JPS60128076U - 流量制御用電磁弁 - Google Patents

流量制御用電磁弁

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JPS60128076U
JPS60128076U JP1525384U JP1525384U JPS60128076U JP S60128076 U JPS60128076 U JP S60128076U JP 1525384 U JP1525384 U JP 1525384U JP 1525384 U JP1525384 U JP 1525384U JP S60128076 U JPS60128076 U JP S60128076U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solenoid valve
flow control
displacement sensor
solenoid
displacement
Prior art date
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Pending
Application number
JP1525384U
Other languages
English (en)
Inventor
江草　隆
Original Assignee
富士通テン株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 富士通テン株式会社 filed Critical 富士通テン株式会社
Priority to JP1525384U priority Critical patent/JPS60128076U/ja
Publication of JPS60128076U publication Critical patent/JPS60128076U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Magnetically Actuated Valves (AREA)
  • Flow Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の断面図、第２図は第１図の
制御回路の回路図、第３図は本考案の動作を説明するた
めの特性図である。　　　　−１・・・シリング−１２
・・・弁板、３・・・駆動用ソレノイド、４・・・非接
触型の変位センサを構成する差動トランス、５・・・制
御回路、６，７．８・・・比較回路、９・・・ソレノイ
ド駆動用トランジスタ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 弁板の変位を検出する非接触型変位センサ及び該変位セ
    ンサの出力と制御目標値とを比較し該比較結果に基つき
    ソレノイドに供給すべき駆動電流を制御する駆動手段を
    備えたことを特徴とする流量側ｉ卸用電磁弁。
JP1525384U 1984-02-06 1984-02-06 流量制御用電磁弁 Pending JPS60128076U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190005131A (ko) * 2017-07-05 2019-01-15 가부시키가이샤 호리바 에스텍 유체 제어 장치, 유체 제어 방법, 및, 유체 제어 장치용 프로그램이 기록된 프로그램 기록 매체

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CN109207963A (zh) * 2017-07-05 2019-01-15 株式会社堀场Stec 流体控制装置、流体控制方法和程序存储介质
JP2019016096A (ja) * 2017-07-05 2019-01-31 株式会社堀場エステック 流体制御装置、流体制御方法、及び、流体制御装置用プログラム
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