JP2010134812A - 圧力制御装置および流量制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電空レギュレータ40は、エアの供給源に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される給気用電磁弁43と、電磁弁43の下流に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される排気用電磁弁44とを備える。エア通路35に導出されるエアの圧力センサ72による検出圧力を目標圧力にするために、電磁弁43,44を各周期において駆動するパルス信号をエアの検出圧力と目標圧力との偏差に基づいてPID演算により生成するともに、エアの検出圧力と目標圧力との偏差が判定値以上であることを条件に、電磁弁43,44が駆動される周期おいて偏差を小さくするように、PID演算により生成されるパルス信号を変更する。
【選択図】図2
Description
Claims (4)
- 気体の供給源に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される給気用電磁弁と、
前記給気用電磁弁に接続通路を介して接続されるとともに前記所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される排気用電磁弁と、
前記接続通路から前記気体を導出する導出通路と、
前記接続通路内又は前記導出通路内の前記気体の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記圧力検出手段による前記気体の検出圧力を目標圧力にするために、前記給気用電磁弁および前記排気用電磁弁を各周期において駆動する前記パルス信号を前記気体の検出圧力と目標圧力との偏差に基づいて生成する第1パルス生成手段と、
前記気体の検出圧力と目標圧力との偏差が判定値以上であることを条件に、前記給気用電磁弁および前記排気用電磁弁が駆動される周期おいて前記偏差を小さくするように、前記第1パルス生成手段により生成される前記パルス信号を変更する第2パルス生成手段と
を備えることを特徴とする圧力制御装置。 - 前記判定値は、前記給気用電磁弁又は前記排気用電磁弁が前記パルス信号の2周期にわたって動作しなかったことを検出することのできる値に設定されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力制御装置。
- 前記第2パルス生成手段は、前記偏差が前記判定値以上である状態が、前記所定周期よりも短く設定された判定期間以上継続することを更に条件として、前記第1パルス生成手段により生成される前記パルス信号を変更することを特徴とする請求項1又は2に記載の圧力制御装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の圧力制御装置と、
前記圧力制御装置から供給される前記気体により印加される圧力に基づいて流体の流量を調整する流量調整手段と、
前記流体の流量を検出する流量検出手段と、
前記流量検出手段による前記流体の検出流量を目標流量にするために前記検出流量と前記目標流量との偏差に基づいて前記気体の前記目標圧力を設定する設定手段と
を備えることを特徴とする流量制御装置。
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