JP2019016096A - 流体制御装置、流体制御方法、及び、流体制御装置用プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】制御機構が、第1バルブに対して所定のパルス高さ、及び、所定のパルス幅を有するパルス信号を入力するパルス信号生成器と、圧力センサで測定される圧力値に基づいて、前記第1バルブが開放させるオン期間に内部容積において生じた圧力降下量の時間積分値をフィードバック値として算出するフィードバック値算出部と、前記フィードバック値と、基準値との偏差に基づいて、前記パルス信号生成器から前記第1バルブに入力されるパルス信号を補正する信号補正部と、を備えた。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態に係る流体制御装置100について図1乃至図5を参照しながら説明する。第1実施形態の流体制御装置100は、図1に示すように、原子層堆積装置200(ALD)の成膜チャンバCHに対して各種ガスをパルス制御によって間欠的に供給するものである。前記流体制御装置100は、成膜チャンバCHに連通する第1ガス供給流路L1と、第2ガス供給流路L2にそれぞれ1つずつ設けてある。第1ガス供給流路L1は、例えばプリカーサと呼ばれるTMA等の成分ガスを前記成膜チャンバCH内に供給するためのものであり、第2ガス供給流路L2は、例えば水蒸気ガスを前記成膜チャンバCH内に供給するためものである。
次に第1実施形態の流体制御装置100による流量のパルス制御に関する動作について図5のフローチャートを参照しながら説明する。
このように構成された第1実施形態の流体制御装置100によれば、オン期間における圧力降下量の時間積分値をフィードバック値として、前記第1バルブ3に入力されるパルス信号のパルス高さが逐次補正されるようにしているので、各オン期間において前記第1バルブ3を通過するガスの流量を目標流量で均一に保つことができる。
次に本発明の第2実施形態に係る流体制御装置100について図7及び図8を参照しながら説明する。
第2実施形態の流体制御装置100は、図8のフローチャートに示すように第1実施形態の流体制御装置100と同様のステップS1〜S9までの動作を行うが、ステップS1を実行する前の状態から全てのサイクルが完了するまでの間において、前記第2バルブ1を前記圧力センサ2で測定される圧力値が、設定圧力値となるように圧力フィードバックによる開度制御が継続される(ステップS0)。
このように構成された流体制御装置100であれば、前記第1バルブ3に対してパルス信号を入力してオン期間を実施する前に前記第2バルブ1によって前記内部容積5におけるガスの圧力を設定圧力値に保たれるようにしているので、各オン期間の開始時において前記第1バルブ3の前後の差圧を常に一定保てる。このため、パルス高さ以外の制御対象ではない物理量を一定に保てるので、各サイクルにおいて前記第1バルブ3を通過するガスの流量の制御精度をさらに向上させることができる。
第3実施形態の流体制御装置100の動作は、図8に示す第2実施形態の流体制御装置100の動作と比較して、ステップS6及びステップS7の動作のみが異なっている。すなわち、第3実施形態の流体制御装置100では、オン期間において前記第1バルブ3が実現している開度を前記変位センサ4で実測し(ステップS6’)、実際の開度と設定開度に基づいて次回に出力されるパルス信号のパルス高さの補正量を変更する。(ステップS7’)
このように構成された第3実施形態の流体制御装置100であれば、前記第2バルブ1により内部容積5の圧力を設定圧力で保たれるようにしているので、開度フィードバックで第1バルブ3をパルス制御しても、従来よりも流量の制御精度を向上させることができる。
各実施形態では、パルス信号のパルス高さを補正することで、各サイクルにおいて第1バルブを通過する流体の流量が一定値に保たれるようにしていたが、例えばパルス信号のパルス幅を補正することで流量制御を行うようにしてもよい。また、パルス高さとパルス幅の両方を補正することで各サイクルでの流量が一定に保たれるようにしてもよい。
1 ・・・抵抗体(第2バルブ)
2 ・・・圧力センサ
3 ・・・第1バルブ
4 ・・・変位センサ
5 ・・・内部容積
6 ・・・パルス信号生成器
7 ・・・フィードバック値算出部
71 ・・・圧力値記憶部
72 ・・・積分値算出部
8 ・・・信号補正部
9 ・・・第2バルブ制御部
Claims (9)
- 流体が流れる流路に設けられた抵抗体と、
前記流路において前記抵抗体よりも下流側に設けられた第1バルブと、
前記流路において前記抵抗体と前記第1バルブとの間に設けられ、前記抵抗体と前記第1バルブとの間の内部容積における流体の圧力を測定する圧力センサと、
前記第1バルブを制御する制御機構と、を備え、
前記制御機構が、
前記第1バルブに対して所定のパルス高さ、及び、所定のパルス幅を有するパルス信号を入力するパルス信号生成器と、
前記圧力センサで測定される圧力値に基づいて、前記第1バルブが開放しているオン期間に前記内部容積において生じた圧力降下量の時間積分値をフィードバック値として算出するフィードバック値算出部と、
前記フィードバック値と、基準値との偏差に基づいて、前記パルス信号生成器から前記第1バルブに入力されるパルス信号を補正する信号補正部と、を備えた流体制御装置。 - 前記基準値が、前記第1バルブを通過する流体の流量が目標流量となる場合における圧力降下量の時間積分値の実績値である請求項1記載の流体制御装置。
- 前記信号補正部が、前記フィードバック値と前記基準値との偏差が小さくなるように前記パルス信号のパルス幅を一定にしたままパルス高さを変更するように構成された請求項1又は2記載の流体制御装置。
- 前記信号補正部が、前記フィードバック値と前記基準値との偏差が小さくなるように前記パルス信号のパルス高さを一定にしたままパルス幅を変更するように構成された請求項1又は2記載の流体制御装置。
- 前記抵抗体が、開度が制御可能な第2バルブであって、
前記制御機構が、
前記第1バルブを閉鎖させるオフ期間において、前記圧力センサで測定される圧力値と、設定圧力値との偏差が小さくなるように前記第2バルブを制御する第2バルブ制御部をさらに備えた請求項1乃至4いずれかに記載の流体制御装置。 - 前記第1バルブが、その開度を測定する変位センサをさらに具備する請求項1乃至5いずれかに記載の流体制御装置。
- 流体が流れる流路に設けられた抵抗体である第2バルブと、
前記流路において前記抵抗体よりも下流側に設けられた第1バルブと、
前記流路において前記抵抗体と前記第1バルブとの間に設けられ、前記抵抗体と前記第1バルブとの間の内部容積における流体の圧力を測定する圧力センサと、
前記第1バルブを制御する制御機構と、を備え、
前記第1バルブが、その開度を測定する変位センサをさらに具備し、
前記制御機構が、
前記第1バルブを閉鎖させるオフ期間において、前記圧力センサで測定される圧力値と、設定圧力値との偏差が小さくなるように前記第2バルブを制御する第2バルブ制御部と、
前記第1バルブに対して所定のパルス高さ、及び、所定のパルス幅を有するパルス信号を入力するパルス信号生成器と、
前記第1バルブを開放させるオン期間において前記変位センサで測定される測定開度と、予め定められた設定開度との偏差に基づいて、前記パルス信号生成器から前記第1バルブに入力されるパルス信号を補正する信号補正部と、を備えた流体制御装置。 - 流体が流れる流路に設けられた抵抗体と、前記流路において前記抵抗体よりも下流側に設けられた第1バルブと、前記流路において前記抵抗体と前記第1バルブとの間に設けられ、前記抵抗体と前記第1バルブとの間の内部容積における流体の圧力を測定する圧力センサと、を備えた流体制御装置を用いた流体制御方法であって、
前記第1バルブを制御する制御ステップを備え、
前記制御ステップが、
前記第1バルブに対して所定のパルス高さ、及び、所定のパルス幅を有するパルス信号を入力するパルス信号生成ステップと、
前記圧力センサで測定される圧力値に基づいて、前記第1バルブを開放させるオン期間に前記内部容積において生じた圧力降下量の時間積分値をフィードバック値として算出するフィードバックステップと、
前記フィードバック値と、基準値との偏差に基づいて、前記パルス信号生成器から前記第1バルブに入力されるパルス信号を補正する信号補正ステップと、を備えた流体制御方法。 - 流体が流れる流路に設けられた抵抗体と、前記流路において前記抵抗体よりも下流側に設けられた第1バルブと、前記流路において前記抵抗体と前記第1バルブとの間に設けられ、前記抵抗体と前記第1バルブとの間の内部容積における流体の圧力を測定する圧力センサと、前記第1バルブを制御する制御機構と、を備え、前記制御機構がコンピュータと、前記第1バルブに対して所定のパルス高さ、及び、所定のパルス幅を有するパルス信号を入力するパルス信号生成器と、を備えた流体制御装置に用いられる流体制御プログラムであって、
前記圧力センサで測定される圧力値に基づいて、前記第1バルブを開放させるオン期間に前記内部容積において生じた圧力降下量の時間積分値をフィードバック値として算出するフィードバック値算出部と、
前記フィードバック値と、基準値との偏差に基づいて、前記パルス信号生成器から前記第1バルブに入力されるパルス信号を補正する信号補正部と、としての機能をコンピュータに発揮させる流体制御装置用プログラム。
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