CN109207963A - 流体控制装置、流体控制方法和程序存储介质 - Google Patents

流体控制装置、流体控制方法和程序存储介质 Download PDF

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Abstract

本发明提供流体控制装置、流体控制方法和程序存储介质。流体控制装置能够在脉冲控制中在各打开期间对经过阀的流体的流量或压力实现比以往更高的控制精度，控制机构包括：脉冲信号发生器，向第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；反馈值算出部，基于由压力传感器测定的压力值，计算出所述第一阀打开的打开期间在内部容积部内产生的压力下降量的时间积分值作为反馈值；以及信号修正部，基于所述反馈值与基准值的偏差，对从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。

Description

流体控制装置、流体控制方法和程序存储介质
技术领域
本发明涉及一种流体控制装置，该流体控制装置例如用于在半导体制造装置中对各种气体的流量进行脉冲控制。
背景技术
例如，在作为半导体成膜装置的一种的原子层沉积装置(ALD：Atomic LayerDeposition)中，在短时间内交替地导入成分气体和水蒸气，意图以埃单位的膜厚实现成膜。
因此，为了能够将各种气体以形成例如一个原子程度的膜所需要的流量的方式导入成膜室内，控制导入成膜室内的各种气体的流量的质量流量控制器由脉冲控制驱动(专利文献1)。
这样的由脉冲控制驱动的质量流量控制器包括：阻力体，设置于流路；阀，设置在所述阻力体的下游侧；以及控制机构，使所述阀交替地反复处于所述阀打开的打开期间和所述阀关闭的关闭期间。更具体地说，所述质量流量控制器在关闭期间使气体流入所述阻力体与所述阀之间的流路的内部容积部，以成为预定压力的方式进行充气，并且在打开期间使充入内部容积部的气体向阀的下游侧流动。
此外，所述阀具有用于实际测量自身开度的位移传感器，并且所述控制机构在所述打开期间进行所述阀的开度反馈控制，以使由所述位移传感器测定的实际测量开度与设定开度一致，该设定开度与应流动的气体的流量相对应。
但是，本申请的发明人经过认真研究发现，即使以上述方式进行开度反馈控制，然而特别是在脉冲宽度短的情况下，实际上向所述阀的下游侧流动的流量相对于设想的流量产生误差。即，仅通过单纯的开度反馈，例如在原子层沉积装置中难以实现所要求的流量精度。
专利文献1：国际申请说明书日文译本特表2017-509793号
发明内容
本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种流体控制装置，能够在脉冲控制中在各打开期间对经过阀的流体的流量或压力实现比以往更高的控制精度。
即，本发明的流体控制装置的特征在于，包括：阻力体，设置于流体流动的流路；第一阀，在所述流路中设置在比所述阻力体更靠下游侧；压力传感器，在所述流路中设置在所述阻力体与所述第一阀之间，测定所述阻力体与所述第一阀之间的内部容积部内的流体的压力；以及控制机构，控制所述第一阀，所述控制机构包括：脉冲信号发生器，向所述第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；反馈值算出部，基于由所述压力传感器测定的压力值，计算出所述第一阀打开的打开期间在所述内部容积部内产生的压力下降量的时间积分值作为反馈值；以及信号修正部，基于所述反馈值与基准值的偏差，对从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。
按照本申请的发明人首次得出的见解，与以往实际测量阀的开度并利用开度反馈对所述第一阀进行脉冲控制的情况相比，在对打开期间的压力下降量的时间积分值进行反馈而对所述第一阀进行脉冲控制的情况下，实现的流量或压力的控制精度能够得到提高。
此外，打开期间的压力下降量的时间积分值与经过所述第一阀的流体的流量显示出良好的线性关系，与开度相比更容易作为控制量进行处理。
可以认为由于以下原因可以得到这种控制特性：在对开度进行反馈时，即使所述第一阀的上游侧的压力发生变动，也不对这种信息或与实际流动的流量相关联的值进行反馈从而产生误差，对此，如果反馈的是压力下降量的时间积分值，则由于是与实际流动的流量相关联的值，所以能够对产生的流量误差进行反馈并进行修正。
为了在各打开期间尽可能地保持目标流量，优选的是，所述基准值是经过所述第一阀的流体的流量成为目标流量时的压力下降量的时间积分值的实际值。
例如，为了在ALD等中不改变菜单(recipe)结束为止的时间，就使输入各脉冲时流动的流体的流量恒定，从而使生成的膜厚恒定，优选的是，所述信号修正部在将所述脉冲信号的脉冲宽度保持为恒定的状态下改变脉冲高度，以使所述反馈值与所述基准值的偏差变小。由此，可以使成膜工序的时间为预定的时间，并且能够在保持每单位时间的处理数的状态下实现高质量的成膜。
作为用于在各打开期间将经过所述第一阀的流体流量或压力保持为恒定的其他控制方式，可以列举的是，所述信号修正部在将所述脉冲信号的脉冲高度保持为恒定的状态下改变脉冲宽度，以使所述反馈值与所述基准值的偏差变小。
为了将作为所述第一阀的上游侧的所述内部容积部内的流体的压力在各打开期间开始之前保持为预定的压力，并且在各打开期间使经过所述第一阀的流体流量或压力更不容易产生变动，优选的是，所述阻力体是能够控制开度的第二阀，所述控制机构还包括第二阀控制部，所述第二阀控制部控制所述第二阀，以便在所述第一阀关闭的关闭期间使由所述压力传感器测定的压力值与设定压力值的偏差变小。此外，按照这种结构，由于在更大的流量范围内，压力下降量的时间积分值显现出高线性，所以仅利用一个校准曲线也能够取得更大的控制范围。
为了能够监测所述第一阀是否利用脉冲控制而以设想的方式进行动作，优选的是，所述第一阀具有测定所述第一阀的开度的位移传感器。
可以列举的本发明的另一方式的流体控制装置包括：作为阻力体的第二阀，设置于流体流动的流路；第一阀，在所述流路中设置在比所述阻力体更靠下游侧；压力传感器，在所述流路中设置在所述阻力体与所述第一阀之间，测定所述阻力体与所述第一阀之间的内部容积部内的流体的压力；以及控制机构，控制所述第一阀和所述第二阀，所述第一阀具有测定所述第一阀的开度的位移传感器，所述控制机构包括：第二阀控制部，控制所述第二阀，以便在所述第一阀关闭的关闭期间使由所述压力传感器测定的压力值与设定压力值的偏差变小；脉冲信号发生器，向所述第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；以及信号修正部，基于在所述第一阀打开的打开期间由所述位移传感器测定的测定开度与预先确定的设定开度的偏差，对从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。
按照这种结构，即使在利用开度反馈对所述第一阀进行脉冲控制时，也以所述内部容积部的压力在所述关闭期间保持为预定的压力的方式充入流体，所以与以往相比能够提高在打开期间经过所述第一阀的流体的流量或压力的控制精度。
本发明的流体控制方法使用流体控制装置，所述流体控制装置包括：阻力体，设置于流体流动的流路；第一阀，在所述流路中设置在比所述阻力体更靠下游侧；以及压力传感器，在所述流路中设置在所述阻力体与所述第一阀之间，测定所述阻力体与所述第一阀之间的内部容积部内的流体的压力，所述流体控制方法的特征在于，包括控制所述第一阀的控制步骤，所述控制步骤包括：脉冲信号生成步骤，向所述第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；反馈值算出步骤，基于由所述压力传感器测定的压力值，计算出所述第一阀打开的打开期间在所述内部容积部内产生的压力下降量的时间积分值作为反馈值；以及信号修正步骤，基于所述反馈值与基准值的偏差，对计算出所述反馈值之后从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。如果采用所述流体控制方法，则与利用开度反馈对第一阀进行脉冲控制时相比，能够以更高的精度控制流量或压力。
为了仅通过对现有的流体控制装置更新程序，就能够起到与本发明的流体控制装置相同的效果，本发明的流体控制装置用程序是用于流体控制装置的流体控制程序，所述流体控制装置包括：阻力体，设置于流体流动的流路；第一阀，在所述流路中设置在比所述阻力体更靠下游侧；压力传感器，在所述流路中设置在所述阻力体与所述第一阀之间，测定所述阻力体与所述第一阀之间的内部容积部内的流体的压力，所述流体控制装置用程序被计算机执行时实现控制所述第一阀的控制步骤，所述控制步骤包括：脉冲信号生成步骤，向所述第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；反馈值算出步骤，基于由所述压力传感器测定的压力值，计算出所述第一阀打开的打开期间在所述内部容积部内产生的压力下降量的时间积分值作为反馈值；以及信号修正步骤，基于所述反馈值与基准值的偏差，对从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。
另外，流体控制装置用程序既能够以电子方式发送，也能够存储在CD、DVD、HDD、闪存器等程序存储介质中。
如此，按照本发明的流体控制装置，由于基于打开期间的压力下降量的时间积分值来对所述第一阀的开度进行脉冲控制，所以与对开度本身进行反馈来进行脉冲控制的情况相比，可以提高打开期间经过所述第一阀的流体的流量或压力的控制精度。因此，在各打开期间能够以所需要的微小量向成膜室准确地提供各种气体，例如能够在ALD等中实现高精度的成膜。
附图说明
图1是表示本发明第一实施方式的流体控制装置和使用该流体控制装置的原子层沉积装置的示意图。
图2是表示第一实施方式的流体控制装置的硬件和软件的构成的示意图。
图3是表示在第一实施方式中输入第一阀的脉冲信号的示意性坐标图。
图4是表示第一实施方式中的由脉冲控制产生的第一阀的开度变化、内部容积部内的流体的压力变化和压力下降量的时间积分值的示意性坐标图。
图5是表示第一实施方式的流体控制装置的动作的流程图。
图6是表示以往的流体控制装置和第一实施方式的流体控制装置的控制精度的坐标图。
图7是表示本发明第二实施方式的流体控制装置的硬件和软件的构成的示意图。
图8是表示第二实施方式的流体控制装置的动作的流程图。
图9是表示本发明第三实施方式的流体控制装置的硬件和软件的构成的示意图。
图10是表示第三实施方式的流体控制装置的动作的流程图。
附图标记说明
100 流体控制装置
1 阻力体(第二阀)
2 压力传感器
3 第一阀
4 位移传感器
5 内部容积部
6 脉冲信号发生器
7 反馈值算出部
71 压力值存储部
72 积分值算出部
8 信号修正部
9 第二阀控制部
具体实施方式
<第一实施方式的结构>
参照图1至图5，对本发明第一实施方式的流体控制装置100进行说明。如图1所示，第一实施方式的流体控制装置100利用脉冲控制，向原子层沉积装置200(ALD)的成膜室CH断续地供给各种气体。与成膜室CH连通的第一气体供给流路L1和第二气体供给流路L2分别设有一个所述流体控制装置100。第一气体供给流路L1例如用于将被称为前驱物的TMA等成分气体向所述成膜室CH内供给，第二气体供给流路L2例如用于将水蒸气向所述成膜室CH内供给。
设置在第一气体供给流路L1和第二气体供给流路L2上的各流体控制装置100的脉冲控制的时机错开，从而向成膜室CH内交替供给成分气体和水蒸气。此外，各流体控制装置100利用一个脉冲向所述成膜室CH内供给的各种气体的流量是形成厚度为一个原子程度的层所需要的足够流量。
由于各流体控制装置100具有大体相同的结构，所以以下着眼于一个流体控制装置100，参照图2对其进行详细说明。
所述流体控制装置100从流路的上游侧依次设置有阻力体1、压力传感器2和第一阀3，此外还包括控制机构C，该控制机构C基于所述压力传感器2的输出对所述第一阀3进行脉冲控制。
所述阻力体1例如是在流路内产生流路阻力的节流孔等。另外，在第一实施方式中，节流孔的内径恒定，流路阻力恒定。
所述压力传感器2测定内部容积部5内的流体的压力，该内部容积部5是流路中的所述阻力体1与所述第一阀3之间的部分，且具有预定的内部容积。
所述第一阀3例如利用压电致动器驱动阀芯，能够改变阀芯与阀座之间的间隙亦即开度。该第一阀3还内置有位移传感器4，能够实际测量所述阀芯的位移量来测定开度。
所述控制机构C控制所述第一阀3，能够使所述第一阀3交替地反复处于所述第一阀3打开的打开期间和所述第一阀3关闭的关闭期间。更具体地说，所述控制机构C是具有CPU、存储器、A/D及D/A转换器和输入输出装置等的所谓的计算机，执行存储在所述存储器中的用于流体控制装置100的程序，通过使各种设备协同动作，至少作为脉冲信号发生器6、反馈值算出部7和信号修正部8发挥功能。
所述脉冲信号发生器6向所述第一阀3输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号。在第一实施方式中，如图3所示，所述脉冲信号发生器6在每个预定周期向所述第一阀3的压电致动器输入电压的脉冲信号。即，所述脉冲信号发生器6向所述第一阀3输入脉冲信号的期间是所述第一阀3打开的打开期间，各脉冲信号之间的未向所述第一阀3输入脉冲信号的期间是第一阀3关闭的关闭期间。此外，虽然能够利用后述的修正部逐次改变脉冲信号的脉冲高度，但是脉冲宽度和脉冲信号的周期恒定。脉冲宽度例如设定为10msec数量级，周期设定为100msec数量级。另外，对于脉冲宽度、脉冲信号的周期示出了一例，可以根据用途适当地设定为任意值。
所述反馈值算出部7基于由所述压力传感器2测定的压力值，计算打开期间在所述内部容积部5内产生的压力下降量的时间积分值作为反馈值。即，如图4的坐标图所示，如果向所述第一阀3输入脉冲信号使所述第一阀3打开，则充入内部容积部5的气体经过所述第一阀3，因内部容积部5的气体的量减少而产生压力下降。该压力下降从开始脉冲信号的输入而使所述第一阀3打开起持续至结束脉冲信号的输入而使所述第一阀3关闭为止。在第一实施方式中，反馈值是与图4的坐标图中的阴影部分相对应的面积，例如利用区分求积法计算出该压力下降量的时间积分值。
更具体地说，所述反馈值算出部7包括：压力值存储部71，逐次存储由所述压力传感器2测定的压力值；以及积分值算出部72，基于存储于所述压力值存储部71的压力值，计算出压力下降量的时间积分值。
所述压力值存储部71例如存储从利用所述脉冲信号发生器6向所述第一阀3输入脉冲信号的时点到结束时点为止的压力值的时序数据。
所述积分值算出部72基于存储于所述压力值存储部71的压力值的时序数据，计算出压力下降量的时间积分值。例如，所述积分值算出部72将向第一阀3输入脉冲信号的时点的初始压力值与在各时点测定的压力值之差乘以取样时间，利用区分求积法计算出图4的阴影部分的面积，并作为反馈值输出。
所述信号修正部8基于所述反馈值与基准值的偏差，对计算出所述反馈值之后从所述脉冲信号发生器6输入所述第一阀3的脉冲信号进行修正。更具体地说，所述信号修正部8以根据某一脉冲信号输入所述第一阀3时的压力下降计算出的反馈值与基准值的偏差变小的方式，对某一脉冲信号下一次输入的脉冲信号的脉冲高度进行修正。此时，所述信号修正部8通过改变所述脉冲信号发生器6的设定来改变下一次输出的脉冲信号的脉冲高度。即，利用所述信号修正部8，根据由上一次输入的脉冲信号得到的压力下降量的时间积分值，对从所述脉冲信号发生器6输出的脉冲信号逐次修正脉冲高度。
在此，所述基准值是预先确定的值，并且是经过所述第一阀3的流体的流量成为目标流量时的压力下降量的时间积分值的实际值。即，预先利用实验等，将与一次打开期间希望流入成膜室CH的目标流量相对应的压力下降量的时间积分值取得为基准值。
<第一实施方式的动作>
接着，参照图5的流程图，说明第一实施方式的流体控制装置100的与流量的脉冲控制相关的动作。
首先，从向所述内部容积部5充入足够压力的气体的状态开始，所述流体控制装置100开始由脉冲控制进行的流量控制。即，所述脉冲信号发生器6以初始设定的脉冲高度和脉冲宽度向所述第一阀3输入脉冲信号(步骤S1)。
所述第一阀3在与所述脉冲信号的脉冲宽度相对应的预定时间的期间打开(步骤S2)。在所述第一阀3打开的期间，充入所述内部容积部5的气体经过所述第一阀3并向成膜室CH流动。因此，内部容积部5内的气体的压力在打开期间如图4的坐标图所示的那样持续下降(步骤S3)。如果结束了脉冲信号朝向所述第一阀3的输入，则所述第一阀3以预定时间保持关闭的状态(步骤S4)。在所述第一阀3关闭的期间，新的气体从上游侧经过所述阻力体1充入所述内部容积部5内，气体的压力上升(步骤S5)。
所述反馈值算出部7以与步骤S2到步骤S5并行的方式，计算所述第一阀3打开到关闭为止的打开期间的压力下降量的时间积分值作为反馈值(步骤S6)。此后，所述信号修正部8基于反馈值与基准值的偏差，对从所述脉冲信号发生器6下一次输出的脉冲信号的脉冲高度进行修正(步骤S7)。例如在反馈值小于基准值时为流量不足，所以脉冲高度改变为比上一次高。相反，在反馈值大于基准值时为流量过剩的状态，所以脉冲高度改变为比上一次低。
接着，所述脉冲信号发生器6判断是否输出了预先确定的规定数量的脉冲信号(步骤S8)，在尚未达到规定数量时，将具有步骤S8中修正的脉冲高度的脉冲信号以与上一次相同的脉冲宽度输入所述第一阀3(步骤S9)。
此后，在向所述第一阀3输入规定数量的脉冲信号为止的期间，反复进行步骤S2～S9的动作。在全部的循环结束后，所述流体控制装置的动作结束。
<第一实施方式的效果>
按照如此构成的第一实施方式的流体控制装置100，由于将打开期间的压力下降量的时间积分值作为反馈值，逐次修正输入所述第一阀3的脉冲信号的脉冲高度，所以能够将各打开期间经过所述第一阀3的气体的流量均匀地保持为目标流量。
更具体地说，如图6的坐标图所示，与以往对所述第一阀3的开度进行反馈来进行脉冲控制的情况相比，如果像第一实施方式那样对压力下降量的时间积分值进行反馈来进行脉冲控制，则与以往相比可以提高反馈的值与实际流动的流量之间的线性关系。因此，与以往实际测量开度来进行反馈的情况相比，能够进一步提高实际流量的控制精度。
由此，可以将利用各脉冲信号而经过所述第一阀3并流入成膜室CH内的各气体的流量例如调整成形成一个原子程度的膜所需要的足够的量，从而可以在ALD中实现高质量的成膜。
此外，由于所述信号修正部8仅改变脉冲高度来调整所述第一阀3打开的状态下流动的气体的流量，而脉冲宽度和周期恒定，所以例如即使在实施多个循环而向成膜室CH内导入气体的情况下，从开始到结束所需要的时间也不会发生变化。即，在ALD中设定的菜单(recipe)能够在提高流量的精度的同时使处理时间不变化，能够保持高生产性。
<第二实施方式的结构>
接着，参照图7和图8，对本发明第二实施方式的流体控制装置100进行说明。
与第一实施方式相比，第二实施方式的流体控制装置100的不同点在于，阻力体1为第二阀1且控制机构C包括控制所述第二阀1的第二阀控制部9。具体地说，在第二实施方式中，通过改变所述第二阀1的开度，能够针对流入内部容积部5的流体调整流路阻力。
所述第二阀1与所述第一阀3同样利用压电致动器来驱动阀芯，能够改变阀芯相对于阀座的位置亦即开度。
所述第二阀控制部9基于由所述压力传感器2测定的内部容积部5内的气体的压力值，控制所述第二阀1的开度。具体地说，控制向所述第二阀1施加的电压，以使由所述压力传感器2测定的压力值与预先确定的设定压力值的偏差变小。在此，设定压力值是为了实现目标流量而向所述第一阀3输入脉冲信号使其打开的时点，所述内部容积部5应保持的压力值。在第二实施方式中，通过控制所述第二阀1，至少在所述第一阀3即将打开之前以相同的压力对所述内部容积部5充入流体。
<第二实施方式的动作>
如图8的流程图所示，第二实施方式的流体控制装置100进行与第一实施方式的流体控制装置100同样的步骤S1～S9的动作，但是从执行步骤S1之前的状态到全部循环结束为止的期间，以由所述压力传感器2测定的压力值成为设定压力值的方式，持续对所述第二阀1进行利用压力反馈的开度控制(步骤S0)。
<第二实施方式的效果>
按照如此构成的流体控制装置100，由于在向所述第一阀3输入脉冲信号而成为打开期间之前，利用所述第二阀1将所述内部容积部5内的气体的压力保持为设定压力值，所以在各打开期间开始时，始终将所述第一阀3前后的压差保持为恒定。因此，由于将脉冲高度以外的不是控制对象的物理量保持为恒定，所以在各循环中能够进一步提高经过所述第一阀3的气体的流量的控制精度。
接着，参照图9和图10，对本发明第三实施方式的流体控制装置100进行说明。
与第二实施方式相比，第三实施方式的流体控制装置100的不同点在于，不是第一阀3对压力下降量的时间积分值进行反馈，而是通过对位移传感器4测定的实际开度进行反馈来实施控制。
更具体地说，在第三实施方式的控制机构C中省略了第一、第二实施方式的反馈值算出部7。
此外，所述信号修正部8基于由所述位移传感器4测定的实际开度与预先确定的设定开度的偏差，对从所述脉冲信号发生器6输出的脉冲信号的脉冲高度进行修正。具体地说，由所述位移传感器4测定输出某一脉冲信号时的所述第一阀3的开度，所述信号修正部8基于该实际开度来改变所述脉冲信号发生器6的设定，以使由下一次的脉冲信号的脉冲高度实现的开度接近设定开度。
所述设定开度例如是将所述第一阀3的上游侧保持为设定压力并将下游侧保持为大体真空的状态下，用于流动有目标流量所需要的开度的实际值。
<第三实施方式的流体控制装置100的动作>
第三实施方式的流体控制装置100的动作与图8所示的第二实施方式的流体控制装置100的动作相比，仅步骤S6和步骤S7的动作不同。即，在第三实施方式的流体控制装置100中，由所述位移传感器4实际测量在打开期间由所述第一阀3实现的开度(步骤S6’)，并且基于实际开度和设定开度，改变下一次输出的脉冲信号的脉冲高度的修正量(步骤S7’)。
<第三实施方式的流体控制装置100的效果>
按照如此构成的第三实施方式的流体控制装置100，由于利用所述第二阀1将内部容积部5的压力保持为设定压力，所以即使利用开度反馈来对第一阀3进行脉冲控制，也能够与以往相比进一步提高流量的控制精度。
此外，由于可以不进行用于计算出反馈值的积分等运算而使运算负荷小，所以即使脉冲宽度和周期短而用于运算的时间短的情况下，也能够具有充分的余量来进行开度反馈。也就是说，即使在控制机构C中不使用高速的CPU等，也能够在各循环中高精度地控制流量。
此外，由于利用所述第二阀1以使所述内部容积部5内的气体压力保持为恒定的方式进行控制，所以即使气体的压力在比所述第二阀1更靠上游侧发生变动，也能够使这种变动几乎不会影响到经过所述第一阀3的气体的流量的控制精度。即，可以提高流量控制的稳健性。此外，由于能够在较大的流量范围内实现开度与流量之间的线性关系，所以例如仅通过确定一个校准曲线，就能够在大范围内高精度地实现流量控制。
对其他实施方式进行说明。
在各实施方式中，通过对脉冲信号的脉冲高度进行修正，从而在各循环中将经过第一阀的流体的流量保持为恒定值，但是例如也可以通过对脉冲信号的脉冲宽度进行修正来进行流量控制。此外，也可以通过对脉冲高度和脉冲宽度双方进行修正，将各循环中的流量保持为恒定。
在信号修正部中使用的基准值也可以不预先设定，而是将开始脉冲控制起的数个脉冲用作调整用脉冲来进行设定。具体地说，将开始脉冲控制后的数个脉冲中实际测量的压力下降量的时间积分值为与目标流量相对应的值时的压力下降量的时间积分值作为基准值。此外，也可以仅在开始脉冲控制时的数个脉冲中对压力下降量的时间积分值进行反馈，如果实现与基准值相同的时间下降量的积分值，则此后不使信号修正部进行动作而是以相同的脉冲高度和脉冲宽度持续动作。
在所述实施方式中，信号修正部基于由某一脉冲信号前一次输出的脉冲信号在打开期间产生的压力下降量的积分值，对脉冲高度或脉冲宽度进行修正，但是例如也可以基于由之前第二次、之前第三次输出的脉冲信号在打开期间产生的压力下降量的积分值，对当前输出的脉冲信号进行修正。此外，也可以基于由某一脉冲信号在打开期间产生的压力下降量的积分值，在相同的打开期间中对脉冲信号的脉冲高度或脉冲宽度进行修正。例如可以基于在打开期间前半段得到的压力下降量的积分值，与基准值进行比较来对打开期间后半段的脉冲信号进行修正。此外，例如也可以逐次计算出压力下降量的积分值，同时逐次改变脉冲信号的脉冲高度。
流体控制装置也可以不控制经过第一阀的流体的流量而是控制压力。
本发明的流体控制装置并不限定应用于ALD，可以在各种用途中用于对流体进行脉冲供给。
第一阀和第二阀并不限定于使用压电致动器，也可以利用螺线管等各种驱动部件来驱动阀芯。
阻力体只要能够形成流路阻力即可，并不限定于各实施方式中记载的构件。
计算压力下降量的时间积分值的方法并不限定于区分求积法，也可以利用各种方法来计算。例如，也可以仅基于打开期间的开始点和结束点的压力值，将三角形区域的面积用作压力下降量的时间积分值的近似值。
此外，只要不违反本发明的宗旨，可以进行各种实施方式的组合和变形。

Claims (9)

1.一种流体控制装置，其特征在于，包括：
阻力体，设置于流体流动的流路；
第一阀，在所述流路中设置在比所述阻力体更靠下游侧；
压力传感器，在所述流路中设置在所述阻力体与所述第一阀之间，测定所述阻力体与所述第一阀之间的内部容积部内的流体的压力；以及
控制机构，控制所述第一阀，
所述控制机构包括：
脉冲信号发生器，向所述第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；
反馈值算出部，基于由所述压力传感器测定的压力值，计算出所述第一阀打开的打开期间在所述内部容积部内产生的压力下降量的时间积分值作为反馈值；以及
信号修正部，基于所述反馈值与基准值的偏差，对从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。
2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述基准值是经过所述第一阀的流体的流量成为目标流量时的压力下降量的时间积分值的实际值。
3.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述信号修正部在将所述脉冲信号的脉冲宽度保持为恒定的状态下改变脉冲高度，以使所述反馈值与所述基准值的偏差变小。
4.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述信号修正部在将所述脉冲信号的脉冲高度保持为恒定的状态下改变脉冲宽度，以使所述反馈值与所述基准值的偏差变小。
5.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，
所述阻力体是能够控制开度的第二阀，
所述控制机构还包括第二阀控制部，所述第二阀控制部控制所述第二阀，以便在所述第一阀关闭的关闭期间使由所述压力传感器测定的压力值与设定压力值的偏差变小。
6.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述第一阀具有测定所述第一阀的开度的位移传感器。
7.一种流体控制装置，其特征在于，包括：
作为阻力体的第二阀，设置于流体流动的流路；
第一阀，在所述流路中设置在比所述阻力体更靠下游侧；
压力传感器，在所述流路中设置在所述阻力体与所述第一阀之间，测定所述阻力体与所述第一阀之间的内部容积部内的流体的压力；以及
控制机构，控制所述第一阀和所述第二阀，
所述第一阀具有测定所述第一阀的开度的位移传感器，
所述控制机构包括：
第二阀控制部，控制所述第二阀，以便在所述第一阀关闭的关闭期间使由所述压力传感器测定的压力值与设定压力值的偏差变小；
脉冲信号发生器，向所述第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；以及
信号修正部，基于在所述第一阀打开的打开期间由所述位移传感器测定的测定开度与预先确定的设定开度的偏差，对从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。
8.一种流体控制方法，使用流体控制装置，所述流体控制装置包括：阻力体，设置于流体流动的流路；第一阀，在所述流路中设置在比所述阻力体更靠下游侧；以及压力传感器，在所述流路中设置在所述阻力体与所述第一阀之间，测定所述阻力体与所述第一阀之间的内部容积部内的流体的压力，
所述流体控制方法的特征在于，
包括控制所述第一阀的控制步骤，
所述控制步骤包括：
脉冲信号生成步骤，向所述第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；
反馈值算出步骤，基于由所述压力传感器测定的压力值，计算出所述第一阀打开的打开期间在所述内部容积部内产生的压力下降量的时间积分值作为反馈值；以及
信号修正步骤，基于所述反馈值与基准值的偏差，对从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。
9.一种程序存储介质，其特征在于，存储有流体控制装置用程序，所述流体控制装置用程序是用于流体控制装置的流体控制程序，所述流体控制装置包括：阻力体，设置于流体流动的流路；第一阀，在所述流路中设置在比所述阻力体更靠下游侧；压力传感器，在所述流路中设置在所述阻力体与所述第一阀之间，测定所述阻力体与所述第一阀之间的内部容积部内的流体的压力，
所述流体控制装置用程序被计算机执行时实现控制所述第一阀的控制步骤，
所述控制步骤包括：
脉冲信号生成步骤，向所述第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；
反馈值算出步骤，基于由所述压力传感器测定的压力值，计算出所述第一阀打开的打开期间在所述内部容积部内产生的压力下降量的时间积分值作为反馈值；以及
信号修正步骤，基于所述反馈值与基准值的偏差，对从所述脉冲信号发生器输入所述第一阀的脉冲信号进行修正。
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