JP2014212186A - 半導体レーザ素子 - Google Patents
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Abstract
Description
が好ましい。
本発明に係る半導体レーザ素子の製作手順を図1から図7までの図に基づき説明する。
図1には半導体レーザ素子のベースとなる積層構造が示されている。積層構造は次の層を含む。すなわち一番下の層はn型GaAs基板1である。n型GaAs基板1の上には、例えば有機金属気相成長法(以下「MOCVD法」と称する)や分子線結晶成長法(以下「MBE法」と称する)により、n型GaAsバッファ層2、n型GaInPバッファ層3、n型クラッド層であるn型AlGaInPクラッド層4、n側光ガイド層であるn側AlGaAs光ガイド層5、正孔障壁層であるAlGaAs正孔障壁層6、活性層であるInGaAs/AlGaAs多重量子井戸活性層7、p側光ガイド層であるp側AlGaAs光ガイド層8、p型クラッド層であるp型AlGaInP第1クラッド層9、p型GaInPエッチストップ層10、p型クラッド層であるp型AlGaInP第2クラッド層11、p型GaInP中間層12、及びp型GaAsキャップ層13がこの順序で成長せしめられ、積層形成されている。
第1実施形態ではAlGaAs正孔障壁層6をInGaAs/AlGaAs多重量子井戸活性層7に隣接させた。それ以外の箇所にAlGaAs正孔障壁層6を形成することも可能であり、そのようにしたものを第2実施形態とする。AlGaAs正孔障壁層6は、InGaAs/AlGaAs多重量子井戸活性層7から50nm以内の領域に留まっていさえすれば、n側AlGaAs光ガイド層5の内部、あるいはn側AlGaAs光ガイド層5とn型AlGaInPクラッド層4の間といった箇所に形成することができる。このようにしても第1実施形態と同様の特性と結果を得ることができる。
2 n型GaAsバッファ層
3 n型GaInPバッファ層
4 n型AlGaInPクラッド層
5 n側AlGaAs光ガイド層
6 AlGaAs正孔障壁層
7 InGaAs/AlGaAs多重量子井戸活性層
8 p側AlGaAs光ガイド層
9 p型AlGaInP第1クラッド層
10 p型GaInPエッチストップ層
11 p型AlGaInP第2クラッド層
12 p型GaInP中間層
13 p型GaAsキャップ層
14 ZnO膜
15、16 SiO2膜
17 p側電極
18 n側電極
Claims (5)
- p型クラッド層、p側光ガイド層、活性層、n側光ガイド層、及びn型クラッド層を含み、発振波長が800〜1000nmである半導体レーザ素子において、
前記n型クラッド層の方が前記p型クラッド層よりも屈折率が高く、
前記活性層と前記n型クラッド層の間に正孔障壁層が設けられていることを特徴とする半導体レーザ素子。 - 前記正孔障壁層は前記n型クラッド層よりも大なるバンドギャップを有することを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ素子。
- 前記正孔障壁層は前記活性層から50nm以内の領域に留まることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ素子。
- 前記正孔障壁層の厚さは5nm以上であることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ素子。
- 前記正孔障壁層はAlGaAs層からなることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ素子。
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