JP4369276B2 - 円板形状部品の欠け検査装置及び欠け検査方法 - Google Patents
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上記被検査物の円板形状の中心軸方向から上記被検査物を撮像し、上記被検査物の濃淡画像データを出力する円板形状部品撮像手段と、
上記円板形状部品撮像手段より出力された濃淡画像データ上における外周の位置座標を周方向所定角度ピッチで求める側面位置検出手段と、
上記側面位置検出手段で求められた上記位置座標の全てから上記被検査物の欠けの有無を判定するための基準円を求める側面基準円算出手段と、
上記側面基準円算出手段で得られた基準円の座標と上記側面位置検出手段で求められた位置座標とに基づき上記被検査物の欠けの有無を判定する欠け不良判定手段と、
を備えたものである。
上記被検査物の円板形状の中心軸方向から上記被検査物を撮像し、上記被検査物の濃淡画像データを出力する円板形状部品撮像ステップと、
上記円板形状部品撮像ステップで出力された濃淡画像データ上における外周の位置座標を周方向所定角度ピッチで求める側面位置検出ステップと、
上記側面位置検出ステップで求められた上記位置座標の全てから上記被検査物の欠けの有無を判定するための基準円を求める側面基準円算出ステップと、
上記側面基準円算出ステップで得られた基準円の座標と上記側面位置検出ステップで求められた位置座標とに基づき上記被検査物の欠けの有無を判定する欠け不良判定ステップと、
を備えたものである。
図1は、この発明に係る円板形状部品欠け検査装置における実施の形態1を示すブロック図である。同図に示したように、検査対象の円板形状をした被検査物1の側面に対して垂直、すなわち照射角0°で照射する円板側面照明手段2と、被検査物1の真上方向(中心軸方向)に配置され、被検査物1の側面から反射した照明光を受光して、被検査物1の濃淡画像データを出力する円板形状部品撮像手段3と、円板形状部品撮像手段3から出力された被検査物1の濃淡画像データを処理して欠け不良判定のための諸機能を実現する電子計算機4とを備えている。
上記実施の形態1では、基準円52と外周位置の座標群51との半径誤差rdiff(i)からその標準偏差値stdevを求め、基準円52の半径rに対する標準偏差値の割合(%)を欠けの有無の判定値として求めていたが、他の方法を用いた判定値で欠けの有無を判定してもよい。
8 欠け不良判定手段、31 撮影画像、32 環形状照明、33 被検査物の側面、
34 欠け不良箇所、35 濃淡画像データ、41 円板形状部品の画像、
42 エッジ検出直線、43 エッジ点、51 外周位置の位置座標群、52 基準円、71 欠け部分。
Claims (10)
- 円板形状をした被検査物の側面に対して垂直方向に照射する円板側面照明手段と、
上記被検査物の円板形状の中心軸方向から上記被検査物を撮像し、上記被検査物の濃淡画像データを出力する円板形状部品撮像手段と、
上記円板形状部品撮像手段より出力された濃淡画像データ上における外周の位置座標を周方向所定角度ピッチで求める側面位置検出手段と、
上記側面位置検出手段で求められた上記位置座標の全てから上記被検査物の欠けの有無を判定するための基準円を求める側面基準円算出手段と、
上記側面基準円算出手段で得られた基準円の座標と上記側面位置検出手段で求められた位置座標とに基づき上記被検査物の欠けの有無を判定する欠け不良判定手段と、
を備えたことを特徴とする円板形状部品の欠け検査装置。 - 上記側面位置検出手段は、上記円板形状部品撮像手段が出力した濃淡画像データに対して、その中心より放射状に延ばした直線上において濃度値が暗(黒)から明(白)または明(白)から暗(黒)へと変化するエッジ点を求め、このエッジ点の位置を上記位置座標と判断することを特徴とする請求項1記載の円板形状部品の欠け検査装置。
- 上記側面基準円算出手段は、上記側面位置検出手段によって検出された上記位置座標からLMedS(最小2乗メディアン)ロバスト円回帰アルゴリズムを用いて上記基準円を求めることを特徴とする請求項1記載の円板形状部品の欠け検査装置。
- 上記欠け不良判定手段は、上記側面基準円算出手段で得られた基準円の半径と、上記基準円の中心座標から上記位置座標までの距離との差を上記位置座標それぞれについて求め、上記差の標準偏差値から上記被検査物の欠けの有無を判定することを特徴とする請求項1記載の円板形状部品の欠け検査装置。
- 上記欠け不良判定手段は、上記位置座標の内の隣り合う位置座標間の距離を求め、上記隣り合う位置座標間の距離の標準偏差値を求め、上記基準円の半径に対する上記隣り合う位置座標間の距離の標準偏差値の割合から上記被検査物の欠けの有無を判定することを特徴とする請求項1記載の円板形状部品の欠け検査装置。
- 円板形状をした被検査物の側面に対して垂直方向に照射する円板側面照明ステップと、
上記被検査物の円板形状の中心軸方向から上記被検査物を撮像し、上記被検査物の濃淡画像データを出力する円板形状部品撮像ステップと、
上記円板形状部品撮像ステップで出力された濃淡画像データ上における外周の位置座標を周方向所定角度ピッチで求める側面位置検出ステップと、
上記側面位置検出ステップで求められた上記位置座標の全てから上記被検査物の欠けの有無を判定するための基準円を求める側面基準円算出ステップと、
上記側面基準円算出ステップで得られた基準円の座標と上記側面位置検出ステップで求められた位置座標とに基づき上記被検査物の欠けの有無を判定する欠け不良判定ステップと、
を備えたことを特徴とする円板形状部品の欠け検査方法。 - 上記側面位置検出ステップは、上記円板形状部品撮像ステップで撮像した画像情報に対して、その中心より放射状に延ばした直線上において濃度値が暗(黒)から明(白)または明(白)から暗(黒)へと変化するエッジ点を求め、このエッジ点の位置を上記位置座標と判断することを特徴とする請求項6記載の円板形状部品の欠け検査方法。
- 上記側面基準円算出ステップは、上記側面位置検出ステップによって検出された上記位置座標からLMedS(最小2乗メディアン)ロバスト円回帰アルゴリズムを用いて上記基準円を求めることを特徴とする請求項6記載の円板形状部品の欠け検査方法。
- 上記欠け不良判定ステップは、上記側面基準円算出ステップで得られた基準円の半径と、上記基準円の中心座標から上記位置座標までの距離との差を上記位置座標それぞれについて求め、上記差の標準偏差値から被検査物の欠けの有無を判定することを特徴とする請求項6記載の円板形状部品の欠け検査方法。
- 上記欠け不良判定ステップは、上記位置座標の内の隣り合う位置座標間の距離を求め、上記隣り合う位置座標間の距離の標準偏差値を求め、上記基準円の半径に対する上記隣り合う位置座標間の距離の標準偏差値の割合から上記被検査物の欠けの有無を判定することを特徴とする請求項6記載の円板形状部品の欠け検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004111162A JP4369276B2 (ja) | 2004-04-05 | 2004-04-05 | 円板形状部品の欠け検査装置及び欠け検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004111162A JP4369276B2 (ja) | 2004-04-05 | 2004-04-05 | 円板形状部品の欠け検査装置及び欠け検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005292081A JP2005292081A (ja) | 2005-10-20 |
JP4369276B2 true JP4369276B2 (ja) | 2009-11-18 |
Family
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---|---|---|---|
JP2004111162A Expired - Fee Related JP4369276B2 (ja) | 2004-04-05 | 2004-04-05 | 円板形状部品の欠け検査装置及び欠け検査方法 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4369276B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5375083B2 (ja) * | 2008-12-25 | 2013-12-25 | 凸版印刷株式会社 | 円形の幅寸法測定装置 |
JP5123244B2 (ja) * | 2009-04-22 | 2013-01-23 | ヴィスコ・テクノロジーズ株式会社 | 形状欠損検査装置、形状モデリング装置および形状欠損検査プログラム |
JP5991463B2 (ja) * | 2012-03-13 | 2016-09-14 | 澁谷工業株式会社 | 検査装置 |
KR101802812B1 (ko) | 2016-04-20 | 2017-11-29 | 주식회사 고영테크놀러지 | 물품의 외관 검사장치 및 이를 이용한 물품의 외관 검사방법 |
WO2019116543A1 (ja) * | 2017-12-15 | 2019-06-20 | 日本たばこ産業株式会社 | シガレットフィルタ検査方法、シガレットフィルタ検査装置、及びシガレットフィルタ検査プログラム |
JP6971879B2 (ja) * | 2018-02-22 | 2021-11-24 | 三菱電機株式会社 | 曲率半径計測装置および曲率半径計測方法 |
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2004
- 2004-04-05 JP JP2004111162A patent/JP4369276B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005292081A (ja) | 2005-10-20 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061031 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090303 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090511 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090827 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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