JP2010135724A - 半導体レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体レーザ装置において、活性層をp側クラッド層側に設けると共にn側ガイド層の屈折率をp側ガイド層の屈折率よりも高くする。n側ガイド層、活性層及びp側ガイド層が、アンドープの層またはドープ量が抑制された層である。n側ガイド層、活性層及びp側ガイド層の厚さの合計Dudpが、半導体レーザ装置の発振波長の0.5倍以上、かつ2μm以下である。
【選択図】図3
Description
n型クラッド層と、p型クラッド層と、これらの層の間に位置する活性層と、前記n型クラッド層側に位置したガイド層であるn側ガイド層と、前記p型クラッド層側に位置したガイド層であるp側ガイド層と、を備え、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層が、アンドープの層またはドープ量が抑制された層であり、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層の厚さの合計が、半導体レーザ装置の発振波長の0.5倍以上、かつ2μm以下であり、
前記p側ガイド層が、前記n側ガイド層より薄く、
前記n側ガイド層の屈折率が、前記p側ガイド層の屈折率よりも高いことを特徴とする。
n型クラッド層と、p型クラッド層と、これらの層の間に位置する活性層と、前記n型クラッド層側に位置したガイド層であるn側ガイド層と、前記p型クラッド層側に位置したガイド層であるp側ガイド層と、を備え、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層が、アンドープの層またはドープ量が抑制された層であり、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層の厚さの合計が、半導体レーザ装置の発振波長の0.5倍以上、かつ2μm以下であり、
前記p側ガイド層が、前記n側ガイド層より薄く、
前記p型クラッド層の屈折率が、前記n型クラッド層の屈折率よりも低いことを特徴とする。
n型クラッド層と、p型クラッド層と、これらの層の間に位置する活性層と、前記n型クラッド層側に位置したガイド層であるn側ガイド層と、前記p型クラッド層側に位置したガイド層であるp側ガイド層と、を備え、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層が、アンドープの層またはドープ量が抑制された層であり、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層の厚さの合計が、半導体レーザ装置の発振波長の0.5倍以上、かつ2μm以下であり、
前記p側ガイド層が、前記n側ガイド層より薄く、
前記n側ガイド層の屈折率が、前記p側ガイド層の屈折率よりも高く、前記p型クラッド層の屈折率が、前記n型クラッド層の屈折率よりも低いことを特徴とする。
n型クラッド層と、p型クラッド層と、これらの層の間に位置する活性層と、前記n型クラッド層側に位置したガイド層であるn側ガイド層と、前記p型クラッド層側に位置したガイド層であるp側ガイド層と、を備え、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層が、アンドープの層またはドープ量が抑制された層であり、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層の厚さの合計が、半導体レーザ装置の発振波長の0.5倍以上、かつ2μm以下であり、
前記p側ガイド層が、前記n側ガイド層より薄く、
前記n側ガイド層が、前記活性層側に位置する第1の層と、前記n型クラッド層側に位置する第2の層と、前記第1、2の層の間に位置しかつ前記第1の層の屈折率および前記第2の層の屈折率よりも高い屈折率を備えた第3の層と、を有することを特徴とする。
n型クラッド層と、p型クラッド層と、これらの層の間に位置する活性層と、前記n型クラッド層側に位置したガイド層であるn側ガイド層と、前記p型クラッド層側に位置したガイド層であるp側ガイド層と、を備え、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層が、アンドープの層またはドープ量が抑制された層であり、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層の厚さの合計が、半導体レーザ装置の発振波長の0.5倍以上、かつ2μm以下であり、
前記p側ガイド層が、前記n側ガイド層より薄く、
前記p型クラッド層の屈折率が、前記n型クラッド層の屈折率よりも低く、
前記n側ガイド層が、前記活性層側に位置する第1の層と、前記n型クラッド層側に位置する第2の層と、前記第1、2の層の間に位置しかつ前記第1の層の屈折率および前記第2の層の屈折率よりも高い屈折率を備えた第3の層と、を有することを特徴とする。
図1は、実施の形態1の機能説明を行うための、発振波長810nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。以下、図1を用いて、ガイド層及び活性層等のアンドープ領域の厚さが、発振波長の0.5倍以上と厚い場合の効果を明らかにする。
図3は、実施の形態1の第1実施例にかかる、発振波長810nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図3において、符号と構成の対応関係は、次の通りである。すなわち、4はn側AlyGa1-yAs外側ガイド層(y=0.35、厚さは650nm)、5はn側AlzGa1-zAs内側ガイド層(z=0.30、厚さは50nm)、7はp側AlsGa1-sAsガイド層(s=0.35、厚さは300nm)である。
当該半導体レーザ装置に順方向のバイアスをかけ、n型AlxGa1-xAsクラッド層3から電子を、p型AltGa1-tAsクラッド層8からホール(正孔)を、それぞれn側AlyGa1-yAs外側ガイド層4とn側AlzGa1-zAs内側ガイド層5及びp側AlsGa1-sAsガイド層7を介してAlwGa1-wAs活性層6に注入する。
また、光強度分布は、非対称形となる。すなわち、光強度分布のピークが、活性層6及び屈折率の高いn側内側ガイド層5に、引き寄せられている。
比較のため、図5に示す対称形の場合を考察する。図において、符号400はn側AlyGa1-yAsガイド層(y=0.35、厚さは500nm)、符号700はp側AlsGa1-sAsガイド層(s=0.35、厚さは500nm)である。この場合のキャリア分布及び光強度分布を模式的に図6に示す。
(第2実施例)
図7は、実施の形態1のその他の実施例である発振波長980nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図7において、符号と構成の対応関係は、次の通りである。すなわち、12はn型AlxGa1-xAsクラッド層(Al組成比xは0.30、厚さは1.5μm)、13はn側AlyGa1-yAs外側ガイド層(y=0.05、厚さは650nm)、14はn側GaAs内側ガイド層(厚さは50nm)、15はInzGa1-zAs活性層(z=0.20、厚さは10nm)、16はp側AlsGa1-sAsガイド層(s=0.05、厚さは300nm)、17はp型AltGa1-tAsクラッド層(t=0.30、厚さは1.5μm)である。
図8は、実施の形態1のその他の実施例である発振波長810nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図8において、符号と構成の対応関係は、次の通りである。すなわち、18はn型(AlxGa1-x)0.51In0.49Pクラッド層(Al組成比xは0.50、厚さは1.5μm)、19はn側InGaP外側ガイド層(厚さは275nm)、20はn側In1-yGayAszP1-z内側ガイド層(z=0.10、y=0.56、厚さは25nm)、21はGaAs1-wPw活性層(w=0.12、厚さは10nm)、22はp側InGaPガイド層(厚さは100nm)、23はp型(AlxGa1-x)0.51In0.49Pクラッド層(x=0.50、厚さは1.5μm)である。
また、n側InGaAsP内側ガイド層のAs組成比z及びGa組成比yは、GaAsと格子整合するように決めている。
図9は、実施の形態1のその他の実施例である発振波長400nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図9において、符号と構成の対応関係は、次の通りである。すなわち、24はn電極、25はn型GaN基板、26はn型AlxGa1-xNクラッド層(Al組成比x=0.14、厚さは0.5μm)、27はn側GaN外側ガイド層(厚さは300nm)、28はn側InyGa1-yN内側ガイド層(In組成比y=0.05、厚さは25nm)、29はIn0.15Ga0.85N活性層(In組成比y=0.15、厚さは3.5nm)、30はGaNバリア層(厚さは7nm)、31はp側GaNガイド層(厚さは150nm)、32はp型AlxGa1-xNクラッド層(Al組成比x=0.14、厚さは0.5μm)、33はp型GaNコンタクト層、34はSiN絶縁膜、35はp電極である。
図10は、実施の形態1におけるその他の実施例である発振波長1310nm帯の半導体レーザ装置を示す断面図である。図10において、符号と構成の対応関係は、次の通りである。すなわち、36はn電極、37はn型InP基板、38はn型In1-xGaxAsyP1-yクラッド層(Ga組成比x=0.183、As組成比y=0.40、厚さ500nm)、39はn側In1-zGazAswP1-w外側ガイド層(Ga組成比z=0.262、As組成比w=0.568、厚さ600nm)、40はn側In1-sGasAstP1-t内側ガイド層(Ga組成比s=0.348、As組成比t=0.750、厚さ50nm)、41はIn1-uGauAsvP1-v活性層(Ga組成比u=0.443、As組成比v=0.950、厚さ7.5nm)、42はIn1-qGaqAsrP1-rバリア層(Ga組成比q=0.262、As組成比r=0.568、厚さ23nm)、43はp側n1-zGazAswP1-wガイド層(Ga組成比z=0.262、As組成比w=0.568、厚さ300nm)、44はp型In1-xGaxAsyP1-yクラッド層(Ga組成比x=0.183、As組成比y=0.40、厚さ500nm)、45はp型InPコンタクト層、46はSiO2絶縁膜、47はp電極である。
図11は、実施の形態1のその他の実施例である発振波長660nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図11において、符号と構成の対応関係は、次の通りである。すなわち、48はn型(AlxGa1-x)0.51In0.49Pクラッド層(Al組成比xは0.70、厚さは1.5μm)、49はn側(AlyGa1-y)0.51In0.49P外側ガイド層(Al組成比yは0.50、厚さは600nm)、50はn側(AlzGa1-z)0.51In0.49P内側ガイド層(Al組成比zは0.30、厚さは50nm)、51はGa0.51In0.49P活性層(厚さは5.5nm)、52は(AlwGa1-w)0.51In0.49Pバリア層(Al組成比wは0.50、厚さは5nm)、53はp側(AlyGa1-y)0.51In0.49Pガイド層(Al組成比yは0.50、厚さは300nm)、54はp型(AlxGa1-x)0.51In0.49Pクラッド層(Al組成比xは0.70、厚さは1.5μm)である。
図12は、実施の形態1におけるその他の実施例である発振波長1550nm帯の半導体レーザ装置を示す断面図である。図12において、符号と構成の対応関係は、次の通りである。すなわち、55はn型InPクラッド層(厚さ=0.75μm)、56はn側In1-xGaxAsyP1-y外側ガイド層(Ga組成比x=0.800、As組成比y=0.175、厚さ600nm)、 57はn側In1-zGazAswP1-w内側ガイド層(Ga組成比z=0.277、As組成比w=0.600、厚さ50nm)、58はIn1-sGasAstP1-t活性層(Ga組成比s=0.329、As組成比t=0.710、厚さ8nm)、59はIn1-uGauAsvP1-vバリア層(Ga組成比u=0.800、As組成比v=0.175、厚さ20nm)、60はp側In1-xGaxAsyP1-yガイド層(Ga組成比x=0.800、As組成比y=0.175、厚さ300nm)、61はp型InPクラッド層(厚さ0.75μm)である。
[実施の形態2の第1実施例]
図13は、実施の形態2における発振波長810nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図13において、符号と構成の対応関係は、次の通りである。すなわち、62はn側AlyGa1-yAsガイド層(y=0.35、厚さは700nm)、63はp型AltGa1-tAsクラッド層(t=0.60、厚さは1.5μm)である。実施の形態2の第1実施例は、内側ガイド層の構成を除き、実施の形態1の第1実施例(すなわち図3の構成)と同じである。
(第2実施例)
図14は、実施の形態2のその他の実施例における発振波長980nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図14において、64はn側AlyGa1-yAsガイド層(y=0.05、厚さは700nm)、65はp型AltGa1-tAsクラッド層(t=0.35、厚さは1.5μm)である。内側ガイド層を除き、その他は図7と同じである。尚、n側AlyGa1-yAsガイド層64及びp側AlsGa1-sAsガイド層16は、積極的なドーピングを行っていないため、アンドープかそれに近いドーピングとなっている。
図15は、実施の形態2のその他の実施例における発振波長810nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図15において、66はn側InGaPガイド層(厚さは300nm)、67はp型(AlxGa1-x)0.51In0.49Pクラッド層(x=0.55、厚さは1.5μm)である。内側ガイド層を除き、その他は図8と同じである。尚、n側InGaPガイド層66及びp側InGaPガイド層22は、積極的なドーピングを行っていないため、アンドープかそれに近いドーピングとなっている。
図16は、実施の形態2のその他の実施例である発振波長400nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図16において、68はn側GaNガイド層(厚さは350nm)、69はp型AlxGa1-xNクラッド層(Al組成比x=0.16、厚さは0.5μm)である。内側ガイド層を除き、その他は図9と同じである。尚、n側GaNガイド層68、GaNバリア層30及びp側GaNガイド層31は、積極的なドーピングを行っていないため、アンドープかそれに近いドーピングとなっている。
図17は、実施の形態2におけるその他の実施例である発振波長1310nm帯の半導体レーザ装置を示す断面図である。図17において、 70はn側In1-zGazAswP1-wガイド層(Ga組成比z=0.262、As組成比w=0.568、厚さ650nm)、71はp型In1-xGaxAsyP1-yクラッド層(Ga組成比x=0.160、As組成比y=0.350、厚さ500nm)である。内側ガイド層を除き、その他は図10と同じである。尚、n側In1-zGazAswP1-wガイド層70、In1-qGaqAsrP1-rバリア層42、及びp側In1-zGazAswP1-wガイド層43は、積極的なドーピングを行っていないため、アンドープかそれに近いドーピングとなっている。
図18は、実施の形態2のその他の実施例である発振波長660nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図18において、72はn側(AlyGa1-y)0.51In0.49Pガイド層(Al組成比yは0.50、厚さは650nm)、 73はp型(AlxGa1-x)0.51In0.49Pクラッド層(Al組成比xは0.80、厚さは1.5μm)である。内側ガイド層を除き、その他は図11と同じである。尚、n側(AlyGa1-y)0.51In0.49Pガイド層72、 (AlwGa1-w)0.51In0.49Pバリア層52及びp側(AlyGa1-y)0.51In0.49Pガイド層53は、積極的なドーピングを行っていないため、アンドープかそれに近いドーピングとなっている。
図19は、実施の形態2におけるその他の実施例である発振波長1550nm帯の半導体レーザ装置を示す断面図である。図19において、74はn型In1-xGaxAsyP1-yクラッド層(Ga組成比x=0.023、As組成比y=0.050、厚さ=1.0μm)、75はn側In1-zGazAswP1-wガイド層(Ga組成比z=0.800、As組成比w=0.175、厚さ650nm)、76はIn1-sGasAstP1-t活性層(Ga組成比s=0.329、As組成比t=0.710、厚さ8nm)、77はIn1-uGauAsvP1-vバリア層(Ga組成比u=0.800、As組成比v=0.175、厚さ20nm)、78はp側In1-zGazAswP1-wガイド層(Ga組成比z=0.800、As組成比w=0.175、厚さ300nm)、79はp型InPクラッド層(厚さ1.0μm)である。
尚、n側In1-zGazAswP1-wガイド層75、In1-uGauAsvP1-vバリア層77及びp側In1-zGazAswP1-wガイド層78は、積極的なドーピングを行っていないため、アンドープかそれに近いドーピングとなっている。
[実施の形態3の第1実施例]
図20は、実施の形態3における発振波長810nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図20において、80はp型AltGa1-tAsクラッド層(t=0.60、厚さは1.5μm)である。その他は、図3と同じである。AlGaAs活性層6がp型AlGaAsクラッド層80側に配置されているので、ガイド層内に溜まるキャリア数は、活性層がガイド層中央に存在する場合に比べて減少する。このため、フリーキャリア吸収に起因する損失が低下し、スロープ効率が向上する。
(第2実施例)
図21は、実施の形態3のその他の実施例である発振波長980nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図21において、81はp型AltGa1-tAsクラッド層(t=0.35、厚さは1.5μm)である。その他は図7と同じである。尚、n側AlyGa1-yAs外側ガイド層13、n側GaAs内側ガイド層14及びp側AlsGa1-sAsガイド層16は、積極的なドーピングを行っていないため、アンドープかそれに近いドーピングとなっている。
図22は、実施の形態3のその他の実施例である発振波長810nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図22において、82はp型(AlxGa1-x)0.51In0.49Pクラッド層(x=0.55、厚さは1.5μm)である。その他は図8と同じである。尚、n側InGaP外側ガイド層19、n側In1-yGayAszP1-z内側ガイド層20及びp側InGaPガイド層22は、積極的なドーピングを行っていないため、アンドープかそれに近いドーピングとなっている。
図23は、実施の形態3のその他の実施例である発振波長400nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図23において、83はp型AlxGa1-xNクラッド層(Al組成比x=0.16、厚さは0.5μm)である。その他は、図9と同じである。尚、n側GaN外側ガイド層27、n側InyGa1-yN内側ガイド層28、GaNバリア層30及びp側GaNガイド層31は、積極的なドーピングを行っていないため、アンドープかそれに近いドーピングとなっている。
図24は、実施の形態3におけるその他の実施例である発振波長1310nm帯の半導体レーザ装置を示す断面図である。図24において、84はp型In1-xGaxAsyP1-yクラッド層(Ga組成比x=0.160、As組成比y=0.35、厚さ500nm)である。その他は図10と同じである。尚、n側In1-zGazAswP1-w外側ガイド層39、 n側In1-sGasAstP1-t内側ガイド層40、 In1-qGaqAsrP1-rバリア層42、及びp側In1-zGazAswP1-wガイド層43は、積極的なドーピングを行っていないため、アンドープかそれに近いドーピングとなっている。
図25は、実施の形態3のその他の実施例である発振波長660nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図25において、85はp型(AlxGa1-x)0.51In0.49Pクラッド層(Al組成比xは0.80、厚さは1.5μm)である。その他は図11と同じである。尚、n側(AlyGa1-y)0.51In0.49P外側ガイド層49、n側(AlzGa1-z)0.51In0.49P内側ガイド層50、(AlwGa1-w)0.51In0.49Pバリア層52及びp側(AlyGa1-y)0.51In0.49Pガイド層53は、積極的なドーピングを行っていないため、アンドープかそれに近いドーピングとなっている。
図26は、実施の形態3におけるその他の実施例である発振波長1550nm帯の半導体レーザ装置を示す断面図である。図26において、86はn側In1-xGaxAsyP1-y外側ガイド層(Ga組成比x=0.800、As組成比y=0.175、厚さ600nm)、87はn側In1-zGazAswP1-w内側ガイド層(Ga組成比z=0.277、As組成比w=0.600、厚さ500nm)である。n側ガイド層を除き、その他は図19と同じである。尚、n側In1-xGaxAsyP1-y外側ガイド層86、n側In1-zGazAswP1-w内側ガイド層87、In1-uGauAsvP1-vバリア層77及びp側In1-zGazAswP1-wガイド層78は、積極的なドーピングを行っていないため、アンドープかそれに近いドーピングとなっている。
[実施の形態4の第1実施例]
図27は、実施の形態4における発振波長810nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図27において、符号と構成の対応関係は、次の通りである。すなわち、201はn型(AlxGa1-x)0.51In0.49Pクラッド層(x=0.30、厚さは1.5μm)、202はn側InGaP外側ガイド層(厚さは630nm)、203はn側In1-yGayAszP1-z中ガイド層(z=0.10、y=0.56、厚さは100nm)、204はn側InGaP内側ガイド層(厚さは20nm)、205はGaAs1-wPw活性層(w=0.12、厚さは12.5nm)、206はp側InGaPガイド層(厚さは450nm)、207はp型(AlxGa1-x)0.51In0.49Pクラッド層(x=0.30、厚さは1.5μm)である。
(第2実施例)
図28は、実施の形態4のその他の実施例である発振波長915nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図28において、符号と構成の対応関係は、次の通りである。すなわち、208はn型In0.49Ga0.51Pクラッド層(厚さは1.5μm)、209はn側In1-sGasAstP1-t外側ガイド層(t=0.6、s=0.8、厚さは600nm)、210はn側In1-yGayAszP1-z中ガイド層(z=0.7、y=0.85、厚さは100nm)、211はn側In1-sGasAstP1-t内側ガイド層(t=0.6、s=0.8、厚さは50nm)、212はInwGa1-wAs活性層(w=0.05、厚さは12.5nm)、213はp側In1-sGasAstP1-tガイド層(t=0.6、s=0.8、厚さは450nm)、214はp型In0.49Ga0.51Pクラッド層(厚さは1.5μm)である。
なお、実施の形態4では810nm帯及び915nm帯の半導体レーザ装置を例に説明したが、本発明はこれに限るものではない。他の材料系や波長帯においても同様な効果を奏する。
[実施の形態5の第1実施例]
図29は、実施の形態5における発振波長810nm帯の半導体レーザ装置を示す斜視図である。図29において、符号と構成の対応関係は、次の通りである。すなわち、215はp型(AlxGa1-x)0.51In0.49Pクラッド層(x=0.40、厚さは1.5μm)である。図29におけるその他の構成は、図27と同じ構成である。
2 n型GaAs基板
3 n型AlxGa1-xAsクラッド層
4 n側AlyGa1-yAs外側ガイド層
5 n側AlzGa1-zAs内側ガイド層
6 AlwGa1-wAs活性層
7 p側AlsGa1-sAsガイド層
8 p型AltGa1-tAsクラッド層
9 p型GaAsコンタクト層
10 p電極
11 プロトン注入領域
Claims (7)
- n型クラッド層と、p型クラッド層と、これらの層の間に位置する活性層と、前記n型クラッド層側に位置したガイド層であるn側ガイド層と、前記p型クラッド層側に位置したガイド層であるp側ガイド層と、を備え、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層が、アンドープの層またはドープ量が抑制された層であり、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層の厚さの合計が、半導体レーザ装置の発振波長の0.5倍以上、かつ2μm以下であり、
前記p側ガイド層が、前記n側ガイド層より薄く、
前記n側ガイド層の屈折率が、前記p側ガイド層の屈折率よりも高いことを特徴とする半導体レーザ装置。 - n型クラッド層と、p型クラッド層と、これらの層の間に位置する活性層と、前記n型クラッド層側に位置したガイド層であるn側ガイド層と、前記p型クラッド層側に位置したガイド層であるp側ガイド層と、を備え、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層が、アンドープの層またはドープ量が抑制された層であり、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層の厚さの合計が、半導体レーザ装置の発振波長の0.5倍以上、かつ2μm以下であり、
前記p側ガイド層が、前記n側ガイド層より薄く、
前記p型クラッド層の屈折率が、前記n型クラッド層の屈折率よりも低いことを特徴とする半導体レーザ装置。 - n型クラッド層と、p型クラッド層と、これらの層の間に位置する活性層と、前記n型クラッド層側に位置したガイド層であるn側ガイド層と、前記p型クラッド層側に位置したガイド層であるp側ガイド層と、を備え、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層が、アンドープの層またはドープ量が抑制された層であり、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層の厚さの合計が、半導体レーザ装置の発振波長の0.5倍以上、かつ2μm以下であり、
前記p側ガイド層が、前記n側ガイド層より薄く、
前記n側ガイド層の屈折率が、前記p側ガイド層の屈折率よりも高く、前記p型クラッド層の屈折率が、前記n型クラッド層の屈折率よりも低いことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体レーザ装置であって、
前記活性層が、バリア層を含んでなる多重量子井戸構造の層であり、
前記バリア層は、アンドープの層またはドープ量が抑制された層であり、
前記n側ガイド層、前記活性層、前記p側ガイド層、及び前記バリア層の厚さの合計が、半導体レーザ装置の発振波長の0.5倍以上、かつ2μm以下であることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体レーザ装置であって、
前記アンドープの層、または、前記ドープ量が抑制された層が、結晶成長及びウエハプロセスにおいて積極的な不純物のドーピングが行われない層であることを特徴とする半導体レーザ装置。 - n型クラッド層と、p型クラッド層と、これらの層の間に位置する活性層と、前記n型クラッド層側に位置したガイド層であるn側ガイド層と、前記p型クラッド層側に位置したガイド層であるp側ガイド層と、を備え、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層が、アンドープの層またはドープ量が抑制された層であり、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層の厚さの合計が、半導体レーザ装置の発振波長の0.5倍以上、かつ2μm以下であり、
前記p側ガイド層が、前記n側ガイド層より薄く、
前記n側ガイド層が、前記活性層側に位置する第1の層と、前記n型クラッド層側に位置する第2の層と、前記第1、2の層の間に位置しかつ前記第1の層の屈折率および前記第2の層の屈折率よりも高い屈折率を備えた第3の層と、を有することを特徴とする半導体レーザ装置。 - n型クラッド層と、p型クラッド層と、これらの層の間に位置する活性層と、前記n型クラッド層側に位置したガイド層であるn側ガイド層と、前記p型クラッド層側に位置したガイド層であるp側ガイド層と、を備え、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層が、アンドープの層またはドープ量が抑制された層であり、
前記n側ガイド層、前記活性層及び前記p側ガイド層の厚さの合計が、半導体レーザ装置の発振波長の0.5倍以上、かつ2μm以下であり、
前記p側ガイド層が、前記n側ガイド層より薄く、
前記p型クラッド層の屈折率が、前記n型クラッド層の屈折率よりも低く、
前記n側ガイド層が、前記活性層側に位置する第1の層と、前記n型クラッド層側に位置する第2の層と、前記第1、2の層の間に位置しかつ前記第1の層の屈折率および前記第2の層の屈折率よりも高い屈折率を備えた第3の層と、を有することを特徴とする半導体レーザ装置。
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