と、
前記被計測物の曲率半径を算出する計算機とを備え、
Nは3以上の整数であり、
前記計算機は、
前記座標値に基づいて、LMedS手法により前記被計測物の仮の曲率中心位置を算出し、
前記仮の曲率中心位置を起点として中心位置候補を移動させたときに、前記N個の測定点の各々との距離の標準偏差が極小となる前記中心位置候補を特定し、特定した前記中心位置候補と前記N個の測定点の各々との距離の代表値を前記曲率半径として算出する、曲率半径計測装置。 - 前記測定機は、
前記被計測物との距離を非接触で測定するセンサと、
前記センサを支持し、回転軸を中心に回転する回転体とを備え、
前記N個の測定点は、前記回転体がN個の互いに異なる回転位置にあるときの前記センサの測定方向と前記被計測物の表面との交点であり、
前記測定機は、前記N個の測定点の各々について、前記センサによって測定された当該測定点との距離と、前記回転体の回転角度と、前記回転軸と前記センサとの距離とに基づいて前記座標値を算出する座標出力部をさらに備える、請求項1に記載の曲率半径計測装置。 - 前記測定機は、
前記被計測物との距離を非接触で測定するセンサと、
前記センサを円弧補間動作させるとともに、測定方向が円弧補間の径方向となるように前記センサを回転させる機構とを備え、
前記N個の測定点は、前記機構によって前記センサをN個の互いに異なる位置まで移動させたときの前記センサの測定方向と前記被計測物の表面との交点であり、
前記測定機は、前記N個の測定点の各々について、前記センサによって測定された当該測定点との距離と、前記センサの位置および回転角度とに基づいて前記座標値を算出する座標出力部をさらに備える、請求項1に記載の曲率半径計測装置。 - 被計測物上のN個の測定点の座標値を非接触で測定する第1ステップを備え、
Nは3以上の整数であり、さらに、
測定された前記座標値に基づいて、LMedS手法により前記被計測物の仮の曲率中心位置を算出する第2ステップと、
前記仮の曲率中心位置を起点として中心位置候補を移動させたときに、前記N個の測定点の各々との距離の標準偏差が極小となる前記中心位置候補を特定し、特定した前記中心位置候補と前記N個の測定点の各々との距離の代表値を前記被計測物の曲率半径として算出する第3ステップとを備える、曲率半径計測方法。 - 前記第1ステップは、
前記被計測物との距離を非接触で測定するセンサを支持する回転体を回転させながら、前記センサによって前記N個の測定点との距離を順次測定させるステップと、
前記N個の測定点の各々について、前記センサによって測定された当該測定点との距離と、前記回転体の回転角度と、前記回転体の回転軸と前記センサとの距離とに基づいて前記座標値を算出するステップとを備える、請求項4に記載の曲率半径計測方法。 - 前記第1ステップは、
前記被計測物との距離を非接触で測定するセンサを円弧補間動作させるとともに、測定方向が円弧補間の径方向となるように前記センサを回転させながら、前記センサによって前記N個の測定点との距離を順次測定させるステップと、
前記N個の測定点の各々について、前記センサによって測定された当該測定点との距離と、前記センサの位置および回転角度とに基づいて前記座標値を算出するステップとを備える、請求項4に記載の曲率半径計測方法。
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JP2018029772A JP6971879B2 (ja) | 2018-02-22 | 2018-02-22 | 曲率半径計測装置および曲率半径計測方法 |
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